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JPH04116409A - Automatic plate thickness measuring device - Google Patents

Automatic plate thickness measuring device

Info

Publication number
JPH04116409A
JPH04116409A JP23815090A JP23815090A JPH04116409A JP H04116409 A JPH04116409 A JP H04116409A JP 23815090 A JP23815090 A JP 23815090A JP 23815090 A JP23815090 A JP 23815090A JP H04116409 A JPH04116409 A JP H04116409A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical displacement
displacement meter
calibration
measured
plate thickness
Prior art date
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Granted
Application number
JP23815090A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0682046B2 (en
Inventor
Masaharu Ono
大野 政春
Koichi Takemura
竹村 興一
Shuji Naito
修治 内藤
Hisao Fujikawa
寿生 藤川
Takashi Mimura
隆 三村
Taichiro Yonetani
米谷 太一郎
Koichi Itohara
糸原 浩一
Hiroshi Hashimoto
橋本 広嗣
Kazutoshi Fujisaki
藤崎 一俊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Radio Co Ltd
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Japan Radio Co Ltd
Nippon Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Radio Co Ltd, Nippon Steel Corp filed Critical Japan Radio Co Ltd
Priority to JP23815090A priority Critical patent/JPH0682046B2/en
Publication of JPH04116409A publication Critical patent/JPH04116409A/en
Publication of JPH0682046B2 publication Critical patent/JPH0682046B2/en
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To compensate for the strain in a frame and the change in characteristics of optical displacement gages in calibration and to make it possible to measure the thickness of a plate accurately by correcting the outputs of the optical displacement gages and a reference distance based on a linearity correcting table and a calibration table. CONSTITUTION:The outputs of optical displacement gages are made to correspond to the expected upper and lower positions of the optical displacement gages 18 in linearity calibration with a linearity correcting means based on a linearity correcting table. Such a table is prepared. A reference distance is obtained based on the outputs of the optical displacement gages 18 when a frame is calibrated and the plate thickness of a calibrating plate 28 with a frame correcting means. A calibrating table by which the reference distance is made to correspond to the right and left positions of the optical displacement gages 18 is prepared. Then, the distance between each optical displacement gage 18 and a body under measurement 10 is corrected in reference to the linearity correcting table with a plate-thickness operating means. The reference distance is corrected in reference to the calibrating table based on the right and left positions of the optical displacement gages 18. The plate thicknesses of the body under measurement 10 are operated and averaged at several points on the locus based on the upper and lower moving amounts of the optical displacement gages 18, the corrected distances and the reference distance. Thus, the plate thickness can be measured accurately.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、搬送ラインにより搬送される被測定体の板厚
を光ビームの反射により非接触で自動測定する自動板厚
測定装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an automatic plate thickness measuring device that automatically measures the plate thickness of an object to be measured conveyed by a conveyance line in a non-contact manner by reflecting a light beam.

[従来の技術] 従来から、搬送ラインにより搬送される被測定体の板厚
を光変位計により自動計測する自動板厚測定装置が知ら
れている(例えば、特公昭5610561号)。
[Prior Art] Conventionally, an automatic plate thickness measuring device has been known that automatically measures the plate thickness of a measured object transported by a transport line using an optical displacement meter (for example, Japanese Patent Publication No. 5610561).

従来において用いられていた装置は、いわゆるC型フレ
ームを用いた1点旧測の装置であり、被測定体としては
幅か一定のもの、すなわち固定幅の被41す定休を測定
するものである。
The device used in the past is a one-point old measurement device using a so-called C-shaped frame, and the object to be measured is a fixed width object, that is, a fixed width object. .

この装置においては、搬送ラインの上下に光変位計が配
置される。この光変位計によってレーザ光である光ビー
ムか被7Il11定休に照射され、被d1す定休の板厚
か測定される。
In this device, optical displacement gauges are placed above and below the conveyance line. This optical displacement meter irradiates a light beam, which is a laser beam, to the target 7Il11 and measures the thickness of the target d1.

このような装置により、従来、鋼板等の被測定体の板厚
を自動測定することが行われていた。
Conventionally, such a device has been used to automatically measure the thickness of an object to be measured such as a steel plate.

ところで一般に、自動板厚測定装置の精度を確保するた
めには校正が必要となる。
By the way, in general, calibration is required to ensure the accuracy of automatic plate thickness measuring devices.

校正は装置を使用する都度行われ、装置運用の」二で必
須の作業である。より具体的には、光変位計の経年変化
等による誤差を補正(電気的補正)し、また、機械的歪
を補正(機械的補正)して、信頼性を維持し、正確な板
厚14111定を期するものである。
Calibration is performed each time the device is used, and is an essential step in device operation. More specifically, errors due to aging of the optical displacement meter are corrected (electrical correction), mechanical distortion is corrected (mechanical correction), reliability is maintained, and accurate plate thickness 14111 is corrected. It is expected that the

[発明が解決しようとする課題] しかしなから、従来においては、架台の歪み、光変位計
の特性変化等により板厚測定に誤差か生しるという問題
点かあった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the past, there was a problem in that errors occurred in plate thickness measurements due to distortion of the pedestal, changes in characteristics of the optical displacement meter, and the like.

すなわぢ、光変位計は搬送ライン」二の架台に取り付け
られており、この架台か所定位置・所定形状を維持する
かぎり、架台に起因する誤差は生じない。しかし、実際
には環境的要因、例えば温度、湿度等や、経年変化等に
よって架台には歪みか生じてしまう。この歪みにより、
光変位計の移動量か非線形に変化することとなり、板厚
測定の誤差を発生させる。
In other words, the optical displacement meter is attached to a pedestal on the second conveyor line, and as long as this pedestal maintains a predetermined position and shape, no error will occur due to the pedestal. However, in reality, distortion occurs in the frame due to environmental factors such as temperature, humidity, etc., and changes over time. This distortion causes
The amount of movement of the optical displacement meter changes non-linearly, causing an error in plate thickness measurement.

また、光変位計の検出特性も、同様の要因により変化す
る。この変化も、板厚測定の誤差発生原因となる。
Furthermore, the detection characteristics of the optical displacement meter also change due to similar factors. This change also causes errors in plate thickness measurements.

さらに、従来、−時には面性状か同一の被測定体しか測
定できないという問題点があった。すなわち、各被測定
体の面性状か異なると、ある1種類の面性状に応じて校
正された装置では正確な測定か困難となる。また、1個
の被測定体の面性状が一定しない場合には、測定不能状
態に陥ってしまう。
Furthermore, in the past, there has been a problem in that sometimes only the surface properties of the same object can be measured. That is, if the surface texture of each object to be measured differs, it becomes difficult to perform accurate measurements using a device calibrated according to one type of surface texture. Furthermore, if the surface properties of a single object to be measured are not constant, the measurement becomes impossible.

本発明は、このような問題点を解決することを課題とし
てなされたものであり、校正時に架台歪み、光変位計の
特性変化等を補償してより正確な板厚測定を実施可能と
することを目的とする。また、面性状が異なる被測定体
を一時に正確にmll定し、あるいは面性状が不均一な
被測定体を測定することを可能にすることを目的とする
The present invention was made with the aim of solving these problems, and it is an object of the present invention to compensate for mount distortion, changes in characteristics of the optical displacement meter, etc. during calibration, thereby making it possible to perform more accurate plate thickness measurements. With the goal. Another object of the present invention is to make it possible to simultaneously and accurately determine objects to be measured having different surface textures, or to measure objects to be measured that have non-uniform surface textures.

[課題を解決するための手段] このような目的を達成するために、本発明は、被測定体
を搬送する搬送ラインの上方及び下方の架台上に対をな
しかつ所定の基準距離を隔てて配置され、光ビームを被
測定体に照射して反射光に基づき被測定体との距離を求
める複数対の光変位計と、先端がL字状の屈曲を有し、
被測定体の板厚測定時には先端か光変位計の測定域外に
配置される所定板厚の校正板と、校正時に、光変位計か
ら発せられる光ビームを遮る所定位置に先端か位置する
よう校正板を回動さぜる回動手段と、測定時には、被測
定体の板厚規格に応じて定められる位置となるよう光変
位計の上下位置を制御し、被測定体の流れに応じて被測
定体上の所定軌跡を描くよう光変位計の左右位置を制御
し、直線性校正時には、光変位計を上下方向に所定ピッ
チで移動させ、架台校正時には、光変位計を左右方向に
所定間隔で移動させる位置制御手段と、直線性校正時に
おける光変位A−1の出力を光変位計の期待される上下
位置に対応付ける直線性補正テーブルを作成する直線性
補正手段と、架台校正時における光変位計の出力と、校
正板の板厚と、に基づき基準距離を求め、この基準距離
を光変位計の左右位置に対応付ける校正テーブルを作成
する架台補正手段と、直線性補正テーブルを参照して光
変位計と被JIIJ定体との距離を補正し、光変位計の
左右位置により校正テーブルを参照して基準距離を補正
し、光変位計の上下方向移動量、補正された距離及び基
準距離に基づき前記軌跡に沿う数点について被測定体の
板厚を演算し平均する板厚演算手段と、を備えることを
特徴とする。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve such an object, the present invention provides a pair of mounts arranged on the upper and lower mounts of the conveyance line for conveying the object to be measured and separated by a predetermined reference distance. A plurality of pairs of optical displacement meters are arranged and have an L-shaped bend at the tip, and a plurality of pairs of optical displacement meters that emit a light beam to the measured object and measure the distance to the measured object based on the reflected light.
When measuring the plate thickness of the object to be measured, a calibration plate with a predetermined thickness is placed at the tip or outside the measurement area of the optical displacement meter, and during calibration, the tip is calibrated so that it is located at a predetermined position that blocks the light beam emitted from the optical displacement meter. There is a rotating means for rotating the plate, and during measurement, the vertical position of the optical displacement meter is controlled so that the position is determined according to the plate thickness standard of the object to be measured, and the vertical position of the optical displacement meter is controlled according to the flow of the object to be measured. The left and right positions of the optical displacement meter are controlled to draw a predetermined trajectory on the measuring object, and during linearity calibration, the optical displacement meter is moved vertically at a predetermined pitch, and during mount calibration, the optical displacement meter is moved at a predetermined interval in the left and right direction. a linearity correction means for creating a linearity correction table that associates the output of optical displacement A-1 with the expected vertical position of the optical displacement meter during linearity calibration; A mount correction means that calculates a reference distance based on the output of the displacement meter and the thickness of the calibration plate, and creates a calibration table that associates this reference distance with the left and right positions of the optical displacement meter, and a linearity correction table. Correct the distance between the optical displacement meter and the JIIJ object, and correct the reference distance by referring to the calibration table based on the left and right positions of the optical displacement meter, and calculate the vertical movement amount of the optical displacement meter, the corrected distance, and the reference distance. The present invention is characterized by comprising a plate thickness calculation means for calculating and averaging the plate thickness of the object to be measured for several points along the trajectory based on the above-mentioned trajectory.

[作用] 本発明の自動板厚測定装置においては、光変位計と被測
定体との距離、光変位計の上下方向移動量及び対向する
光変位計間の基準距離に基づき、被測定体の板厚が求め
られる。
[Function] In the automatic plate thickness measuring device of the present invention, the distance between the optical displacement meter and the object to be measured, the amount of vertical movement of the optical displacement meter, and the reference distance between the opposing optical displacement meters, is used to determine the distance between the optical displacement meter and the object to be measured. The plate thickness is required.

これらのうち、光変位計と被測定体との距離は、直線性
補正テーブルによる補正を受ける。
Among these, the distance between the optical displacement meter and the object to be measured is corrected by the linearity correction table.

例えば、光変位計の特性が初期特性から変化している場
合、この変化を補償してやらないと板厚測定値に誤差が
生じてしまう。このため、本発明では直線性校正を実施
する。直線性校正は、上下方向に所定ピッチで移動させ
つつ行われ、この校正にいては光変位計の出力が光変位
計の期待される上下位置に対応付けられる。
For example, if the characteristics of the optical displacement meter have changed from the initial characteristics, errors will occur in the plate thickness measurements unless this change is compensated for. Therefore, in the present invention, linearity calibration is performed. Linearity calibration is performed while moving the optical displacement meter at a predetermined pitch in the vertical direction, and in this calibration, the output of the optical displacement meter is associated with the expected vertical position of the optical displacement meter.

このときの光変位計の出力は、光変位計と校正板との距
離を示している。すなわち、校正時には校正板か光ビー
ムを遮る位置に回動され、この校正板から反射光が得ら
れる。また、期待される上下位置は、例えば光変位計の
初期特性に基づき位置制御により得られる上下位置であ
る。
The output of the optical displacement meter at this time indicates the distance between the optical displacement meter and the calibration plate. That is, during calibration, the calibration plate is rotated to a position that blocks the light beam, and reflected light is obtained from this calibration plate. Further, the expected vertical position is, for example, a vertical position obtained by position control based on the initial characteristics of the optical displacement meter.

光変位計の出力と上下位置との対応付けを示すテーブル
を直線性補正テーブルと呼ぶことにする。
The table showing the correspondence between the output of the optical displacement meter and the vertical position will be referred to as a linearity correction table.

この直線性補正テーブルは、測定時における光変位計の
出力、即ち光変位計と被測定体との距離の補正に用いら
れる。これにより、測定時における光変位計の上下方向
位置に応じて前述の特性変化により発生する誤差が、補
償されることになる。
This linearity correction table is used to correct the output of the optical displacement meter during measurement, that is, the distance between the optical displacement meter and the object to be measured. This compensates for the error caused by the above-mentioned change in characteristics depending on the vertical position of the optical displacement meter during measurement.

また、光変位計と被測定体との距離は、校正テーブルに
よる補正を受ける。
Further, the distance between the optical displacement meter and the object to be measured is corrected using a calibration table.

例えば、架台に歪みか発生している場合、この歪みによ
る測定誤差か生じ得る。このため、本発明では架台校正
を実施する。架台校正は、光変位計を左右方向に所定間
隔で移動させ、その際の光変位計出力に基づいて行われ
る。
For example, if the pedestal is distorted, measurement errors may occur due to this distortion. Therefore, in the present invention, pedestal calibration is performed. The gantry calibration is performed by moving the optical displacement meter in the left-right direction at predetermined intervals and based on the output of the optical displacement meter at that time.

より具体的には、光変位計の出力から求められる基準距
離と、光変位計の左右位置と、を対応付ける校正テーブ
ルが作成される。この場合の基準距離は、上下の光変位
計の出力と、校正板の既知の板厚と、に基づき求められ
る。
More specifically, a calibration table is created that associates the reference distance determined from the output of the optical displacement meter with the left and right positions of the optical displacement meter. The reference distance in this case is determined based on the outputs of the upper and lower optical displacement meters and the known thickness of the calibration plate.

このようにして得られた校正テーブルは、測定時におい
て基準距離の補正に用いられる。これにより、測定時に
おける光変位計の左右位置に応じて発生する誤差、例え
ば架台歪みに起因する誤差が低減する。なお、架台校正
は直線性校正の後にその結果を用いて行うのが好ましい
The calibration table obtained in this way is used to correct the reference distance during measurement. This reduces errors that occur depending on the left and right positions of the optical displacement meter during measurement, such as errors caused by frame distortion. Note that it is preferable to perform the gantry calibration using the results after the linearity calibration.

さらに、測定時には、空間平均演算が実施される。測定
時においては、被測定体上の所定軌跡を描くよう光変位
計の左右位置が制御される。本発明では、この軌跡に沿
って所定点数の板厚が求められ、平均される。従って、
本発明においては、板厚演算の基礎となる点数が増大す
るため、測定の正確性が向上する。
Furthermore, during measurement, a spatial average calculation is performed. During measurement, the left and right positions of the optical displacement meter are controlled so as to draw a predetermined locus on the object to be measured. In the present invention, the plate thicknesses at a predetermined number of points are determined along this trajectory and averaged. Therefore,
In the present invention, the number of points that serve as the basis for plate thickness calculation increases, so the accuracy of measurement improves.

[実施例] 以下、本発明の好適な実施例について図面に基づき説明
する。
[Examples] Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described based on the drawings.

第1図には、本発明の一実施例に係る自動板厚測定装置
の実体構成か示されている。特に、第1図(a)におい
ては装置を上方から見た外観が、第1図(b)において
は側面から見た外観が、それぞれ示されている。
FIG. 1 shows the actual configuration of an automatic plate thickness measuring device according to an embodiment of the present invention. In particular, FIG. 1(a) shows the external appearance of the device as seen from above, and FIG. 1(b) shows the external appearance of the device as seen from the side.

この図においては、図中矢印で示される方向に被測定体
10を搬送する搬送ライン12が示されている。この図
における被測定体10は、それぞれ板厚、幅等の異なる
鋼板であり、図には101.10−2.10−3の3個
が示されている。
This figure shows a conveyance line 12 that conveys the object to be measured 10 in the direction indicated by the arrow in the figure. The objects 10 to be measured in this figure are steel plates having different thicknesses, widths, etc., and three objects 101.10-2.10-3 are shown in the figure.

この実施例において板厚測定の対象とする測定体10は
、例えば板厚4〜60mm、幅800〜4000mm、
長さ1500〜14000mmの規格のものであり、搬
送ライン12の上の任意の位置に任意の姿勢で配置され
る。
In this embodiment, the measuring object 10 to be measured has a thickness of 4 to 60 mm, a width of 800 to 4000 mm,
It has a standard length of 1,500 to 14,000 mm, and is placed at any position on the conveyance line 12 in any orientation.

また、搬送ライン12を跨ぐように、上下一対の凹型架
台14が設けられている。凹型架台14の搬送ライン1
2上流側にはラインセンサ16が、下流側には光変位計
18が、それぞれ配設されている。
Further, a pair of upper and lower concave pedestals 14 are provided so as to straddle the transport line 12 . Conveyance line 1 of concave pedestal 14
2, a line sensor 16 is provided on the upstream side, and an optical displacement meter 18 is provided on the downstream side.

ラインセンサ16は、1対となるよう」立下双方の門型
架台]4に設けられており、被測定体10の先端の左右
両端位置を検出する。検出される左右両端位置は、光変
位計18の位置の初期設定に用いられる。
A pair of line sensors 16 are provided on both the vertical and vertical gate-shaped mounts 4, and detect the positions of both left and right ends of the tip of the object to be measured 10. The detected left and right end positions are used for initial setting of the position of the optical displacement meter 18.

また、光変位計18は3対か凹型架台14に移動自在に
設けられている。この光変位計18は被測定体]0の板
厚を測定する装置である。すなわち、光変位計18は被
測定体]0に光ビームを照射し、その反射光を取り込む
。さらに、取り込んた反射光に基づき被測定体10まて
の距離を求め、後述の原理による板厚演算に供する。
Further, three pairs of optical displacement meters 18 are movably provided on the concave pedestal 14. This optical displacement meter 18 is a device for measuring the plate thickness of the object to be measured. That is, the optical displacement meter 18 irradiates the object to be measured 0 with a light beam and captures the reflected light. Further, the distance to the object to be measured 10 is determined based on the captured reflected light, and the distance is used to calculate the plate thickness based on the principle described later.

第2図には、この実施例のより詳細な実体+74成か正
面図として示されている。
FIG. 2 shows a more detailed front view of this embodiment.

この図においては、上下2個のリニアモータレル20か
示されている。リニアモータレール20は、6個の光変
位計18をそれぞれ左右方向に駆動するりニアモータの
レールである。
In this figure, two linear motor rails 20, upper and lower, are shown. The linear motor rail 20 is a linear motor rail that drives each of the six optical displacement meters 18 in the left and right directions.

また、光変位計18のうぢ上側の3個は、パルスステー
ジ22に取り付けられている。すなわち、この3個の光
変位計18はパルスステージ22によって上下方向に駆
動され、測定時には被7It++定休10の板厚規格に
応じてパルスステージ22の制御により上下位置か設定
される。
Further, the upper three optical displacement meters 18 are attached to the pulse stage 22. That is, these three optical displacement meters 18 are driven in the vertical direction by the pulse stage 22, and during measurement, the vertical position is set by controlling the pulse stage 22 according to the plate thickness standard of 7It++ + regular holidays 10.

更に、3対の光変位計18のうち左右両側の2対には、
第1及び第2エツジセンザ24及び26かイ」設されて
いる。第1エツジセンサ24は、ラインセンサ16の出
力に応じて初期設定された光変位計18の位置を、更に
微調整するために用いられる。第2エツジセンザ26は
、被測定体10の側端を追従検出するために用いられる
Furthermore, of the three pairs of optical displacement meters 18, two pairs on both the left and right sides have
First and second edge sensors 24 and 26 are provided. The first edge sensor 24 is used to further finely adjust the position of the optical displacement meter 18, which is initially set according to the output of the line sensor 16. The second edge sensor 26 is used to follow and detect the side edge of the object to be measured 10.

第3図には、この実施例における光変位計18の校正に
係る装置構成が示されている。特に、第3図(a)には
一対の光変位計18の正面か、第3図(b)には側面が
、それぞれ示されている。
FIG. 3 shows a device configuration related to the calibration of the optical displacement meter 18 in this embodiment. In particular, FIG. 3(a) shows the front of the pair of optical displacement meters 18, and FIG. 3(b) shows the side.

この図においては、通常の板厚測定時には破線のような
位置に、校正時には実線のような位置に、回動配置され
る校正板28か示されている。校正板28はL字状の屈
曲を有しており、先端の板厚は検定を受けた所定の厚み
に設定されている。校正板28の回動は、ロータリソレ
ノイド30により行われる。また、校正板28は、図示
しないモータにより水平方向に例えば±3mmの振幅で
振動する。
In this figure, a calibration plate 28 is shown which is rotatably arranged at a position shown by a broken line during normal plate thickness measurement and at a position shown by a solid line during calibration. The calibration plate 28 has an L-shaped bend, and the plate thickness at the tip is set to a predetermined thickness that has been certified. The calibration plate 28 is rotated by a rotary solenoid 30. Further, the calibration plate 28 is vibrated in the horizontal direction with an amplitude of, for example, ±3 mm by a motor (not shown).

第4図には、この実施例の回路構成か示されている。FIG. 4 shows the circuit configuration of this embodiment.

この図においては、一方で光変位計18の出力に基づき
、被測定体10の板厚を求め、他方でラインセンサ]6
並びに第1及び第2エツジセンサ24及び26の出力に
基づきリニアモータ32及びパルスステージ22を制御
する演算制御部34が示されている。さらに、演算制御
部34はロタリソレノイド30をも制御する。加えて、
この図には、校正時に求められる基準距離及び本発明の
特徴に係る直線性補正テーブルを格納するメモリ36が
示されている。なお、光変位計18、ラインセンサ]6
、第1エツジセンサ24、第2エツジセンサ26、リニ
アモータ32、パルスステージ22及びロータリソレノ
イド30は実際は複数であるか、この図においては図の
簡単化のため省略されている。
In this figure, on the one hand, the thickness of the object to be measured 10 is determined based on the output of the optical displacement meter 18, and on the other hand, the line sensor] 6
Also shown is an arithmetic control section 34 that controls the linear motor 32 and pulse stage 22 based on the outputs of the first and second edge sensors 24 and 26. Furthermore, the calculation control section 34 also controls the rotary solenoid 30. In addition,
This figure shows a memory 36 that stores a reference distance determined during calibration and a linearity correction table related to the features of the present invention. In addition, optical displacement meter 18, line sensor] 6
, the first edge sensor 24, the second edge sensor 26, the linear motor 32, the pulse stage 22, and the rotary solenoid 30 are actually plural, or are omitted in this figure for simplicity.

次に、この実施例の動作について説明する。Next, the operation of this embodiment will be explained.

まず、搬送ライン12の上に被測定体]0が載置される
。載置された被測定体10は、搬送ライン12によって
搬送され、ラインセンサ〕6下に到達する。
First, the object to be measured]0 is placed on the transport line 12. The placed object 10 to be measured is transported by the transport line 12 and reaches below the line sensor] 6.

すると、ラインセンサ16により、この被測定体]0に
よる遮光位置が検出される。すなわち、ラインセンサ1
6は、被al11定休10により光線が遮られる部分を
検出し、これを被1’1l11定休]0の左右両端位置
として演算制御部34に供給する。
Then, the line sensor 16 detects the light-blocking position caused by the object to be measured]0. That is, line sensor 1
6 detects the portion where the light beam is blocked by the target al11 regular holiday 10, and supplies this to the arithmetic control unit 34 as the left and right end positions of the target 1'1l11 regular holiday]0.

演算制御部34は、ラインセンサ16の出力に基づきリ
ニアモータ32を駆動制御して、光変位計18の位置を
制御する。具体的には、左右両側各1対の光変位計18
を遮光位置として検出される被測定体10の左右両端位
置に移動させ、中央に配置されている1対の光変位計1
8を、左右の光変位計18の中央位置に維持する。これ
により、光変位計18の位置が初期設定される。
The calculation control unit 34 drives and controls the linear motor 32 based on the output of the line sensor 16 to control the position of the optical displacement meter 18 . Specifically, one pair of optical displacement meters 18 on both the left and right sides
A pair of optical displacement meters 1 located in the center are moved to both left and right end positions of the object to be measured 10, which are detected as light shielding positions.
8 is maintained at the center position of the left and right optical displacement meters 18. This initializes the position of the optical displacement meter 18.

こののち、被測定体]0かさらに搬送され第1エツジセ
ンサ24に達すると、この第1エツジセ] 3 ]4 ンサ24により光変位計1−8の位置が微調節される。
Thereafter, when the object to be measured]0 is further transported and reaches the first edge sensor 24, the position of the optical displacement meter 1-8 is finely adjusted by the first edge sensor 24.

すなわち、第1エツジセンサ24の出力に応じ、演算制
御部34がリニアモータ32を制御する。
That is, the calculation control section 34 controls the linear motor 32 according to the output of the first edge sensor 24.

次に、第2エツジセンサ26により被測定体10の左右
両端が捕捉される。このとき、第2エツジセンサ26の
出力により演算制御部34がリニアモータ32を制御す
る。すなわち、第2エツジセンサ26が光変位計18に
固定されているため、この制御によって、第2エツジセ
ンサ26が被測定体10の左右両端を追従捕捉し続け、
かつ左右両側の光変位計18が被測定体10の左右両端
から所定の距離の軌跡を検出走査することとなる。
Next, both left and right ends of the object to be measured 10 are captured by the second edge sensor 26 . At this time, the calculation control section 34 controls the linear motor 32 based on the output of the second edge sensor 26. That is, since the second edge sensor 26 is fixed to the optical displacement meter 18, this control allows the second edge sensor 26 to continue tracking and capturing both the left and right ends of the object to be measured 10.
The optical displacement meters 18 on both the left and right sides detect and scan a locus at a predetermined distance from both the left and right ends of the object 10 to be measured.

第5図には、光変位計18の光ビーム軌跡が、第6図に
は、この軌跡のうち板厚演算に用いられる点(測定位置
)が示されている。
FIG. 5 shows the light beam locus of the optical displacement meter 18, and FIG. 6 shows the points (measurement positions) of this locus used for plate thickness calculation.

この実施例においては、第5図において3本の矢印線で
示される軌跡に係る光変位計18の出力を連続して収集
する。この収集の後、演算制御部34が測定位置を決定
し、板厚を演算する。
In this embodiment, the output of the optical displacement meter 18 related to the trajectory indicated by the three arrow lines in FIG. 5 is continuously collected. After this collection, the calculation control unit 34 determines the measurement position and calculates the plate thickness.

より具体的には、演算制御部34は、被測定体10の先
端がラインセンサ16に達してから第1エツジセンサ2
4に達するまでの時間により被δIII定体10の搬送
速度を求める。ラインセンサ16と第1エツジセンサ2
4の距離は設計的に決定されるため、この搬送速度を用
いて、時刻を被測定体10を基準とした位置座標に換算
できる。この換算結果に基づき、測定位置が決定される
More specifically, the calculation control unit 34 controls the first edge sensor 2 after the tip of the object to be measured 10 reaches the line sensor 16.
The conveying speed of the target δIII constant body 10 is determined from the time taken to reach the δIII constant body 10. Line sensor 16 and first edge sensor 2
Since the distance 4 is determined by design, the time can be converted into position coordinates with respect to the object to be measured 10 using this transport speed. Based on this conversion result, the measurement position is determined.

δIII定位置は、例えば被測定体10の左右両端から
15mmの線、前後両端から15rnmの線及び中心線
の合計6本の線から決定する。すなわち、これらの線の
交点を測定位置P□〜P9に設定する。
The δIII fixed position is determined, for example, from a total of six lines: a line 15 mm from both the left and right ends of the object to be measured 10, a line 15 nm from both the front and rear ends, and a center line. That is, the intersection points of these lines are set at measurement positions P□ to P9.

次に、このように設定された測定位置Pエ 〜P9につ
いて、すでに収集さねている光変位計18出力に基づく
板厚演算が、演算制御部34により行われる。
Next, for the measurement positions Pe to P9 set in this way, the calculation control unit 34 performs plate thickness calculation based on the output of the optical displacement meter 18 that has not yet been collected.

この実施例の場合、板厚演算に供されるデータは、各測
定位置P□〜P、の近傍の点の空間平均である。
In the case of this embodiment, the data used for the plate thickness calculation is the spatial average of points in the vicinity of each measurement position P□ to P.

第7図には、空間平均の演算内容が示されている。FIG. 7 shows the calculation contents of the spatial average.

この図に示されるように、測定位置P、及びその前後各
10点か、第一次有効データとされる。
As shown in this figure, the measurement position P and 10 points each before and after the measurement position P are taken as primary valid data.

各点は2mmピッチに設定されており、これら計21点
のうち一定の条件に合致する点のみを用いて空間平均が
演算される。
Each point is set at a pitch of 2 mm, and the spatial average is calculated using only those points that meet a certain condition out of a total of 21 points.

例えば、21点のうち最大値から2点、最小値から5点
を削除し、さらに異常値をも削除して、残りの点数が1
0点以上の場合に、当該残りの点についての光変位計1
8の出力が平均される。なお、10点に達しない場合に
は、測定不能と判断される。
For example, out of 21 points, delete 2 points from the maximum value, 5 points from the minimum value, and also delete abnormal values, so that the remaining points become 1.
In the case of 0 points or more, the optical displacement meter 1 for the remaining points
The 8 outputs are averaged. Note that if the score does not reach 10 points, it is determined that measurement is not possible.

本実施例における板厚演算は、このようにして空間平均
として求められる光変位計18と被測定体10との距離
を用いて所定の原理に従い実行される。
The plate thickness calculation in this embodiment is performed according to a predetermined principle using the distance between the optical displacement meter 18 and the object to be measured 10, which is thus obtained as a spatial average.

第8図には、この実施例における板厚測定の原理が示さ
れている。
FIG. 8 shows the principle of plate thickness measurement in this embodiment.

この実施例においては、板厚測定時における対向する光
変位計18の距離と、前述の空間平均と、に基づき被イ
+1定休10の板厚が求められる。
In this embodiment, the thickness of the board 10 is determined based on the distance between the opposing optical displacement gauges 18 when measuring the board thickness and the above-mentioned spatial average.

まず、被測定体10が無い状態での光変位計18の対向
距離、すなわち基準距離り。が設計的に決定されている
ものとする。また、板厚りの被測定体10の場合に光変
位計18の間隔を拡げる量、すなわち光変位計18の移
動量をL3とする。
First, the facing distance of the optical displacement meter 18 without the object to be measured 10, that is, the reference distance. is determined by design. Further, in the case of the measured object 10 having a thick plate, the amount by which the distance between the optical displacement meters 18 is increased, that is, the amount of movement of the optical displacement meters 18 is defined as L3.

すると、上側の光変位計18によって測定される距離L
□及び下側の光変位計18によって測定・される距離L
2から、次の式により、板厚りが求められることになる
Then, the distance L measured by the upper optical displacement meter 18
□ and the distance L measured by the lower optical displacement meter 18
2, the plate thickness can be determined using the following formula.

L==(Lo+L3)−(L1+L2)このように、本
実施例においては、測定位置P1〜P9に基づく板厚り
の多点計測が実行される。このとき、空間平均を用いる
ために、被711す定休10の面性状が不均一な場合に
も一定の精度が確保される。すなわち、空間平均により
、面性状による光変位計18出力の不均一か吸収される
ことになる。また、同一の被測定体10において面性状
か不均一な場合にも、これが同様に吸収されるため、測
定が可能になる。
L==(Lo+L3)-(L1+L2) In this way, in this embodiment, multi-point measurement of the plate thickness is performed based on the measurement positions P1 to P9. At this time, since the spatial average is used, a certain degree of accuracy is ensured even when the surface properties of the target 711 and the regular holiday 10 are uneven. In other words, by spatial averaging, the non-uniformity of the output of the optical displacement meter 18 due to the surface texture is absorbed. Furthermore, even if the surface texture of the same object 10 to be measured is non-uniform, this will be absorbed in the same way, making measurement possible.

また、この実施例において板厚しの測定に用いられる移
動ML工は、校正の際に各光変位計18毎に作成される
直線性補正テーブルにより補正された値である。
Furthermore, in this embodiment, the moving ML used to measure plate thickness has a value corrected by a linearity correction table created for each optical displacement meter 18 during calibration.

次に、この直線性補正テーブルの作成に関連する校正の
動作について説明する。
Next, the calibration operation related to the creation of this linearity correction table will be explained.

光変位計18は、例えば環境的要因による特性変化、経
時変化等を伴う装置である。第9図には、実線で初期特
性が、破線で変化後の特性が、それぞれ示されている。
The optical displacement meter 18 is a device whose characteristics change due to environmental factors, change over time, etc., for example. In FIG. 9, the solid line shows the initial characteristic, and the broken line shows the changed characteristic.

このような特性変化は、測定時における誤差となって現
れることになる。このため、本実施例では、校正として
直線性校正を行うこととしている。
Such a change in characteristics appears as an error during measurement. Therefore, in this embodiment, linearity calibration is performed as the calibration.

また、架台14か温度、湿度、経年変化等により歪んで
いる場合、この歪みは上下の光変位計18の距離、すな
わち、基準距離を変化させる。
Further, if the pedestal 14 is distorted due to temperature, humidity, aging, etc., this distortion changes the distance between the upper and lower optical displacement meters 18, that is, the reference distance.

この変化は、測定値の誤差となって現れる。このため、
本実施例では架台校正を実施する。
This change appears as an error in the measured value. For this reason,
In this embodiment, frame calibration is performed.

直線性校正は、架台校正に先立って実施される。Linearity calibration is performed prior to gantry calibration.

すなわち、直線性校正か実施された後の光変位計]8に
ついて架台校正か施される。
That is, after the linearity calibration has been performed, the mount calibration is performed on the optical displacement meter]8.

まず、直線性校正の際には、校正板28がロタリソレノ
イド30により回動される。この回動の結果、その先端
は対向する光変位計18の間の位置に配置される。
First, during linearity calibration, the calibration plate 28 is rotated by the rotary solenoid 30. As a result of this rotation, the tip is placed at a position between the optical displacement meters 18 facing each other.

校正板28は、板厚が既知で白色セラミック板から形成
されており、配置の後にロータリンレノイド30により
水平方向に振動させられる。この振動は、振幅±3mm
程度の振動であり、校正板28の面性状の影響を排除す
るために施される。
The calibration plate 28 is made of a white ceramic plate with a known thickness, and is vibrated in the horizontal direction by the rotary lenoid 30 after placement. This vibration has an amplitude of ±3mm
This vibration is applied to eliminate the influence of the surface properties of the calibration plate 28.

この状態で、光変位計18は、」1下方向に所定ピッチ
で移動させられる。すなわち、演算制御部34によりパ
ルスステージ22が制御され、上側の光変位旧18の」
1下位置が所定ピッチ、例えば1mmで変化する。この
変化毎に、光変位計18からの出力が得られる。この出
力は、光変位計18と校正板28との距離を示すもので
ある。各ピッチ毎に16回の71111定か行われ、さ
らに光変位計18の上下方向移動か所定ピッチ数、例え
ば±20mmに相当するピッチ数だけ実行されたのちに
これらの出力が平均される。
In this state, the optical displacement meter 18 is moved downward by a predetermined pitch. That is, the pulse stage 22 is controlled by the arithmetic control unit 34, and the upper optical displacement stage 18 is controlled by the pulse stage 22.
The 1-lower position changes at a predetermined pitch, for example, 1 mm. An output from the optical displacement meter 18 is obtained for each change. This output indicates the distance between the optical displacement meter 18 and the calibration plate 28. The 71111 determination is performed 16 times for each pitch, and after the optical displacement meter 18 is moved vertically a predetermined number of pitches, for example, the number of pitches corresponding to ±20 mm, these outputs are averaged.

このようにして得られた光変位計18出力の平均(以下
、cl、tに光変位計18出力という)は、光変位計1
8の期待される上下位置と対応付けられる。すなわち、
光変位計18出力は期待される上下位置と対応付けられ
直線性補正テーブルとしてメモリ36に格納される。
The average of the optical displacement meter 18 outputs obtained in this way (hereinafter cl and t are referred to as the optical displacement meter 18 outputs) is the optical displacement meter 18 output.
This corresponds to the expected vertical position of 8. That is,
The output of the optical displacement meter 18 is associated with the expected vertical position and stored in the memory 36 as a linearity correction table.

第10図には、直線性補正テーブルの一例が示されてい
る。
FIG. 10 shows an example of a linearity correction table.

この図に示されるように、直線性補正テーブルは、演算
制御部34によるパルスステージ22の制御量(指令値
)L38□と、実際の光変位計18出力L3Aよと、を
対応付けている。指令値L3S iは、光変位計18の
初期特性に基づき発せられる値であり、光変位計18が
特性変化してないならば得られるであろう」1下位置、
すなわち理想値である。従って、直線性補正テーブルは
、光変位計18の特性に関して理想値と実際値とを対応
付けるものである。
As shown in this figure, the linearity correction table associates the control amount (command value) L38□ of the pulse stage 22 by the calculation control unit 34 with the actual output L3A of the optical displacement meter 18. The command value L3S i is a value issued based on the initial characteristics of the optical displacement meter 18, and would be obtained if the characteristics of the optical displacement meter 18 had not changed.
That is, it is an ideal value. Therefore, the linearity correction table associates ideal values and actual values regarding the characteristics of the optical displacement meter 18.

このような直線性補正テーブルは、光変位語18の特性
変化に対応する趣旨から、上側の光変位計18それぞれ
について作成される。
Such a linearity correction table is created for each of the upper optical displacement meters 18 for the purpose of responding to changes in the characteristics of the optical displacement words 18.

このようにして、直線性校正か実施された後に、架台校
正か実施される。この架台校正においては、」1下の光
変位計18と校正板28か一体に水平移動させされる。
In this way, after the linearity calibration is performed, the mount calibration is performed. In this pedestal calibration, the optical displacement meter 18 and the calibration plate 28 below 1 are horizontally moved together.

すなわち、第11図に示されるように、3個の光変位計
18の可動範囲は1.00−1、]0〇−2及び100
−3のような範囲(例えば40mm程度)をとり、搬送
ライン〕2の全幅]10をカバーしている。光変位計1
8及び校正板28は、それぞれの可動範囲100内にお
いて所定間隔て一体移動され、各光変位計18について
校正テーブルが作成される。
That is, as shown in FIG. 11, the movable ranges of the three optical displacement meters 18 are 1.00-1, ]00-2, and 100.
-3 (for example, about 40 mm), and covers the full width of the conveyance line [2]10. Optical displacement meter 1
8 and the calibration plate 28 are integrally moved at predetermined intervals within their respective movable ranges 100, and a calibration table is created for each optical displacement meter 18.

第1−2図には、校正テーブルの一例が示されている。An example of a calibration table is shown in FIGS. 1-2.

この図に示されるように、校正テーブルは、光変位計の
左右位置X  と、各左右位置XAiにおける実際の基
準距離LoAiと、を対応付けるテーブルである。
As shown in this figure, the calibration table is a table that associates the left-right position X of the optical displacement meter with the actual reference distance LoAi at each left-right position XAi.

架台校正においては、直線性校正の際と同様、校正板2
8が回動されかつ水平振動されている。
In pedestal calibration, as in the case of linearity calibration, use the calibration plate 2.
8 is rotated and horizontally vibrated.

この状態での光変位計18の出力は、光変位計18と校
正板28との距離を示している。
The output of the optical displacement meter 18 in this state indicates the distance between the optical displacement meter 18 and the calibration plate 28.

ここで、校正板28の板厚をβ。、上側及び下側の光変
位計18から校正板28までの距離(すなわち上下の光
変位計18の各出力)をそれぞれΩ 及び、1l12と
する。この場合、第3図に示されす るように、基準距離Loについて、次の式%式% が成立する。従って、演算制御部34が上式に基づく演
算を実行することにより、実際の基準距離Loが求めら
れることになる。また、このような演算を所定回数、例
えば16回繰り返し平均を求め、この平均値を基準距離
り。とじて扱えば、さらに基準距離り。の正確さは向上
する。
Here, the thickness of the calibration plate 28 is β. , the distances from the upper and lower optical displacement meters 18 to the calibration plate 28 (that is, the respective outputs of the upper and lower optical displacement meters 18) are Ω and 1l12, respectively. In this case, as shown in FIG. 3, the following formula % formula % holds true for the reference distance Lo. Therefore, the actual reference distance Lo is determined by the calculation control unit 34 executing the calculation based on the above equation. Further, such calculations are repeated a predetermined number of times, for example, 16 times, and the average value is obtained, and this average value is used as the reference distance. If you treat it together, the standard distance will be further increased. accuracy will be improved.

この基準距離り。は、上側の光変位計18を所定間隔で
左右に移動させることにより、N個のデータLoAiと
して得られる。なお、この左右移動は、演算制御部34
の制御に基づきリニアモタ32により行われる。
This standard distance. is obtained as N pieces of data LoAi by moving the upper optical displacement meter 18 left and right at predetermined intervals. Note that this left and right movement is performed by the calculation control section 34.
This is performed by the linear motor 32 based on the control of.

このようにして得られた基準距離”OAiが、光変位計
18の左右位置と対応付けられると、第11図に示され
るような校正テーブルが作成される。校正テーブルは、
各光変位計18の対ごとに作成される。
When the reference distance "OAi" obtained in this way is correlated with the left and right positions of the optical displacement meter 18, a calibration table as shown in FIG. 11 is created.The calibration table is
It is created for each pair of optical displacement meters 18.

以上のようにして作成された直線性補正テーブル及び校
正テーブルは、メモリ36に格納される。
The linearity correction table and calibration table created as described above are stored in the memory 36.

測定時には、これら直線性補正テーブル及び校正テーブ
ルが参照される。
During measurement, these linearity correction tables and calibration tables are referred to.

すなわち、被測定体10の板厚を求める際、演算制御部
34は、パルスステージ22への指令値に基づき直線性
テーブル中のデータを読み出す。
That is, when determining the thickness of the object to be measured 10, the calculation control unit 34 reads data in the linearity table based on the command value to the pulse stage 22.

この読み出しにより得られるデータは、例えば第9図で
いえばL  、である。従って、このデーA1 夕と指令値との差を求めれば、現在の光変位計18の出
力に含まれる特性変化に起因する誤差が求められる。こ
の誤差を光変位計18出力から減してやれば、光変位計
18の特性変化に起因する誤差の影響が排除される。
The data obtained by this reading is, for example, L in FIG. 9. Therefore, by finding the difference between this data A1 and the command value, the error caused by the characteristic change included in the current output of the optical displacement meter 18 can be found. By subtracting this error from the output of the optical displacement meter 18, the influence of the error caused by the change in the characteristics of the optical displacement meter 18 is eliminated.

また、板厚演算時に用いられる基準距離をL○補正すべ
く、演算制御部34は、光変位計18の左右位置に基づ
きメモリ36から校正テーブルに係るデータを読み出す
。読み出されるデータは、その左右位置に係る基準距@
 L □である。この基準距離り。は、前述のように架
台歪みを反映した値であるため、この基準距離Loを用
いて板厚演算すれば、架台14が歪んでいる場合におけ
る誤差発生が防止される。
In addition, in order to correct the reference distance used when calculating the plate thickness by L○, the calculation control unit 34 reads data related to the calibration table from the memory 36 based on the left and right positions of the optical displacement meter 18. The read data is the reference distance related to the left and right positions @
L □. This standard distance. As described above, is a value that reflects the distortion of the pedestal, so if the plate thickness is calculated using this reference distance Lo, it is possible to prevent errors from occurring when the pedestal 14 is distorted.

このように、本実施例によれば、校正板28により簡易
な手段で電気的補正及び機械的補正を一括して実施する
ことができる。さらに、直線性補正テーブル及び校正テ
ーブルにより補正を行うことができ、より正確に板厚り
を演算して正確性及び信頼性を確保することが可能にな
る。
In this way, according to this embodiment, electrical correction and mechanical correction can be performed at once using the calibration plate 28 using simple means. Furthermore, correction can be performed using the linearity correction table and the calibration table, and it becomes possible to calculate the plate thickness more accurately and ensure accuracy and reliability.

また、光変位計18と被測定体10との距離を測定点近
傍の数点の空間平均として求められ、この結果、複数の
被測定体10間の面性状のばらつきや、同一被測定体1
0における面性状のばらつきかある場合にも、この面性
状の影響を補正してより正確な板厚りの測定を行うこと
ができる。
In addition, the distance between the optical displacement meter 18 and the object to be measured 10 is determined as a spatial average of several points near the measurement point, and as a result, it is possible to determine the distance between the optical displacement meter 18 and the object to be measured 10.
Even if there is some variation in the surface texture at 0, the influence of this surface texture can be corrected and the plate thickness can be measured more accurately.

なお、以上の説明ではパルスステージ22が上側のみに
設けられていたが、下側にも設けても良い。この場合、
上、下の光変位計18について直線性補正テーブルが作
成され、より精密な測定か可能になる。
Note that in the above description, the pulse stage 22 was provided only on the upper side, but it may also be provided on the lower side. in this case,
Linearity correction tables are created for the upper and lower optical displacement meters 18, allowing more precise measurements.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、直線性補正テー
ブル及び校正テーブルを作成し、直線性補正テーブル及
び校正テーブルにより光変位計出力及び基準距離を補正
するようにしたため、より正確な板厚測定が可能になる
。また、空間平均に基づき板厚演算を行うようにしたた
め、面性状に起因する誤差が低減し、より正確な板厚測
定が可能になる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, a linearity correction table and a calibration table are created, and the optical displacement meter output and reference distance are corrected using the linearity correction table and the calibration table. Enables more accurate plate thickness measurement. Furthermore, since the plate thickness is calculated based on a spatial average, errors caused by surface properties are reduced, making it possible to measure the plate thickness more accurately.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例に係る自動板厚測定装置の実
体構成を示す概略外観図であり、第1図(a)は上面図
、第1図(b)は側面図、第2図はこの実施例のより詳
細な実体構成を示す正面図、 第3図はこの実施例の校正手段の構成を示す概略図であ
り、第3図(a)は正面図、第3図(b)は側面図、 第4図はこの実施例の回路構成を示すブロック図、 第5図は光変位計から発せられる光ビームの軌跡を示す
図、 第6図は板厚測定位置を示す図、 第7図は空間平均の概念を示す図、 第8図は板厚測定原理を示す図、 第9図は光変位計の特性変化を示す図、第10図は直線
性補正テーブルの一例を示す図、第11図は光変位計の
移動範囲を示す図、第12図は校正テーブルの一例を示
す図である。 ]0 ・・・ 被測定体 12 ・ 搬送ライン ]8 ・・ 光変位計 32  ・・ 校正板 ロータリソレノイド リニアモータ 演算制御部
FIG. 1 is a schematic external view showing the actual configuration of an automatic plate thickness measuring device according to an embodiment of the present invention, in which FIG. 1(a) is a top view, FIG. 1(b) is a side view, and FIG. The figure is a front view showing a more detailed actual configuration of this embodiment, and FIG. 3 is a schematic diagram showing the configuration of the calibration means of this embodiment. ) is a side view, Figure 4 is a block diagram showing the circuit configuration of this embodiment, Figure 5 is a diagram showing the locus of the light beam emitted from the optical displacement meter, Figure 6 is a diagram showing the plate thickness measurement position, Figure 7 is a diagram showing the concept of spatial averaging, Figure 8 is a diagram showing the principle of plate thickness measurement, Figure 9 is a diagram showing changes in characteristics of the optical displacement meter, and Figure 10 is an example of a linearity correction table. FIG. 11 is a diagram showing the movement range of the optical displacement meter, and FIG. 12 is a diagram showing an example of a calibration table. ]0... Object to be measured 12/Transportation line]8... Optical displacement meter 32... Calibration plate Rotary solenoid linear motor calculation control section

Claims (1)

【特許請求の範囲】 被測定体を搬送する搬送ラインの上方及び下方の架台上
に対をなしかつ所定の基準距離を隔てて配置され、光ビ
ームを被測定体に照射して反射光に基づき被測定体との
距離を求める複数対の光変位計と、 先端がL字状の屈曲を有し、被測定体の板厚測定時には
先端が光変位計の測定域外に配置される所定板厚の校正
板と、 校正時に、光変位計から発せられる光ビームを遮る所定
位置に先端が位置するよう校正板を回動させる回動手段
と、 測定時には、被測定体の板厚規格に応じて定められる位
置となるよう光変位計の上下位置を制御し、被測定体の
流れに応じて被測定体上の所定軌跡を描くよう光変位計
の左右位置を制御し、直線性校正時には、光変位計を上
下方向に所定ピッチで移動させ、架台校正時には、光変
位計を左右方向に所定間隔で移動させる位置制御手段と
、直線性校正時における光変位計の出力を光変位計の期
待される上下位置に対応付ける直線性補正テーブルを作
成する直線性補正手段と、 架台校正時における光変位計の出力と、校正板の板厚と
、に基づき基準距離を求め、この基準距離を光変位計の
左右位置に対応付ける校正テーブルを作成する架台補正
手段と、 直線性補正テーブルを参照して光変位計と被測定体との
距離を補正し、光変位計の左右位置により校正テーブル
を参照して基準距離を補正し、光変位計の上下方向移動
量、補正された距離及び基準距離に基づき前記軌跡に沿
う数点について被測定体の板厚を演算し平均する板厚演
算手段と、を備えることを特徴とする自動板厚測定装置
[Claims] The system is arranged in pairs on the upper and lower mounts of the transport line that transports the object to be measured, and is spaced apart by a predetermined reference distance, and irradiates the object with a light beam and based on the reflected light. A plurality of pairs of optical displacement meters that measure the distance to the object to be measured, and a predetermined plate thickness whose tip has an L-shaped bend and whose tip is placed outside the measurement range of the optical displacement meter when measuring the thickness of the object to be measured. a calibration plate; a rotating means for rotating the calibration plate so that its tip is located at a predetermined position that blocks the light beam emitted from the optical displacement meter during calibration; The vertical position of the optical displacement meter is controlled so that it is at the determined position, and the horizontal position of the optical displacement meter is controlled so that it draws a prescribed trajectory on the measured object according to the flow of the measured object. A position control means that moves the displacement meter vertically at a predetermined pitch, and moves the optical displacement meter at a predetermined interval in the left and right direction during frame calibration, and a position control means that moves the optical displacement meter at a predetermined interval in the horizontal direction when calibrating the mount, and a position control means that moves the optical displacement meter at a predetermined interval during linearity calibration. A linearity correction means that creates a linearity correction table that corresponds to the vertical position of a gantry correction means that creates a calibration table that corresponds to the left and right positions of the optical displacement meter; plate thickness calculating means for correcting the reference distance, calculating and averaging the plate thickness of the object to be measured at several points along the trajectory based on the vertical movement amount of the optical displacement meter, the corrected distance, and the reference distance; An automatic plate thickness measuring device characterized by:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN111721766A (en) * 2019-03-20 2020-09-29 蒂森克虏拉塞斯坦有限公司 Method and apparatus for inspecting the surface of a moving belt

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