JPH04177861A - Semiconductor device - Google Patents
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- JPH04177861A JPH04177861A JP2306548A JP30654890A JPH04177861A JP H04177861 A JPH04177861 A JP H04177861A JP 2306548 A JP2306548 A JP 2306548A JP 30654890 A JP30654890 A JP 30654890A JP H04177861 A JPH04177861 A JP H04177861A
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- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置に関し、特にゲートアレイの入力保
護回路の構造に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a semiconductor device, and particularly to the structure of an input protection circuit for a gate array.
従来のゲートアレイは第7図に示すように、半導体基板
20に内部セル領域22とその外側に入出力インターフ
ェースを形成する外部セル領域21とパッド1とを配置
した構成となっていた。そしてこのゲートアレイの入力
保護回路は、第10図の平面図及び第9図の等価回路図
に示すように、パッド1と外部セル領域内に形成された
、NMOSトランジスタ領域とPMOSトランジスタ領
域の間にポリシリコン配線20からなる抵抗15と、P
型基板5とN++散層30からなるダイオード11とに
より構成され、パッド1と内部セル領域バッファ13と
の間に接続されていた。As shown in FIG. 7, a conventional gate array has a structure in which an internal cell region 22 is disposed on a semiconductor substrate 20, an external cell region 21 forming an input/output interface, and a pad 1 outside the internal cell region 22. As shown in the plan view of FIG. 10 and the equivalent circuit diagram of FIG. A resistor 15 made of polysilicon wiring 20 and P
It consisted of a type substrate 5 and a diode 11 consisting of an N++ diffused layer 30, and was connected between the pad 1 and the internal cell region buffer 13.
すなわち、外部セル領域内のポリシリコン配線20が抵
抗15を、そしてグランド電位に接続されているP型基
板5内のN+型拡散層を30、アノードを接地したダイ
オード11を構成し、これ等を信号配線7により、パッ
ド1と内部セル領域バッファ13とを接続したものであ
る。That is, the polysilicon wiring 20 in the external cell area constitutes the resistor 15, the N+ type diffusion layer 30 in the P type substrate 5 connected to the ground potential constitutes the diode 11 whose anode is grounded, and these are The pad 1 and the internal cell area buffer 13 are connected by a signal wiring 7.
また第11図の平面図及び第8図の等価回路図に示すよ
うに、外部セル領域の入力保護回路領域内にクランド配
線(GND)に接続されたP型基板5とN+型拡散層を
30の接合面が、アノードを接地したダイオード11を
、そして電源(VDD)に接続されたNウェル6とP+
型拡散層40の接合面がカソードを電源に接続したダイ
オード12を構成し、これ等を信号配線7により、パッ
ド1と内部セル領域バッファ13との間に接続して入力
保護回路を構成するものもある。In addition, as shown in the plan view of FIG. 11 and the equivalent circuit diagram of FIG. The junction plane connects the diode 11 whose anode is grounded, and the N well 6 and P+ connected to the power supply (VDD).
The junction surface of the type diffusion layer 40 constitutes a diode 12 whose cathode is connected to the power supply, and these are connected between the pad 1 and the internal cell area buffer 13 via the signal wiring 7 to constitute an input protection circuit. There is also.
このように従来のゲートアレイの入力保護回路は、外部
セル領域内の入力保護回路領域に構成される素子により
回路が固定されていた。In this manner, the conventional gate array input protection circuit is fixed by elements configured in the input protection circuit area within the external cell area.
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来のゲートアレイの入力保護回路は、入力保
護回路領域に構成される素子により回路が固定されてお
り、第8図に示した入力保護回路を有する半導体装置を
実装した場合、電源が入ったままの装置から、ゲートア
レイを抜き挿しする活線挿抜を行うと、電源(VDD)
またはグランド線(GND)が浮いた状態で信号が入り
、信号線と入力保護用ダイオードとの間に大電流が流れ
、機能しなくなる。[Problems to be Solved by the Invention] In the conventional gate array input protection circuit described above, the circuit is fixed by elements configured in the input protection circuit area, and the semiconductor having the input protection circuit shown in FIG. When the device is mounted, if you perform hot-swapping to insert or remove the gate array from the device while the power is on, the power supply (VDD)
Alternatively, a signal enters with the ground line (GND) floating, causing a large current to flow between the signal line and the input protection diode, causing it to malfunction.
また第9図に示した保護回路を有する半導体装置の場合
、活線挿抜には耐えるが、耐圧が低く、スピードが遅い
。Further, in the case of a semiconductor device having the protection circuit shown in FIG. 9, it can withstand hot insertion and removal, but has a low breakdown voltage and is slow in speed.
このため、どちらの入力保護回路を選択するかにより使
用方法が限定されるという問題点がある。Therefore, there is a problem in that the method of use is limited depending on which input protection circuit is selected.
また、2つの入力保護回路を配線により選択形成できる
ようにするためには、入力保護回路領域の面積を広くし
なげればならないため、集積度が低下する。Furthermore, in order to enable selective formation of two input protection circuits by wiring, the area of the input protection circuit region must be increased, which reduces the degree of integration.
第1の発明の半導体装置は、P型基板の中央部に形成さ
れた内部セル領域と、この内部セル領域の周囲に形成さ
れ、P型基板とゲート電極用の第1のポリシリコン層と
この第1のポリシリコン層により整合して設けられた第
1及び第2のN+型拡散層をからなるNMOS)ランジ
スタ領域とNウェルとゲート電極用の第2のポリシリコ
ン層とこの第2のポリシリコン層により整合して設けら
れた第1及び第2のP1型拡散層とからなるPMOSト
ランジスタ領域とを有する外部セル領域と、この外部セ
ル領域の周囲に設けられたパッドとを備え、配線を形成
することにより前記内部セル領域のバッファと前記パッ
ド間に入力保護回路を形成する半導体装置において、前
記パッドと前記NMOSトランジスタ領域の第1のN+
型拡散層を前記PMOSトランジスタ領域の第1のP+
型拡散層とを接続する信号配線と、前記NMOSトラン
ジスタ領域の第2のN+型拡散領域と第1のポリシリコ
ン層とを接続するグランド配線と、前記PMOSトラン
ジスタ領域の第2のP+型拡散層と第2のポリシリコン
層とを接続する電源配線とを形成したものである。The semiconductor device of the first invention includes an internal cell region formed in the center of a P-type substrate, a first polysilicon layer formed around the internal cell region, and a first polysilicon layer for the P-type substrate and a gate electrode. A transistor region, an N well, a second polysilicon layer for a gate electrode, and a second polysilicon layer for a gate electrode. It is equipped with an external cell region having a PMOS transistor region consisting of first and second P1 type diffusion layers aligned with each other by a silicon layer, and a pad provided around this external cell region, and has a wiring. In the semiconductor device in which an input protection circuit is formed between the buffer in the internal cell region and the pad by forming a first N+ of the pad and the NMOS transistor region.
A type diffusion layer is formed in the first P+ region of the PMOS transistor region.
a signal wiring connecting the type diffusion layer, a ground wiring connecting the second N+ type diffusion region of the NMOS transistor region and the first polysilicon layer, and a second P+ type diffusion layer of the PMOS transistor region. A power supply wiring connecting the first polysilicon layer and the second polysilicon layer is formed.
第2の発明の半導体装置は、P型基板の中央部に形成さ
れた内部セル領域と、この内部セル領域の周囲に形成さ
れ、P型基板とゲート電極用のポリシリコン層とこの茶
÷←ポリシリコン層により整合して設けられた第1及び
第2のN+型拡散層をからなるNMOS)ランジスタ領
域を有する外部セル領域と、この外部セル領域の周囲に
設けられたパッドとを備え、配線を形成することにより
前記内部セル領域のバッファと前記パッド間に入力保護
回路を形成する半導体装置において、前記パッドと前記
NMOSトランジスタ領域の第1及び第2のN+型拡散
層を接続する信号配線を形成したものである。The semiconductor device of the second invention includes an internal cell region formed in the center of a P-type substrate, a polysilicon layer formed around this internal cell region, and a polysilicon layer for the P-type substrate and a gate electrode. It includes an external cell region having an NMOS (NMOS) transistor region consisting of first and second N+ type diffusion layers aligned with each other by a polysilicon layer, and a pad provided around the external cell region. In the semiconductor device in which an input protection circuit is formed between the buffer in the internal cell region and the pad by forming a signal wiring connecting the pad and the first and second N+ type diffusion layers in the NMOS transistor region. It was formed.
第3の発明の半導体装置は、P型基板の中央部に形成さ
れた内部セル領域と、この内部セル領域の周囲に形成さ
れ、P型基板とゲート電極用の第1のポリシリコン層と
この第1のポリシリコン層により整合して設けられた第
1及び第2のN+型拡散層をからなるNMOS)ランジ
スタ領域とNウェルとゲート電極用の第2のポリシリコ
ン層とこの第2のポリシリコン層により整合して設けら
れた第1及び第2のP+型拡散層とからなるPMOSト
ランジスタ領域とを有する外部セル領域と、この外部セ
ル領域の周囲に設けられたパッドとを備え、配線を形成
することにより前記内部セル領域のバッファと前記パッ
ド間に入力保護回路を形成する半導体装置において、前
記パッドと前記NMOSトランジスタ領域の第1及び第
2のN+型拡散層を前記PMOSトランジスタ領域の第
1及び第2のP+型拡散層とを接続する信号配線を形成
したものである。A semiconductor device according to a third aspect of the invention includes an internal cell region formed in the center of a P-type substrate, a first polysilicon layer formed around the internal cell region, and a first polysilicon layer for the P-type substrate and a gate electrode. A transistor region, an N well, a second polysilicon layer for a gate electrode, and a second polysilicon layer for a gate electrode. It includes an external cell region having a PMOS transistor region consisting of first and second P+ type diffusion layers aligned with each other by a silicon layer, and a pad provided around this external cell region, and has a wiring. In the semiconductor device in which an input protection circuit is formed between the buffer in the internal cell region and the pad, the first and second N+ type diffusion layers in the pad and the NMOS transistor region are connected to the first and second N+ type diffusion layers in the PMOS transistor region. A signal wiring is formed to connect the first and second P+ type diffusion layers.
第4の発明の半導体装置は、P型基板の中央部に形成さ
れた内部セル領域と、この内部セル領域の周囲に形成さ
れ、P型基板とゲート電極用の第1のポリシリコン層と
この第1のポリシリコン層により整合して設けられた第
1及び第2のN+型拡散層をからなるNMOS)ランジ
スタ領域とNウェルとゲート電極用の第2のポリシリコ
ン層とこの第2のポリシリコン層により整合して設けら
れた第1及び第2のP+型拡散層とからなるPMOSト
ランジスタ領域とを有する外部セル領域と、この外部セ
ル領域の周囲に設けられたパッドとを備え、配線を形成
することにより前記内部セル領域のバッファと前記パッ
ド間に入力保護回路を形成する半導体装置において、前
記パッドと前記PMOSトランジスタ領域の第2のポリ
シリコン層の一端とこの第2のポリシリコン層の他端と
前記NMOSトランジスタ領域の第1及び第2のN−型
拡散領域とを接続する信号配線とを形成したものである
。A semiconductor device according to a fourth aspect of the present invention includes an internal cell region formed in the center of a P-type substrate, a first polysilicon layer formed around the internal cell region, and a first polysilicon layer for the P-type substrate and a gate electrode. A transistor region, an N well, a second polysilicon layer for a gate electrode, and a second polysilicon layer for a gate electrode. It includes an external cell region having a PMOS transistor region consisting of first and second P+ type diffusion layers aligned with each other by a silicon layer, and a pad provided around this external cell region, and has a wiring. In the semiconductor device in which an input protection circuit is formed between the buffer in the internal cell region and the pad by forming an input protection circuit between the pad and one end of the second polysilicon layer in the PMOS transistor region and the second polysilicon layer. A signal wiring is formed to connect the other end to the first and second N- type diffusion regions of the NMOS transistor region.
次に本発明について図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be explained with reference to the drawings.
第1図は本発明の詳細な説明するための外部セル領域内
のバッファ領域の平面図、第2図は本発明の第1の実施
例を説明するためのバッファ領域の平面図であり、第8
図の入力保護回路を配線により構成した場合を示してい
る。FIG. 1 is a plan view of a buffer area in an external cell area for explaining the present invention in detail, FIG. 2 is a plan view of a buffer area for explaining a first embodiment of the present invention, and FIG. 8
This shows a case where the input protection circuit shown in the figure is configured by wiring.
第1図においてP型基板5には、P型基板5とゲート電
極用の第1のポリシリコン層2Aとこの第1のポリシリ
コン層2Aにより整合して設けられた第1及び第2のN
+型拡散層を3A3BとからなるNMOSトランジスタ
領域とNウェル6とケート電極用の第2のポリシリコン
層2Bとこの第2のポリシリコン層2Bにより整合して
設けられた第1及び第2のP”型拡散層4A、4Bとか
らなるPMO3)ランシスタ領域とを有する外部セル領
域と、この外部セル領域の周囲に設けられたパット1が
形成されている。In FIG. 1, a P-type substrate 5 includes a first polysilicon layer 2A for a gate electrode, and first and second N-type substrates provided in alignment with each other by this first polysilicon layer 2A.
An NMOS transistor region consisting of a + type diffusion layer 3A3B, an N well 6, a second polysilicon layer 2B for a gate electrode, and first and second polysilicon layers aligned with each other by this second polysilicon layer 2B. An external cell region having a PMO3) runcisor region consisting of P" type diffusion layers 4A and 4B, and a pad 1 provided around this external cell region are formed.
このP型基板5上に第2図に示すように、パッド1とN
MOSトランジスタ領域の第1のN+型拡散層を3AP
MOSトランジスタ領域の第1のP+型拡散層4Aとを
コンタクト8で接続する信号配線7と、NMOSトラン
ジスタ領域の第2ON+型拡散領域3Bと第1のポリシ
リコン層2Aとをコンタクト8で接続するグランド配線
9及び、PMO3)ランジスタ領域の第2のP“型拡散
層4Bと第2のポリシリコン層2Bとをフンタクト8で
接続する電源配線10とを形成する。As shown in FIG. 2, pads 1 and N
The first N+ type diffusion layer in the MOS transistor region is 3AP
A signal wiring 7 that connects the first P+ type diffusion layer 4A in the MOS transistor region with the contact 8, and a ground that connects the second ON+ type diffusion region 3B of the NMOS transistor region and the first polysilicon layer 2A with the contact 8. A wiring 9 and a power supply wiring 10 connecting the second P" type diffusion layer 4B and the second polysilicon layer 2B in the PMO3 transistor region with a contact 8 are formed.
グランF’(GND)配線に接続されたP型基板5と第
2のN”型拡散層3Bとの接合面が7ノードを接地した
ダイオード11を、電源(VDD)に接続されたNウェ
ル6とP+拡散層4Bとの接合面がカソードを電源(V
DD)に接続したタイオード12を構成し、パッド1と
第1のN+型拡散層を3A第1のP+型拡散層4Aと内
部セル領域バッファ13との間を信号配線7で接続する
こた場合を示す。NMOSトランジスタ領域の第1のN
+型拡散層を3A一端とパッド1がコンタクト8を介し
て信号配線7Aにより接続され、そのN+型拡散層を3
A他端と第2のN“型拡散層3Bの一端が信号配線7B
により接続され、第2のN+型拡散層を3B他端ともう
1つの第1のN++散層3Aの一端が信号配線7Cによ
り接続され、そのN”型拡散層3Aの他端と内部セル領
域バッファ13が配線7Dにより接続される。The junction surface of the P type substrate 5 and the second N'' type diffusion layer 3B connected to the ground F' (GND) wiring connects the diode 11 whose node is grounded to the N well 6 connected to the power supply (VDD). The junction surface between P+ diffusion layer 4B connects the cathode to the power source (V
DD), and the pad 1 and the first N+ type diffusion layer are connected by the signal wiring 7 between the first P+ type diffusion layer 4A and the internal cell area buffer 13. shows. The first N of the NMOS transistor region
One end of the + type diffusion layer 3A and the pad 1 are connected by the signal wiring 7A via the contact 8, and the N+ type diffusion layer is connected to the pad 1 through the contact 8.
The other end of A and one end of the second N" type diffusion layer 3B are the signal wiring 7B.
The other end of the second N+ type diffusion layer 3B and one end of another first N++ diffusion layer 3A are connected by a signal wiring 7C, and the other end of the N'' type diffusion layer 3A and the internal cell area are connected by a signal wiring 7C. Buffer 13 is connected by wiring 7D.
NMO3)ランシスタ領域の第1及び第2のN++散層
3A、3Bの一端から他端までの拡散層抵抗が抵抗15
を、第1及び第2のN+型拡散層を3A3Bに接地され
たP型基板5との接合面がアノードを接地したダイオー
ド1で7構成し、パラ(ドIと抵抗15の一端、抵抗1
5の他端と内部上方保護回路を構成する。NMO3) The diffusion layer resistance from one end to the other end of the first and second N++ diffused layers 3A and 3B of the Lancistor region is resistance 15.
The first and second N+ type diffusion layers are made up of a diode 1 whose anode is grounded and whose junction surface with the P type substrate 5 is grounded to 3A3B.
5 and constitutes an internal upper protection circuit.
第5図は本発明の第3の実施例のバッファ領域の平面図
であり、第8図の入力保護回路を構成した場合を示す。FIG. 5 is a plan view of a buffer area according to a third embodiment of the present invention, showing a case in which the input protection circuit of FIG. 8 is configured.
電源に接続されたNウェル6と第1及び第2のP+型拡
散層4A、4Bとでダイオード12を、そしてグランド
配線に接続されたP型基板5と第1及び第2のN+型拡
散層を3A3Bとでダイオード11を形成し、これらを
信号配線7によりパッドlと内部セル領域バッファ13
間に接続して入力保護回路を構成している。A diode 12 is formed by the N well 6 connected to the power supply and the first and second P+ type diffusion layers 4A and 4B, and the P type substrate 5 and the first and second N+ type diffusion layers are connected to the ground wiring. 3A3B to form a diode 11, and these are connected to pad l and internal cell area buffer 13 by signal wiring 7.
The input protection circuit is configured by connecting between the two terminals.
第6図は本発明の第4の実施例のバッファ領域の平面図
である。PMOSトランジスタ領域の第2のポリシリコ
ン層2Bの配線抵抗により抵抗15を、接地したP型基
板5と第1及び第2のN+型拡散層を3A3Bとの接合
面が7ノードを接地したタイオード11を構成し、第9
図に示した入力保護回路を構成する。FIG. 6 is a plan view of a buffer area according to a fourth embodiment of the present invention. The resistor 15 is connected to the wiring resistance of the second polysilicon layer 2B in the PMOS transistor region, and the junction surface between the grounded P-type substrate 5 and the first and second N+ type diffusion layers 3A3B is a diode 11 whose 7 nodes are grounded. constitutes the ninth
Configure the input protection circuit shown in the figure.
以上説明したように本発明は、ゲートアレイの外部セル
領域におけるNMOSトランジスタ領域とPMOSトラ
ンジスタ領域を有する同一下地のバッファ領域に、必要
な配線パターンを形成することにより、使用目的に合っ
た入力保護回路を構成できる効果を有する。As explained above, the present invention provides an input protection circuit suitable for the purpose of use by forming a necessary wiring pattern in a buffer region of the same base having an NMOS transistor region and a PMOS transistor region in an external cell region of a gate array. It has the effect of being able to configure.
第1図は本発明の詳細な説明するためのバッファ領域の
平面図、第2図は本発明の第1の実施例のバッファ領域
の平面図、第3図及び第4図は本発明の第2の実施例の
バッファ領域の平面図及び等価回路図、第5図及び第6
図は本発明の第3及び第4の実施例のバッファ領域の平
面図、第7図はゲートアレイを説明するための半導体チ
ップの平面図、第8図及び第9図は実施例を説明するた
めの回路図、第10図及び第11図は従来の半導体装置
のバッファ領域の平面図である。
■・・・・・・パッド、2A・・・・・第1のポリシリ
コン層、2B・・・・第2のポリシリコン層、3A・・
・・第1のN“型拡散層、3B・・・・・第2のN+型
拡散層を4A・・・・・第1のP+型拡散層、4B・・
・第2のP+型拡散層、5・・・・・・P型基板、6・
・・・・・Nウェノペ 7゜7A〜7F・・・・・・信
号配線、8・・・・・・コンタクト、9・・・・・・ク
ランド配線、10・・・・・・電源配線、11゜11A
・・・・・・ダイオード、12・・・・・・タイオード
、13・・・・・内部セル領域バッファ、15.15A
・・・・・抵抗、20・・・・・半導体基板、21・・
・・・・外部セル領域、22・・・・・・内部セル領域
、30・・・・・・N“型拡散層。
代理人 弁理士 内 原 音
3A 第1のN+型拡敷贋 乙jNウェル38
12のN+型砿敷眉
第1図
第2図
第3図
第4図
第5図
7E、 7F : Ci’Je&
第6図
第7図
第8図 第7図
20、’t:’)シ’)コアfAIK 30’、N
”131−rJ第10図
第11図FIG. 1 is a plan view of the buffer area for explaining the present invention in detail, FIG. 2 is a plan view of the buffer area of the first embodiment of the invention, and FIGS. 3 and 4 are the plan views of the buffer area of the first embodiment of the invention. Plan view and equivalent circuit diagram of the buffer area of the second embodiment, FIGS. 5 and 6
The figure is a plan view of the buffer region of the third and fourth embodiments of the present invention, FIG. 7 is a plan view of the semiconductor chip for explaining the gate array, and FIGS. 8 and 9 are for explaining the embodiments. 10 and 11 are plan views of a buffer region of a conventional semiconductor device. ■...Pad, 2A...First polysilicon layer, 2B...Second polysilicon layer, 3A...
...First N" type diffusion layer, 3B... Second N+ type diffusion layer, 4A... First P+ type diffusion layer, 4B...
・Second P+ type diffusion layer, 5...P type substrate, 6.
...N Wenope 7゜7A~7F...Signal wiring, 8...Contact, 9...Cland wiring, 10...Power supply wiring, 11°11A
... Diode, 12 ... Diode, 13 ... Internal cell area buffer, 15.15A
...Resistor, 20...Semiconductor substrate, 21...
...External cell area, 22...Internal cell area, 30...N" type diffusion layer. Agent Patent attorney Uchihara Oto 3A First N+ type expansion counterfeit OtsujN Well 38
12's N+ type kaikishiki eyebrows Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 7E, 7F: Ci'Je & Figure 6 Figure 7 Figure 8 Figure 7 20, 't:') し' ) Core fAIK 30', N
"131-rJFigure 10Figure 11
Claims (1)
の内部セル領域の周囲に形成され、P型基板とゲート電
極用の第1のポリシリコン層とこの第1のポリシリコン
層により整合して設けられた第1及び第2のN^+型拡
散層とからなるNMOSトランジスタ領域とNウェルと
ゲート電極用の第2のポリシリコン層とこの第2のポリ
シリコン層により整合して設けられた第1及び第2のP
^+型拡散層とからなるPMOSトランジスタ領域とを
有する外部セル領域と、この外部セル領域の周囲に設け
られたパッドとを備え、配線を形成することにより前記
内部セル領域のバッファと前記パッド間に入力保護回路
を形成する半導体装置において、前記パッドと前記NM
OSトランジスタ領域の第1のN^+型拡散層と前記P
MOSトランジスタ領域の第1のP^+型拡散層とを接
続する信号配線と、前記NMOSトランジスタ領域の第
2のN^+型拡散領域と第1のポリシリコン層とを接続
するグランド配線と、前記PMOSトランジスタ領域の
第2のP^+型拡散層と第2のポリシリコン層とを接続
する電源配線とを形成したことを特徴とする半導体装置
。 2、P型基板の中央部に形成された内部セル領域と、こ
の内部セル領域の周囲に形成され、P型基板とゲート電
極用のポリシリコン層とこのポリシリコン層により整合
して設けられた第1及び第2のN^+型拡散層とからな
るNMOSトランジスタ領域を有する外部セル領域と、
この外部セル領域の周囲に設けられたパッドとを備え、
配線を形成することにより前記内部セル領域のバッファ
と前記パッド間に入力保護回路を形成する半導体装置に
おいて、前記パッドと前記NMOSトランジスタ領域の
第1及び第2のN^+型拡散層を接続する信号配線を形
成したことを特徴とする半導体装置。 3、P型基板の中央部に形成された内部セル領域と、こ
の内部セル領域の周囲に形成され、P型基板とゲート電
極用の第1のポリシリコン層とこの第1のポリシリコン
層により整合して設けられた第1及び第2のN^+型拡
散層とからなるNMOSトランジスタ領域とNウェルと
ゲート電極用の第2のポリシリコン層とこの第2のポリ
シリコン層により整合して設けられた第1及び第2のP
^+型拡散層とからなるPMOSトランジスタ領域とを
有する外部セル領域と、この外部セル領域の周囲に設け
られたパッドとを備え、配線を形成することにより前記
内部セル領域のバッファと前記パッド間に入力保護回路
を形成する半導体装置において、前記パッドと前記NM
OSトランジスタ領域の第1及び第2のN^+型拡散層
と前記PMOSトランジスタ領域の第1及び第2のP^
+型拡散層とを接続する信号配線を形成したことを特徴
とする半導体装置。 4、P型基板の中央部に形成された内部セル領域と、こ
の内部セル領域の周囲に形成され、P型基板とゲート電
極用の第1のポリシリコン層とこの第1のポリシリコン
層により整合して設けられた第1及び第2のN^+型拡
散層とからなるNMOSトランジスタ領域とNウェルと
ゲート電極用の第2のポリシリコン層とこの第2のポリ
シリコン層により整合して設けられた第1及び第2のP
^+型拡散層とからなるPMOSトランジスタ領域とを
有する外部セル領域と、この外部セル領域の周囲に設け
られたパッドとを備え、配線を形成することにより前記
内部セル領域のバッファと前記パッド間に入力保護回路
を形成する半導体装置において、前記パッドと前記PM
OSトランジスタ領域の第2のポリシリコン層の一端と
この第2のポリシリコン層の他端と前記NMOSトラン
ジスタ領域の第1及び第2のN^+型拡散領域とを接続
する信号配線とを形成したことを特徴とする半導体装置
。[Claims] 1. An internal cell region formed in the center of a P-type substrate, a first polysilicon layer formed around this internal cell region, and a first polysilicon layer for the P-type substrate and a gate electrode; An NMOS transistor region consisting of first and second N^+ type diffusion layers provided in alignment with each other by a first polysilicon layer, an N well, a second polysilicon layer for a gate electrode, and this second polysilicon layer. first and second P aligned with each other by a silicon layer;
An external cell region having a PMOS transistor region consisting of a ^+ type diffusion layer, and a pad provided around this external cell region, and by forming a wiring, a connection between the buffer in the internal cell region and the pad is provided. In a semiconductor device in which an input protection circuit is formed in a semiconductor device, the pad and the NM
The first N^+ type diffusion layer in the OS transistor region and the P
a signal wiring connecting the first P^+ type diffusion layer of the MOS transistor region; a ground wiring connecting the second N^+ type diffusion region of the NMOS transistor region and the first polysilicon layer; A semiconductor device characterized in that a power supply wiring connecting the second P^+ type diffusion layer in the PMOS transistor region and the second polysilicon layer is formed. 2. An internal cell region formed in the center of the P-type substrate and a polysilicon layer formed around this internal cell region and aligned with the P-type substrate and the polysilicon layer for the gate electrode. an external cell region having an NMOS transistor region including first and second N^+ type diffusion layers;
A pad provided around this external cell area,
In a semiconductor device in which an input protection circuit is formed between a buffer in the internal cell region and the pad by forming a wiring, the pad is connected to the first and second N^+ type diffusion layers in the NMOS transistor region. A semiconductor device characterized by forming signal wiring. 3. An internal cell region formed in the center of the P-type substrate, a first polysilicon layer formed around this internal cell region, and formed by the P-type substrate and the first polysilicon layer for the gate electrode. An NMOS transistor region consisting of first and second N^+ type diffusion layers provided in alignment, an N well, a second polysilicon layer for gate electrode, and an NMOS transistor region formed in alignment with each other by this second polysilicon layer. The first and second P provided
An external cell region having a PMOS transistor region consisting of a ^+ type diffusion layer, and a pad provided around this external cell region, and by forming a wiring, a connection between the buffer in the internal cell region and the pad is provided. In a semiconductor device in which an input protection circuit is formed in a semiconductor device, the pad and the NM
The first and second N^+ type diffusion layers in the OS transistor region and the first and second P^ type diffusion layers in the PMOS transistor region.
A semiconductor device characterized in that a signal wiring is formed to connect to a + type diffusion layer. 4. An internal cell region formed in the center of the P-type substrate, a first polysilicon layer formed around the internal cell region, the P-type substrate, a first polysilicon layer for a gate electrode, and this first polysilicon layer. An NMOS transistor region consisting of first and second N^+ type diffusion layers provided in alignment, an N well, a second polysilicon layer for gate electrode, and an NMOS transistor region formed in alignment with each other by this second polysilicon layer. The first and second P provided
An external cell region having a PMOS transistor region consisting of a ^+ type diffusion layer, and a pad provided around this external cell region, and by forming a wiring, a connection between the buffer in the internal cell region and the pad is provided. In the semiconductor device in which an input protection circuit is formed in the semiconductor device, the pad and the PM
Forming a signal wiring connecting one end of the second polysilicon layer in the OS transistor region, the other end of the second polysilicon layer, and the first and second N^+ type diffusion regions in the NMOS transistor region. A semiconductor device characterized by:
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