[go: up one dir, main page]

JPH04152280A - Inspection sequence setting device for mobile probe type circuit board inspection device - Google Patents

Inspection sequence setting device for mobile probe type circuit board inspection device

Info

Publication number
JPH04152280A
JPH04152280A JP2278159A JP27815990A JPH04152280A JP H04152280 A JPH04152280 A JP H04152280A JP 2278159 A JP2278159 A JP 2278159A JP 27815990 A JP27815990 A JP 27815990A JP H04152280 A JPH04152280 A JP H04152280A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
inspection order
exploration
steps
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2278159A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3034583B2 (en
Inventor
Toshie Koizumi
小泉 敏衛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hioki EE Corp
Original Assignee
Hioki EE Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hioki EE Corp filed Critical Hioki EE Corp
Priority to JP2278159A priority Critical patent/JP3034583B2/en
Publication of JPH04152280A publication Critical patent/JPH04152280A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3034583B2 publication Critical patent/JP3034583B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable an inspection sequence setting time be shortened by serially determining an inspection sequence while sequentially obtaining nearest distant steps after the definition of a step corresponding to the first inspection part. CONSTITUTION:A plurality of measurement points corresponding to every part on an inspected circuit board are grouped as one step, and an inspection first step as a probe start point is determined by an inspection first step determination means 42. A nearest step detection means 44 obtains a distance indicated with maximum axis component data for every probing step, using a step having a newly determined inspection turn as a reference step, and the longest distance obtainable therefrom determines the shortest probing step as the next inspection object. Also, steps for the nearest distance are serially obtained until a step with an uncertain inspection turn disappears via an inspection sequence setting control means 46. The inspection sequence is thereby determined serially and written in memory 36, thereby enabling the final inspection sequence to be established.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はプローブを移動するX−Yユニットを備えたイ
ンサーキットテスタ等のプローブ移動式回路基板検査装
置用検査順設定装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a test order setting device for a probe-moving circuit board testing device such as an in-circuit tester equipped with an X-Y unit for moving a probe.

従来の技術 従来、実装基板即ち多数の電気部品を半田付けしたプリ
ント基板には各種の回路基板検査装置を用いて、その基
板の必要な測定点に適宜プローブを接触させ、それ等の
各部品の電気的測定により基板の良否を判定している。
Conventional technology Conventionally, various circuit board inspection devices are used for mounted boards, that is, printed circuit boards to which many electrical components are soldered, and probes are brought into contact with the necessary measurement points on the board as appropriate to measure the quality of each component. The quality of the board is determined by electrical measurement.

特に、被検査基板を設置する測定用テーブル上にサーボ
モータ等により駆動されるX−Yユニットを設置したも
のは、その案内レールに治って可動するアームの可動部
でプロー1を支持しているので、そのX−Yユニットを
制御すると、プロー7を基板の上方からX軸、Y軸、Z
軸方向にそれぞれ適宜移動して、予め設定された各測定
点に順次接触できるため専用の治具を必要とせず、多品
種生産に好都合である。
In particular, in the case where an X-Y unit driven by a servo motor or the like is installed on the measurement table on which the board to be inspected is placed, the prow 1 is supported by the movable part of the arm that moves on the guide rail. Therefore, by controlling the X-Y unit, the plow 7 can be moved from above the board to the X-axis, Y-axis, and Z-axis.
Since it can move appropriately in the axial direction and sequentially contact each preset measurement point, a dedicated jig is not required, which is convenient for producing a wide variety of products.

尤も、そのためには前もって被検査基板の各測定点のX
−Y座標データをそれぞれ検知しておかなければならな
い。そこで、一般にはX−Yユニットのプローブをマニ
ュアル操作するティーチングにより、又は座標読取装置
であるデジタイザを用い、或いはCADデータを用いて
各測定点のXY座標データを得ている。又、被検査基板
1枚当りの検査時間を短縮するように、プローブを接触
させる各測定点の検査順番を設定しなければならない。
Of course, in order to do this, it is necessary to measure the
-Y coordinate data must be detected respectively. Therefore, generally, the XY coordinate data of each measurement point is obtained by teaching by manually operating the probe of the XY unit, by using a digitizer which is a coordinate reading device, or by using CAD data. Furthermore, the testing order of each measurement point to which the probe is brought into contact must be set so as to shorten the testing time per board to be tested.

何故なら、1枚当りの部品数が多くなり、1000個程
になると、検査時間の大半がプローブの移動(賀される
からである。
This is because when the number of parts per sheet increases to about 1,000, most of the inspection time is spent moving the probe.

発明が解決しようとする課題 しかしながら、このような検査順番の設定を行う際、最
短距離の移動で済むようにしようとしても、一般に最短
経路問題は計輝に莫大な時間がかかることが明らかであ
る。しかも、プローブ移動式の回路基板検査装置では1
部品毎に複数点を同時に測定しなければならない。例え
ば、第13図に示された被検査基板の回路において、部
品R1の抵抗測定を行なう時には、各点01.02と部
品R1間にそれぞれプローブを接触させ、点O1側を高
電位側の測定点、点02側をアース側の測定点にするが
、余分な電流を測定回路につながる点02側のプローブ
に流さないようにするため、必要に応じ点03をガーデ
ィングポイントに指定し、そこにアース電位のプローブ
を接触する。なお、ガーディンクポイントは多ければ多
いほどよい。このため、−層計騨が複雑となって検査順
番の設定に時間がかかり過ぎ、例え検査時間が短縮され
ても意味がなくなる。
Problems to be Solved by the Invention However, when setting such an inspection order, it is clear that the shortest path problem generally takes an enormous amount of time to calculate, even if you try to move the shortest distance. . Moreover, with a moving probe type circuit board inspection device, 1
Multiple points must be measured simultaneously for each part. For example, when measuring the resistance of component R1 in the circuit of the tested board shown in FIG. Point 02 is the measurement point on the ground side, but in order to prevent excess current from flowing to the probe on the point 02 side that connects to the measurement circuit, specify point 03 as a guarding point if necessary. Touch the ground potential probe to the Note that the more guard points you have, the better. For this reason, the layer gauge structure becomes complicated and it takes too much time to set the inspection order, so even if the inspection time is shortened, it is meaningless.

本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたも
のであり、検査時間の短縮化と検査順設定制御手段の短
縮化を共に考慮することにより、多品種少量生産の回路
基板の検査にも好適なプローブ移動式回路基板検査装置
用検査順設定装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made by focusing on these conventional problems, and by taking into consideration both the shortening of the inspection time and the shortening of the inspection order setting control means, it is possible to inspect circuit boards produced in high-mix, low-volume production. It is an object of the present invention to provide an inspection order setting device for a probe movable circuit board inspection device, which is also suitable for use in a moving probe type circuit board inspection device.

課題を解決するための手段 上記目的を達成するための手段を、以下本発明を明示す
る第1図、第2図を用いて説明する。
Means for Solving the Problems Means for achieving the above object will be explained below with reference to FIGS. 1 and 2 which clearly illustrate the present invention.

このプローブ移動式回路基板検査装置用検査順設定装置
は被検査基板上に存在する測定点の各XY座標データを
メモリ36に書き込み、各部品毎に対応する複数の測定
点を1ステップとしてそれぞれグループ化し、検査時に
回路基板検査装置10に備えた複数のX−Yユニットの
各プローブが移動するステップの順番を設定するものに
係る。
This inspection order setting device for a probe moving circuit board inspection device writes the XY coordinate data of each measurement point existing on the board to be inspected in the memory 36, and groups a plurality of measurement points corresponding to each component as one step. The present invention relates to setting the order of steps in which each probe of a plurality of XY units provided in the circuit board inspection apparatus 10 moves during inspection.

そして、上記被検査基板の全ステップ中からプローブ移
動の起点になる検査第1番のステップを決定する検査第
1ステップ決定手段42と、新規に検査順番が定まった
ステップを基準ステップとし、その基準ステップと既に
検査順番が定まっているステップを除く他の各探査ステ
ップとの間で、各探査ステップ毎に基準ステップの複数
の測定点と探査ステップの複数の測定点とで、座標位置
が対応する両測定点毎に両測定点間のX軸成分データ、
Y軸成分データで示される各距離をそれぞれ算出し、各
探査ステップ毎に最大の軸成分データで示された距離を
求めて、それ等の距離を比較し、その最長距離が最短の
探査ステップを次の検査順番に決定する最近ステップ検
出手段44と、それ等の各手段42.44により、検査
順番未確定のステップがなくなるまで順次検査順番を決
定させ、各ステップの検査順番をメモリ36に書き込む
検査類設定1Fi111[1手段46とを備えるもので
ある。
The inspection first step determining means 42 determines the inspection step No. 1 which is the starting point of the probe movement from among all the steps of the board to be inspected, and the step for which the inspection order is newly determined is set as a reference step, and the step is determined as a reference step. Between the step and each other exploration step except for steps for which the inspection order has already been determined, the coordinate positions of multiple measurement points of the reference step and multiple measurement points of the exploration step correspond for each exploration step. X-axis component data between both measurement points for each measurement point,
Calculate each distance indicated by the Y-axis component data, find the distance indicated by the maximum axis component data for each exploration step, compare these distances, and select the exploration step whose longest distance is the shortest. The most recent step detection means 44 for determining the next inspection order and each of these means 42 and 44 sequentially determine the inspection order until there are no steps whose inspection order has not yet been determined, and write the inspection order of each step in the memory 36. The inspection type setting 1Fi 111 [1 means 46 is provided.

又は、上記被検査基板の各ステップ毎に、1ステップに
属する複数の測定点の各X−Y座標データから各X座標
データ、各Y座標データに付き、それぞれ算術平均デー
タを算出して、複数の測定点を代表する点のX−Y座標
データを求めるステップ代表座標検出手段48と、被検
査基板の全ステップ中からプローブ移動の起点になる検
査第1番のステップを決定する検査第1ステップ決定手
段50と、新規に検査順番が定まったステップを基準ス
テップとし、その基準ステップと既に検査順番が定まっ
ているステップを除く他の各探査ステップとの間で、各
探査ステップ毎に基準ステップの代表点と探査ステップ
の代表点との間の直線距離をそれぞれ算出し、それ等の
距離を比較して、基準ステップから最短距離にある探査
ステップを次の検査順番に決定する最近ステップ検出手
段52と、それ等の後方2手段50.52により、検査
順番未確定のステップがなくなるまで順次検査順番を決
定させ、各ステップの検査順番をメモリ36に書き込む
検査順設定制御手段54とを備えるものである。
Alternatively, for each step of the board to be inspected, arithmetic average data is calculated for each X coordinate data and each Y coordinate data from each X-Y coordinate data of a plurality of measurement points belonging to one step, and step of obtaining X-Y coordinate data of a point representative of the measurement points of the representative coordinate detection means 48; and a first inspection step of determining the first inspection step, which is the starting point of the probe movement, from among all the steps of the board to be inspected. The determination means 50 sets the step for which the inspection order has been newly determined as a reference step, and determines the reference step for each exploration step between that reference step and each exploration step other than the step for which the inspection order has already been determined. Most recent step detection means 52 that calculates the straight-line distance between the representative point and the representative point of the exploration step, compares these distances, and determines the exploration step that is the shortest distance from the reference step for the next inspection order. and an inspection order setting control means 54 that causes the rear two means 50 and 52 to sequentially determine the inspection order until there are no steps whose inspection order is undetermined, and writes the inspection order of each step in the memory 36. be.

作用 上記のように構成し、被検査基板上の各部品毎に対応す
る複数の測定点を1ステップとしてそれぞれグループ化
した後、検査第1ステップ決定手段42で、プローブ移
動の起点(なる検査第1番のステップを決定し、最近ス
テップ検出手段44で、新規に検査順番が定まったステ
ップを基準ステップとし、その基準ステップと既に検査
順番が定まっているステップを除く他の各探査ステップ
との間で、各探査ステップ毎に最大の軸成分データで示
された距離を求めて、その最長距離が最短の探査ステッ
プを次の検査順番に決定する。そこで、検査順設定制御
手段46により、検査順番未確定のステップがなくなる
まで、次から次へと最も近い距離にあるステップを求め
て、順次検査順番を決定させ、各ステップの検査順番を
メモリ36に書き込んで行くと、検査順番が設定できる
Operation After having the above-mentioned structure and grouping a plurality of measurement points corresponding to each component on the board to be inspected as one step, the inspection first step determining means 42 determines the starting point of probe movement (inspection first step). The step No. 1 is determined, and the step for which the inspection order has been newly determined by the recent step detection means 44 is set as the reference step, and the interval between the reference step and each other exploration step except for the step for which the inspection order has already been determined is determined. Then, the distance indicated by the maximum axis component data is determined for each exploration step, and the exploration step with the longest distance and the shortest is determined as the next inspection order.Therefore, the inspection order setting control means 46 controls the inspection order. The inspection order can be set by finding the closest step one after another until there are no undetermined steps, determining the inspection order one by one, and writing the inspection order of each step into the memory 36.

又、ステップ代表座標検出手段48で、被検査基板の各
ステップ毎に複数の測定点を代表する点のX−Y座標デ
ータを求め、検査第1ステップ決定手段50でプローブ
移動の起点となる検査第1番のステップを決定し、最近
ステップ検出手段52で、新規に検査順番が定まったス
テップを基準ステップとし、その基準ステップの代表点
と既に検査順番が定まっているステップを除く他の各探
査ステップの代表点との間で、各探査ステップ毎に直線
距離を求めて、その最短距離にある探査ステップを次の
検査順番に決定する。そこで、検査順設定制御手段54
により、検査順番未確定のステップがなくなるまで、次
から次へと最も近い距離にあるステップを求めて、順次
検査順番を決定させ、各ステップの検査順番をメモリ3
6に書き込んで行くと、検査順番が設定できる。
Further, the step representative coordinate detection means 48 obtains the X-Y coordinate data of a point representing a plurality of measurement points for each step of the substrate to be inspected, and the inspection first step determination means 50 determines the X-Y coordinate data of a point representing the plurality of measurement points for each step of the board to be inspected. The first step is determined, and the step for which the inspection order has been newly determined by the recent step detection means 52 is set as the reference step, and the representative point of the reference step and each other exploration except for the steps for which the inspection order has already been determined are determined. The straight line distance from the representative point of the step is determined for each exploration step, and the exploration step with the shortest distance is determined for the next inspection order. Therefore, the inspection order setting control means 54
The steps closest to each other are determined one after another until there are no steps whose inspection order is undetermined.The inspection order of each step is stored in the memory 3.
By writing in 6, you can set the inspection order.

実施例 以下、添付図面に基づいて、本発明の詳細な説明する。Example Hereinafter, the present invention will be described in detail based on the accompanying drawings.

第3図は本発明を適用したプローブ移動式インサーキッ
トテスタの構成を示すブロック図である図中、10はイ
ンサーキットテスタ、12.1416はその測定用テー
ブル上にそれぞれ設置した3組の各X−Yユニットに備
え付けた第1、第2、第3のプローブである。これ等の
プローブ12.14.16はいずれもスキャナ18を介
して、適宜電圧、電流等の信号源20、測定回路22、
及びアース24に接続可能となっている。又、26はX
−Y−Z駆動回路、28は入出力機器である。
FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of a moving probe in-circuit tester to which the present invention is applied. - They are the first, second, and third probes attached to the Y unit. All of these probes 12, 14, 16 are connected via a scanner 18 to a signal source 20 of voltage, current, etc., a measuring circuit 22,
and can be connected to earth 24. Also, 26 is X
-YZ drive circuit; 28 is an input/output device;

このX−Y−Z駆動回路26は3組のX−Yユニットに
、それぞれ備えたサーボモータ等を駆動し、各プローブ
12.14.16をX軸、Y軸、Z軸方向等にそれぞれ
測定テーブル上で適宜移動する。
This X-Y-Z drive circuit 26 drives the servo motors etc. provided in each of the three X-Y units, and measures each probe 12, 14, 16 in the X-axis, Y-axis, Z-axis direction, etc. Move appropriately on the table.

入出力機器28はキーボード、表示装置、プリンタ、フ
ロッピーディスクドライバ等からなる。
The input/output device 28 includes a keyboard, display device, printer, floppy disk driver, and the like.

これ等のスキャナ18、信号源20.測定回路22、X
−Y−Z駆動回路26、入出力機器28はCPUを備え
たコントローラ30によって、それぞれ制御する。コン
トローラ30は例えば第4図に示すようなマイクロコン
ピュータで必り、CPU(中央処理装置)32、ROM
(読み出し専用メモリ)34、RAM (読み出し書き
込み可能メモリ)36、入出力ボート3B、パスライン
40等から構成されている。CPU32はマイクロコン
ピュータの中心となる頭脳部に相当し、プログラムの命
令に従って全体に対する制御を実行すると共に、算術、
論理演算を行ない、その結果も一時的に記憶する。又、
周辺装置に対しても適宜制御を行なっている。ROM3
4にはインサーキットテスタ全体を制御するための制御
プログラム等が格納されている。又、RAM36は外部
から入力したデータ、各プローブ12.14.16を用
いて測定したデータ、それ等のデータからCPU32で
演算したデータ等の各種データを記憶する。その際、被
検査基板上に存在する測定点の各X−Y座標データは各
プローブ12.14.16をマニュアル操作してティー
チングにより直接読み込み、或いはデジタイザを用いて
フロッピーディスクに格納する等した後に外部から入力
する。
These scanners 18, signal sources 20. Measuring circuit 22,X
-Y-Z drive circuit 26 and input/output device 28 are each controlled by a controller 30 equipped with a CPU. The controller 30 is necessarily a microcomputer as shown in FIG. 4, for example, and includes a CPU (central processing unit) 32, a ROM
(read-only memory) 34, RAM (read-writable memory) 36, input/output board 3B, pass line 40, and the like. The CPU 32 corresponds to the central brain of a microcomputer, and executes overall control according to program instructions, as well as performing arithmetic,
Performs logical operations and temporarily stores the results. or,
Peripheral devices are also controlled as appropriate. ROM3
4 stores a control program for controlling the entire in-circuit tester. Further, the RAM 36 stores various data such as data input from the outside, data measured using each probe 12, 14, and 16, and data calculated by the CPU 32 from these data. At that time, the X-Y coordinate data of each measurement point on the board to be inspected can be read directly by teaching by manually operating each probe 12, 14, 16, or after being stored on a floppy disk using a digitizer. Input from outside.

しかも、各部品毎に対応する3測定点を1ステップとし
てそれぞれグループ化し、それ等に順次番号を付けて記
憶する。更に、ステップ検査順設窓処理プログラム等も
外部から入力する。入出力ポート38にはスキャナ18
、信号源20、測定回路22、x−y−z駆動回路26
、入力機器28等が接続する。パスライン40はそれ等
を接続するためのアドレスバスライン、データバスライ
ン、制御パスライン等を含み、周辺装置とも適宜結合し
ている。
Furthermore, three measurement points corresponding to each part are grouped as one step, and sequentially numbered and stored. Furthermore, a step inspection order setting window processing program and the like are also input from the outside. The input/output port 38 has a scanner 18
, signal source 20, measurement circuit 22, x-y-z drive circuit 26
, input device 28, etc. are connected. The path line 40 includes an address bus line, a data bus line, a control path line, etc. for connecting these, and is also connected to peripheral devices as appropriate.

次に、本実施例の動作を説明する。Next, the operation of this embodiment will be explained.

第5図、及び第6図は軸成分算出によるステップ検査順
設窓処理プログラムを示すフローチャートであり、P1
〜P14の処理により実行される。
FIG. 5 and FIG. 6 are flowcharts showing a step inspection order setting window processing program based on axis component calculation;
This is executed through the processes of ~P14.

先ずPlでキー操作により、被検査基板の全ステップ中
から最初に検査する部品に対応したステップの番号を入
力して記憶する。この検査第1番のステップは各プロー
ブ12.14.16の移動起点であり、測定者が適宜指
定するが、通常は被検査基板の4コ一ナ一部のいずれか
にある最もコーナー奇りの部品に対応するものを選ぶ。
First, the number of the step corresponding to the part to be inspected first from among all the steps of the board to be inspected is input and memorized by key operation at Pl. The first step of this inspection is the starting point of movement of each probe 12, 14, 16, and is specified by the measurer as appropriate. Choose the one that corresponds to the part.

次にP2へ行き、ステップ番号1の全データ(複数の測
定点の全X−Y座標データ)と検査第1番に指定したス
テップ番号の全データを入替える。従って、検査第1番
のステップ番号が1になる。次にP3へ行き、基準ステ
ップとして番号1のステップを確定する。
Next, go to P2, and replace all data of step number 1 (all X-Y coordinate data of a plurality of measurement points) with all data of step number designated as inspection No. 1. Therefore, the step number of the first test is 1. Next, the process goes to P3, and the step numbered 1 is determined as the reference step.

次にP4へ行き、最初の探査ステップ番号を基準ステッ
プ番号に1を加締して定める。次にP5へ行き、探査ス
テップ番号が最大ステップ数以上か判定する。Noの場
合P6へ行く。P6では最長の比較用距離を被検査基板
のX−Y座標がとり得る最大の軸成分値+1で算出して
記憶する。次にPlで、基準ステップの全データと探査
ステップの全データから座標位置が対応する両測定点毎
に、両測定点間のX軸成分データ、Y軸成分データで示
される各距離をそれぞれ算出する。例えば被検査基板の
X−Y座標上に、第7図に示すように基準ステップの3
測定点LO、MO、ROト探査ステップの3測定点り、
M、Rが存在する場合、■左側座標(左端にある2測定
点のX−Y座標データ)同士のX軸方向の差の絶対値1
xLI、■左端座標同士のY軸方向の差の絶対値1y[
1、■右端座標同士のX軸方向の差の絶対値1xRI、
■右端座標同士のY軸方向の差の絶対値1yR腰■中間
座標同士のX軸方向の差の絶対値IX)l 腰■中間座
標同士のY軸方向の差の絶対値+y+をそれぞれ算出す
る。次にP8で、■〜■のX軸成分データ又はY軸成分
データの内から最大の軸成分データで示された距離を設
定する。次にP9で、その最長距離が比較用距離例えば
先のP6で算出した距離を下回るか判定する。YESの
場合はPloへ行く。なお、Noの場合、その探査ステ
ップは少なくとも1測定点が被検査基板のX−Y座標領
域から外れているので、検査類設定から除く。PIOで
はその最長距離をP9における新規な比較用距離として
採用し、その探査ステップ番号を記憶する。次にPll
で、探査ステップ番号が最大ステップ数に達したか判定
する。Noの場合P12へ行き、その探査ステップ番号
に1を加算し、P7へ戻る。
Next, go to P4, and determine the first exploration step number by adding 1 to the reference step number. Next, the process goes to P5, and it is determined whether the exploration step number is greater than or equal to the maximum step number. If no, go to P6. In P6, the longest comparison distance is calculated and stored as the maximum axis component value that can be taken by the X-Y coordinates of the board to be inspected. Next, in Pl, calculate each distance between the two measurement points indicated by the X-axis component data and Y-axis component data for each measurement point whose coordinate position corresponds from all the data of the reference step and all the data of the exploration step. do. For example, on the X-Y coordinates of the board to be inspected, as shown in FIG.
Three measurement points: LO, MO, RO.
If M and R exist, the absolute value of the difference in the X-axis direction between the left coordinates (X-Y coordinate data of the two measurement points at the left end) is 1
xLI, ■ Absolute value of the difference in the Y-axis direction between the leftmost coordinates 1y[
1, ■Absolute value of the difference in the X-axis direction between the rightmost coordinates 1xRI,
■Absolute value of the difference in the Y-axis direction between the rightmost coordinates 1yR hip ■Absolute value of the difference in the X-axis direction between the intermediate coordinates IX) l Hip ■Calculate the absolute value +y+ of the difference in the Y-axis direction between the intermediate coordinates, respectively . Next, in P8, the distance indicated by the maximum axis component data from among the X-axis component data or Y-axis component data of ■ to ■ is set. Next, in P9, it is determined whether the longest distance is less than the comparative distance, for example, the distance calculated in P6. If YES, go to Plo. Note that in the case of No, at least one measurement point in that exploration step is outside the XY coordinate area of the board to be inspected, so it is excluded from the inspection type settings. PIO adopts the longest distance as a new comparison distance in P9 and stores its exploration step number. Then Pll
Then, it is determined whether the exploration step number has reached the maximum number of steps. If No, go to P12, add 1 to the exploration step number, and return to P7.

P7では、同一基準ステップの全データと新規の探査ス
テップの全データから同様に座標位置が対応する両測定
点毎に、両測定点間のX軸成分データ、Y軸成分データ
で示される各距離をそれぞれ算出する。次にP8で、そ
れ等のX軸成分データ又はY軸成分データの内から最大
の軸成分データで示された距離を選定する。次にP9で
、その最長距離が比較用距離例えば先のPloで採用し
た距離を下回るか判定する。YESの場合はPloを経
てPllへ行き、Noの場合は直接P11へ行く。
In P7, from all the data of the same reference step and all the data of the new exploration step, each distance between the two measurement points indicated by the X-axis component data and Y-axis component data is calculated for each measurement point whose coordinate position corresponds in the same way. Calculate each. Next, in P8, the distance indicated by the largest axis component data is selected from the X-axis component data or Y-axis component data. Next, in P9, it is determined whether the longest distance is less than the comparison distance, for example, the distance adopted in the previous Plo. If YES, go to Pll via Plo; if No, go directly to P11.

このようにして、PllでYESと判定されるまで、P
7〜P12の処理を繰り返し、P8で選定した基準ステ
ップと各探査ステップ間の最長距離が最短の探査ステッ
プを求めて行く。
In this way, until Pll determines YES, P
The processes from 7 to P12 are repeated to find the exploration step with the shortest longest distance between each exploration step and the reference step selected at P8.

PllでYESと判定される時、基準ステップから最短
距離におる探査ステップの番号は既に記憶済みである。
When the Pll is determined as YES, the number of the exploration step at the shortest distance from the reference step has already been stored.

そこで、PI3へ行く。p13では先の基準ステップ番
号に1を加算し、P14へ行く。P14ではそのステッ
プ番号の全データと先に明らかとなった最短距離にある
探査ステップ番号の全データを入れ替え、その探査ステ
ップを基準ステップにする。次にP4へ戻る。P4では
同様に最初の探査ステップ番号を基準ステップ番号に1
を加算して定める。このようにして、P4〜P14の各
処理を繰り返し、新規に検査順番が定まったステップを
基準ステップとし、その基準ステップと既に検査順番が
定まっているステップを除く伯の各探査ステップとの間
で、同様に最大の軸成分データで示された距離を求めて
、それ等の距離を比較し、その最長距離か最短の探査ス
テップを次の検査順番に決定し、次から次へと最も近い
距離にあるステップを求めて行き、検査順番未確定のス
テップがなくなるまで、各ステップの検査順番をメモリ
に書き込み、全ステップの検査類を設定する。
So I went to PI3. At p13, 1 is added to the previous reference step number, and the process goes to p14. In P14, all the data of that step number is replaced with all the data of the exploration step number that is at the shortest distance that was previously revealed, and that exploration step is made the reference step. Next, return to P4. Similarly, in P4, set the first exploration step number to the reference step number by 1.
Determine by adding. In this way, each process of P4 to P14 is repeated, and the step for which the inspection order has been newly determined is set as the reference step, and the steps between the reference step and each exploration step of Haku except for the steps for which the inspection order has already been determined are , Similarly, find the distance indicated by the maximum axis component data, compare these distances, determine the longest distance or the shortest exploration step for the next inspection order, and select the closest distance one after the other. The test order of each step is written in the memory, and the test types of all steps are set until there are no steps whose test order is undetermined.

又、第8図、第9図、及び第10図は代表点算出による
ステップ検査順設窓処理プログラムを示すフローヂャー
トであり、P20〜P37の処理により実行される。先
ずP2Oでステップ番号1のデータをメモリから読み出
し、P21へ行く。なお、メモリには第11(a>図の
形式で示したステップデータが最大ステップ数分格納さ
れている。P21では、そのステップに属する複数の測
定点の各X−Y座標データから各X座標データ、各Y座
標データに付き、それぞれ騨術平均データを算出し、そ
のステップを代表する点のX−Y座標データを得る。例
えば被検査基板のX−Y座標上に、第12図に示すよう
にそのステップに属する3測定点LO、MO、ROが存
在する場合、それ等のX座標データ、Y座標データの算
術平均データを求めると、その3測定点10 、MO、
ROを頂点とする重心NOのX−Y座標データが得られ
る。次にP22へ行く。P22では先のステップデータ
に代表点(重心)のX−Y座標データを加え、第11(
b)図に示すようなデータテーブルを作成する。
Further, FIGS. 8, 9, and 10 are flowcharts showing a step inspection order setting window processing program based on representative point calculation, which is executed by the processing of P20 to P37. First, in P2O, the data of step number 1 is read from the memory, and the process goes to P21. Note that the memory stores the step data shown in the format shown in the 11th (a> figure) for the maximum number of steps.In P21, each Calculate the average data for each Y-coordinate data and obtain the X-Y coordinate data of a point representing that step.For example, on the X-Y coordinates of the board to be inspected, as shown in FIG. If there are three measuring points LO, MO, and RO belonging to that step, then the arithmetic mean data of their X coordinate data and Y coordinate data is calculated as follows: 10, MO, MO,
X-Y coordinate data of the center of gravity NO with RO as the vertex is obtained. Next, go to P22. In P22, the X-Y coordinate data of the representative point (center of gravity) is added to the previous step data, and the 11th (
b) Create a data table as shown in the figure.

次にP23て、ステップ番号に1を加算する。次にP2
4で、そのステップ番号が最大ステップ数に達したか判
定する。Noの場合P21へ戻る。p21では、同様に
そのステップを代表する点のX−Y座標データを得る。
Next, in P23, 1 is added to the step number. Next P2
4, it is determined whether the step number has reached the maximum number of steps. If No, return to P21. At p21, XY coordinate data of a point representing that step is similarly obtained.

例えば、第12図に示すようにそのステップに属する3
測定点り、M、Rが存在する場合、重心NのX−Y座標
データが得られる更に、P22、P23、p24を経て
、P21〜P24の名処理を繰り返して行うと、同様に
各ステップをそれぞれ代表する点のX−Y座標データが
得られ、全ステップに付きデータテーブルがそれぞれ作
成できる。
For example, as shown in FIG.
If measurement points M and R exist, the X-Y coordinate data of the center of gravity N can be obtained.Furthermore, by repeating the process of P21 to P24 via P22, P23, and p24, each step can be obtained in the same way. X-Y coordinate data of each representative point can be obtained, and a data table can be created for each step.

次にP25へ行く。以降のP25〜P301及びP32
〜P37の各処理は、先のステップ検査順設窓処理プロ
グラムにおける対応するP1〜P6、及びP9〜P14
の各処理と同様である。但し、P31では基準ステップ
の代表点のX−Y座標データと探査ステップの代表点の
X−Y座標データから三平方の定理により両代表点間の
直線距離を算出する。
Next, go to P25. Subsequent P25 to P301 and P32
Each process from ~P37 corresponds to P1~P6 and P9~P14 in the previous step inspection order setting window processing program.
This is the same as each process. However, in P31, the linear distance between the two representative points is calculated from the X-Y coordinate data of the representative point of the reference step and the X-Y coordinate data of the representative point of the exploration step using the Pythagorean theorem.

そこで、P28〜P37の各処理を繰り返し、新規に検
査順番が定まったステップを基準ステップとしその基準
ステップと既に検査順番が定まっているステップを除く
他の各探査ステップとの間で、各探査ステップ毎に基準
ステップの代表点と探査ステップの代表点との間の直線
距離をそれぞれ騨出し、それ等の距離を比較して、基準
ステップから最短距離にある探査ステップを次の検査順
番に決定し、次から次へと最も近い距離にあるステップ
を求めて行き、検査順番未確定のステップがなくなるま
で、各ステップの検査順番をメモリに書き込み、全ステ
ップの検査類を設定する。因みに、全ステップの検査順
設定接、各ステップデータからそれぞれ代表点のX−Y
座標データを切り離した上、メモリに保存する。
Therefore, each process of P28 to P37 is repeated, and the step for which the inspection order has been newly determined is set as the reference step, and each exploration step is For each step, determine the straight line distance between the representative point of the reference step and the representative point of the exploration step, compare these distances, and determine the exploration step with the shortest distance from the reference step for the next inspection order. , the steps closest to each other are found one after another, and the test order of each step is written in the memory until there are no steps whose test order is undetermined, and the test types of all steps are set. By the way, the inspection order setting connection for all steps, and the X-Y of the representative point from each step data.
Separate the coordinate data and save it in memory.

なお、同一の被検査基板に対し、−度軸成分算出による
ステップ検査順設窓と代表点算出によるステップ検査順
設窓を試みた後、同種の被検査基板に対し、検査時間が
短くなる方を採用してステップ検査@設定を行なうとよ
い。
In addition, after trying the step inspection order setting window by calculating the -degree axis component and the step inspection order setting window by calculating the representative point for the same board to be inspected, we found that the method that shortens the inspection time for the same type of test board It is recommended to perform step inspection @ setting by adopting .

検査時には、測定用テーブル上に被検査基板を載せ、そ
のX軸、Y軸を第1、第2、第3X−Yユニットに共通
のX軸、Y軸とそれぞれ一致させて固定する。そこで、
第1、第2、第3X−Yユニットの各プローブ12.1
4.16をそれぞれ移動し、予め設定した基板面の測定
点に順次接触させて行き、各プローブ12.14.16
を経て各部品にそれぞれ測定電流を流し或いは測定電圧
を印加する。すると、抵抗値、静電容量値、インダクタ
ンス値等が測定でき、被検査基板の良否を判定できる。
During inspection, the substrate to be inspected is placed on a measurement table and fixed so that its X-axis and Y-axis coincide with the X-axis and Y-axis common to the first, second, and third XY units, respectively. Therefore,
Each probe 12.1 of the first, second, and third X-Y units
Move each probe 12, 14, and 16 and bring them into contact with the preset measurement points on the substrate surface one after another.
A measurement current or measurement voltage is applied to each component through the . Then, the resistance value, capacitance value, inductance value, etc. can be measured, and the quality of the tested board can be determined.

発明の詳細 な説明した本発明によれば、最初に検査する部品に対応
したステップを確定した後、最も近い距離にあるステッ
プを次から次へと求めて、順次検査順番を決定して行く
ため、検査順設定時間を短縮化できる。しかも、検査時
には検査時間を短縮化できる。従って、多品種少量生産
の回路基板の検査に好都合となる。
According to the present invention described in detail, after first determining the step corresponding to the part to be inspected, the steps closest to each other are determined one after another to sequentially determine the inspection order. , the inspection order setting time can be shortened. Furthermore, the inspection time can be shortened during inspection. Therefore, it is convenient for inspecting circuit boards produced in a wide variety of small quantities.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図、及び第2図は本発明によるプローブ移動式回路
基板検査装置用検査順設定装置をそれぞれ示すブロック
図である。 第3図は本発明を適用したプローブ移動式インサーキッ
トテスタの構成を示すブロック図、第4図はそのコント
ローラの構成を示すブロック図である。 第5図、及び第6図は同コントローラのメモリに格納す
る軸成分算出によるステップ検査順設窓処理プログラム
を示すフローチャートである。 第7図は被検査基板上に存在する2ステップに付き、対
応する測定点間の各軸成分をそれぞれ示す図である。 第8図、第9図、及び第10図は同コントローラのメモ
リに格納する代表点算出によるステップ検査順設窓処理
プログラムを示すフローチャートである。 第11図は同コントローラのメモリに格納するステップ
データテーブルを示す図である。 第12図は被検査基板上に存在する2ステップの代表点
をそれぞれ示す図である。 第13図は被検査基板の回路の一部を示す図である。 10・・・回路基板検査装置 12.14.16・・・
第1、第2、第3X−Yユニットの各プローブ36・・
・メモリ 42.50・・・検査第1ステップ決足手段
 44.52・・・最近ステップ検出手段 46.54
・・・検査順設定制胛手段 48・・・ステップ代表座
標検出手段 L O,MOlROlL、M。 R・・・2ステップの各測定点 N01N・・・2ステ
ップの各代表点
1 and 2 are block diagrams respectively showing an inspection order setting device for a moving probe type circuit board inspection device according to the present invention. FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of a moving probe in-circuit tester to which the present invention is applied, and FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of its controller. 5 and 6 are flowcharts showing a step inspection order window processing program based on axis component calculation stored in the memory of the controller. FIG. 7 is a diagram showing each axis component between corresponding measurement points for two steps existing on the substrate to be inspected. FIG. 8, FIG. 9, and FIG. 10 are flowcharts showing a step inspection order setting window processing program based on representative point calculation stored in the memory of the controller. FIG. 11 is a diagram showing a step data table stored in the memory of the controller. FIG. 12 is a diagram showing representative points of two steps existing on the substrate to be inspected. FIG. 13 is a diagram showing a part of the circuit of the board to be inspected. 10... Circuit board inspection device 12.14.16...
Each probe 36 of the first, second, third X-Y unit...
・Memory 42.50...Inspection first step determining means 44.52...Recent step detection means 46.54
. . . Inspection order setting control means 48 . . Step representative coordinate detection means LO, MOlROlL, M. R...Each measurement point of 2 steps N01N...Each representative point of 2 steps

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)被検査基板上に存在する測定点の各X−Y座標デ
ータをメモリに書き込み、各部品毎に対応する複数の測
定点を1ステップとしてそれぞれグループ化し、検査時
に回路基板検査装置に備えた複数のX−Yユニットの各
プローブが移動するステップの順番を設定するプローブ
移動式回路基板検査装置用検査順設定装置において、上
記被検査基板の全ステップ中からプローブ移動の起点に
なる検査第1番のステップを決定する検査第1ステップ
決定手段と、新規に検査順番が定まったステップを基準
ステップとし、その基準ステップと既に検査順番が定ま
っているステップを除く他の各探査ステップとの間で、
各探査ステップ毎に基準ステップの複数の測定点と探査
ステップの複数の測定点とで、座標位置が対応する両測
定点毎に両測定点間のX軸成分データ、Y軸成分データ
で示される各距離をそれぞれ算出し、各探査ステップ毎
に最大の軸成分データで示された距離を求めて、それ等
の距離を比較し、その最長距離が最短の探査ステップを
次の検査順番に決定する最近ステップ検出手段と、それ
等の各手段により、検査順番未確定のステップがなくな
るまで順次検査順番を決定させ、各ステップの検査順番
をメモリに書き込む検査順設定制御手段とを備えること
を特徴とするプローブ移動式回路基板検査装置用検査順
設定装置。
(1) Write the X-Y coordinate data of each measurement point existing on the board to be inspected into memory, group multiple measurement points corresponding to each component as one step, and prepare it for the circuit board inspection equipment at the time of inspection. In an inspection order setting device for a probe movable circuit board inspection device that sets the order of steps in which each probe of a plurality of X-Y units moves, the inspection order setting device for the probe moving type circuit board inspection device sets the inspection step that is the starting point of probe movement from among all the steps of the board to be inspected. An inspection first step determining means for determining the first step, and a step for which the inspection order has been newly determined as a reference step, and between that reference step and each other exploration step except for the step for which the inspection order has already been determined. in,
For each exploration step, the coordinate positions are indicated by X-axis component data and Y-axis component data between the two measurement points for each of the corresponding measurement points, with multiple measurement points of the reference step and multiple measurement points of the exploration step. Calculate each distance, find the distance indicated by the maximum axis component data for each exploration step, compare these distances, and decide the exploration step with the longest distance and the shortest for the next inspection order. The present invention is characterized by comprising: a recent step detection means; and an inspection order setting control means for causing each of these means to sequentially determine the inspection order until there are no steps whose inspection order is undetermined, and writing the inspection order of each step in a memory. Inspection order setting device for mobile probe circuit board inspection equipment.
(2)被検査基板上に存在する測定点の各X−Y座標デ
ータをメモリに書き込み、各部品毎に対応する複数の測
定点を1ステップとしてそれぞれグループ化し、検査時
に回路基板検査装置に備えた複数のX−Yユニットの各
プローブが移動するステップの順番を設定するプローブ
移動式回路基板検査装置用検査順設定装置において、上
記被検査基板の各ステップ毎に、1ステップに属する複
数の測定点の各X−Y座標データから各X座標データ、
各Y座標データに付き、それぞれ算術平均データを算出
して、複数の測定点を代表する点のX−Y座標データを
求めるステップ代表座標検出手段と、被検査基板の全ス
テップ中からプローブ移動の起点になる検査第1番のス
テップを決定する検査第1ステップ決定手段と、新規に
検査順番が定まつたステップを基準ステップとし、その
基準ステップと既に検査順番が定まっているステップを
除く他の各探査ステップとの間で、各探査ステップ毎に
基準ステップの代表点と探査ステップの代表点との間の
直線距離をそれぞれ算出し、それ等の距離を比較して、
基準ステップから最短距離にある探査ステップを次の検
査順番に決定する最近ステップ検出手段と、それ等の後
方2手段により、検査順番未確定のステップがなくなる
まで順次検査順番を決定させ、各ステップの検査順番を
メモリに書き込む検査順設定制御手段とを備えることを
特徴とするプローブ移動式回路基板検査装置用検査順設
定装置。
(2) Write the X-Y coordinate data of each measurement point existing on the board to be inspected into memory, group multiple measurement points corresponding to each component as one step, and prepare it for the circuit board inspection equipment at the time of inspection. In an inspection order setting device for a probe moving type circuit board inspection device that sets the order of steps in which each probe of a plurality of XY units moves, a plurality of measurements belonging to one step are performed for each step of the board to be inspected. From each X-Y coordinate data of the point to each X coordinate data,
Step representative coordinate detection means for calculating arithmetic average data for each Y coordinate data to obtain X-Y coordinate data of a point representing a plurality of measurement points; An inspection first step determining means that determines the first inspection step that is the starting point, and a step for which the inspection order has been newly determined as a reference step, and other steps other than the reference step and steps for which the inspection order has already been determined. For each exploration step, the straight-line distance between the representative point of the reference step and the representative point of the exploration step is calculated for each exploration step, and the distances are compared.
The most recent step detecting means determines the exploration step located at the shortest distance from the reference step as the next inspection order, and the latter two means sequentially determine the inspection order until there are no steps whose inspection order is undetermined. An inspection order setting device for a probe movable circuit board inspection device, comprising an inspection order setting control means for writing an inspection order into a memory.
JP2278159A 1990-10-17 1990-10-17 Inspection order setting device for probe movable circuit board inspection device Expired - Fee Related JP3034583B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2278159A JP3034583B2 (en) 1990-10-17 1990-10-17 Inspection order setting device for probe movable circuit board inspection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2278159A JP3034583B2 (en) 1990-10-17 1990-10-17 Inspection order setting device for probe movable circuit board inspection device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04152280A true JPH04152280A (en) 1992-05-26
JP3034583B2 JP3034583B2 (en) 2000-04-17

Family

ID=17593411

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2278159A Expired - Fee Related JP3034583B2 (en) 1990-10-17 1990-10-17 Inspection order setting device for probe movable circuit board inspection device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3034583B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003004791A (en) * 2001-06-22 2003-01-08 Hioki Ee Corp Generation method for position data
JP2015025693A (en) * 2013-07-25 2015-02-05 日置電機株式会社 Inspection point setting device and circuit board inspection device
JPWO2021132481A1 (en) * 2019-12-26 2021-07-01

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6143626B2 (en) * 2013-10-03 2017-06-07 日置電機株式会社 Inspection procedure data generation device, board inspection device, and inspection procedure data generation method

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003004791A (en) * 2001-06-22 2003-01-08 Hioki Ee Corp Generation method for position data
JP4723124B2 (en) * 2001-06-22 2011-07-13 日置電機株式会社 How to generate position data
JP2015025693A (en) * 2013-07-25 2015-02-05 日置電機株式会社 Inspection point setting device and circuit board inspection device
JPWO2021132481A1 (en) * 2019-12-26 2021-07-01
WO2021132481A1 (en) * 2019-12-26 2021-07-01 株式会社国際電気セミコンダクターサービス Resistivity measuring method, semiconductor device manufacturing method, resistivity measuring program, and resistivity measuring device
CN114746990A (en) * 2019-12-26 2022-07-12 株式会社国际电气半导体技术服务 Resistivity measuring method, method for manufacturing semiconductor device, resistivity measuring program, and resistivity measuring instrument

Also Published As

Publication number Publication date
JP3034583B2 (en) 2000-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05196681A (en) Method and apparatus for testing interconnection of continuously moving electric circuit
CN111781493A (en) Circuit board electrical parameter measurement system
TW201500747A (en) System and method for automated measurement
US6701267B2 (en) Method for calibrating probe and computer-readable medium
CN114325005A (en) Circuit board detection device with multi-probe rotatable dial and detection method thereof
JPH04152280A (en) Inspection sequence setting device for mobile probe type circuit board inspection device
JPS61262671A (en) Function testing method and function tester
CN117232452B (en) Comparison instrument for detecting size of part and application method thereof
KR20150097395A (en) Touch position detection method of touch panel, touch panel inspection method, and touch panel inspection apparatus
CN109490319B (en) Detection device and detection method of test equipment
JP2003098216A (en) Circuit board inspection device
JP7182951B2 (en) Inspection device and inspection method
JP2996165B2 (en) Shape measuring method and shape measuring device using the same
JPH06148253A (en) Apparatus and method for inspecting circuit pattern
JP3001110B2 (en) Measurement point coordinate detection device for inspected substrate
CN105606014A (en) Test apparatus of inductance scan probe, and test method
JPH0821722A (en) Method and equipment for measuring shape
KR102382569B1 (en) Method for inspecting printed assembly circuit board assembly using printed circuit board assembly inspection device
JP3276755B2 (en) Detecting soldering failure of leads on mounted components
JP2953626B2 (en) Support rod standing point determination device for circuit board inspection device
JP3267037B2 (en) Data display control method for IC test equipment
TWM555476U (en) PCBA board signal comparison equipment
JP3075422B2 (en) In-circuit tester with two or three sets of XY unit arm movement controllers
JPH0278970A (en) Conduction inspecting machine for conductor pattern and coordinate setting method for its probe
JPH07244105A (en) Bridged solder detecting method by board inspecting device for mounting board

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090218

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100218

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees