JPH04145346A - 対象物体の照明方法ならびに検査方法およびそのための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、対象物体の照明方法ならびに検査方法および
そのための装置に関する。

［従来の技術１ 従来、透明な円筒形状対象物体の中心軸に対して垂直な
面（例えば円筒形対象物体の底面、頂面または仮想的な
切口）もしくはそれと角度を成す類似の面またはそのよ
うな面を含む空間部分に存在し得る異物、切り傷、擦り
傷、破損箇所、また、対象物体が充填容器である場合は
その充填斑などの有無を検査する場合、それぞれの目的
に応じた適当な方法が用いられてきた。

例えば、透明なガラスまたはプラスチック族の瓶のよう
な対象物体の表面の傷の有無について検査をする場合、
瓶を回転させながら、瓶の表面に光を照射して瓶の表面
で反射する光を例えばカメラを用いて撮影したり、ある
いは目視により観察することにより検査を行っている。

この場合、瓶の表面が単純な円筒形であることは少なく
、通常瓶の表面には凹凸がある場合が多い。従って、瓶
の表面の凹凸に応じて瓶に照射される光の角度を変える
ことが必要となる。即ち、日常生活において物体の表面
に傷があるかどうかを調べる場合に、物体の角度を種々
変えて（従って、光と物体の角度を変えて）表面を観察
するのと同じ操作をすることが必要となる。

同様に透明容器の内部多こ混入・付着した異物の有無な
どは、容器の構造が複雑なものほど判別が難しくなり、
手間暇のかかるものである。

このような作業を自動化・機械化して行うには、複数の
照明装置およびカメラが必要であったり、また、対象物
体の角度を変えるための装置が必要であったり、装置が
非常に複雑かつ高価となり、また、操作が非常に煩雑と
なるという問題点かあ［発明が解決しようとする課題］ 上述のような従来の対象物体を照明して検査する方法に
付随する問題点を解決し、簡素化された照明方法ならび
に検査方法およびそのための装置を提供することが本発
明の課題である。

［課題を解決するための手段１ 上述の課題は、 光透過性部分を有して成る軸対称の対象物体の少なくと
も一部分の該光透過性部分の周囲から対称軸に対して垂
直かつ軸に沿った微小幅の光により対象物体を照射する
ことおよび対称軸に対して垂直でない光により対象物体
を照射することを含んで成る対象物体の照明方法 により解決されることが見出された。

本発明は特に軸対称の対象物体、特に円錐台形状や円筒
形状の対象物体を照明して検査するのに有用であるが、
実用的には多少の凹凸を有する軸対称の対象物体や他の
形状の対象物体、例えば楕円筒形状や角柱形状の対象物
体にも有用である。

本発明の特に好ましい態様では、対象物体の軸に沿った
微小幅にわたり軸に対して垂直に向かう光（垂直光）、
即ち、指向性の強い光および軸に対して垂直でない光（
非垂直光）を対象物体に対して放射する。ここで、非垂
直光とは対象物体の軸に対して垂直方向に放射されない
光であって、対象物体に衝突する全ての光を意味するも
のとして使用している。従って、対象物体に衝突しない
光は非垂直光には含まれない。

本明細書において対象物体の「軸」なる語は、対象物体
の照明または検査すべき面または仮想断面に垂直な方向
またはその方向と若干の角度を成し、そのような面、好
ましくはそのような面の中心を垂直に通過する（場合に
より仮想的な）直線を意味する。

例えば、円筒形状対象物体の頂面、底面およびこれらに
平行な仮想断面について照明して検査をする場合では、
軸は対称軸となる。

より特に好ましい態様では、対象物体に向かって放射す
る光（垂直光および非垂直光）は、対象物体の軸を中心
とする対象物体の周方向の少なくとも一部分、好ましく
は３分の１周、より好ましくは半周、特に全周に対して
光源から対象物体に向かって放射される。

本明細書において［光透過性部分を有する対象物体」な
る語は、照射した光の少なくとも一部分が対象物体に入
射して対象物体内を通過してそれから出射するような性
質を有する対象物体を意味する。

従って、完全に不透明な対象物体は、本発明の対象から
除かれるが、不透明な部分が対象物体の一部分として含
まれている場合であっても、残り・の部分が上述のよう
に光を透過して出射する性質を有する場合は本発明の対
象物体の範囲内に包含される。

本発明は更に、上記照明方法を利用した対象物体の検査
方法を提供する。即ち、上述の本発明の照明方法を実施
することにより対象物体を照明し、対象物体から出て来
る光および／または対象物体の表面において反射された
光の質および量などの相対的な差を適当な方法により例
えば画像として観察することにより対象物体の異物の有
無などを検査できる。

本発明の照明方法により光源から放射されて対象物体に
照射された光の内、対象物体により反射されずに、対象
物体中に通過していく光（主として垂直光）は、対象物
体中を通過する途中、容器の材料、容器内の充填物など
のような対象物体を構成する種々の媒体に衝突して反射
、散乱および／または吸収を繰り返しながら進行し、最
終、的には容器から出て行く。

また、対象物体の表面で反射される光（主として非垂直
光）は、その表面状態に応じて一部は吸収または透過さ
れ、残りの光は反射される。

このようにして光源から対象物体に対して放射された光
は、一部は対象物体表面で反射され、残りは対象物体を
通過して出てくる。従って、光源から放射された光は、
例えば対象物体の表面または内部の異物などに衝突する
か否かおよび／もしくはこれらを通過するか否かなどに
より、それぞれ異なる過程を経ることになり、このよう
な異なる光の違いを測定できれば、逆に光が進行する過
程の差（例えば異物、異相などが存在してそれを通過す
るまたはそれにより反射されるが否かなどの差）を認識
できる。

このような光の差を認識する方法として、光源とは異な
る地点から反射光および／または通過光を感知する、即
ち、対象物体を視覚的に観察する方法が適当である。例
えば目視により、あるいはカメラなどにより対象物体を
観察または撮影することが、対象物体から出て来る光お
よび対象物体から反射されてくる光を感知することであ
り、具体的には得られる像のコントラストや色の差など
として光の質および量などの差異を把握できる。

観察または撮影する位置は光源の位置と異なれば特に限
定されるものではないが、対象物体を透過する光および
／または対象物体により反射される光を見ることができ
る位置であれば十分である。

一般に仮想断面と平行な面、即ち、対象物体の軸に垂直
な面において目視またはカメラ撮影などにより対象物体
の例えば端面を観察するのが好ましい。特に、対象物体
の軸方向で対象物体からある程度離れた位置から対象物
体を観察するのが好ましい。

このような照明方法を対象物体の軸方向に適当な幅ずつ
、好ましくは微小幅ずつ断続的に順次ずらして実施し、
あるいは連続的に対象物体の軸方向にトラバースして光
の照射箇所に応じた画像を撮影または目視により観察し
、観察される画像のコントラスト等を中心とする画像の
状態の変化により対象物体の表面およびその内部の異物
などの存在の有無などを検知する。

次に、円筒形状対象物体を検査する場合を例として添付
図面を参照して本発明を具体的に説明する。

軸対称の対象物体の例として円筒形状対象物体の一部分
を第１図に断面図で示す。第１図は、中央に（例えばゲ
ル含有）懸濁物を充填する空間ｌ（未充填空隙部１６が
上部に存在）があり、その右側に例えば水が充填された
空間２（液面１７が存在し、上部に空隙部が存在）を有
し、両端を透明なプラスチック族の蓋３で閉じた透明な
プラスチック製容器５（例えばいずれもポリカーボネー
ト製）である。空間ｌと２とは懸濁物は通過しない程度
の孔寸法を有する適当なフィルター４（例えばポリエチ
レン製）により隔てられている。図示していないが、空
間２の出口（右側）は適当な手段により閉じられて水は
封止されている。

いかなる理論によっても拘束されるものではないが、本
発明は以下の原理に基づくであろうと推測される。

簡単のため、垂直光および非垂直光とに分けて考察する
。

第１図において、例えば点ａにおいて対象物体であるプ
ラスチック製容ＷＦ５の周囲に微小幅の光源を近接して
配置し、対象物体の対称軸６に対して軸に沿った微小幅
で垂直光を放射して容器５を照明する場合を考える。

光源ａから放射される光の一部分は、容ｌＳ５の外側表
面で反射するが、残りの光は容ｌＩ壁を介して容器内に
入る。この光は、容器壁を通過中に光は一部散乱される
が、残りの光は容器内部、即ち、空隙部１６および懸濁
物１に入る。

空隙部１６を通過する光の一部分は懸濁物液面で反射さ
れた後、再度容器内壁面で反射され、このような反射を
繰り返して容器から出る。このような光は後述するよう
な懸濁物中を通過する光とは散乱される程度が異って容
器から出る。

残りの光は懸濁物中に入り、懸濁物中のゲル粒子や容器
壁などに衝突して散乱しながら種々の方向に進行し、最
終的には容器５から出て行く。懸濁物はマクロ的には均
質であり、いずれの光も懸濁物表面付近で同じ確率でラ
ンダムに散乱されると見なすことができる。

また、光が衝突・通過する媒体に応じて一部分の光が吸
収される場合があり、この場合も媒体に応じて吸収され
る程度が異なる。

光が媒体中を通過する間に散乱や吸収される程度は、光
が通過する媒体に依存する。第１図の対象物体の場合、
容器５に入る光は、大別してプラスチック容器を通過す
る光、空隙部を通過する光およびゲル懸濁物で反射する
光に区別される。これらの光はそれぞれの媒体中を媒体
の性質に応じた程度で散乱や吸収されて容器から出て行
く。

従って、容器から出て行く光の内、一方向、例えば軸方
向に容器の蓋を通過して右向きに出る光の量を矢印Ｘの
方向から観測すると通過する媒体の性質に応じた光の質
および／または量となっているはずである。即ち、上記
３種の光の内、対称軸方向に出る光の質および量には相
対的な差が生じ、軸方向から観察すると、これを明暗差
（コントラスト）を中心とする画像の差として観測でき
る。

従って、第１図において容器５の右側方向（Ｘ方向）か
ら容器、特にその蓋部分３を目視により観察するか、そ
の部分をカメラで撮影する場合、容器５を通過してくる
透過光が観察されるまでに媒体を通過する過程が異なり
、それにより光の質および量などが異なるので容器壁面
に対応する細い環の環状部分およびその内側の円形部分
から成る同心円の画像が得られる。円形部分は、空隙部
１６に対応する弓形部分と懸濁物に対応するそれ以外の
部分に更に区別される。

このように３つに区分された画像は、それぞれの部分に
おいては画像には明るさの斑は実質的にはないが、それ
ぞれの部分の境界はコントラストの差が明確となってい
る。対象物体やゲル懸濁物などの固有の光透過率や光散
乱率などにより影響されるが、例えば、空隙部に対応す
る部分が最も明るく、懸濁物に対応する部分が最も暗く
観察される。これは、光が入射した後に散乱・吸収など
を繰り返して容器から出るまでの過程の差に対応する明
るさとなるからである。

しかしながら、このような光の進行の過程で、ゲル粒子
とは別の物、例えば異物（または異相）等が容器中に存
在したり、蓋３に傷がある場合、そのような異物等に衝
突したり、またはそのような異物の中を通過する光（こ
ついては異物の周囲を通過する他の光と異なる挙動をと
る。このような光の挙動の差は、上述の例えばプラスチ
ック壁部と懸濁物中を通過する光の場合と同様に最終的
に撮影される画像の相対的な明るさに影響を与えること
になる。

従って、対象物体に光を入射させて、その中を通過して
出てくる種々の光を何等かの手段で検知して例えば光量
などによって相対的に比較することにより、対象物体中
に於けるバルク物質とは異なる物または変化の存在、例
えばゴミや混入異物、プラスチック材料中の傷、気泡、
部材の境界などの存在を検知できることになる。

次に、非垂直光について検討する。このような光は、対
象物体への入射角および対象物体の表面の性質によって
は対象物体の表面において全反射される場合もあり、−
船釣に相当量の光が対象物体の表面においてその状態に
応じて反射される。

従って、反射光を観察すればその物体の表面状態の差異
を検知できる。

上述の垂直光の場合と同様に軸方向から観察する場合、
点ａから軸に垂直でない方向に光を放射して対象物体を
照射して第１図の軸の右側の方向から対象物体を観察し
ても反射光を見ることはできない。しかしながら、軸に
平行でない面、例えば蓋３の傾斜した表面のような部分
に非垂直光が照射される場合には、軸方向に反射される
光が存在し、これを観察できる。例えば第１図において
点ｅおよびｆあるいは更に右側に非垂直光の光源がある
場合、反射光は、対象物体の表面の異物の検知に寄与す
る。軸方向と角度を成す方向から観察する場合には、非
垂直光の光源が対象物体の軸と平行な面の周囲にある場
合（例えば第１図の点ａまたは点すにある場合）でも反
射光が検知に寄与することになるが、その反面、対象物
体の端面の観察が不十分とならざるを得ない。

上述のように垂直光および非垂直光による照明を組み合
わせて、例えば軸方向から対象物体の端面を観察すると
、対称軸に平行でない対象物体の表面および内部の変化
に応じた反射光の画像および通過光の画像が複合化され
た画像として観察できる。

本発明の特に好ましい態様において、垂直光に付いては
、対象物体の軸方向の微小幅にわたり対象物体の軸に対
して垂直に対象物体の周囲から好ましくは均等に光を照
射する。このような照明に使用できる光源として特に好
ましいのは、環状のスリット光源である。例としてこの
環状のスリット光源７の斜視図を模式的に第２図に示す
。

このようなスリット光源７は、内側面に全周にわたりス
リット状の開口８を有する例えば環状の容器２３内に例
えば蛍光灯、ネオン灯のような光源要素２４を配置して
構成できる。この例として光源の軸方向断面図を第３図
に示す。

まｔ；、特に好ましい態様では、第２図に示すように光
ファイバの光の出口９を放射状に環の中心に向けて環の
周囲に列状に配置したもの（光ファイバを一列で周囲に
配置したものを部分的に図示）を光源として使用する。

このような光源では、真の光１［１０から光ファイバ１
１（束として図示）により光が出口９まで伝達される。

また、非垂直光に付いては、いずれの適当な光源であっ
てもよく、例えば第４図に光源２０の軸方向断面図とし
て示すように、通常の環状の蛍光灯のような光源要素２
４をその一部分が露出するように配置したものであって
よい。また、別法では、第２図を参照して説明したよう
な光ファイバーを非垂直な角度で光を放射するように配
列したものも光源２０として使用できる。

このような２つの光源を組み合わせて本発明の照明方法
および検査方法を実施できる。２つの光源の相対的な位
置関係は、特に限定されるものではないが、垂直光の光
源は、光を対象物体に入射させる必要があるので、対象
物体の周囲に好ましくは対象物体の対称軸と同軸に配置
する。非垂直光については反射光が観察方向に向かえば
十分であるので、必ずしも対象物体の周囲に光源を配置
する必要はなく、好ましくは対象物体の軸と同軸であれ
ば十分である。勿論、垂直光の光源と同様に同軸かつ対
象物体の周囲に配置してもよい。

また、これらの２種の光源を結合して単一の光源とする
ことも可能である。このような態様の光源の軸方向断面
図として第５図に示す。この光源（７＋　２０）では、
環状容器２３の内側周囲に微小幅のスリット８を設け、
このスリットから垂直光を放射し、また、容器の底面２
５に相当する部分にも光源要素２４を露出させ、非垂直
方向にも光を放射できるようになっている。

対象物体を全周方向で照明して検査するには、垂直光お
よび非垂直光を放射する光源はいずれも、第２〜５図に
図示するように対象物体の周囲に配置されて対象物体を
周囲から照明する例えば周（環）状の光源が特に好まし
いが、必ずしも周状である必要はなく、目的に応じて例
えば半周状、３分の１周状であってもよく、場合によっ
ては、スポット的なものであってもよい。例えば対象物
体の軸に対して片側だけを検査する必要があｄ場合であ
れば、略半周（環）状の光源とすることも可能である。

また、軸を中心に対象物体を回転することにより、環状
光源を使用しない態様を採用することも可能である。

光源のスリット８の幅も目的に応じて適宜選択されるが
、光源を軸方向にトラバースすることによる画像の変化
を顕著にしてシャープな画像を得るためには可能な限り
細いスリットを有する光源を使用するのが好ましい。

スリット８の幅は、対象物体との距離や検査の目的にも
よるが、通常５ＩＩＩＩＩｌ以下であれば十分であり、
好ましくは３ｍｍ以下、より好ましくは２１１１１１以
下である。

対象物体と垂直光の光源との距離は目的に応じて適当に
選択できるが、両者が離れ過ぎると、対象物体に有効に
進入する光量が減り、また、光源からの全ての光が軸に
向かうわけではないので、照射幅がスリット幅より広く
なって上述と同様の不都合が生じ得る。従って、光源と
対象物体は可能な限り接近しているのが好ましい。光源
と対象物体との間隔は、実用的には例えば１０ｍ１１以
下、好ましくは５＋ｗ＋ｏ以下である。

本発明の照明または検査方法を実施する場合、余分な光
が対象物体に照射されないようにするのが好ましい。例
えば実施する室内に別の光源が存在すると、不要な反射
光や影（明部と暗部）などが表れて対象物体を通過する
光により得られる画像が不鮮明になる。従って、本発明
の方法を暗箱や暗室などで行うのが望ましい。

第６図に本発明の方法を模式的に斜視図で示している。

対象物体５を適当な治具（図示せず）に固定する。また
、垂直光を放射する環状スリット光源７は、移動機構（
例えばラック＆ビニオン）を備えた治具１３により対象
物体の軸方向に対象物体が光源７の環を通過して移動可
能となるように配置されている。また、非垂直光を放射
する環状光源２０が適当な治具１５により支持され、同
様の機構により軸方向に移動可能となるように配置する
。このような配置で対象物体５に光源７および２０から
光を照射して対象物体の端面２１を（第６図の場合では
左側から）適当な方法により観察する。

本発明の方法において、対象物体の端面２１から観察方
向に出てくる光の相対的な光量の差異、即ち、明るさの
差異の観察は上述のように、目視によって、あるいはＶ
ＴＲカメラやＯＣＴカメラのような適当な撮影装置２２
を使用して、第６図の左側から端面２１を見るように観
察・撮影するのが特に好ましい。

特に好ましい態様では、検査すべき対象物体および得ら
れる画像の状態などに応じて光源７および２０の光量を
独立に調節できるようにする。

第１図に示した対象物体５に第２図の光源７および第４
図の光源２０を使用して光を照射することにより、対象
物体から軸方向に出て来るおよび／または反射されて来
る光の質および量の相対的な差異について撮影または目
視により観察された画像を第７図に模式的に示す。

この場合において、真の光源ｌＯとして出力８３Ｗのハ
ロゲンランプを用い、外径０．０５１１１１ｍノ光ファ
イバーを３列に並べて埋設したものを使用し、環の内径
は６５１＋１１１．スリットの幅は１　、５　ｍ＋ａで
あった。また、光源２０はｌＯＷのリング状蛍光灯をケ
ーシングした非垂直光を照射する環状光源であった。対
象物体であるプラスチック容器の寸法は直径約６０＋ｓ
＋ｍ、長さ約８５１１■であり、懸濁物はポリスチレン
より成る多孔質ビーズの水分散液であった。

第１図の上方の矢印に付したアルファベットは光源７の
位置であり、その位置に光源がある場合に観察される画
像を対応するアルファベットで第４図に示している。尚
、この場合において、光源２０は、光源７と一定距離を
保って連動するようにして使用した。

本発明の方法を確認する意味で、プラスチック製容器の
空間ｌには空隙部１６を存在させ、フィルターの一部分
を破損して水の下部には懸濁物を堆積させ（第１図に図
示せず）、また、蓋の表面Ｃ側面および底面部）には傷
を付けている。

尚、上述のようにプラスチック容器５の（比較的薄い）
肉厚に対応して画像の最外部に細い幅を持つ環状部分が
形成されるが、簡単の為、これについては図面に示して
いない。

第４図（ａ）は、画像の上方部分が相対的に明るく、逆
に下方部分が相対的に暗くなっている。これは、上述し
た如く対象物体の空間ｌにはゲル懸濁物が完全に充填さ
れていない空隙部分１６が存在することに対応する画像
である。

第４図（ｂ）は、光源がプラスチック容器５の蓋３と本
体との重なり部分に対して光を照射している場合に観察
される画像である。この場合、蓋３と容器５との境界面
においても光が反射する。この為か、プラスチック容器
に付けた傷に対応して画像中に暗い部分が認められる。

また、この場合において、二重の同心円の画像が観察さ
れたが、これは、蓋３の対象物体の軸に対する角度が点
Ｂにおいて変わっていることに対応するものであると考
えられる。

第４図（ｃ）は、（ｂ）の場合とは異なり、ゲル懸濁物
が存在しないし、フィルター４で反射される光量が多く
なり、カメラに向かう光量は全体として増えるので画像
全体としては明るくなる。この場合、水の液面は観察さ
れず、点Ｃ傷の部分を透過してカメラに向かって行く光
量は減るのでそれに対応して一部分が暗くなっている。

また、（ｂ）の場合には観察された同心円は観察されな
い。

第４図（ｄ）は、空間２のほぼ中央付近に光源を位置さ
せた場合である。この部分では、空間ｌから漏れ出たゲ
ルが水の下方の堆積し、また、ゲルと水との界面を目視
ではっきり確認できるような状態である。このような場
合の画像は、第４図（ｄ）の如く、画像下方部分でゲル
と水との界面に対応して相対的な明るさに差異が認めら
れる。更に、水と空気との界面も画像中の明るさの差異
により明確に形成されている。（Ｃ）で観察されなかっ
た液面が（ｄ）で観察されたのは光の反射・散乱等の具
合によるものと考えられる。

第４図（ｅ）は、蓋の面が斜めになり始める位置（点Ｂ
の上方）付近で光を照射した場合の画像である。

この場合、垂直光も反射されるが、それに加えて非垂直
光も反射し、これらの光は軸方向においては観察される
と考えられる。従って、垂直光のみを単独で使用する場
合と比較して、傷が白く光ってその周囲とは明確に区別
された像が観察される。

図面では、白色部分との違いを明確にするために、それ
以外の部分を濃くしている。

第４図（ｆ）の場合でも（ｄ）の場合と同様に、蓋の表
面の検査に非垂直光が大きく寄与する。蓋の気相部分に
は気相中の水が凝縮して液滴となって蓋内側に付着した
ものが存在するが、この液滴に対応する画像が認められ
る。これも、光が複雑に反射・散乱・透過等を繰り返し
た結果としての画像であろう。

上述のように、光源により照射された部分近傍の対象物
体中に異物や媒体に変化がある場合、それに応じて撮影
される画像が種々異なり、または蓋において目視により
観察される画像が変化するので、それらの存在の有無を
検知するために本発明の方法を使用できる。例えば、上
述の例では、空隙の有無、傷の有無、フィルターの破れ
によるゲルの漏れなどを本発明の方法により検知できる
。

照明位置と画像の変化との対応は完全に一義的に決定さ
れるとは限らないが、照射された部分に存在する異物ま
たは媒体の変化の存在により光が最も影響を受けるのは
当然であり、画像の変化は、照明位置における対象物体
の状態変化等に対応するものと考えられる。また、場合
によっては、予め傷等を付けたモデルの対象物体に本発
明の方法を適用し、傷の位置と画像の関係を求めること
も可能である。

より確実に対象物体を検査するには、所定の規格を満足
する対象物体を同じ条件で照射してその時の画像の変化
の様子を予め求めておき、その後、検査すべき対象物体
を同じ条件で照明して画像を撮影し、これらの画像を、
好ましくはオンラインで、比較することにより対象物体
の異常の有無を確認できる。

更に、本発明は、上述のような検査方法を実施するため
の検査装置を提供する。

即ち、本発明の検査装置は、光透過性部分を有して成る
対象物体の光透過性部分の少なくとも一部分を該対象物
体の軸に対して垂直な光（垂直光）により照明する光源
および該対象物体の軸に対して垂直でない光（非垂直光
）により対象物体を照明する光源ならびに対象物体中を
通過して出てくる光および対象物体により反射されてく
る光の質および／または量などの相対的な差を光源の位
置とは異なる方向から観察する手段を有して成る。

より好ましい態様では、本発明の上記検査装置において
垂直光を放射する光源は、軸対称の対象物体の軸の周囲
の少なくとも一部分から軸方向に沿った微小幅で対象物
体の軸に対して垂直に光を照射する光源である。

本発明の最も好ましい態様では、軸対称形状の対象物体
を検査する装置は、垂直光を放射する光源としては第２
図に示すような環状のスリット状光源７を有して成る。

また、非垂直光を放射する光源としては、第４図に示す
ような光源２０を有して成る。

本発明の方法および装置では、対象物体５と光源７およ
び２０を相対的に移動させて画像をカメラ２２を使用し
て撮影するのが最も適当である。

この場合、光源を固定して対象物体を移動する方法およ
び逆に光源を移動して対象物体を固定する方法（第６図
）の双方が考えられる。

また、光源７と光源２０との間の距離を任意に選択でき
、光源７と光源２０とを連動するようにでき、あるいは
光源２０のみ固定して光源７のみ移動できるようにして
もよい。

カメラの焦点を合わせる手間を考えると、カメラと対象
物体との相対的な位置関係を固定し、２つの光源を一体
または独立に対象物体に沿って移動させるか、光源を一
体に固定し、カメラと対象物体とを一体に移動させ、必
要に応じて撮影する面に焦点を微調整する態様が特に好
ましい。

［発明の効果］ 本発明によると、１台の撮影装置および１組の光源を使
用するだけで任意の箇所の対象物体の内部および対象物
体の表面の状態を検査できるので、極めて簡単かつ安価
に対象物体の照明や検査が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の方法を使用して検査する対象物体の
一例としての断面図、 第２図は、本発明の方法に使用できる光源の一例として
の斜視図、 第３〜５図は、本発明の方法に使用する光源の例の軸方
向断面図、 第６図は、本発明の方法を模式的に示す図ｖｃ７図（ａ
）〜（ｆ）は、本発明の方法により撮影された画像の模
式図である。 １．２・・・空間部、３・・・蓋、４・・・フィルター
５・・・プラスチック容器、６・・・軸、７・・・光源
、８・・・スリット、９・・・光フアイバ出口、ＩＯ・
・・真の光源、１１・・・光７アイバ、１３．１５・・
・固定治具、１６・・・空隙部、１７・・・水面、２０
・・・光源、２Ｉ・・・対象物体、２２・・・撮影装置
、２３・・・環状容器、２４・・・光源要素、２５・・
・環状容器底面。 特詐出願人鐘淵化学工業株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、光透過性部分を有して成る軸対称の対象物体の少な
   くとも一部分の該光透過性部分の周囲から対称軸に対し
   て垂直かつ軸に沿つた微小幅の光により対象物体を照射
   することおよび対称軸に対して垂直でない光により対象
   物体を照射することを含んで成る対象物体の照明方法。 ２、請求項１記載の照明方法により光透過性部分を有し
   て成る軸対称の対象物体を照明し、対象物体を通過して
   くる光および対象物体から反射されてくる光の量および
   ／または質の差を観察することを含んで成る対象物体の
   検査方法。 ３、光透過性部分を有して成る対象物体の光透過性部分
   の少なくとも一部分を該対象物体の軸に対して垂直な光
   により照明する光源および該対象物体の軸に対して垂直
   でない光により対象物体を照明する光源ならびに対象物
   体中を通過して出てくる光および対象物体により反射さ
   れてくる光の質および／または量の相対的な差を光源の
   位置とは異なる方向から観察する手段を有して成る請求
   項２記載の検査方法を実施するための装置。