JPH04199754A - Led表示装置の製造方法 - Google Patents
Led表示装置の製造方法Info
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- H01L2224/85444—Gold (Au) as principal constituent
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、ガラス又はセラミックスを用いたLED表
示装置全般に利用されるLED表示装置の製造方法に関
するものである。
示装置全般に利用されるLED表示装置の製造方法に関
するものである。
従来のこの種技術は、該当する製造方法がない
■従来は、LEDの電流制限抵抗器を必要としているた
め、部品コスト、アセンブリコスト及び軽量化に問題点
がある。 ■従来は、Au (A’g @P t)ペーストを直接
ガラス上に印刷焼成しているため、膜の密着強度が低く
、信頼性に問題点がある。 本発明は、上記問題点に鑑みて創案されたもので、上記
問題点を解決したLED表示装置の製造方法の提供を目
的としている。
め、部品コスト、アセンブリコスト及び軽量化に問題点
がある。 ■従来は、Au (A’g @P t)ペーストを直接
ガラス上に印刷焼成しているため、膜の密着強度が低く
、信頼性に問題点がある。 本発明は、上記問題点に鑑みて創案されたもので、上記
問題点を解決したLED表示装置の製造方法の提供を目
的としている。
上記目的を達成するために、本発明におけるLED表示
装置の製造方法においては、ガラス基板上に、透明導電
膜の工TOを所定手段で蒸着して成膜した後、該ITO
を所定パターンに形成し、該ITO上にNi*P1Au
の順で皮膜し、更に上層Auを成膜し、前記ITO膜、
N i’ a P膜、Au膜のメタライズ上所定の場所
に、LEDチップを固着し、LEDパッドと上層Au膜
とをAuワイヤーでボンデングして製造するものである
。
装置の製造方法においては、ガラス基板上に、透明導電
膜の工TOを所定手段で蒸着して成膜した後、該ITO
を所定パターンに形成し、該ITO上にNi*P1Au
の順で皮膜し、更に上層Auを成膜し、前記ITO膜、
N i’ a P膜、Au膜のメタライズ上所定の場所
に、LEDチップを固着し、LEDパッドと上層Au膜
とをAuワイヤーでボンデングして製造するものである
。
実施例について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の第1の実施例の製造工程図、第2図は
同じく等価回路、第3図は本発明の第2の実施例の製造
工程図、第4図は同じく等価回路をあられしている。以
下に本製造方法の製造工程を順に説明する。 ■第1工程は、所定のガラス基板B上に、透明導電膜I
TOAをスタツパ蒸着又は真空蒸着で成膜する。 ガラス基板Bは、セラミックスでもよく、特に材質を問
わないが、ソーダーガラス等アルカリを含む場合には、
アルカリの影響を防ぐために、ガラス基板Bと透明導電
膜ITOAとの間に、SiO□膜が設けられる。 ■第2工程は、ITO膜Aを通常のフォトリソ工程にて
、所定のパターンにパターン化形成する■第3工程は、
無電解のめっき法により、■TO膜A上だけにNi赤P
膜りを0.35〜0,5μm無電解めっき法で成膜し、
その後置換めっき法により、前記Ni・P膜りの上層3
00人〜500人をAu成膜に置換する。なお、該Au
膜Cは、置換メツキ法を用いて成膜する。 この時のメタルは、Ni・P膜りを0.35μm 1A
u膜Cを400人とすると、シート抵抗としては、1
.2Ω/口となる。なお、この値は、Nf・P及びAu
の膜厚を変えることにより決定される。 また、LEDの電流制限抵抗は、ガラス基板B又はセラ
ミックス上に施されたNi・P膜D1AU膜Cのメタラ
イズパターンの固有抵抗を用いる■第4工程は、ITO
膜A1Ni・P膜り、AU膜Cのメタライズ上に、Au
ワイヤーGをボンデングする部分、例えば、幅0.2+
nm、長さ0゜4酊程度と、各LEDチップF列が並列
にいくつか結線する場合は、その共通となるバス電極上
に同時に、Au又はAg又は、Ptのペーストをスクリ
ーン印刷で印刷し、焼成して最終的に0.3μm〜3μ
mの上層Au膜Eを成膜する。 ■第5工程は、上記A u M Cの所定の場所例えば
、Auワイヤー〇を打つボンデングパット及び共通パス
ライン、電極上に、Au又はAg又は・ptのペースト
をスクリーン印刷し、焼成する。 ■第6エ程は、LEDパッドと上層Au膜EとをAuワ
イヤー〇でボンデングする。 ■第7エ程は、LEDチップFとAuワイヤーGとの保
護を必要とする場合に限り、シリコーン、アクリル、エ
ポキシ等の樹脂でコーテングするただし、このコーテン
グは用途により不要となることもある。 第3図及び第4図は、本発明の製造方法の第2の実施例
であり、上記工程のうち第3工程と第4工程の順番を入
れ換えたものである。 第2図、第4図のRは、Au成膜とNi*P膜りの配線
パターンによるLEDの電流制限抵抗である。
同じく等価回路、第3図は本発明の第2の実施例の製造
工程図、第4図は同じく等価回路をあられしている。以
下に本製造方法の製造工程を順に説明する。 ■第1工程は、所定のガラス基板B上に、透明導電膜I
TOAをスタツパ蒸着又は真空蒸着で成膜する。 ガラス基板Bは、セラミックスでもよく、特に材質を問
わないが、ソーダーガラス等アルカリを含む場合には、
アルカリの影響を防ぐために、ガラス基板Bと透明導電
膜ITOAとの間に、SiO□膜が設けられる。 ■第2工程は、ITO膜Aを通常のフォトリソ工程にて
、所定のパターンにパターン化形成する■第3工程は、
無電解のめっき法により、■TO膜A上だけにNi赤P
膜りを0.35〜0,5μm無電解めっき法で成膜し、
その後置換めっき法により、前記Ni・P膜りの上層3
00人〜500人をAu成膜に置換する。なお、該Au
膜Cは、置換メツキ法を用いて成膜する。 この時のメタルは、Ni・P膜りを0.35μm 1A
u膜Cを400人とすると、シート抵抗としては、1
.2Ω/口となる。なお、この値は、Nf・P及びAu
の膜厚を変えることにより決定される。 また、LEDの電流制限抵抗は、ガラス基板B又はセラ
ミックス上に施されたNi・P膜D1AU膜Cのメタラ
イズパターンの固有抵抗を用いる■第4工程は、ITO
膜A1Ni・P膜り、AU膜Cのメタライズ上に、Au
ワイヤーGをボンデングする部分、例えば、幅0.2+
nm、長さ0゜4酊程度と、各LEDチップF列が並列
にいくつか結線する場合は、その共通となるバス電極上
に同時に、Au又はAg又は、Ptのペーストをスクリ
ーン印刷で印刷し、焼成して最終的に0.3μm〜3μ
mの上層Au膜Eを成膜する。 ■第5工程は、上記A u M Cの所定の場所例えば
、Auワイヤー〇を打つボンデングパット及び共通パス
ライン、電極上に、Au又はAg又は・ptのペースト
をスクリーン印刷し、焼成する。 ■第6エ程は、LEDパッドと上層Au膜EとをAuワ
イヤー〇でボンデングする。 ■第7エ程は、LEDチップFとAuワイヤーGとの保
護を必要とする場合に限り、シリコーン、アクリル、エ
ポキシ等の樹脂でコーテングするただし、このコーテン
グは用途により不要となることもある。 第3図及び第4図は、本発明の製造方法の第2の実施例
であり、上記工程のうち第3工程と第4工程の順番を入
れ換えたものである。 第2図、第4図のRは、Au成膜とNi*P膜りの配線
パターンによるLEDの電流制限抵抗である。
本発明は、上述の通り構成されているので、次に記載す
る効果を奏する。 ■無電解のめっき法及び置換めっき法により成膜された
Ni・P膜とAu膜のメタライズは、固有のシート抵抗
0.5〜1.5Ω/口を持ち、従来必要とされたLED
の電流制限抵抗器の機能をN i−P N A u膜自
体がもつため、抵抗器が不要となり、部品コスト、アセ
ンブリコスト及び軽量化にメリットがある。 例えば、長さ50酊で幅が0.2關でシート抵抗1.0
Ω/口であれば、50÷0.2X1.0=250オーム
になる。 ■Au1NiIIPの成膜をめっき法と印刷法を用いて
いるので、製造コストメリット、量産性に対して有利で
ある。 ■従来のAu(Ag+1Pt)ペーストを直接ガラス上
に印刷焼成して得られた膜より、ガラスとAu (Ag
@Pt)ペーストの間に、Ni11P膜、Al1膜を介
在させているため、膜の密着強度が高く、信頼性が向上
する。
る効果を奏する。 ■無電解のめっき法及び置換めっき法により成膜された
Ni・P膜とAu膜のメタライズは、固有のシート抵抗
0.5〜1.5Ω/口を持ち、従来必要とされたLED
の電流制限抵抗器の機能をN i−P N A u膜自
体がもつため、抵抗器が不要となり、部品コスト、アセ
ンブリコスト及び軽量化にメリットがある。 例えば、長さ50酊で幅が0.2關でシート抵抗1.0
Ω/口であれば、50÷0.2X1.0=250オーム
になる。 ■Au1NiIIPの成膜をめっき法と印刷法を用いて
いるので、製造コストメリット、量産性に対して有利で
ある。 ■従来のAu(Ag+1Pt)ペーストを直接ガラス上
に印刷焼成して得られた膜より、ガラスとAu (Ag
@Pt)ペーストの間に、Ni11P膜、Al1膜を介
在させているため、膜の密着強度が高く、信頼性が向上
する。
第1図は本発明の第1の実施例の製造工程図、第2図は
同じく等価回路、第3図は本発明の第2の実施例の製造
工程図、第4図は同じく等価回路である。 A・・・ITO B・・・ガラス基板 C・・・Au膜 D・・・Ni・P膜 E・・・上層Au膜 F・・・LEDチップ G・・・Auワイヤー 特許出願人 スタンレー電気株式会社第4図
同じく等価回路、第3図は本発明の第2の実施例の製造
工程図、第4図は同じく等価回路である。 A・・・ITO B・・・ガラス基板 C・・・Au膜 D・・・Ni・P膜 E・・・上層Au膜 F・・・LEDチップ G・・・Auワイヤー 特許出願人 スタンレー電気株式会社第4図
Claims (1)
- ガラス基板上に、透明導電膜のITOを所定手段で蒸着
して成膜した後、該ITOを所定パターンに形成し、該
ITO上にNi・P、Auの順で皮膜し、更に上層Au
を成膜し、前記ITO膜、Ni・P膜、Au膜のメタラ
イズ上所定の場所に、LEDチップを固着し、LEDパ
ッドと上層Au膜とをAuワイヤーでボンデングして製
造するLED表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2334564A JP3068176B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Led表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2334564A JP3068176B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Led表示装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04199754A true JPH04199754A (ja) | 1992-07-20 |
JP3068176B2 JP3068176B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=18278815
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2334564A Expired - Lifetime JP3068176B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Led表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3068176B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001082378A1 (de) * | 2000-04-20 | 2001-11-01 | Schott Glas | Trägersubstrat für elektronische bauteile |
WO2008075248A2 (en) * | 2006-12-18 | 2008-06-26 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lighting device of leds on a transparent substrate |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2334564A patent/JP3068176B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001082378A1 (de) * | 2000-04-20 | 2001-11-01 | Schott Glas | Trägersubstrat für elektronische bauteile |
EP1947694A1 (de) * | 2000-04-20 | 2008-07-23 | Schott AG | Trägersubstrat für elektronische Bauteile |
EP2009965A1 (de) * | 2000-04-20 | 2008-12-31 | Schott Glas | Trägersubstrat für elektronische Bauteile |
DE10019888B4 (de) * | 2000-04-20 | 2011-06-16 | Schott Ag | Transparente elektronische Bauelementanordnung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
WO2008075248A2 (en) * | 2006-12-18 | 2008-06-26 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lighting device of leds on a transparent substrate |
WO2008075248A3 (en) * | 2006-12-18 | 2008-08-21 | Koninkl Philips Electronics Nv | Lighting device of leds on a transparent substrate |
US8115228B2 (en) | 2006-12-18 | 2012-02-14 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lighting device of LEDs on a transparent substrate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3068176B2 (ja) | 2000-07-24 |
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