JPH04134944U - 除振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】内部加振にともなう装置本体フレームの回転動
作を除去し、フレーム上部と下部の相対変位を減少させ
る。 【構成】本体１を鉛直方向に支持する鉛直方向バネ系
２，鉛直方向減衰系３，水平方向の動作を拘束する鉛直
方向案内機構４，鉛直方向支持系全体を支持する水平方
向バネ系５，水平方向減衰系６，鉛直方向の動作を拘束
する水平方向案内機構７，により構成される。 【効果】除振装置に保持される機器の回転動作が除去さ
れ、平行移動の動作となり、装置本体に多大な変形を起
こす要因を取り除き、かつ水平方向及び鉛直方向のバネ
及び減衰特性の設定が容易となる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体集積回路の製造に使用される半導体製造装置、特に縮小投影 露光装置，電子線描画装置などの保持台に係り、装置内部より発生する振動及び 外部振動に対し、好適な抑制方法を有する除振装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の除振装置は、図３に示すごとく、装置を保持するバネ系及び減衰系が、 鉛直方向と水平方向に作用している。このバネ系と減衰系は、水平方向，鉛直方 向に対する特性を同時にかね備えている。

【０００３】 この除振装置は、ステージ移動等による水平方向の内部加振力Ｆが発生した場 合、水平方向，鉛直方向に同時に負荷がかかり、保持されている装置に回転モー メントＭを発生させる。これによる回転動作は、保持される装置本体にモーメン トとして働き、本体フレームの上部と下部の相対変位（フレームの変形）を増大 させる要因となる。

【０００４】 しかし、このフレームを高剛性化することにより、回転動作による変形を最小 限に抑えている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

近年、半導体集積回路の高集積化，量産体制の強化に伴い、半導体製造装置の 性能向上、特にスループット向上は重要な要素である。

【０００６】 除振装置は、外部から侵入する振動を遮断することを主な目的としながら、内 部で発生した振動についても抑制しなければならない。保持物である装置の大型 化，重量増加傾向のなかで、ステージ等の内部発生振動による装置本体フレーム の弾性変形は、静定にさらなる時間を必要とする。

【０００７】 本考案の目的は、内部発生振動に対して、フレーム変形増大の要因となる装置 回転の動作を取り除くことにあり、装置の精度および処理能力向上に寄与する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するため、装置を保持するバネ系，減衰系を独立して設け、回 転動作を拘束するために、保持装置との間に案内機構を設けたものである。

【０００９】

【作用】

除振装置は、まず、鉛直方向のみを支持するバネ系，減衰系で構成され、さら に、これら鉛直方向支持系全体を保持する水平方向のみのバネ系，減衰系によっ て構成される。

【００１０】 また、水平方向，鉛直方向に完全に独立するために、案内機構を設ける。これ により装置は、内部振動による回転動作が拘束されると同時に、装置自身の傾斜 によるモーメントが最小限に抑制され、装置本体フレームの多大な変形を防ぎ、 スループット向上が可能となる。

【００１１】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図１〜図３により説明する。

【００１２】 図３は、従来技術の一実施例である。内部で発生する力Ｆにより、本体は回転 動作を発生する。

【００１３】 図１における除振装置では、装置本体１を鉛直方向に支持するバネ系２，減衰 系３，水平方向の動作を拘束する鉛直方向コロ（球）４支持系全体を保持するバ ネ系５，減衰系６，鉛直方向の動作を拘束する水平方向コロ（球）７より構成さ れる。図２において、保持されている装置内部で発生した力Ｆは、本体にモーメ ントとして働き、回転動作を起こそうとするが、除振装置の機構により、鉛直方 向の支持系はコロにより水平方向を拘束され、水平方向の支持系もコロ（球）に より鉛直方向を拘束される平行移動の動作となる。

【００１４】 これらの実施例によれば、装置内部で発生した振動による本体フレームへの影 響は少なく、弾性変形による相対変位量減少，静定時間の短縮は可能となる。

【００１５】 鉛直方向支持系はコロにより水平方向を拘束され、水平方向支持系はコロによ り鉛直方向を拘束される。

【００１６】

【考案の効果】

本考案によれば １．除振装置に保持される装置本体の回転動作が除去され、本体フレームの上部 ，下部の相対変位が最小限に制御される。

【００１７】 ２．装置の大型化（特に装置設置面積に対する高さの増大），重量増加に伴う、 本体フレームの高剛性化は必要最小限となる。

【００１８】 ３．水平方向，鉛直方向それぞれのバネ特性，減衰特性を容易に設定可能である 。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の正面図である。

【図２】本考案の実施例の正面図である。

【図３】従来技術の一実施例の正面図である。

【符号の説明】

１…本体、２…鉛直方向バネ系、３…鉛直方向減衰系、
４…鉛直方向案内機構、５…水平方向バネ系、６…水平
方向減衰系、７…水平方向案内機構。

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】機器を保持する除振装置において、バネ系
   及び減衰系が水平方向と鉛直方向にそれぞれ独立に構成
   されていることを特徴とする除振装置。
2. 【請求項２】保持される機器と当該除振装置との間に、
   案内機構を設けることを特徴とする請求項１記載の除振
   装置。
3. 【請求項３】請求項１から３記載の除振装置を所有する
   ことを特徴とする、半導体製造装置。