JPH04229279A - インクジェット印字ヘッドのチャンネル板を製造する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、内部に設けられたチャ
ンネル溝が側縁に対し正確に配置された、インクジェッ
ト印字ヘッドのチャンネル板を製造する方法、より詳細
には、そのようなチャンネル板を組み込んだインクジェ
ット印字ヘッドを製造する方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】サーマルインクジェット印字ヘッドは、
毛管インク充満チャンネルの終端のノズルの近くに配置
された抵抗発熱体が、命令に応じて選択的に発生した熱
エネルギーを用いて、インクを瞬間的に蒸発させ、一時
的に気泡を発生させる。各気泡はインク滴を放出し、記
録媒体に向けて推進する。このような印字ヘッドは、キ
ャリッジ型プリンタまたはページ幅型プリンタのどちら
にも組み入れることができる。キャリッジ型プリンタは
、一般に、インクチャンネルとノズルをもつ比較的小形
の可動式印字ヘッドを備えている。印字ヘッドは、通常
、使い捨てインク供給カートリッジに密封して取り付け
られる。印字ヘッド／カートリッジ組立体は往復運動し
て、静止している記録媒体たとえば用紙の上に一度に一
情報帯を印字する。一情報帯が印字されると、次の情報
帯が先の情報帯に隣接するように、印字された情報帯の
高さに等しい距離だけ用紙がステップ状に送られる。 全ページが印字されるまで、この手順が繰り返される。 キャリッジ型プリンタの例が、米国特許第４，７５１，
５９９　号に記載されている。対照的に、ページ幅型プ
リンタは、用紙の幅またはそれより大きな長さの静置式
印字ヘッドを備えている。印字工程の間、用紙は印字ヘ
ッドの長手方向に直角に送られ、一定速度でページ幅印
字ヘッドの下を連続的に通過する。ページ幅印字方法の
例が、米国特許第４，８２９，３２４　号明細書の図１
０、図１１および図１３に記載されている。

【０００３】上記米国特許第４，８２９，３２４　号は
、毛管作用によって補給される１個またはそれ以上のイ
ンク充満チャンネルを有する印字ヘッドを開示している
。各ノズルに形成されたメニスカスはインクがノズルか
ら滲み出るのを防止する。各チャンネルのノズルの上流
側に抵抗器すなわち発熱体が配置されている。データ信
号を表す電流パルスが発熱体に加えられると、発熱体に
接しているインクが瞬間的に蒸発して、各電流パルスご
とに気泡が発生する。気泡の成長により、ノズルから一
定量のインクが脹らみ出るが、気泡の崩壊が始まると、
ちぎれて滴になって各ノズルからインク滴が放出される
。各インク滴が放出されたあとメニスカスが壊れてチャ
ンネルの内部に奥深く後退するのを防ぐため、電流パル
スは整形されている。ページ幅の印字ヘッドを得るため
ヒートシンク基板の上面と底面にジグザグに取り付けら
れたものなど、サーマルインクジェット印字ヘッドの線
形アレイのいろいろな実施例が知られている。そのよう
な線形アレイは、異なるカラーインクで多色印刷を行う
場合に使用することができる。

【０００４】より高い印字速度を実現するには、上記米
国特許第４，８２９，３２４　号に開示されているよう
なページ幅印字ヘッドを使用することが望ましい。ペー
ジ幅印字ヘッドを作る好ましい方法は、ページ幅に相当
する長さの印字ヘッドを作るために、複数の印字ヘッド
サブユニットを互いに突き合わせる必要がある。ページ
幅に相当する長さの一体式印字ヘッドを作ることは難し
いので、サブユニット方式を用いることが望ましい。そ
のほか、ページ幅に相当する長さの一体式印字ヘッドは
、もし一体式印字ヘッドに含まれる２，５５０　個のチ
ャンネルまたは発熱体の中に１個でも欠陥チャンネルま
たは欠陥発熱体があれば、印字ヘッド全体が使用不能に
なるので、好ましいとは言えない。サブユニット方式の
場合は、組み立てる前に、各個別サブユニットを試験す
ることができるので、たとえ欠陥チャンネルまたは発熱
体が含まれていても、そのサブユニットのみを廃棄すれ
ばよい。

【０００５】印字ヘッドサブユニットは、一般に、複数
の抵抗器すなわち発熱体が上面に作られた発熱体板と、
複数のチャンネルが底面に作られたチャンネル板から成
り、チャンネルの個数および位置は発熱体のそれと対応
している。発熱体板の上面とチャンネル板の底面が接着
され、各チャンネルの中に１個の発熱体が置かれている
。チャンネル板は、そのほかに、上面から底面まで伸び
たインク充満孔を有する。インク充満孔は各チャンネル
に通じているので、インク源から供給されたインクはチ
ャンネルに流入する。発熱体板とチャンネル板は、一般
に、別個の（１００）シリコンウェーハに作られる。 ２つのシリコンウェーハは互いに接着され、精密ダイシ
ングソーで切断されて個別印字ヘッドサブユニットが作
られる。この製造方法は、一方のシリコンウェーハに複
数の発熱体板を横行および縦列に作り、他方のシリコン
ウェーハに複数のチャンネル板を横行および縦列に作り
、それらのウェーハを互いに接着し、各横行および各縦
列の間で切断して複数の印字ヘッドサブユニットを作る
ことができるので、個別印字ヘッドサブユニットを大量
生産するのに適している。たとえば、複数の発熱体板お
よびチャンネル板を配列してページ幅印字ヘッドを作る
方法が、上記米国特許第４，８２９，３２４　号に開示
されている。詳しく述べると、この米国特許明細書の図
１２および図１３に記載されている実施例では、エッチ
ングされたチャンネル板シリコンウェーハは発熱体板シ
リコンウェーハと位置合せされ、接着される。そのあと
ウェーハサンドイッチはさいの目に切断されて多数の印
字ヘッドサブユニットが作られる。

【０００６】ウェーハサンドイッチが多数の印字ヘッド
サブユニットに切り分けられたあと、隣接するサブユニ
ットの側面または側縁が互いに接触した状態で、複数の
サブユニットが一列に並べられ、互いに接着されて、所
望の幅たとえばページ幅の印字ヘッドが作られる。この
作業の最重要部分の１つは、個別印字ヘッドサブユニッ
トを、正確な輪郭で切断することである。印字ヘッドサ
ブユニットが２枚のウェーハすなわち発熱体板とチャン
ネル板のサンドイッチ構造であるため、インクジェット
印字ヘッドサブユニットの輪郭切断は、標準チップの切
断より難しい。図１は、第２シリコンウェーハ２０（こ
のウェーハから複数のチャンネル板サブユニット２１が
作られる）に接着された第１（１００）シリコンウェー
ハ２（このウェーハから複数の発熱体板４が作られる）
を示す。図１からわかるように、第２（１００）シリコ
ンウェーハ２の上に、横行および縦列に、複数のチャン
ネル板サブユニット４が作られる。図１の例では、シリ
コンウェーハ２は、化学洗浄したあと片面にシリコン窒
化層（図示せず）が堆積された片面研磨（１００）シリ
コンウェーハでよい。通常のフォトリソグラフィー（写
真印刷）を用いて、シリコン窒化層の上に、チャンネル
溝６とインク供給孔８のパターンが印刷される。チャン
ネル溝６とインク充満孔８を表す印刷されたパターンの
シリコン窒化層がプラズマエッチングされたあと、水酸
化カリ（ＫＯＨ）異方性エッチング液を用いて、チャン
ネル溝６とインク充満孔８がエッチングされる。このケ
ースでは、（１００）ウェーハの（１１１）面はウェー
ハの表面に対し　５４．７　°の角度をなしている。イ
ンク充満孔８のパターンは、ウェーハ２を貫通するよう
にそのサイズが決められるのに対し、チャンネル溝６の
パターンは、図２に示すように、ウェーハ２を部分的に
エッチングするようにサイズが決められる。

【０００７】次に、図２について説明する。チャンネル
ウェーハ２は複数の発熱体板を有する発熱体ウェーハ２
０に接着されている。各発熱体板の上には１組の発熱体
２２が配置されている。各発熱体２２は、不活性化され
たアドレッシング電極（図示せず）をもつ抵抗器を有し
、データ信号を表す電流パルスを各抵抗器に選択的に印
加することができる。各チャンネル溝６の中に１個の発
熱体２２が配置されるように、シリコンウェーハ２と２
０が互いに接着される。チャンネル溝６と発熱体２２を
各ウェーハ２と２０に作る前または作る際に各ウェーハ
に位置合せ孔を設けておけば、ウェーハ２と２０を互い
に正しく位置合せすることができる。

【０００８】ウェーハ２と２０が互いに接着されたあと
、接着されたウェーハサンドイッチは個別印字ヘッドサ
ブユニットに切り分けられる。すなわち、線１０と１２
に沿って切断することにより、ウェーハから印字ヘッド
サブユニットの行が切り離され、線１４と１６に沿って
切断ことにより各行から個々の印字ヘッドサブユニット
が作られる。また、線１０に沿う切断により、各チャン
ネル６の開端すなわちノズルが形成される。また、ダイ
シングブレード２４による線１４と１６に沿う切断によ
り、各印字ヘッドの側面が形成される。各印字ヘッドの
側面を加工する精度は、隣接するサブユニットの突合せ
精度を支配するので重要である。図２の例では、ダイシ
ングブレード２４はチャンネルウェーハ２と発熱体ウェ
ーハ２０の両方を貫いて切断しなければならない。２枚
のウェーハの切断は、１枚のウェーハ（たとえば、発熱
体ウェーハ）のみの切断に比べて、ダイシングブレード
の有効寿命を短くするほか、個別印字ヘッドサブユニッ
トの製造精度を低下させる。詳しく述べると、切断しな
ければならない厚さが増すと、ブレード２４が抑制でき
ないほど湾曲する傾向がある。切断中のこのブレードの
湾曲は、印字ヘッドサブユニットの側面を不均一にする
ほか、サブユニットの突合せ精度を低下させる。

【０００９】米国特許第４，８５１，３７１　号は、チ
ャンネルウェーハ／発熱体ウェーハサンドイッチから印
字ヘッドサブユニットを製造する方法を開示している。 この方法では、シリコンウェーハ２に作られた各チャン
ネル板４について、チャンネル溝６の各セットの両端に
、細長い溝孔２６（本出願の図３参照）が作られる。細
長い溝孔２６は、印字ヘッドの各行から印字ヘッドサブ
ユニットを分離する切断線１４と１６がその上を通過す
るように配置される。したがって、図４に示すように、
ダイシングブレード２４で各印字ヘッドサブユニットの
側面に沿って発熱体板ウェーハ２０のみを切断すれば、
印字ヘッドサブユニットが分離される。この細長い溝孔
２６はダイシングブレード２４が切断しなければならな
いシリコンの厚さを減らすことにより、ダイシングブレ
ード２４の有効寿命を長くし、かつ抑制できないブレー
ドの湾曲の大きさを小さくするので、正確に輪郭が切断
された印字ヘッドサブユニットを生産することができる
。上記米国特許第４，８５１，３７１　号の製造方法で
は、チャンネルウェーハ２は、洗浄されたあと両面にシ
リコン窒化層が被覆された両面研磨（１００）シリコン
ウェーハである。細長い溝孔２６のパターンは、フォト
リソグラフィーでシリコンウェーハ２の一方の面に印刷
され、チャンネル溝６とインク充満孔８のパターンは他
方の面に印刷される。 前に述べたように、細長い溝孔２６、チャンネル溝６お
よびインク充満孔８を表すパターンのシリコン窒化層が
プラズマエッチングで除去される。そのあと、ウェーハ
２がＫＯＨエッチング液で異方性エッチングされ、複数
のチャンネル板４がシリコンウェーハ２に作られる。

【００１０】上記の断面構造を作る際の問題点は、市販
のシリコンウェーハを単方向依存性エッチングして作ら
れた通し孔の精度が不十分なことである。この理由は、
図５からわかるように、通し孔の寸法がウェーハの厚さ
の関数であるからである。前述のように、細長い溝孔２
６は、チャンネル溝６が形成される表面の反対側の表面
からシリコンウェーハ２を貫いてエッチングして作られ
る。図５は、細長い溝孔２６によりチャンネル溝６を含
むウェーハ面に形成された開口Ｏ１　，Ｏ２　のサイズ
で、各チャンネル板の側縁２８の位置が支配されること
を示す。図５からわかるように、開口Ｏ１　，Ｏ２　の
サイズはウェーハ２の厚さｔ１　，ｔ２　の関数である
。ウェーハ２の厚さがｔ２　からｔ１　へ増すと、チャ
ンネル溝６を含むウェーハ面の開口のサイズがＯ２　か
らＯ１　へ縮まる。この結果、チャンネル溝６はチャン
ネル溝孔２６が形成される表面の反対側の表面にパター
ニングされるので、ウェーハの厚さが増すと、チャンネ
ル板４の側縁２８から端チャンネル溝６までの距離はｄ
２　からｄ１　へ増す。このように、各チャンネル板４
の側縁２８から端チャンネル溝６までの距離ｄ１　，ｄ
２　が変動するので、印字ヘッドサブユニットの拡張ア
レイ（すなわち、ページ幅アレイ）内の隣接する印字ヘ
ッドサブユニット間で、端チャンネル溝６の間隔が不均
一になる。それに加えて、もしシリコンウェーハ２の厚
さｔ１　が過大になると、チャンネル板４の側縁２８の
部分がダイシングブレード２４の切断区域に入り込むの
で、この製造方法の主要な長所のいくつかが失われる。

【００１１】また、米国特許第４，８２２，７５５　号
は、複数のチャンネル板が作られる（１００）シリコン
ウェーハに細長い溝孔を設けて、チャンネル板の側縁を
形成することを開示している。しかし、前に論じた米国
特許第４，８５１，３７１　号と同様に、チャンネル板
が作られるシリコンウェーハの厚さの変動のせいで、各
チャンネル板の端チャンネル溝を側縁に対し正確に配置
することができない。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】本発明の第１の目的は
、端チャンネル溝が側縁に対し正確に配置された、イン
クジェット印字ヘッドのチャンネル板を製造する方法を
提供することである。

【００１３】本発明の第２の目的は、上記のチャンネル
板を組み入れたインクジェット印字ヘッドサブユニット
を製造する方法を提供することである。

【００１４】本発明の第３の目的は、シリコンウェーハ
サンドイッチからインクジェット印字ヘッドサブユニッ
トの列を切り分けるとき必要な切断量を減らすこと、ダ
イシングブレードの有効寿命を延ばすこと、抑制できな
いダイシングブレードの湾曲の度合いを少なくすること
、および印字ヘッドサブユニットの側縁の均一性を高め
ることである。

【００１５】本発明の第４の目的は、隣接する印字ヘッ
ドサブユニットの端チャンネル溝の間隔が一様である、
印字ヘッドサブユニットの拡張アレイから成るページ幅
インクジェット印字ヘッドを提供することである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記およびその他の目的
を達成し、前に述べた短所を克服するため、本発明は、
（１００）シリコンウェーハに作られたチャンネル板の
側縁の位置を定める細長い溝孔の位置と寸法を正確に制
御することにより、（１００）シリコンウェーハからイ
ンクジェット印字ヘッドのチャンネル板を製造する方法
を提供する。本発明の方法は、両面研磨（１００）シリ
コンウェーハからチャンネル板を作るため、最初に、ウ
ェーハの上面と底面に耐腐食層を堆積させる。次に、上
面の耐腐食層ををパターニングして、複数の上面エッチ
ング開口を作り、底面の耐腐食層をパターニングして、
第１組の底面エッチング開口を作る。第１組の底面エッ
チング開口の位置と寸法が、チャンネル板の側縁の所定
の位置と寸法を定める。第１組の底面エッチング開口の
各底面エッチング開口は、所定の公差内で、対応する上
面エッチング開口と上下に並んでいる。同様に、シリコ
ンウェーハの底面の耐腐食層に、複数のチャンネル溝の
所定の位置および寸法を定める位置および寸法を有する
第２組の底面エッチング開口がパターニングされる。第
２組の底面エッチング開口は第１組の底面エッチング開
口と一列に並んでいる。次に、ウェーハが異方性エッチ
ングされて、上面エッチング開口に対応する複数の上面
凹部が作られ、そして第１組の底面エッチング開口に対
応する複数の底面凹部が作られる。各上面凹部と底面凹
部は（１１１）面側壁で囲まれている。底面凹部の異方
性エッチングは上面凹部と交差して複数の通し孔を作る
。異方性エッチングは、そのほかに、底面に第２組の底
面エッチング開口に対応する複数のチャンネル溝を作る
。この方法により、チャンネル板の側縁の位置は第１組
の底面エッチング開口によって支配される。第１組の底
エッチング開口はチャンネル溝を作るための第２組の底
面エッチング開口と一列に並んでいるので、各チャンネ
ル板の端チャンネル溝は、シリコンウェーハの厚さに関
係なく、各チャンネル板の側縁に対し正確に配置される
。

【００１７】この方法によって作られた複数のチャンネ
ル板サブユニットが横行および縦列に配列されたシリコ
ンウェーハは、対応する同数の発熱体板が横行および縦
列に配列された別のシリコンウェーハに対し接着するこ
とができる。このウェーハサンドイッチを各横行および
縦列の間で切り離して、複数の印字ヘッドを作ることが
できる。

【００１８】

【実施例】以下、添付図面を参照して、発明の好ましい
実施例について詳しく説明する。図中、同様な構成要素
は同じ参照番号を使用して表示してある。

【００１９】本発明は、各シリコンウェーハに作られる
チャンネル板の側縁の位置を正確に定めるため、２つの
エッチングパターン（チャンネル板シリコンウェーハの
上面と底面に１つづつ）を使用する。同様な方法が米国
特許出願第０７／４４０，２９６号に開示されている。 その方法では、発熱体板の上面に作られた発熱体に対し
側面の位置を正確に定めるため、２つのエッチングパタ
ーン（発熱体板ウェーハの上面と底面に１つづつ）を使
用して、ウェーハをエッチングする。本発明は、たとえ
ば前に引用した米国特許第４，８５１，３７１　号や同
第４，８２２，７５５　号に開示されている印字ヘッド
サブユニットのチャンネル板を作るために使用できる。 各チャンネル板の幅は各発熱体板の幅より若干狭いので
、各発熱体板の精密に切断された側面が各印字ヘッドサ
ブユニットの突合せ面になる。上記の代わりに、発熱体
板ウェーハに接着しないで、チャンネル板ウェーハをダ
イシングして複数のチャンネル板サブユニットを作り、
たとえば前に引用した米国特許第４，８２９，３２４　
号に記載されているように、それらを突き合わせること
により、事前に作られた発熱体サブユニットの拡張アレ
イの上に互いに一列に並べてもよい。

【００２０】図６の（ａ）に示すように、拡張アレイす
なわちページ幅印字ヘッドに用いる複数の印字ヘッドサ
ブユニットを作るため、両面研磨（１００）シリコンウ
ェーハ２を用いて、発熱体板２１に接合する複数のチャ
ンネル板４が作られる。すなわち、ウェーハ２が化学洗
浄され、そのあとウェーハ２の上面と底面に、それぞれ
耐腐食層たとえばシリコン窒化層３０，３２が堆積され
る。各チャンネル板４の表面に細長い溝孔２６のエッチ
ング開口を作るため、通常のフォトリソグラフィーを用
いて、ウェーハ２の上面の耐腐食層３０にパターンが印
刷される。細長い溝孔２６を表す前記パターンのシリコ
ン窒化層がプラズマエッチングされ、複数の上面エッチ
ング開口３４が作られる。次に、たとえば水酸化カリウ
ムでウェーハ２がエッチングされて細長い溝孔２６が作
られる。細長い溝孔２６はウェーハ２の上面から底面ま
で伸びているが、エッチング液はウェーハ２の底面の耐
腐食層３２をエッチングしない。

【００２１】次に、図６の（ｂ）に示すように、シリコ
ンウェーハ２の底面に堆積された耐腐食層３２は、パタ
ーニングされたあと、プラズマエッチングされて、各チ
ャンネル板４の複数の側縁２８の所定の位置および寸法
を定める位置および寸法を有する第１組の底面エッチン
グ開口３６が作られる。第１組の底面エッチング開口の
各開口３６は、以下に述べる理由で、所定の公差で、対
応する上面エッチング開口３４と上下に並んでいる。耐
腐食層３２は、さらに、パターニングされたあと、プラ
ズマエッチングされて、複数のチャンネル溝６の所定の
位置および寸法を定める位置および寸法を有する第２組
の底面エッチング開口３８が作られる。第２組の底面エ
ッチング開口３８は、第１組の底面エッチング開口３６
と一列に並んでいる。ここで再び、シリコンウェーハ２
が異方性エッチングされ、第１組の底面エッチング開口
３６に対応する複数の底面凹部が作られる。第１組の底
面エッチング開口３６に対応する各底面凹部は、上面エ
ッチング開口３４を通してエッチングされた上面凹部と
交差する。上面凹部と底面凹部の交差は、上面エッチン
グ開口３４と第１組の底面エッチング開口３６を所定の
公差内で上下に並べることにより保証される。耐腐食層
をパターニングして上面エッチング開口３４と底面エッ
チング開口３６を作る工程は、両面位置合せ装置（ダブ
ルサイドアライナー）を使用して実施することができる
が、別の方法を使用してもよい。各上面凹部および各底
面凹部は（１１１）面側壁で囲まれているので、互いに
交差したとき上面凹部と底面凹部で作られた細長い溝孔
２６の最終サイズは、第１組の底面エッチング開口３６
の位置および寸法によって支配される。この現象は、上
記米国特許出願第０７／４４０，２９６号に詳しく説明
されているので参照されたい。また、チャンネル溝６の
位置は第１組の底面エッチング開口３６と一列に並んだ
第２組の底面エッチング開口３８の位置によって支配さ
れるので、本発明に従って作られたチャンネル板は、側
縁２８に対し正確に配置された一連のチャンネル溝６を
有する。図３に示したインク充満孔８は、上記米国特許
第４，８５１，３７１　号に記載されているように、ウ
ェーハ２の底面をパターニングし、底面を貫いてエッチ
ングすることにより作ることができる。代替方法として
、最初にウェーハ２の底面をパターニングし、エッチン
グして、チャンネル板４のすべてのチャンネル溝６にイ
ンクを供給する十分な幅と、ウェーハ２の厚さの一部分
まで伸びた深さを有するインクマニホルド４０を作り、
前記インクマニホルド４０と、ウェーハ２の上面をパタ
ーニングし、エッチングして作られたインク供給孔４２
と交差させることにより、インク充満孔８を作ることも
できる。このようなインク供給孔８の構造が、米国特許
第４，７８６，３５７　号に開示されている。

【００２２】シリコンウェーハ２の底面をパターニング
し、エッチングする前に、ウェーハ２の上面をパターニ
ングし、エッチングすることもできるし、あるいは両面
を同時にパターニングし、エッチングすることもできる
。さらに、耐腐食材料質として、シリコン窒化物を使用
しているが、　２５０°〜　４５０°Ｃ　の温度で堆積
させることができるプラズマシリコン窒化物を使用して
もよい。

【００２３】以上、好ましい実施例について発明を説明
したが、記載した実施例は例示のためであり、発明を限
定するものではない。たとえば、発熱体板上に配置され
た抵抗発熱体を使用するサーマルインクジェットプリン
タの印字ヘッドを製造する方法について説明したが、本
発明は、シリコンウェーハの表面のチャンネルなどの構
成要素をシリコンウェーハの側面に対し正確に配置する
必要のあるあらゆる形式の装置に使用することができる
。たとえば、本発明を使用して、抵抗発熱体の代わりに
圧電素子を使用するイオノグラフック式印字ヘッドを製
造することができる。そのほかにも、特許請求の範囲に
記載した発明の精神および発明の範囲の中でさまざまな
修正を行うことができるであろう。

【図面の簡単な説明】

【図１】位置合せして接着した２枚のシリコンウェーハ
、すなわち複数のチャンネル板を含むチャンネルウェー
ハと複数の発熱体板を含む発熱板ウェーハを示す一部切
除平面図と、１個のチャンネル板の拡大図と、一点鎖線
で示した一対の水平切断線と一対の垂直切断線を示す図
である。

【図２】ダイシングブレードによる垂直方向切断を示す
、図１の発熱体板ウェーハ／チャンネル板ウェーハの拡
大断面部分図である。

【図３】垂直方向の切断の際にダイシングブレードが通
過する細長い溝孔が設けられたチャンネル板の拡大平面
図である。

【図４】図３に示した発熱体板ウェーハ／チャンネル板
ウェーハを切断中のダイシングブレードを示す断面図で
ある。

【図５】従来の方法によってチャンネル板を製作すると
き、異なるシリコンウェーハの厚さの相違により、チャ
ンネル板の端チャンネル溝が側縁からさまざまな距離に
置かれることを示すチャンネル板の拡大断面図である。

【図６】本発明の方法により、各チャンネル板の端チャ
ンネル溝が側縁に対し正確に置かれることを示す拡大断
面図である。

【符号の説明】

２　　チャンネル板ウェーハ ４　　チャンネル板 ６　　チャンネル溝 ８　　インク充満孔 １０，１２，１４，１６　　切断線 ２０　　発熱体板ウェーハ ２１　　発熱体板 ２２　　発熱体 ２４　　ダイシングブレード ２６　　細長い溝孔 ２８　　チャンネル板の側縁 ３０，３２　　シリコン窒化層 ３４　　上面エッチング開口 ３６　　第１組の底面エッチング開口 ３８　　第２組の底面エッチング開口 ４０　　インクマニホルド ４２　　インク供給孔

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　（１００）シリコンウェーハからイン
   クジェット印字ヘッドのチャンネル板を製造する方法で
   あって、 （ａ）　　上面と底面を有する（１００）シリコンウェ
   ーハを準備すること、 （ｂ）　　前記ウェーハの上面と底面に耐腐食層を堆積
   させること、 （ｃ）　　前記上面の耐腐食層をパターニングして、複
   数の上面エッチング開口を作ること、 （ｄ）　　前記底面の耐腐食層をパターニングして、チ
   ャンネル板の複数の側縁の所定の位置および寸法を定め
   る位置および寸法を有し、それぞれが対応する上面エッ
   チング開口と所定の公差で上下に並んだ第１組の底面エ
   ッチング開口と、複数のチャンネルの所定の位置および
   寸法を定める位置および寸法を有し、前記第１組の底面
   エッチング開口と一列に並んだ第２組の底面エッチング
   開口を作ること、および （ｅ）　　前記ウェーハを異方性エッチングして、前記
   上面エッチング開口に対応する複数の上面凹部と、前記
   第１組の底面エッチング開口に対応する複数の底面凹部
   を作ること（前記各上面凹部と各底面凹部は（１１１）
   面側壁によって囲まれており、前記底面凹部の異方性エ
   ッチングは上面凹部と交差して複数の通し孔を作るほか
   、底面に第２組の底面エッチング開口に対応する複数の
   チャンネルを作る）、の諸ステップから成ることを特徴
   とする製造方法。