JPH04221905A - 偏光面整列器 - Google Patents
偏光面整列器Info
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- JPH04221905A JPH04221905A JP2405772A JP40577290A JPH04221905A JP H04221905 A JPH04221905 A JP H04221905A JP 2405772 A JP2405772 A JP 2405772A JP 40577290 A JP40577290 A JP 40577290A JP H04221905 A JPH04221905 A JP H04221905A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/27—Optical coupling means with polarisation selective and adjusting means
- G02B6/2753—Optical coupling means with polarisation selective and adjusting means characterised by their function or use, i.e. of the complete device
- G02B6/2766—Manipulating the plane of polarisation from one input polarisation to another output polarisation, e.g. polarisation rotators, linear to circular polarisation converters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
- G02B27/283—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
-
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
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-
- G—PHYSICS
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- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
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- H04B10/00—Transmission systems employing electromagnetic waves other than radio-waves, e.g. infrared, visible or ultraviolet light, or employing corpuscular radiation, e.g. quantum communication
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信用部品に用いら
れる偏光面整列器に関するものである。
れる偏光面整列器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光通信用デバイスや光通信用モジュール
の中には、その入力光の偏光方向に制限を与えることで
、始めて有効に機能するものが多く存在する。例えば、
半導体レーザによる光増幅器やコヒーレント伝送系にお
ける光受信モジュールがそれである。
の中には、その入力光の偏光方向に制限を与えることで
、始めて有効に機能するものが多く存在する。例えば、
半導体レーザによる光増幅器やコヒーレント伝送系にお
ける光受信モジュールがそれである。
【０００３】これに対処する方法として、従来では、こ
れらのデバイスやモジュールの直前に偏光面制御器を設
ける方法、偏光ダイバーシチによる方法等があった。
れらのデバイスやモジュールの直前に偏光面制御器を設
ける方法、偏光ダイバーシチによる方法等があった。
【０００４】図２は偏光面制御器を設ける方法の一例で
あって、偏光面制御器１１は任意の偏光面を持つ光を一
定の偏光面を持つ光に変換する作用を持つものである。 この方法によれば、偏光面制御器１１からの出力光は常
に一定の偏光面に保たれるので、その後に偏光依存性機
能を持つ光部品１５を接続することで、その光部品１５
の機能を有効に発揮させることができる。
あって、偏光面制御器１１は任意の偏光面を持つ光を一
定の偏光面を持つ光に変換する作用を持つものである。 この方法によれば、偏光面制御器１１からの出力光は常
に一定の偏光面に保たれるので、その後に偏光依存性機
能を持つ光部品１５を接続することで、その光部品１５
の機能を有効に発揮させることができる。
【０００５】図３は偏波ダイバーシチによる方法の一例
（ＥＣＯＣ′８９、１９８９年９月、Ｐ．６２−６５）
であって、任意の偏光面を持つ入力光を偏光分離器１６
で２つの直交する偏光面に空間的に分離し（これらの２
つの光はそれぞれ一定の偏光面になっている）、それぞ
れの出力光に偏光依存性光部品１７、１８をそれぞれ結
合し、その出力光を合成器１９により光学的にまたは電
気的に合成するものである。この方法によれば、２つの
直線偏光に分離されたそれぞれの成分光の強度に応じて
、それぞれの偏光依存性光部品１７、１８が機能するこ
とになる。
（ＥＣＯＣ′８９、１９８９年９月、Ｐ．６２−６５）
であって、任意の偏光面を持つ入力光を偏光分離器１６
で２つの直交する偏光面に空間的に分離し（これらの２
つの光はそれぞれ一定の偏光面になっている）、それぞ
れの出力光に偏光依存性光部品１７、１８をそれぞれ結
合し、その出力光を合成器１９により光学的にまたは電
気的に合成するものである。この方法によれば、２つの
直線偏光に分離されたそれぞれの成分光の強度に応じて
、それぞれの偏光依存性光部品１７、１８が機能するこ
とになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
各方法では次の問題点があった。
各方法では次の問題点があった。
【０００７】偏光面制御器を用いる方法では、図２に示
すように、入力光の偏光状態を監視する偏光面識別部１
３、その監視結果に基づいて偏光状態を制御するための
電気信号を生成する電気的制御部１４、前記電気信号を
光学系へ駆動し、偏光状態を調整する偏光回転部１２が
必要となる。したがって、この方法は本質的にフィード
バックループ（光→電気→光）であり、入力側の偏光面
の急激な変化に対応できない。さらに、電気系、光学系
を含めて規模が大きくなり、形状が大となると共に構造
も複雑となる。
すように、入力光の偏光状態を監視する偏光面識別部１
３、その監視結果に基づいて偏光状態を制御するための
電気信号を生成する電気的制御部１４、前記電気信号を
光学系へ駆動し、偏光状態を調整する偏光回転部１２が
必要となる。したがって、この方法は本質的にフィード
バックループ（光→電気→光）であり、入力側の偏光面
の急激な変化に対応できない。さらに、電気系、光学系
を含めて規模が大きくなり、形状が大となると共に構造
も複雑となる。
【０００８】また、偏光ダイバーシチによる方法では、
光学系、電気系が２系統必要となるため、構成が複雑と
なり、形が大になると共に、コストも大になる。さらに
、この２系統は均等な特性でなければならないので、そ
の均等を維持するための系が副次的に必要となる。もし
、２系統の特性のバランスが崩れると（例えば温度特性
のバランス）、有効なる偏光無依存機能が発揮されず、
動作の不安定要因が発生するからである。また、２系統
の特性を均等にするには、等しい特性を持った光機能素
子をペアとして揃える必要がある。
光学系、電気系が２系統必要となるため、構成が複雑と
なり、形が大になると共に、コストも大になる。さらに
、この２系統は均等な特性でなければならないので、そ
の均等を維持するための系が副次的に必要となる。もし
、２系統の特性のバランスが崩れると（例えば温度特性
のバランス）、有効なる偏光無依存機能が発揮されず、
動作の不安定要因が発生するからである。また、２系統
の特性を均等にするには、等しい特性を持った光機能素
子をペアとして揃える必要がある。
【０００９】本発明は、上記の各問題点を除去するため
になされたものであって、偏光制御機能および偏光ダイ
バーシチ機能を用いることなく、入力光の任意の偏光面
を常に一定の偏光面に保って出力側に結合するいわば偏
光面整列器を提供することを目的とする。
になされたものであって、偏光制御機能および偏光ダイ
バーシチ機能を用いることなく、入力光の任意の偏光面
を常に一定の偏光面に保って出力側に結合するいわば偏
光面整列器を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、直線偏光を２つの互いに直交する直線偏光に
分離する複屈折性結晶平行平板と、前記複屈折性結晶平
行平板で分離した、２つの直線偏光から一定偏光方向の
直線偏光成分を取り出す偏光フィルタ板とを備えたもの
である。
するため、直線偏光を２つの互いに直交する直線偏光に
分離する複屈折性結晶平行平板と、前記複屈折性結晶平
行平板で分離した、２つの直線偏光から一定偏光方向の
直線偏光成分を取り出す偏光フィルタ板とを備えたもの
である。
【００１１】
【作用】入射された任意の偏光方向を持つ直線偏光は、
複屈折性結晶平行平板により２つの互いに直交する直線
偏光に分離される。分離された２つの直線偏光は偏光フ
ィルタ板に入射され、該偏光フィルタ板の光通過偏光方
向と一致する成分のみが取り出され、出射される。これ
により、任意の偏光方向を持つ直線偏光は、一定の偏光
方向を持つ直線偏光に変換されることとなる。
複屈折性結晶平行平板により２つの互いに直交する直線
偏光に分離される。分離された２つの直線偏光は偏光フ
ィルタ板に入射され、該偏光フィルタ板の光通過偏光方
向と一致する成分のみが取り出され、出射される。これ
により、任意の偏光方向を持つ直線偏光は、一定の偏光
方向を持つ直線偏光に変換されることとなる。
【００１２】
【実施例】本発明の第１の実施例を図１、図４に基づい
て以下説明する。ここで図１は構成図、図４は動作説明
図である。
て以下説明する。ここで図１は構成図、図４は動作説明
図である。
【００１３】まず、図１に示す構成について説明する。
【００１４】本実施例の偏光面整列器は、入射側光ファ
イバ１、入射側コリメータレンズ２、例えば方解石など
からなる複屈折性結晶平板３、偏光フィルタ板４、出射
側コリメータレンズ５、出射側光ファイバ６から構成さ
れている。
イバ１、入射側コリメータレンズ２、例えば方解石など
からなる複屈折性結晶平板３、偏光フィルタ板４、出射
側コリメータレンズ５、出射側光ファイバ６から構成さ
れている。
【００１５】前記複屈折性結晶平板３は周知のようにそ
の屈折率に異方性を持っており、結晶軸の方位、入射光
線の方向などにより出射光は独特のふるまいをする。こ
の複屈折性結晶平板３は、説明を容易にするために、入
射光７が該複屈折性結晶平板３の光軸８と大略４５°傾
いて入射するように光学ビーム上に配置されているもの
とする。また、前記偏光フィルタ板４は、複屈折性結晶
平板３から出射された平行の２つの光ビーム９、１０を
含む面に対し、該偏光フィルタ板４の光通過偏光方向が
光軸上で４５°回転する方向にくるように配置されてい
るものとする。また、入射側光ファイバ１からの出射光
は入射側コリメータレンズ２を通じて複屈折性結晶平板
３へ、偏光フィルタ板４からの出射光は出射側コリメー
タレンズ１０５を通じて出射側光ファイバ６へとそれぞ
れ結合されている。
の屈折率に異方性を持っており、結晶軸の方位、入射光
線の方向などにより出射光は独特のふるまいをする。こ
の複屈折性結晶平板３は、説明を容易にするために、入
射光７が該複屈折性結晶平板３の光軸８と大略４５°傾
いて入射するように光学ビーム上に配置されているもの
とする。また、前記偏光フィルタ板４は、複屈折性結晶
平板３から出射された平行の２つの光ビーム９、１０を
含む面に対し、該偏光フィルタ板４の光通過偏光方向が
光軸上で４５°回転する方向にくるように配置されてい
るものとする。また、入射側光ファイバ１からの出射光
は入射側コリメータレンズ２を通じて複屈折性結晶平板
３へ、偏光フィルタ板４からの出射光は出射側コリメー
タレンズ１０５を通じて出射側光ファイバ６へとそれぞ
れ結合されている。
【００１６】次に本実施例の動作について以下説明する
。
。
【００１７】まず、任意の偏光面を持つ直線偏光は、入
射側光ファイバ１から出射し、入射側コリメータレンズ
２により平行ビームに変換され、複屈折性結晶平板３に
入射する。
射側光ファイバ１から出射し、入射側コリメータレンズ
２により平行ビームに変換され、複屈折性結晶平板３に
入射する。
【００１８】前述のように、この複屈折性結晶平板３は
、その結晶の光軸８が入射光７の方向と一致しないよう
に配置してあるので（図１では大略４５°になるよう配
置してある）、入射光７は複屈折性結晶平板３の効果に
よって２つの互いに直交する偏光面を持つ光９、１０に
分離される。このとき、複屈折性結晶平板３は平行な面
を持っているので、２つの出射ビーム９、１０は互いに
平行に出射される。すなわち、その２つの出射ビーム９
、１０は互いに直交する偏光面を持ち、かつ互いに平行
な進行方向を持っている。図４（ａ）は、これら２つの
出射ビーム、すなわち直線偏光９と直線偏光１０の偏光
方向を複屈折性結晶平板３の表面から描いたものである
。前記２つの直線偏光９、１０は偏光フィルタ板４に入
射する。
、その結晶の光軸８が入射光７の方向と一致しないよう
に配置してあるので（図１では大略４５°になるよう配
置してある）、入射光７は複屈折性結晶平板３の効果に
よって２つの互いに直交する偏光面を持つ光９、１０に
分離される。このとき、複屈折性結晶平板３は平行な面
を持っているので、２つの出射ビーム９、１０は互いに
平行に出射される。すなわち、その２つの出射ビーム９
、１０は互いに直交する偏光面を持ち、かつ互いに平行
な進行方向を持っている。図４（ａ）は、これら２つの
出射ビーム、すなわち直線偏光９と直線偏光１０の偏光
方向を複屈折性結晶平板３の表面から描いたものである
。前記２つの直線偏光９、１０は偏光フィルタ板４に入
射する。
【００１９】前述のように、偏光フィルタ板４の光通過
偏光方向２０は、複屈折性結晶平板３から出射される直
線偏光９と直線偏光１０の偏光方向に対し、それぞれ４
５°光軸の廻りに傾けて配置してある。図４（ｂ）はこ
の様子を示している。そのため、これら直線偏光９、１
０のうち、偏光フィルタ板４の光通過偏光方向２０の成
分のみが該偏光フィルタ板４を透過し、出射されること
になる。
偏光方向２０は、複屈折性結晶平板３から出射される直
線偏光９と直線偏光１０の偏光方向に対し、それぞれ４
５°光軸の廻りに傾けて配置してある。図４（ｂ）はこ
の様子を示している。そのため、これら直線偏光９、１
０のうち、偏光フィルタ板４の光通過偏光方向２０の成
分のみが該偏光フィルタ板４を透過し、出射されること
になる。
【００２０】この偏光フィルタ板４の動作を図４（ｃ）
によりさらに詳しく説明する。
によりさらに詳しく説明する。
【００２１】複屈折性結晶平行平板３からの直線偏光９
の光強度をａ、直線偏光１０の光強度をａ２ とすると
、偏光フィルタ板４の光通過偏光方向２０への成分は、
図４（ｃ）から明らかなように、次式のようになる。
の光強度をａ、直線偏光１０の光強度をａ２ とすると
、偏光フィルタ板４の光通過偏光方向２０への成分は、
図４（ｃ）から明らかなように、次式のようになる。
【００２２】
【数１】
【００２３】言うまでもなく、ａ１ ＋ａ２ ＝ｃｏｎ
ｓｔである。したがって、偏光フィルタ板４からの光出
力強度は複屈折性結晶平板３への光入力強度に対して半
分に減少するものの、入射光偏光面状態の如何にかかわ
らず一定である。すなわち、入射光偏光面状態の如何に
かかわらず常に一定強度の直線偏光が得られることがわ
かる。
ｓｔである。したがって、偏光フィルタ板４からの光出
力強度は複屈折性結晶平板３への光入力強度に対して半
分に減少するものの、入射光偏光面状態の如何にかかわ
らず一定である。すなわち、入射光偏光面状態の如何に
かかわらず常に一定強度の直線偏光が得られることがわ
かる。
【００２４】偏光フィルタ板４からの２つの直線偏光ビ
ームは出射側コリメータレンズ５を通して出射側光ファ
イバ６へ結合される。ここで、これら２つの直線偏光ビ
ームは互いに一定間隔離れているので果して出射側光フ
ァイバ６へ結合するかどうかの疑念が生じるが、ある条
件さえ満たせば極めて低損失で結合する。
ームは出射側コリメータレンズ５を通して出射側光ファ
イバ６へ結合される。ここで、これら２つの直線偏光ビ
ームは互いに一定間隔離れているので果して出射側光フ
ァイバ６へ結合するかどうかの疑念が生じるが、ある条
件さえ満たせば極めて低損失で結合する。
【００２５】その条件とは、２つの光ビームが互いに平
行であり、かつそのビーム間隔がさほど離れていないこ
とである。本実施例では以下の理由からこの２つの条件
は満足されているといえる。
行であり、かつそのビーム間隔がさほど離れていないこ
とである。本実施例では以下の理由からこの２つの条件
は満足されているといえる。
【００２６】すなわち、第１に、複屈折性結晶平板３が
平行平板である限り、２つの出射光は平行になる。第２
に、２つの出射光の間隔は複屈折性結晶平板３の厚さに
依存し、例えば方解石やルチル結晶の場合、出射光の間
隔は複屈折性結晶平板の厚さの大略１／１０となる。例
えば、複屈折性結晶平板の厚みを０．１ｍｍとしたとき
、出射光の間隔は０．０１ｍｍとなり、光ファイバ間の
結合劣化は殆ど無視できる。このことは、文献（ＪＯＵ
ＲＮＡＬ ＯＦ ＬＩＧＨＴＷＡＶＥ ＴＥＣＨ
ＮＯＬＯＧＹ，ＶＯＬ．ＬＴ−４，ＮＯ７，１９８６−
７，Ｐ．８４１−８４５）にも示されている。
平行平板である限り、２つの出射光は平行になる。第２
に、２つの出射光の間隔は複屈折性結晶平板３の厚さに
依存し、例えば方解石やルチル結晶の場合、出射光の間
隔は複屈折性結晶平板の厚さの大略１／１０となる。例
えば、複屈折性結晶平板の厚みを０．１ｍｍとしたとき
、出射光の間隔は０．０１ｍｍとなり、光ファイバ間の
結合劣化は殆ど無視できる。このことは、文献（ＪＯＵ
ＲＮＡＬ ＯＦ ＬＩＧＨＴＷＡＶＥ ＴＥＣＨ
ＮＯＬＯＧＹ，ＶＯＬ．ＬＴ−４，ＮＯ７，１９８６−
７，Ｐ．８４１−８４５）にも示されている。
【００２７】図５は本発明の第２の実施例を示す構成図
であって、複屈折性結晶平板３と偏光フィルタ板４とを
一体化した点が図１に示す第１の実施例の場合と異なる
。すなわち、複屈折性結晶平板３と偏光フィルタ板４と
を第１の実施例で説明した位置関係となるように回転調
整した後、両者を固着し、一体化して図５に示すように
配置したものである。この一体化により一つのブロック
として取扱うことができるので、その取扱が極めて容易
になる。
であって、複屈折性結晶平板３と偏光フィルタ板４とを
一体化した点が図１に示す第１の実施例の場合と異なる
。すなわち、複屈折性結晶平板３と偏光フィルタ板４と
を第１の実施例で説明した位置関係となるように回転調
整した後、両者を固着し、一体化して図５に示すように
配置したものである。この一体化により一つのブロック
として取扱うことができるので、その取扱が極めて容易
になる。
【００２８】図６は本発明の第３実施例を示す構成図で
あって、図５に示す出射側光ファイバ６の代りに、偏光
依存性半導体デバイス（例えば進行波形半導体レーザチ
ップなど）または偏光依存性光学素子（例えば光導波路
や光アイソレータなど）に置換えたものである。
あって、図５に示す出射側光ファイバ６の代りに、偏光
依存性半導体デバイス（例えば進行波形半導体レーザチ
ップなど）または偏光依存性光学素子（例えば光導波路
や光アイソレータなど）に置換えたものである。
【００２９】図７は本発明の第４の実施例を示す構成図
である。本実施例は、入射側光ファイバ１と偏光依存性
の光学部品２４とを単一のレンズ５を使用して結合する
場合において、該入射側光ファイバ１と光学部品２４と
の間に、第２の実施例と同様な複屈折性結晶平板３と偏
光フィルタ板４とを一体化したブロックを挿入したもの
であり、構造の簡単化を図ったものである。
である。本実施例は、入射側光ファイバ１と偏光依存性
の光学部品２４とを単一のレンズ５を使用して結合する
場合において、該入射側光ファイバ１と光学部品２４と
の間に、第２の実施例と同様な複屈折性結晶平板３と偏
光フィルタ板４とを一体化したブロックを挿入したもの
であり、構造の簡単化を図ったものである。
【００３０】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明によ
れば、複屈折性結晶平行平板と偏光フィルタ板とを組み
合せることにより、任意の偏光方向を持つ直線偏光の光
学ビームを一定の偏光方向を持つ直線偏光に変換してい
るので、構成が極めて簡単となり、小形が可能となり、
低価格で実現することができる。
れば、複屈折性結晶平行平板と偏光フィルタ板とを組み
合せることにより、任意の偏光方向を持つ直線偏光の光
学ビームを一定の偏光方向を持つ直線偏光に変換してい
るので、構成が極めて簡単となり、小形が可能となり、
低価格で実現することができる。
【００３１】また、従来の偏光面制御器による偏光面整
列方法で必要とされていた制御系が不要となり、該制御
系で生じる応答時間の問題は生じない。
列方法で必要とされていた制御系が不要となり、該制御
系で生じる応答時間の問題は生じない。
【００３２】さらに、前記複屈折性結晶平行平板と偏向
フィルタ板は光学ビーム中に挿入するのみで足り、光学
結合のための調整は不要であるので、その取扱が極めて
容易となる。
フィルタ板は光学ビーム中に挿入するのみで足り、光学
結合のための調整は不要であるので、その取扱が極めて
容易となる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す構成図である。
【図２】従来の偏光面制御器を用いた偏光面制御方法の
説明図である。
説明図である。
【図３】従来の偏波ダイバーシチによる偏光面制御方法
の説明図である。
の説明図である。
【図４】図１に示す偏光面整列器の動作説明図である。
【図５】本発明の第２の実施例を示す構成図である。
【図６】本発明の第３の実施例を示す構成図である。
【図７】本発明の第４の実施例を示す構成図である。
１ 入射側光ファイバ
２ 入射側コリメータレンズ
３ 複屈折性結晶平板
４ 偏光フィルタ板
５ 出射側コリメータレンズ
６ 出射側光ファイバ
２３ 偏光依存性半導体デバイス又は偏光依存性
光学素子 ２４ 偏光依存性光学部品
光学素子 ２４ 偏光依存性光学部品
Claims (4)
- 【請求項１】 直線偏光を２つの互いに直交する直線
偏光に分離する複屈折性結晶平行平板と、前記複屈折性
結晶平行平板で分離した、２つの直線偏光から一定偏光
方向の直線偏光成分を取り出す偏光フィルタ板と、を有
することを特徴とする偏光面整列器。 - 【請求項２】 前期複屈折性結晶平行平板はその光軸
が光入射ビームと一致しないように配置し、前記偏光フ
ィルタ板はその光通過偏光方向が前記複屈折性結晶平行
平板で分離された２つの光ビームの偏光方向に対して４
５°の角度となるように配置したことを特徴とする請求
項１記載の偏光面整列器。 - 【請求項３】 前記複屈折性結晶平行平板と偏光フィ
ルタ板とを一体化したことを特徴とする請求項１記載の
偏光面整列器。 - 【請求項４】 偏光フィルタ板の出射側に偏光依存性
素子を配置して光結合した請求項１記載の偏光面整列器
。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2405772A JPH04221905A (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | 偏光面整列器 |
| EP19910122295 EP0492650A3 (en) | 1990-12-25 | 1991-12-27 | Device for aligning planes of polarization |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2405772A JPH04221905A (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | 偏光面整列器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04221905A true JPH04221905A (ja) | 1992-08-12 |
Family
ID=18515381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2405772A Pending JPH04221905A (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | 偏光面整列器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0492650A3 (ja) |
| JP (1) | JPH04221905A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111781169A (zh) * | 2019-04-03 | 2020-10-16 | 阳程科技股份有限公司 | 偏光对位检测装置及检测方法 |
| KR20200134375A (ko) * | 2019-05-21 | 2020-12-02 | 우순 테크놀로지 컴퍼니, 리미티드 | 편광 정렬 검사 장치 및 그 검사 방법 |
Families Citing this family (3)
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Family Cites Families (2)
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| JPS63220109A (ja) * | 1987-03-09 | 1988-09-13 | Fujitsu Ltd | 偏向分離・合成プリズム |
-
1990
- 1990-12-25 JP JP2405772A patent/JPH04221905A/ja active Pending
-
1991
- 1991-12-27 EP EP19910122295 patent/EP0492650A3/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111781169A (zh) * | 2019-04-03 | 2020-10-16 | 阳程科技股份有限公司 | 偏光对位检测装置及检测方法 |
| CN111781169B (zh) * | 2019-04-03 | 2023-08-22 | 阳程科技股份有限公司 | 偏光对位检测装置及检测方法 |
| KR20200134375A (ko) * | 2019-05-21 | 2020-12-02 | 우순 테크놀로지 컴퍼니, 리미티드 | 편광 정렬 검사 장치 및 그 검사 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0492650A2 (en) | 1992-07-01 |
| EP0492650A3 (en) | 1992-11-19 |
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