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JPH04204510A - Waveguide passage type optical part - Google Patents

Waveguide passage type optical part

Info

Publication number
JPH04204510A
JPH04204510A JP33076090A JP33076090A JPH04204510A JP H04204510 A JPH04204510 A JP H04204510A JP 33076090 A JP33076090 A JP 33076090A JP 33076090 A JP33076090 A JP 33076090A JP H04204510 A JPH04204510 A JP H04204510A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
groove
optical fiber
guide groove
adhesive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP33076090A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Suda
裕之 須田
Yasuhiro Hida
安弘 肥田
Atsushi Shibukawa
渋川 篤
Akio Sugita
彰夫 杉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority to JP33076090A priority Critical patent/JPH04204510A/en
Publication of JPH04204510A publication Critical patent/JPH04204510A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/30Optical coupling means for use between fibre and thin-film device

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To connect the input/output part of an optical circuit and an optical fiber with high precision by forming at least one groove in the orthogonal direction which extends at a right angle to a guide groove on a light waveguide film. CONSTITUTION:Since at least one groove 5, 6 in the orthogonal direction formed on a light waveguide film 1 works the connection surface of a core part 2, namely, the light input/output part of an optical circuit into a vertical plane, the top edge surface of an optical fiber 4 accommodated into a guide groove 3 and the vertical plane of the core part 2 are closely attached with no gap, and the connection loss is reduced, and the connection loss characteristic is improved. Further, if an adhesive is applied, in order to fix the optical fiber, the groove 5, 6 in the orthogonal direction is charged with the adhesive, which is locally concentrated. Accordingly, the flow-out of the adhesive to a broad surface is prevented, and the uniform hardening contraction is realized.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、入出力用の光ファイバを簡便に精度良く且つ
経済的に接続することのできる導波路型光部品に関する
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a waveguide type optical component that allows input/output optical fibers to be easily connected accurately and economically.

〈従来の技術〉 光ファイバ通信を初めとする光産業の進展に□伴い、各
種の光部品か要求されている。これらの光部品の実現形
態としては、(1)バルク形、(2)ファイバ形、(3
)導波路型か知られている。
<Prior Art> With the progress of the optical industry including optical fiber communications, various optical components are required. The implementation forms of these optical components include (1) bulk type, (2) fiber type, and (3)
) Waveguide type is known.

このなかで導波路形光部品では、この光回路への光入力
用及び該光回路からの光出力用の光ファイバを接続する
必要がある。
Among these, waveguide type optical components require connection of optical fibers for light input to the optical circuit and for light output from the optical circuit.

近年、導波路型光部品の小型であるという特徴を生かす
ため、光入出力の多いもの或いは複数の光回路を一つの
導波路形部品に形成することが実施されている。
In recent years, in order to take advantage of the small size of waveguide-type optical components, it has been implemented to form devices with a large number of optical inputs and outputs or to form a plurality of optical circuits into one waveguide-type component.

このように、一つの導波路形光部品に数多くの入出力を
必要とする場合或いは複数の光回路を形成する場合には
多条の入出力用光ファイバが必要となる。
As described above, when a single waveguide-type optical component requires a large number of inputs and outputs, or when a plurality of optical circuits are formed, multiple input/output optical fibers are required.

従来、多条の光ファイバを接続するに当たり、01本1
本の光ファイバを個別に接続する方法、■複数の光ファ
イバを予め整列して光ファイバアレイを形成し、これら
を−括して接続する方法等が考案されている。
Conventionally, when connecting multiple optical fibers, 01 pieces 1
A method of individually connecting optical fibers, and a method of arranging a plurality of optical fibers in advance to form an optical fiber array and connecting them collectively have been devised.

第2図に従来実施されている上記■の接続方法の一例を
示す。
FIG. 2 shows an example of the conventional connection method (2) above.

同図に示すように、基板上にはコア部2を有する光導波
膜1か形成され、この光導波膜1には図示しない光回路
が構成されている。光導波膜1にはエツチング等により
、ガイド溝3か加工されている。ガイド溝3は、光回路
の光入出力部となるコア部2の位置に配置され、このガ
イド溝3に光ファイバ4を挿入して固定することで、光
ファイバ4の軸心とコア部2か位置決めされるようにな
っている。従って、このような構造によれば、1本1本
毎に光ファイバを調心することなく、光ファイバ4とコ
ア部2とを簡便に接続することができる。
As shown in the figure, an optical waveguide film 1 having a core portion 2 is formed on the substrate, and an optical circuit (not shown) is constructed on this optical waveguide film 1. A guide groove 3 is formed in the optical waveguide film 1 by etching or the like. The guide groove 3 is arranged at the position of the core part 2 which becomes the optical input/output part of the optical circuit, and by inserting and fixing the optical fiber 4 into this guide groove 3, the axis of the optical fiber 4 and the core part 2 are aligned. or positioning. Therefore, according to such a structure, the optical fiber 4 and the core part 2 can be easily connected without aligning the optical fibers one by one.

〈発明が解決しようとする課題〉 しかし、上記従来技術では、ガイド溝3をエツチング或
いは切削により加工する為、光ファイバ4に対するコア
部2の接続面を垂直に加工することか困難であった。
<Problems to be Solved by the Invention> However, in the above-mentioned conventional technology, since the guide groove 3 is processed by etching or cutting, it is difficult to process the connecting surface of the core portion 2 to the optical fiber 4 perpendicularly.

この為、光回路の光入出力部であるコア部2の接続面と
光ファイバ4の先端面とか密着せず傾いて、それらの間
に隙間か介在してしまい、接続特性が悪化するという欠
点かあった。また、光ファイバ4を接続する為に接着剤
を使用すると、塗布した接着剤かガイド溝3に流れ出し
て広い範囲に広がってしまうので、接着剤か均一に収縮
せず、接続特性及び信頼性が低下する問題かあった。
For this reason, the connecting surface of the core section 2, which is the optical input/output section of the optical circuit, and the tip end surface of the optical fiber 4 do not come into close contact with each other and are tilted, resulting in a gap or gap between them, which deteriorates the connection characteristics. There was. Furthermore, if adhesive is used to connect the optical fibers 4, the applied adhesive will flow out into the guide groove 3 and spread over a wide area, so the adhesive will not shrink uniformly and the connection characteristics and reliability will deteriorate. There was a problem with it declining.

本発明は、上記従来技術に鑑みて成されたものてあり、
ガイド溝を利用した従来技術を改良し、更に、その利点
を生かして光回路の入出力部と光ファイバとを精度良く
接続した導波路型光部品を提供することを目的とするも
のである。
The present invention has been made in view of the above-mentioned prior art, and
It is an object of the present invention to provide a waveguide-type optical component that improves the conventional technology using guide grooves and further utilizes its advantages to accurately connect the input/output section of an optical circuit and an optical fiber.

つまり、ガイド溝の加工では不十分である光回路側の接
続面を別工程により、精度良く加工すること共に同時に
使用する接着剤の塗布を局部的に留め、硬化収縮を均一
に行わせることを目的とするものである。
In other words, the connecting surface on the optical circuit side, for which processing of guide grooves is not sufficient, is processed with high precision using a separate process, and at the same time, the application of the adhesive used is localized to ensure uniform curing and shrinkage. This is the purpose.

〈課題を解決するための手段〉 斯かる目的を達成する本発明の構成は基板上に形成した
光導波膜に光回路を構成すると共に該光導波膜に光ファ
イバ端部を収納するガイド溝を形成して前記光回路の光
入出力部となるコア部と前記光ファイバ先端面とを接続
してなる導波路型光部品において、前記光導波膜に前記
ガイド溝に対して直角方向に延びる直交方向溝を少なく
とも1本形成し、前記直交方向溝の何れかは前記コア部
の接続面を垂直面に加工してなるものであることを特徴
とする。
<Means for Solving the Problems> The configuration of the present invention to achieve the above object includes configuring an optical circuit in an optical waveguide film formed on a substrate, and also forming a guide groove in the optical waveguide film for accommodating an end of an optical fiber. In a waveguide-type optical component formed by connecting a core portion that is formed and becomes an optical input/output portion of the optical circuit and the tip end face of the optical fiber, the optical waveguide film has an orthogonal groove extending in a direction perpendicular to the guide groove. At least one directional groove is formed, and one of the orthogonal grooves is formed by processing a connecting surface of the core portion into a vertical surface.

く作用〉 光導波膜に形成された少なくとも1本の直交方向溝は、
光回路の光入出力部となるコア部の接続面を垂直面に加
工するので、ガイド溝に収納される光ファイバの先端面
と、そのコア部の垂直面か隙間無く密着し、この為、そ
れらの接続損失か低減し接続損失特性が改善される。
Effect> At least one orthogonal groove formed in the optical waveguide film is
Since the connection surface of the core section, which serves as the optical input/output section of the optical circuit, is processed to be a vertical surface, the tip surface of the optical fiber stored in the guide groove and the vertical surface of the core section are in close contact with each other without any gaps. These connection losses are reduced and the connection loss characteristics are improved.

また、光ファイバを固定する為に接着剤を塗布すると、
接着剤はこれらの直交方向溝に充填されて局部的に集中
する。この為、接着剤は広く流れ出すことかなく、硬化
収縮が均一となる利点がある。
Also, if you apply adhesive to fix the optical fiber,
The adhesive fills these orthogonal grooves and is locally concentrated. Therefore, there is an advantage that the adhesive does not flow out widely and the curing shrinkage is uniform.

〈実施例〉 以下、本発明について、図面に示す実施例を参照して詳
細に説明する。
<Examples> The present invention will be described in detail below with reference to examples shown in the drawings.

第1図に本発明の一実施例を示す。本実施例は、石英系
ガラス導波膜における直線導波路に本発明を適用したも
のである。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In this example, the present invention is applied to a straight waveguide in a silica-based glass waveguide film.

即ち、シリコン基板上には光導波膜1が形成され、この
光導波路lには図示しない光回路か構成されている。光
導波膜1は、クラッド部、コア部、更に上部クラッド部
を積層してなるものであり、これらは、シリコン基板に
多孔質状態の石英系ガラス微粒子を堆積させ、それを加
熱することで透明膜としたものである。また、コア部2
はフォトリソグラフィーによるエツチングを実施して形
成したものである。
That is, an optical waveguide film 1 is formed on a silicon substrate, and an optical circuit (not shown) is constructed in this optical waveguide l. The optical waveguide film 1 is made by laminating a cladding part, a core part, and an upper cladding part, which are made transparent by depositing porous silica-based glass particles on a silicon substrate and heating them. It is made into a membrane. In addition, the core part 2
is formed by etching using photolithography.

更に、この光導波膜1には、フォトリソグラフィにより
ガイド溝3が形成されている。ガイド溝3は、光入出力
部となるコア部2の位置に配置されており、光ファイバ
4が挿入されるものである。
Furthermore, a guide groove 3 is formed in this optical waveguide film 1 by photolithography. The guide groove 3 is arranged at the position of the core part 2, which serves as a light input/output part, and the optical fiber 4 is inserted into the guide groove 3.

ここて、コア部2の接続面かエツチングにより加工され
た曲面のままであると、光ファイバ4との接続か精度の
低いものとなる。
If the connecting surface of the core portion 2 remains a curved surface processed by etching, the connection with the optical fiber 4 will be less accurate.

この為、本発明は、このガイド溝3に対して直角な方向
に直交方向溝溝5,6を形成している。
For this reason, in the present invention, orthogonal grooves 5 and 6 are formed in a direction perpendicular to the guide groove 3.

即ち、本実施例では、ブレート幅1 mmの溝加工機に
より平行に3回重ね切りを行うことにより、ガイド溝4
に対する直交方向溝5として、幅2.8mm、深さ0.
2mmの溝を形成した。また、本実施例においては、こ
の接続面の溝から更に手前に0.5mm離れた位置に、
同じブレードを使用して、ガイド溝3に対する直交方向
溝6として幅1 mm、深さ0.2mmの溝を形成した
。これらの直交方向溝5,6に紫外線硬化形の接着剤を
充填して光ファイバ4を固定した。また、光ファイバ4
の先端には、屈折率整合用の樹脂を塗布した。この屈折
率整合用の樹脂については、場合に応じて、省略するこ
ともてきるし、紫外線硬化形の接着剤により代用するこ
ともてきる。
That is, in this example, the guide groove 4 is cut in parallel three times using a groove cutting machine with a blade width of 1 mm.
The orthogonal groove 5 has a width of 2.8 mm and a depth of 0.
A groove of 2 mm was formed. In addition, in this embodiment, at a position further 0.5 mm away from the groove on the connecting surface,
Using the same blade, a groove 1 mm wide and 0.2 mm deep was formed as the orthogonal groove 6 to the guide groove 3. The optical fiber 4 was fixed by filling these orthogonal grooves 5 and 6 with an ultraviolet curing adhesive. In addition, optical fiber 4
A resin for refractive index matching was applied to the tip. The resin for refractive index matching may be omitted or may be replaced by an ultraviolet curing adhesive, depending on the case.

上記構成を有する本実施例では、ガイド溝3に対する直
交方向溝5を加工したので、光回路の光入出力部である
コア部2の接続面が垂直に加工される為、光ファイバの
先端面とコア部2の接続面とが隙間無く密着し、この為
、接続損失が低下する。
In this embodiment having the above configuration, since the groove 5 in the direction perpendicular to the guide groove 3 is machined, the connection surface of the core part 2, which is the optical input/output part of the optical circuit, is machined perpendicularly, so the tip surface of the optical fiber and the connecting surface of the core portion 2 are in close contact with each other without any gaps, thus reducing connection loss.

例えば、本実施例の石英系導波膜における直線導波路の
場合、接続損失は0.3dBであり、直交方向溝を設け
ていない従来のガイド溝の場合の接続損失の0.5dB
の場合に比較し、良好な結果か得られた。
For example, in the case of a straight waveguide in the quartz-based waveguide film of this example, the connection loss is 0.3 dB, which is 0.5 dB compared to the connection loss in the case of a conventional guide groove without orthogonal grooves.
Better results were obtained compared to the previous case.

また、光ファイバ4の接続に使用した紫外線硬化形の接
着剤は、直交方向溝5,6に充填されて局部的に集中す
るので、ガイド溝3に誘導されて広い範囲に流れること
かない。この為、接着剤の硬化収縮が均一となり、その
不均一な収縮による信頼性の低下を回避することかでき
る。
Further, since the ultraviolet curing adhesive used to connect the optical fibers 4 is filled in the orthogonal grooves 5 and 6 and concentrated locally, it is not guided by the guide groove 3 and flows over a wide range. Therefore, the curing shrinkage of the adhesive becomes uniform, and a decrease in reliability due to non-uniform shrinkage can be avoided.

尚、上記実施例では、石英系ガラス導波膜における直線
導波路に本発明を適用したものであるが、本発明は、他
の実際の種々の光導波回路にも適用可能なものである。
In the above embodiment, the present invention is applied to a straight waveguide in a silica-based glass waveguide film, but the present invention can also be applied to various other actual optical waveguide circuits.

〈発明の効果〉 以上、実施例に基づいて具体的に説明したように、本発
明はガイド溝に対して直交方向溝を加工したので、光フ
ァイバに対する接続損失を低減して接続損失特性を改善
することができた。
<Effects of the Invention> As specifically explained above based on the embodiments, in the present invention, a groove is formed in a direction perpendicular to the guide groove, so that the connection loss to the optical fiber is reduced and the connection loss characteristics are improved. We were able to.

これにより、ガイド溝を利用した無調芯接続技術か実用
的となり、光回路モジュールの作成における経済化にも
寄与するものである。また、接着剤を使用して光ファイ
バを固定する場合には、この接着剤か直交方向溝に充填
されるので、硬化収縮か均一となり信頼性を向上させる
利点もある。
This makes non-adjustable connection technology using guide grooves practical and contributes to economical production of optical circuit modules. Further, when an optical fiber is fixed using an adhesive, since the adhesive is filled into the groove in the orthogonal direction, the curing shrinkage becomes uniform, which has the advantage of improving reliability.

【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2図は従来
の技術に関する説明図である。 図面中、 1は光導波膜、 2はコア部、 3はガイド溝、 4は光ファイバ、 5.6は直交方向溝である。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram of a conventional technique. In the drawings, 1 is an optical waveguide film, 2 is a core portion, 3 is a guide groove, 4 is an optical fiber, and 5.6 is an orthogonal groove.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 基板上に形成した光導波膜に光回路を構成すると共に該
光導波膜に光ファイバ端部を収納するガイド溝を形成し
て前記光回路の光入出力部となるコア部と前記光ファイ
バ先端面とを接続してなる導波路型光部品において、前
記光導波膜に前記ガイド溝に対して直角方向に延びる直
交方向溝を少なくとも1本形成し、前記直交方向溝の何
れかは前記コア部の接続面を垂直面に加工してなるもの
であることを特徴とする導波路型光部品。
An optical circuit is formed on an optical waveguide film formed on a substrate, and a guide groove for accommodating an optical fiber end is formed in the optical waveguide film to form a core portion that becomes an optical input/output part of the optical circuit and a tip of the optical fiber. In the waveguide type optical component, the optical waveguide film has at least one orthogonal groove extending perpendicularly to the guide groove, and any of the orthogonal grooves is connected to the core portion. A waveguide type optical component characterized in that it is formed by processing a connection surface into a vertical surface.
JP33076090A 1990-11-30 1990-11-30 Waveguide passage type optical part Pending JPH04204510A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0735948A (en) * 1993-07-19 1995-02-07 Nec Corp Optical coupling structure
JP2004341535A (en) * 2003-05-15 2004-12-02 Samsung Electronics Co Ltd Optical module
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