JPH04197680A - 部分蒸着フイルムの製造装置及び製造方法 - Google Patents
部分蒸着フイルムの製造装置及び製造方法Info
- Publication number
- JPH04197680A JPH04197680A JP33332490A JP33332490A JPH04197680A JP H04197680 A JPH04197680 A JP H04197680A JP 33332490 A JP33332490 A JP 33332490A JP 33332490 A JP33332490 A JP 33332490A JP H04197680 A JPH04197680 A JP H04197680A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- water
- metal vapor
- resistant
- soluble paint
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Printing Methods (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、部分蒸着フィルムの製造装置及び製造方法
に関する。
に関する。
(従来の技術)
部分蒸着フィルムの製造は従来、それぞれ独立して設置
された印刷装置と真空蒸着装置と洗浄装置とを使用し、
(1)プラスチックフィルムへの水溶性塗料による印刷
模様の形成、印刷模様上からの全面的な金属蒸着層の形
成、洗浄して水溶性塗料分溶解することにより水溶性塗
料上の金属蒸着層を除去するとともに水溶性塗料が存在
しない部分の金属蒸着層を残存させる洗浄、又は、(2
)プラスチックフィルムへの全面的な金属蒸着層の形成
、金属蒸着層上への耐酸又は耐アルカリ性の印刷模様の
形成、洗浄して耐酸又は耐アルカリ性の印刷模様が存在
しない部分の金属蒸着層を除去するとともに耐酸又は耐
アルカリ性の印刷模様が存在する部分の金属蒸着層を残
存させる洗浄、といういずれかの方法によっていた。
された印刷装置と真空蒸着装置と洗浄装置とを使用し、
(1)プラスチックフィルムへの水溶性塗料による印刷
模様の形成、印刷模様上からの全面的な金属蒸着層の形
成、洗浄して水溶性塗料分溶解することにより水溶性塗
料上の金属蒸着層を除去するとともに水溶性塗料が存在
しない部分の金属蒸着層を残存させる洗浄、又は、(2
)プラスチックフィルムへの全面的な金属蒸着層の形成
、金属蒸着層上への耐酸又は耐アルカリ性の印刷模様の
形成、洗浄して耐酸又は耐アルカリ性の印刷模様が存在
しない部分の金属蒸着層を除去するとともに耐酸又は耐
アルカリ性の印刷模様が存在する部分の金属蒸着層を残
存させる洗浄、といういずれかの方法によっていた。
(発明が解決しようとする課題)
しかし、従来のいずれの方法によっても、使用する印刷
装置と真空蒸着装置と洗浄装置とはそれぞれ独立して設
置されているから、−工程で部分蒸着フィルムを製造す
ることはできなかった。
装置と真空蒸着装置と洗浄装置とはそれぞれ独立して設
置されているから、−工程で部分蒸着フィルムを製造す
ることはできなかった。
この発明は上記の欠点を除去するものである。
(課題を解決するための手段)
この発明は、(1)印刷装置とエアーツーエアー方式の
真空蒸着装置と洗浄装置とが、印刷装置、エアーツーエ
アー方式の真空蒸着装置、洗浄装置の順に、又はエアー
ツーエアー方式の真空蒸着装置、印刷装置、洗浄装置の
順に、連結して設置されていることを特徴とする部分蒸
着フィルムの製造装置である。
真空蒸着装置と洗浄装置とが、印刷装置、エアーツーエ
アー方式の真空蒸着装置、洗浄装置の順に、又はエアー
ツーエアー方式の真空蒸着装置、印刷装置、洗浄装置の
順に、連結して設置されていることを特徴とする部分蒸
着フィルムの製造装置である。
また、この発明は、〈2)印刷装置によりプラスチック
フィルムに水溶性塗料により印刷をして模様を形成し、
次に、印刷装置に連結されたエアーツーエアー方式の真
空蒸着装置により水溶性塗料上から全面に金属蒸着層を
形成し、次いで、エアーツーエアー方式の真空蒸着装置
に連結された洗浄装置により洗浄して水溶性塗料を溶解
することにより水溶性塗料上の金属蒸着層を除去すると
ともに水溶性塗料が存在しない部分の金属蒸着層を残存
させることを特徴とする部分蒸着フィルムの製造方法で
ある さらに、この発明は、(3)エアーツーエアー方式の真
空蒸着装置によりプラスチックフィルムに全面に金属蒸
着層を形成し、次に、エアーツーエアー方式の真空蒸着
装置に連結された印刷装置により金属蒸着層上に耐酸又
は耐アルカリ性の印刷をして模様を形成し、次いで、印
刷装置に連結された洗浄装置により洗浄して耐酸又は耐
アルカリ性の印刷模様が存在しない部分の金属蒸着層を
除去するとともに耐酸又は耐アルカリ性の印刷模様が存
在する部分の金属蒸着層を残存させることを特徴とする
部分落着フィルムの製造方法である。
フィルムに水溶性塗料により印刷をして模様を形成し、
次に、印刷装置に連結されたエアーツーエアー方式の真
空蒸着装置により水溶性塗料上から全面に金属蒸着層を
形成し、次いで、エアーツーエアー方式の真空蒸着装置
に連結された洗浄装置により洗浄して水溶性塗料を溶解
することにより水溶性塗料上の金属蒸着層を除去すると
ともに水溶性塗料が存在しない部分の金属蒸着層を残存
させることを特徴とする部分蒸着フィルムの製造方法で
ある さらに、この発明は、(3)エアーツーエアー方式の真
空蒸着装置によりプラスチックフィルムに全面に金属蒸
着層を形成し、次に、エアーツーエアー方式の真空蒸着
装置に連結された印刷装置により金属蒸着層上に耐酸又
は耐アルカリ性の印刷をして模様を形成し、次いで、印
刷装置に連結された洗浄装置により洗浄して耐酸又は耐
アルカリ性の印刷模様が存在しない部分の金属蒸着層を
除去するとともに耐酸又は耐アルカリ性の印刷模様が存
在する部分の金属蒸着層を残存させることを特徴とする
部分落着フィルムの製造方法である。
次に図面を参照しつつ説明する。
この発明の装置は、第1図に示すように、印刷装置A、
エアーツーエアー方式の真空蒸着装置B、洗浄装置Cの
順か、又は、第2図に示すように、エアーツーエアー方
式の真空蒸着装置B、印刷装置A、洗浄装置Cの順に、
各装置がそれぞれ連結して設置されている。この様な各
装置の連結した設置は、真空蒸着装置が、真空タンクの
中でプラスチックフィルムの送り出しと巻き取りとを行
う一般の真空蒸着装置ではなく、真空タンクの外からプ
ラスチックフィルムを送り出して真空タンクの中で蒸着
しさらに真空タンクの外で巻き取るといういわゆるエア
ーツーエアー方式の真空蒸着装置を使用して初めて可能
となるものである。
エアーツーエアー方式の真空蒸着装置B、洗浄装置Cの
順か、又は、第2図に示すように、エアーツーエアー方
式の真空蒸着装置B、印刷装置A、洗浄装置Cの順に、
各装置がそれぞれ連結して設置されている。この様な各
装置の連結した設置は、真空蒸着装置が、真空タンクの
中でプラスチックフィルムの送り出しと巻き取りとを行
う一般の真空蒸着装置ではなく、真空タンクの外からプ
ラスチックフィルムを送り出して真空タンクの中で蒸着
しさらに真空タンクの外で巻き取るといういわゆるエア
ーツーエアー方式の真空蒸着装置を使用して初めて可能
となるものである。
第1図に示す装置の場合には、印刷装置Aによりプラス
チックフィルム10に水溶性塗料により印刷をして模様
を形成し、次に、印刷装置Aに連結されたエアーツーエ
アー方式の真空蒸着装置Bにより水溶性塗料上から全面
に金属蒸着層を形成し、次いで、エアーツーエアー方式
の真空蒸着装置Bに連結された洗浄装置Cにより洗浄し
て水溶性塗料を溶解することにより水溶性塗料上の金属
蒸着層を除去するとともに水溶性塗料が存在しない部分
の金属蒸着層を残存させるものである。
チックフィルム10に水溶性塗料により印刷をして模様
を形成し、次に、印刷装置Aに連結されたエアーツーエ
アー方式の真空蒸着装置Bにより水溶性塗料上から全面
に金属蒸着層を形成し、次いで、エアーツーエアー方式
の真空蒸着装置Bに連結された洗浄装置Cにより洗浄し
て水溶性塗料を溶解することにより水溶性塗料上の金属
蒸着層を除去するとともに水溶性塗料が存在しない部分
の金属蒸着層を残存させるものである。
第2図に示す装置の場合には、エアーツーエアー方式の
真空蒸着装置Bによりプラスチックフィルム10に全面
に金属蒸着層を形成し、次に、エアーツーエアー方式の
真空蒸着装置Bに連結された印刷装置Aにより金属蒸着
層上に耐酸又は耐アルカリ性の印刷をして模様を形成し
、次いで、印刷装置Aに連結された洗浄装置Cにより洗
浄して耐酸又は耐アルカリ性の印刷模様が存在しない部
分の金属蒸着層を除去するとともに耐酸又は耐アルカリ
性の印刷模様が存在する部分の金属蒸着層を残存させる
ものである。
真空蒸着装置Bによりプラスチックフィルム10に全面
に金属蒸着層を形成し、次に、エアーツーエアー方式の
真空蒸着装置Bに連結された印刷装置Aにより金属蒸着
層上に耐酸又は耐アルカリ性の印刷をして模様を形成し
、次いで、印刷装置Aに連結された洗浄装置Cにより洗
浄して耐酸又は耐アルカリ性の印刷模様が存在しない部
分の金属蒸着層を除去するとともに耐酸又は耐アルカリ
性の印刷模様が存在する部分の金属蒸着層を残存させる
ものである。
以上のようにこの発明は、第1図、第2図のいずれの装
置の場合にも一工程で部分蒸着フィルムを製造すること
ができるものである。
置の場合にも一工程で部分蒸着フィルムを製造すること
ができるものである。
(発明の効果)
この発明は上記のように構成したから、部分蒸着フィル
ムの製造において、従来のように、印刷装置と真空蒸着
装置と洗浄装置とによるそれぞれの工程すなわち三工程
を経る必要がなく、−工程で部分蒸着フィルムが製造で
きる。
ムの製造において、従来のように、印刷装置と真空蒸着
装置と洗浄装置とによるそれぞれの工程すなわち三工程
を経る必要がなく、−工程で部分蒸着フィルムが製造で
きる。
また、真空蒸着装置としてエアーツーエアー方式の真空
蒸着装置を使用したから、プラスチックフィルムの様々
な操作等が真空タンクの外で容易に行える。
蒸着装置を使用したから、プラスチックフィルムの様々
な操作等が真空タンクの外で容易に行える。
第1図は、第2図はいずれも、この発明の部分蒸着フィ
ルムの製造装置を示す概略図である0図中Aは印刷装置
、Bはエアーツーエアー方式の真空蒸着装置、Cは洗浄
装置をそれぞれ示す、また、図中10はプラスチックフ
ィルムて′ある。
ルムの製造装置を示す概略図である0図中Aは印刷装置
、Bはエアーツーエアー方式の真空蒸着装置、Cは洗浄
装置をそれぞれ示す、また、図中10はプラスチックフ
ィルムて′ある。
Claims (3)
- (1)印刷装置とエアーツーエアー方式の真空蒸着装置
と洗浄装置とが、印刷装置、エアーツーエアー方式の真
空蒸着装置、洗浄装置の順に、又はエアーツーエアー方
式の真空蒸着装置、印刷装置、洗浄装置の順に、連結し
て設置されていることを特徴とする部分蒸着フィルムの
製造装置。 - (2)印刷装置によりプラスチックフィルムに水溶性塗
料により印刷をして模様を形成し、次に、印刷装置に連
結されたエアーツーエアー方式の真空蒸着装置により水
溶性塗料上から全面に金属蒸着層を形成し、次いで、エ
アーツーエアー方式の真空蒸着装置に連結された洗浄装
置により洗浄して水溶性塗料を溶解することにより水溶
性塗料上の金属蒸着層を除去するとともに水溶性塗料が
存在しない部分の金属蒸着層を残存させることを特徴と
する部分蒸着フィルムの製造方法。 - (3)エアーツーエアー方式の真空蒸着装置によりプラ
スチックフィルムに全面に金属蒸着層を形成し、次に、
エアーツーエアー方式の真空蒸着装置に連結された印刷
装置により金属蒸着層上に耐酸又は耐アルカリ性の印刷
をして模様を形成し、次いで、印刷装置に連結された洗
浄装置により洗浄して耐酸又は耐アルカリ性の印刷模様
が存在しない部分の金属蒸着層を除去するとともに耐酸
又は耐アルカリ性の印刷模様が存在する部分の金属蒸着
層を残存させることを特徴とする部分蒸着フィルムの製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33332490A JPH04197680A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 部分蒸着フイルムの製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33332490A JPH04197680A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 部分蒸着フイルムの製造装置及び製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04197680A true JPH04197680A (ja) | 1992-07-17 |
Family
ID=18264838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33332490A Pending JPH04197680A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 部分蒸着フイルムの製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04197680A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004510610A (ja) * | 2000-10-09 | 2004-04-08 | ヒューエック フォリエン ゲゼルシャフト エム.ベー.ハー. | 金属被覆されたフィルム及びその製造方法並びに利用法 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP33332490A patent/JPH04197680A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004510610A (ja) * | 2000-10-09 | 2004-04-08 | ヒューエック フォリエン ゲゼルシャフト エム.ベー.ハー. | 金属被覆されたフィルム及びその製造方法並びに利用法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5059454A (en) | Method for making patterned thin film | |
DE2617914C2 (de) | Verfahren zum Herstellen von Mustern eines dünnen Films auf einem Substrat bei der Herstellung von integrierten Schaltungen | |
DE2658400A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer negativen maske auf einem substrat | |
JPH04197680A (ja) | 部分蒸着フイルムの製造装置及び製造方法 | |
JPH02253692A (ja) | パターン形成方法およびパネル基板の製造方法 | |
JP3252236B2 (ja) | 位相シフトマスクの製造方法および位相シフトマスク用ブランクスの製造方法 | |
US4188417A (en) | Method of applying a dielectric layer to a substrate and a mask-forming coating for the application of a dielectric layer | |
CN114709131B (zh) | 一种半导体金属剥离工艺中的角度控制方法 | |
DE2650817A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer phasenmaske mit amplitudenstruktur | |
JPH04189545A (ja) | スクリーン印刷版及びスクリーン印刷版の乳剤塗着方法 | |
JPH06267946A (ja) | 金属膜の選択形成方法 | |
JPH0250878A (ja) | 着色透視材の製造方法 | |
JPS63114146A (ja) | 半導体装置におけるバンプ形成方法 | |
DE2109108A1 (de) | Verfahren zum AEtzen eines Schichttraegers | |
EP4206156A1 (de) | Verfahren zur beschichtung von grossflächigen glassubstraten | |
JPS6034015A (ja) | パタ−ン形成方法 | |
JPH0416012B2 (ja) | ||
JPH04196425A (ja) | 薬液処理装置 | |
JPH01133324A (ja) | エッチング方法 | |
JPH083002Y2 (ja) | ウエットエッチング装置 | |
JPS5882246A (ja) | パタ−ン形成方法 | |
JPH05224219A (ja) | 薄膜のエッチング方法、液晶表示素子用基板の製造方法およびエッチング装置 | |
JPH07261013A (ja) | カラーフィルタ製造方法およびtft回路製造方法 | |
WO2023244835A1 (en) | Selective wet channels for water drainage applications | |
JPS62148534A (ja) | 微細凹凸表面を有する製品の製法 |