JPH038767A - 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法 - Google Patents
電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法Info
- Publication number
- JPH038767A JPH038767A JP1143729A JP14372989A JPH038767A JP H038767 A JPH038767 A JP H038767A JP 1143729 A JP1143729 A JP 1143729A JP 14372989 A JP14372989 A JP 14372989A JP H038767 A JPH038767 A JP H038767A
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- JP
- Japan
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- mol
- component
- varistor
- voltage
- weight
- Prior art date
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- Pending
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は電気機器、電子機器で発生する異常高電圧、ノ
イズ、静電気などから機器の半導体および回路を保護す
るためのコンデンサ特性とバリスタ特性を有する電圧依
存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法
に関するものである。
イズ、静電気などから機器の半導体および回路を保護す
るためのコンデンサ特性とバリスタ特性を有する電圧依
存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法
に関するものである。
従来の技術
従来、各種の電気機器、電子機器における異常高電圧の
吸収、ノイズの除去、火花消去、静電気対策のために電
圧依存性非直線抵抗特性を有するSiCバリスタや、Z
nO系バリスタなどが使用されている。このようなバリ
スタの電圧−電流特性は近似的に次式のように表すこと
ができる。
吸収、ノイズの除去、火花消去、静電気対策のために電
圧依存性非直線抵抗特性を有するSiCバリスタや、Z
nO系バリスタなどが使用されている。このようなバリ
スタの電圧−電流特性は近似的に次式のように表すこと
ができる。
1=(V/C)α
ここで、■は電流、■は電圧、Cはバリスタ固有の定数
、αは電圧−電流非直線指数である。
、αは電圧−電流非直線指数である。
SiCバリスタのαは2〜7程度、ZnO系バノスタで
はαが50にもおよぶものがある。このようなバリスタ
は比較的高い電圧の吸収には優れた性能を有しているが
、誘電率が低(、固有の静電容量が小さいため、バリス
タ電圧以下の比較的低い電圧の吸収にはほとんど効果を
示さず、また誘電損失tanδが5〜10%と大きい。
はαが50にもおよぶものがある。このようなバリスタ
は比較的高い電圧の吸収には優れた性能を有しているが
、誘電率が低(、固有の静電容量が小さいため、バリス
タ電圧以下の比較的低い電圧の吸収にはほとんど効果を
示さず、また誘電損失tanδが5〜10%と大きい。
一方、これらの低電圧のノイズなどの除去には見かけの
誘電率が5 X 104程度で、tanδが1%前後の
半導体コンデンサが利用されている。
誘電率が5 X 104程度で、tanδが1%前後の
半導体コンデンサが利用されている。
しかし、このような半導体コンデンサはサージなどによ
りある限度以上の電圧または電流が印加される七、静電
容量が減少したり、破壊されたりしてコンデンサとして
の機能を果たさな(なったりする。
りある限度以上の電圧または電流が印加される七、静電
容量が減少したり、破壊されたりしてコンデンサとして
の機能を果たさな(なったりする。
そこで最近になって5rTi○3を主成分とし、バリス
タ特性とコンデンサ特性の両方の機能を有するものが開
発され、コンピュータなどの電子機器におけるIC,L
SIなどの半導体素子の保護に利用されている。
タ特性とコンデンサ特性の両方の機能を有するものが開
発され、コンピュータなどの電子機器におけるIC,L
SIなどの半導体素子の保護に利用されている。
発明が解決しようとする課題
上記の5rTi03を主成分とするバリスタとコンデン
サの両方の機能を有する素子は、ZnO系バリスタに比
べ誘電率が約10倍と大きいが、αやサージ耐量が小さ
(、バリスタ電圧を低くすると特性が劣化しやすいとい
った欠点を有していた。
サの両方の機能を有する素子は、ZnO系バリスタに比
べ誘電率が約10倍と大きいが、αやサージ耐量が小さ
(、バリスタ電圧を低くすると特性が劣化しやすいとい
った欠点を有していた。
そこで本発明では、誘電率が太き(、バリスタ電圧が低
く、αが大きいと共にサージ耐量が大きい電圧依存性非
直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法を提供
することを目的とするものである。
く、αが大きいと共にサージ耐量が大きい電圧依存性非
直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法を提供
することを目的とするものである。
課題を解決するための手段
上記の問題点を解決するために本発明では、S r a
T i 03 (0.950≦a≦1.000) (
以下第1成分と呼ぶ)を90.OOO〜99.998m
o 1%、Nb2O5,Ta205.WO3,Dy2O
3゜Y2O3,La2O3,ceO2,Sm2O3,P
r601Nd203のうち少なくとも1ill類以上
(以下第2成分と呼ぶ)を0.001〜5.OOOmo
1%。
T i 03 (0.950≦a≦1.000) (
以下第1成分と呼ぶ)を90.OOO〜99.998m
o 1%、Nb2O5,Ta205.WO3,Dy2O
3゜Y2O3,La2O3,ceO2,Sm2O3,P
r601Nd203のうち少なくとも1ill類以上
(以下第2成分と呼ぶ)を0.001〜5.OOOmo
1%。
A 1203,Sb2O3,BaO,Bed、PbO。
B2O3,Cr2O3,Fe2O3,CaO,に20゜
CaO,CO2O3,CuO,Cu2O,L 120L
i F、MgO,MnO2,MOO3,Na2O。
CaO,CO2O3,CuO,Cu2O,L 120L
i F、MgO,MnO2,MOO3,Na2O。
NaF,NiO,Rh2O3,5eOz、’Ag2O。
S i 02.S i C,S ro、T I2O3,
ThO3,TiO2,V2O5T B 12O3,Zn
O,Z ro3,SnO2のうち少なくとも1種類以上
(以下第3成分と呼ぶ)を0.001〜5.OOOmo
1%含有してなる主成分100重量部と、MgTi(
h60、OOO〜32.500mo 1%,SiO24
0.000〜67.500mo 1%からなる混合物を
1200℃以上で焼成してなる添加物(以下第4成分と
呼ぶ)0.001〜10.000重量部とからなる電圧
依存性非直線抵抗体磁器組成物を得ることにより問題を
解決しようとするものである。
ThO3,TiO2,V2O5T B 12O3,Zn
O,Z ro3,SnO2のうち少なくとも1種類以上
(以下第3成分と呼ぶ)を0.001〜5.OOOmo
1%含有してなる主成分100重量部と、MgTi(
h60、OOO〜32.500mo 1%,SiO24
0.000〜67.500mo 1%からなる混合物を
1200℃以上で焼成してなる添加物(以下第4成分と
呼ぶ)0.001〜10.000重量部とからなる電圧
依存性非直線抵抗体磁器組成物を得ることにより問題を
解決しようとするものである。
また、上記組成物を1100℃以上で焼成するバリスタ
の製造方法、あるいは上記組成物を1100℃以上で焼
成した後、還元性雰囲気中で1200℃以上で焼成し、
その後酸化性雰囲気中で900〜1300℃で焼成する
バリスタの製造方法を提案するものである。
の製造方法、あるいは上記組成物を1100℃以上で焼
成した後、還元性雰囲気中で1200℃以上で焼成し、
その後酸化性雰囲気中で900〜1300℃で焼成する
バリスタの製造方法を提案するものである。
作用
上記の発明において第1成分は主たる成分であり、第2
成分は主に第1成分の半導体化を促進する金属酸化物で
ある。また、第3成分は誘電率。
成分は主に第1成分の半導体化を促進する金属酸化物で
ある。また、第3成分は誘電率。
α、サージ耐量の改善に寄与するものであり、第4成分
はバリスタ電圧の低下、誘電率の改善に有効なものであ
る。特に、第4成分は融点が1230〜1250℃と比
較的低いため、融点前後の温度で焼成すると液相となり
、その他の成分の反応を促進すると共に粒子の成長を促
進する。そのため粒界部分に第3成分が偏析しやすくな
り、粒界が高抵抗化され易くなり、バリスタ機能および
コンデンサ機能が改善される。また、粒成長が促進され
るためバリスタ電圧が低くなり、粒径の均一性が向上す
るため特性の安定性がよくなり、特にサージ耐量が改善
されることとなる。
はバリスタ電圧の低下、誘電率の改善に有効なものであ
る。特に、第4成分は融点が1230〜1250℃と比
較的低いため、融点前後の温度で焼成すると液相となり
、その他の成分の反応を促進すると共に粒子の成長を促
進する。そのため粒界部分に第3成分が偏析しやすくな
り、粒界が高抵抗化され易くなり、バリスタ機能および
コンデンサ機能が改善される。また、粒成長が促進され
るためバリスタ電圧が低くなり、粒径の均一性が向上す
るため特性の安定性がよくなり、特にサージ耐量が改善
されることとなる。
実施例
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。
まず、MgT i○3.SiC2を下記の第1表に示す
ように組成比を種々変えて秤量し、ボールミルなどで2
0Hr混合する。次に、乾燥した後、下記の第1表に示
すように温度を種々変えて焼成し、再びボールミルなど
で208 r粉砕した後、乾燥し、第4成分とする。次
いで、第1成分、第2成分、第3成分、第4成分を下記
の第1表に示した組成比になるように秤量し、ボールミ
ルなどで248 r混合した後、乾燥し、ポリビニルア
ルコールなどの有機バインダーを10wt%添加して造
粒した後、1(t/c/)のプレス圧力で1oφXIt
(mm)の円板状に成形し、1000℃で10Hr焼成
し脱バインダーする。次に、第1表に示したように温度
を種々変えて3Hr焼成(第1焼成)シ、その後還元性
雰囲気、例えばN2:)(2=9:1のガス中で温度を
種々変えて4Hr焼成(第2焼成)する。さらにその後
、酸化性雰囲気中で温度を種々変えて4Hr焼成(第3
焼成)する。
ように組成比を種々変えて秤量し、ボールミルなどで2
0Hr混合する。次に、乾燥した後、下記の第1表に示
すように温度を種々変えて焼成し、再びボールミルなど
で208 r粉砕した後、乾燥し、第4成分とする。次
いで、第1成分、第2成分、第3成分、第4成分を下記
の第1表に示した組成比になるように秤量し、ボールミ
ルなどで248 r混合した後、乾燥し、ポリビニルア
ルコールなどの有機バインダーを10wt%添加して造
粒した後、1(t/c/)のプレス圧力で1oφXIt
(mm)の円板状に成形し、1000℃で10Hr焼成
し脱バインダーする。次に、第1表に示したように温度
を種々変えて3Hr焼成(第1焼成)シ、その後還元性
雰囲気、例えばN2:)(2=9:1のガス中で温度を
種々変えて4Hr焼成(第2焼成)する。さらにその後
、酸化性雰囲気中で温度を種々変えて4Hr焼成(第3
焼成)する。
こうして得られた第1図および第2図に示す焼結体1の
両平面に外周を残すようにして、Mなどの導電性ペース
トをスクリーン印刷などにより塗布し、600℃、5m
1nで焼成し、電極2,3を形成する。次に、半田など
によりリード線を取付け、エポキシなどの樹脂を塗装す
る。このようにして得られた素子の特性を下記の第2表
に示す。
両平面に外周を残すようにして、Mなどの導電性ペース
トをスクリーン印刷などにより塗布し、600℃、5m
1nで焼成し、電極2,3を形成する。次に、半田など
によりリード線を取付け、エポキシなどの樹脂を塗装す
る。このようにして得られた素子の特性を下記の第2表
に示す。
なお、見掛は誘電率はIKHzでの静電容量から計算し
たものであり、αは α=1/Log (V+ornA/V+mA)(ただし
、VlmA、VHmAは1mA、10mAの電流を流し
た時に素子の両端にかかる電圧である。)で評価した。
たものであり、αは α=1/Log (V+ornA/V+mA)(ただし
、VlmA、VHmAは1mA、10mAの電流を流し
た時に素子の両端にかかる電圧である。)で評価した。
また、サージ耐量はパルス性の電流を印加した後のVl
mAの変化率が±10%以内である時の最大のパルス性
電流値により評価している。
mAの変化率が±10%以内である時の最大のパルス性
電流値により評価している。
(以 下 余 白 )
また、第1成分の5raTi03の範囲を規定したのは
、aが1.000よりも大きくなると格子欠陥が発生し
にくいため半導体化が促進されず、VlmAが高くなり
すぎて特性が劣化し、方0.95より小さくなるとTi
が過剰になりすぎてTiO2の結晶が生成し、組織が不
均一になり特性が劣化するためである。さらに、第2成
分はO,OO1mol%未満では効果を示さず、5.0
00mol%を超えると粒界に偏析して粒界の高抵抗化
を抑制し、粒界に第2相を形成するため特性が劣化する
ものである。また、第3成分は0.001mol%未満
では効果を示さず、5、000mol%を超えると粒界
に偏析して第2相を形成するため特性が劣化するもので
ある。
、aが1.000よりも大きくなると格子欠陥が発生し
にくいため半導体化が促進されず、VlmAが高くなり
すぎて特性が劣化し、方0.95より小さくなるとTi
が過剰になりすぎてTiO2の結晶が生成し、組織が不
均一になり特性が劣化するためである。さらに、第2成
分はO,OO1mol%未満では効果を示さず、5.0
00mol%を超えると粒界に偏析して粒界の高抵抗化
を抑制し、粒界に第2相を形成するため特性が劣化する
ものである。また、第3成分は0.001mol%未満
では効果を示さず、5、000mol%を超えると粒界
に偏析して第2相を形成するため特性が劣化するもので
ある。
また、第4成分はMgTiChと5i02の2成分系の
相図のなかでMgTiO360.000〜32.500
mol%、S iCh 40.000〜67 、50
0 m o ’1%の範囲内のものは最も融点の低い領
域の物質であり、その範囲外では融点が高くなるもので
ある。また、第4成分の添加量は、0.001重量部未
満では効果を示さず、10.000重量部を超えると粒
界の抵抗は高くなるが粒界の幅が厚くなるため、静電容
量が小さくなると共にV+ mAが高(なり、サージに
対して弱(なるものである。また、第4成分の焼成温度
を規定したのは、低融点の第4成分が合成される温度が
1200℃以上であるためである。そして、第1焼成の
温度を規定したのは、第4成分の融点が1200〜12
50℃であるため、1100℃以上の1温度で焼成する
と第4成分が液相に近い状態になって焼結が促進される
ためであり、1100℃未満では第4成分の液相焼結効
果がないためである。また、第2焼成の温度を規定した
のは、1200℃未満では第1焼成後の焼結体が十分に
還元されず、バリスタ特性、コンデンサ特性共に劣化す
るためである。さらに、第3焼成の温度を規定したのは
、900℃未満では粒界の高抵抗化が十分に進まないた
め、VlmAが低(なりすぎバリスタ特性が劣化するた
めであり、1300℃を越えると静電容量が小さくなり
すぎコンデンサ特性が劣化するためである。また、第1
焼成の雰囲気は酸化性雰囲気でも還元性雰囲気でも同様
の効果があることを確認した。
相図のなかでMgTiO360.000〜32.500
mol%、S iCh 40.000〜67 、50
0 m o ’1%の範囲内のものは最も融点の低い領
域の物質であり、その範囲外では融点が高くなるもので
ある。また、第4成分の添加量は、0.001重量部未
満では効果を示さず、10.000重量部を超えると粒
界の抵抗は高くなるが粒界の幅が厚くなるため、静電容
量が小さくなると共にV+ mAが高(なり、サージに
対して弱(なるものである。また、第4成分の焼成温度
を規定したのは、低融点の第4成分が合成される温度が
1200℃以上であるためである。そして、第1焼成の
温度を規定したのは、第4成分の融点が1200〜12
50℃であるため、1100℃以上の1温度で焼成する
と第4成分が液相に近い状態になって焼結が促進される
ためであり、1100℃未満では第4成分の液相焼結効
果がないためである。また、第2焼成の温度を規定した
のは、1200℃未満では第1焼成後の焼結体が十分に
還元されず、バリスタ特性、コンデンサ特性共に劣化す
るためである。さらに、第3焼成の温度を規定したのは
、900℃未満では粒界の高抵抗化が十分に進まないた
め、VlmAが低(なりすぎバリスタ特性が劣化するた
めであり、1300℃を越えると静電容量が小さくなり
すぎコンデンサ特性が劣化するためである。また、第1
焼成の雰囲気は酸化性雰囲気でも還元性雰囲気でも同様
の効果があることを確認した。
なお、第2成分としては、上記実施例で挙げた成分以外
にSm 2O3, P r so++を用いることがで
き、かつ2種類以上を組み合せて上記範囲内の添加量で
用いてもよいものである。また、第3成分としては、上
記実施例で挙げた成分以外にBad、Bed、PbO,
B203 、CaOCu20.L i20.L iF、
MgO,Na2O。
にSm 2O3, P r so++を用いることがで
き、かつ2種類以上を組み合せて上記範囲内の添加量で
用いてもよいものである。また、第3成分としては、上
記実施例で挙げた成分以外にBad、Bed、PbO,
B203 、CaOCu20.L i20.L iF、
MgO,Na2O。
NaF、Rh2O3,5e02.Ag2O。
5i02 、SiC,SrO,T1203’I’110
2.TiO2を用いることができ、かつ第2成分と同様
に2種類以上を組合せて上述した範囲内の添加量で用い
てもよいものである。さらに、上記実施例ではこれら添
加物の組合せについては一部のみ示しているが、その他
の組合せでも同様の効果が得られることが確認された。
2.TiO2を用いることができ、かつ第2成分と同様
に2種類以上を組合せて上述した範囲内の添加量で用い
てもよいものである。さらに、上記実施例ではこれら添
加物の組合せについては一部のみ示しているが、その他
の組合せでも同様の効果が得られることが確認された。
発明の効果
以上に示したように本発明によれば、粒子径が大きいた
めバリスタ電圧が低(、誘電率εおよびαが大きく、粒
子径のばらつきが小さいことからサージ電流が素子に均
一に流れるため、サージ耐量が太き(なるという効果が
得られる。
めバリスタ電圧が低(、誘電率εおよびαが大きく、粒
子径のばらつきが小さいことからサージ電流が素子に均
一に流れるため、サージ耐量が太き(なるという効果が
得られる。
第1図は本発明による素子を示す上面図、第2図は本発
明による素子を示す断面図である。 1・・・・・・焼結体、2,3・・・・・・電極。
明による素子を示す断面図である。 1・・・・・・焼結体、2,3・・・・・・電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)Sr_aTiO_3(0.950≦a≦1.00
0)を90.000〜99.998mol%,Nb_2
O_5,Ta2O_5,WO_3,Dy_2O_3,Y
_2O_3,La_2O_3,CeO_2,Sm_2O
_3,Pr_6O_1_1,Nd_2O_3のうち少な
くとも1種類以上を0.001〜5.000mol%,
Al_2O_3,Sb_2O_3,BaO,BeO,P
bO,B_2O_3,Cr_2O_3,Fe_2O_3
,CdO,K_2O,CaO,Co_2O_3,CuO
,Cu_2O,Li_2O,LiF,MgO,MnO_
2,MoO_3,Na_2O,NaF,NiO,Rh_
2O_3,SeO_2,Ag_2O,SiO_2,Si
C,SrO,Tl_2O_3,ThO_2,TiO_2
,V_2O_5,Bi_2O_3,ZnO,ZrO_2
.SnO_2のうち少なくとも1種類以上を0.001
〜5.000mol%含有してなる主成分100重量部
と、MgTiO_3 60.000〜32.500mol%,SiO_240
.000〜67.500mol%からなる混合物を12
00℃以上で焼成してなる添加物0.001〜10.0
00重量部とからなることを特徴とする電圧依存性非直
線抵抗体磁器組成物。 (2)Sr_aTiO_3(0.950≦a≦1.00
0)を90.000〜99.998mol%,Nb_2
O_5,Ta_2O_5,WO_3,Dy_2O_3,
Y_2O_3,La_2O_3,CeO_2,Sm_2
O_3,Pr_6O_1_1,Nd_2O_3のうち少
なくとも1種類以上を0.001〜5.000mol%
,Al_2O_3,Sb_2O_3,BaO,BeO,
PbO,B_2O_3,Cr_2O_3,Fe_2O_
3,CdO,K_2O,CaO,Co_2O_3,Cu
O,Cu_2O,Li_2O,LiF,MgO,MnO
_2,MoO_3,Na_2O,NaF,NiO,Rh
_2O_3,SeO_2,Ag_2O,SiO_2,S
iC,SrO,Tl_2O_3,ThO_2,TiO_
2,V_2O_5,Bi_2O_3,ZnO,ZrO_
2,SnO_2のうち少なくとも1種類以上を0.00
1〜5.000mol%含有してなる主成分100重量
部と、MgTiO_3 60.000〜32.500mol%,SiO_240
.000〜67.500mol%からなる混合物を12
00℃以上で焼成してなる添加物0.001〜10.0
00重量部とからなる組成物を1100℃以上で焼成し
たことを特徴とするバリスタの製造方法。 (3)Sr_aTiO_3(0.950≦a≦1.00
0)を90.000〜99.998mol%,Nb_2
O_5,Ta_2O_5,WO_3,Dy_2O_3,
Y_2O_3,La_2O_3,CeO_2,Sm_2
O_3,Pr_6O_1_1,Nd_2O_3のうち少
なくとも1種類以上を0.001〜5.000mol%
,Al_2O_3,Sb_2O_3,BaO,BeO,
PbO,B_2O_3,Cr_2O_3,Fe_2O_
3,CdO,K_2O,CaO,Co_2O_3,Cu
O,Cu_2O,Li2O,LiF,MgO,MnO_
2,MoO_3,Na_2O,NaF,NiO,Rh_
2O_3,SeO_2,Ag_2O,SiO_2,Si
C,SrO,Tl_2O_3,ThO_2,TiO_2
,V_2O_5,Bi_2O_3,ZnO,ZrO_2
,SnO_2のうち少なくとも1種類以上を0.001
〜5.000mol%含有してなる主成分100重量部
と、MgTiO_3 60.000〜32.500mol%,SiO_240
.000〜67.500mol%からなる混合物を12
00℃以上で焼成してなる添加物0.001〜10.0
00重量部とからなる組成物を1100℃以上で焼成し
た後、還元性雰囲気中で1200℃以上で焼成し、その
後酸化性雰囲気中で900〜1300℃で焼成したこと
を特徴とするバリスタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1143729A JPH038767A (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 | 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1143729A JPH038767A (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 | 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH038767A true JPH038767A (ja) | 1991-01-16 |
Family
ID=15345648
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1143729A Pending JPH038767A (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 | 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH038767A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0507517A2 (en) * | 1991-03-30 | 1992-10-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Power circuit breaker and power resistor |
JPH0558723A (ja) * | 1990-11-28 | 1993-03-09 | Tam Ceramics Inc | アルカリ土類金属チタネートの焼結方法 |
US5569632A (en) * | 1994-06-30 | 1996-10-29 | Korea Institute Of Science And Technology | Compositions of high frequency dielectrics |
-
1989
- 1989-06-06 JP JP1143729A patent/JPH038767A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0558723A (ja) * | 1990-11-28 | 1993-03-09 | Tam Ceramics Inc | アルカリ土類金属チタネートの焼結方法 |
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US5569632A (en) * | 1994-06-30 | 1996-10-29 | Korea Institute Of Science And Technology | Compositions of high frequency dielectrics |
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