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JPH0386912A - Magnetic recording and reproducing method for information, magnetic recording medium used for the same, manufacture of the same and magnetic recorder - Google Patents

Magnetic recording and reproducing method for information, magnetic recording medium used for the same, manufacture of the same and magnetic recorder

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Publication number
JPH0386912A
JPH0386912A JP67190A JP67190A JPH0386912A JP H0386912 A JPH0386912 A JP H0386912A JP 67190 A JP67190 A JP 67190A JP 67190 A JP67190 A JP 67190A JP H0386912 A JPH0386912 A JP H0386912A
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JP
Japan
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magnetic
servo
recording medium
magnetic recording
area
Prior art date
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Granted
Application number
JP67190A
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Japanese (ja)
Other versions
JP2816213B2 (en
Inventor
Seiji Yonezawa
米沢 成二
Keiji Kataoka
慶二 片岡
Hajime Fukuya
福家 元
Tsuneo Terasawa
恒男 寺澤
Keizo Kato
恵三 加藤
Jiichi Miyamoto
治一 宮本
Sho Ito
捷 伊藤
Norio Ota
憲雄 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP67190A priority Critical patent/JP2816213B2/en
Publication of JPH0386912A publication Critical patent/JPH0386912A/en
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Publication of JP2816213B2 publication Critical patent/JP2816213B2/en
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  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Signal Processing For Digital Recording And Reproducing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【M梁上の利用分野】[Usage field on M beam]

本発明は、磁気ヘッドをトラッキング制御しながらディ
ジタル情報を磁気的に記録再生する、情報の磁気的記録
再生方法、それに用いる磁気記録媒体、その製造方法及
びそれを記録再生する磁気記録装置に関する。
The present invention relates to a magnetic recording and reproducing method for magnetically recording and reproducing digital information while controlling tracking of a magnetic head, a magnetic recording medium used therein, a method for manufacturing the same, and a magnetic recording apparatus for recording and reproducing the same.

【従来の技術1 ディジタル情報を磁気ヘッドで記録する従来の磁気記録
媒体(磁気ディスク)においては、磁気記録媒体の偏心
を充分小さくシ、トラック幅を充分広くし、さらに磁気
記録装置機構部の精度を高めて、磁気記録媒体と磁気ヘ
ッドの相対的位置誤差を小さくさせる方法をとっている
ため、トラッキング制御する必要はなかった6また、デ
ィジタル情報を記録する磁気記録媒体においては、ディ
スク基盤例えばアルミ基盤に磁性膜をスパッタリングし
、初期磁化させた後、サーボライターあるいは磁気記録
装置で1枚ずつ磁気ヘッドでイニシアライズさせている
。 【発明が解決しようとする課題】 磁気記録媒体の記録トラック幅をもつと狭くして高密度
化を図るためには、磁気記録媒体及び磁気記録装置の機
構部の加工精度をもつと高くする必要があるが、それに
よって記録媒体(磁気ディスク)の生産性は低下し、さ
らに磁気記録装置の機構部に超m密さが要求され、安定
性2価格などの点で、磁気記録装置として非常に大がか
りになってしまう。 また、従来は、コンピュータ固有の固定した情報を磁気
ディスク上にあらかじめレプリカ形成しておくことは出
来なかったので、パソコンソフトではあらかじめフロッ
ピーに記録されているソフトを購入して来て、そのフロ
ッピーから磁気ディスクに情報を移すという繁雑な手間
が必要であった。ソフトの規模が大きくなると、フロッ
ピーの枚数は何十枚となり、それによって装置の操作性
が低下し、ユーザにとっては使いにくいものになってし
まう。しかも、磁気ディスク媒体は、ディスク基盤例え
ばアルミ基盤に磁性膜をスパッタリングし、初期磁化さ
せた後、サーボライターあるいは磁気記録装置で1枚ず
つ磁気ヘッドでイニシアライズさせろ必要があり、記録
情報を有する磁気ディスク媒体を大量に複製することは
困難であった・ 一方、ディジタル情報を光学的にトラッキング制御しな
がら磁気ヘッドで記録する、磁気ディスク(フロッピー
)において、あらかじめ磁気媒体に案内溝を設けておき
、情報を記録する際に、この案内溝をたよりに磁気ヘッ
ドを光学的に案内し、情報を磁気的に記録していく方式
が提案されている(日経エレクトロニクス、1988.
9.5゜No、455)。 本発明の目的は、磁気記録媒体上に磁気的に検出できる
サーボピットをプリフォームすることによって、磁気ヘ
ッドの高精度なトラッキング制御を行ない、もって信頼
性高くかつ高密度に情報を磁気的に記録しあるいは再生
することを可能とする記録再生方法を提供することにあ
る。 本発明の他の目的は、磁気的に検出可能なサーボピット
やデータピットをプリフォームすることによって、磁気
ヘッドの高精度なトラッキング制御を可能にし、しかも
容易に複製し得る磁気記録媒体及びその製造方法を提供
することにある。 本発明の別の目的は、磁気記録媒体に予め設けられたサ
ーボピットを用いてトラッキング信号を磁気的に検出で
きるトラッキング信号検出系を備えた磁気記録装置を提
供することにある。
[Conventional technology 1] In a conventional magnetic recording medium (magnetic disk) in which digital information is recorded by a magnetic head, the eccentricity of the magnetic recording medium is made sufficiently small, the track width is made sufficiently wide, and the accuracy of the magnetic recording device mechanism is This method reduces the relative positional error between the magnetic recording medium and the magnetic head by increasing the After sputtering a magnetic film onto the substrate and initializing it, the substrate is initialized one by one with a magnetic head using a servo writer or magnetic recording device. [Problems to be Solved by the Invention] In order to increase the density by narrowing the recording track width of a magnetic recording medium, it is necessary to increase the processing precision of the mechanical parts of the magnetic recording medium and magnetic recording device. However, this reduces the productivity of the recording medium (magnetic disk), and also requires ultra-m density for the mechanical part of the magnetic recording device, making it extremely difficult to use as a magnetic recording device in terms of stability, price, etc. It becomes a big deal. In addition, in the past, it was not possible to create a replica of fixed computer-specific information on a magnetic disk in advance, so when it came to personal computer software, it was necessary to purchase software that was pre-recorded on a floppy disk and use it from that floppy disk. The complicated process of transferring information to a magnetic disk was necessary. As the scale of the software increases, the number of floppy disks increases into the dozens, which reduces the operability of the device and makes it difficult for the user to use. Moreover, magnetic disk media requires initial magnetization by sputtering a magnetic film on a disk substrate, such as an aluminum substrate, and then initializing the disk one by one with a magnetic head using a servo writer or magnetic recording device. It was difficult to make large-scale copies of disk media. On the other hand, in magnetic disks (floppy disks) where digital information is recorded using a magnetic head while optically tracking it, guide grooves are provided in advance on the magnetic medium. When recording information, a method has been proposed in which the magnetic head is guided optically by relying on this guide groove, and information is recorded magnetically (Nikkei Electronics, 1988).
9.5°No, 455). An object of the present invention is to perform highly accurate tracking control of a magnetic head by preforming magnetically detectable servo pits on a magnetic recording medium, thereby magnetically recording information with high reliability and high density. The object of the present invention is to provide a recording and reproducing method that enables recording and reproducing. Another object of the present invention is to provide a magnetic recording medium that enables highly accurate tracking control of a magnetic head by preforming magnetically detectable servo pits and data pits, and that can be easily reproduced. The purpose is to provide a method. Another object of the present invention is to provide a magnetic recording device equipped with a tracking signal detection system that can magnetically detect tracking signals using servo pits provided in advance on a magnetic recording medium.

【課題を解決するための手段】[Means to solve the problem]

本発明では、磁気記録媒体上に、記録磁性膜とは磁気特
性が異なってプリフォームされた磁気的に読み取りうる
サーボピットが設けである磁気記録媒体を用い、磁気ヘ
ッドがこれらサーボピットのエツジに発生する磁束分布
(漏れ磁界)からトラッキング信号あるいは同期信号、
アドレス信号等のプリフォーマット信号を磁気的に検出
し、その検出したトラッキング信号により当該磁気ヘッ
ドの位置をサーボ制御して、トラックの中心に沿って情
報を磁気的に記録しあるいは再生することを特徴とする
。 本発明の磁気記録媒体は、磁気記録媒体上に磁気的に読
み取り得る、蛇行したサーボピットあるいは同期ピット
、トラックアドレスピット、データピットがプリフォー
ムしてあり、それらのピットは局部的に記録磁性膜とは
磁気特性が異なり、例えば飽和磁化が他の部分より小さ
くなっている磁性摸構造をもった磁気記録媒体である。 本発明の1つの特徴によれば、プリフォームされたピッ
トは、記録磁性膜が局部的に除去されて形成されている
。 他の特徴によれば、プリフォームされたピットは、記録
磁性膜の下地膜が局部的に除去されて形成されている。 上を浮上する磁気ヘッドで検出することにより、磁気的
に読み取り可能である。例えば、トラックに沿って所定
間隔を有して設けられるトラッキングサーボピットは、
トラック中心に対して蛇行してプリフォームされた少な
くとも一対のピットで構成され、該1対のウォブルピッ
トを磁気ヘッドが通過するときに得られる磁気ヘッドの
再生信号を比較することによりトラッキング信号が検出
される。 また、本発明の磁気記録媒体は、磁気的に再生可能な情
報があらかじめ設けられた第1の領域(ROM領域)と
、ユーザが情報を磁気的に記録再生できる第2の領域(
RAM領域)とを有することを特徴とする。第1の領域
(ROM領域)の情報は、磁気的に再生可能であるにも
かかわらず複製可能であり、この第1の領域(ROM領
域)には、コンピュータ固有のソフトなど利用する装置
に特有の固定情報を記録しておくのが好適である。 1つの特徴によれば、第1の領域(ROM領域)と第2
の領域(RAM領域)とが、角度分割されて混在してい
る。そして、第1の領域(ROM領域)には、磁気的に
再生可能な情報(ROM情報)が記!磁性膜とは部分的
に磁気特性が異なってプリフォームされている。また、
第1の領域(ROM領域)には、記録磁性膜とは部分的
に磁気特性が異なってプリフォームされた磁気的に再生
可能なサーボマークがトラックに沿って周期的に多数設
けられ、これらサーボマーク間に上記磁気的に再生可能
な情報(ROM情報)がプリフォームされている。 もう1つの特徴によれば、第2の領域(RAM領域)に
も、記録磁性膜とは部分的に磁気特性が異なってプリフ
ォームされた磁気的に再生可能なサーボマークがトラッ
クに沿って周期的に多数設けられ、これらサーボマーク
間をユーザが磁気的に情報を記録するための情報記録領
域とする。
In the present invention, a magnetic recording medium is provided with magnetically readable servo pits that are preformed and have magnetic properties different from those of the recording magnetic film, and a magnetic head is attached to the edges of these servo pits. A tracking signal or synchronization signal is generated from the generated magnetic flux distribution (leakage magnetic field).
It is characterized by magnetically detecting a preformat signal such as an address signal, and servo-controlling the position of the magnetic head using the detected tracking signal to magnetically record or reproduce information along the center of the track. shall be. The magnetic recording medium of the present invention has magnetically readable meandering servo pits, synchronous pits, track address pits, and data pits preformed on the magnetic recording medium, and these pits are locally formed using a recording magnetic film. This is a magnetic recording medium that has a magnetic structure with different magnetic characteristics, for example, the saturation magnetization is smaller than other parts. According to one feature of the present invention, the preformed pits are formed by locally removing the recording magnetic film. According to another feature, the preformed pits are formed by locally removing the base film of the recording magnetic film. It can be read magnetically by detecting it with a magnetic head floating above. For example, tracking servo pits are provided at predetermined intervals along the track.
Consisting of at least one pair of pits that are preformed in a meandering manner with respect to the center of the track, the tracking signal is detected by comparing the reproduction signal of the magnetic head obtained when the magnetic head passes through the pair of wobble pits. be done. Further, the magnetic recording medium of the present invention has a first area (ROM area) in which magnetically reproducible information is provided in advance, and a second area (ROM area) in which a user can magnetically record and reproduce information.
RAM area). Although the information in the first area (ROM area) is magnetically reproducible, it can be copied, and this first area (ROM area) contains information specific to the device used, such as computer-specific software. It is preferable to record fixed information. According to one feature, the first area (ROM area) and the second area
(RAM area) are angularly divided and mixed. In the first area (ROM area), magnetically reproducible information (ROM information) is recorded! It is preformed with partially different magnetic properties from the magnetic film. Also,
In the first area (ROM area), a large number of preformed magnetically reproducible servo marks with partially different magnetic properties from the recording magnetic film are provided periodically along the track, and these servo marks are provided periodically along the track. The magnetically reproducible information (ROM information) is preformed between the marks. According to another feature, the second area (RAM area) also has magnetically reproducible servo marks preformed with partially different magnetic properties from the recording magnetic film at regular intervals along the track. A large number of servo marks are provided, and the space between these servo marks serves as an information recording area for the user to magnetically record information.

【作用】[Effect]

本発明によれば、トラッキング信号を検出するためのマ
ークとして記録磁性膜とは部分的に磁気特性が異なるサ
ーボピットをプリフォームした磁気記録媒体を用い、こ
れらサーボピットのエツジに形成される局所的磁界(漏
れ磁界)から、該磁気記録媒体上を浮上する磁気ヘッド
で、トラッキング信号を検出するので、磁気ヘッドのみ
で高S/Nでトラッキング信号を検出でき、しかも小型
である。 本発明によれば、記録磁性膜とは磁気特性が異なるサー
ボマーク(サーボピット)がプリフォームしてあり、こ
れらプリフォームピットは磁気的に検出可能であるにも
かかわらず複製可能であり、本発明の磁気記録媒体は同
じものを大量に安価で作成できる。 また、本発明の磁気記録媒体によれば、磁気的に再生可
能な情報があらかじめ設けられた第1の領域(ROM領
域)と、ユーザが情報を磁気的に記録再生できる第2の
領域(RAM領域)とを有するので、この第1の領域(
ROM領域)にコンピュータ固有のソフトなど利用する
装置に特有の固定情報を記録しておくことにより、ソフ
トプログラム等をユーザがいちいちフロッピーディスク
から磁気記録媒体に磁気的にコピーする必要がない。し
かも、第1の領域(ROM領域)の情報は磁気的に再生
可能であるにもかかわらず複製可能であり、同じ情報(
サーボ情報、同期情報、アドレス情報やROM情報)が
プリフォームされた磁気記録媒体を精度良く大量に作成
できる。 また、第1の領域(ROM領域)および第2の領域(R
AM領域)にサーボマークを、例えば同心円あるいはス
パイラル状のトラックに沿って周期的に多数設けておく
ことにより、サーボマークに発生する磁束分布を磁気ヘ
ッドで磁気的に検出してトラッキング信号を得、磁気ヘ
ッドをサーボ位置制御しながら、第2の領域(RAM領
域)に情報を記録したり、あるいは第1の領域(ROM
領域)の情報を読み出したりすることができる。
According to the present invention, a magnetic recording medium preformed with servo pits having partially different magnetic properties from that of the recording magnetic film is used as a mark for detecting a tracking signal, and localized marks formed at the edges of these servo pits are used. Since a tracking signal is detected from the magnetic field (leakage field) by a magnetic head flying above the magnetic recording medium, the tracking signal can be detected with a high S/N using only the magnetic head, and it is also compact. According to the present invention, servo marks (servo pits) having different magnetic properties from the recording magnetic film are preformed, and although these preform pits are magnetically detectable, they can be reproduced, and the original The magnetic recording medium of the invention can be produced in large quantities at low cost. Further, according to the magnetic recording medium of the present invention, there is a first area (ROM area) in which magnetically reproducible information is provided in advance, and a second area (RAM area) in which the user can magnetically record and reproduce information. This first region (
By recording fixed information specific to the device being used, such as computer-specific software, in the ROM area, there is no need for the user to magnetically copy software programs and the like from the floppy disk to the magnetic recording medium. Moreover, even though the information in the first area (ROM area) is magnetically reproducible, it is replicable, and the same information (
Magnetic recording media preformed with servo information, synchronization information, address information, and ROM information can be produced in large quantities with high accuracy. In addition, the first area (ROM area) and the second area (R
By providing a large number of servo marks periodically along, for example, concentric circles or spiral tracks in the AM area, the magnetic flux distribution generated in the servo marks is magnetically detected with a magnetic head to obtain a tracking signal. While controlling the servo position of the magnetic head, information can be recorded in the second area (RAM area) or in the first area (ROM area).
area) information can be read out.

【実施例】【Example】

第工図は、本発明の1実施例の磁気記録媒体を示し、第
2図(a)〜(c)は、この磁気記録媒体の記録面に形
成される記録トラックに沿ってプリフォームされたトラ
ッキング用ピットおよびクロックピットを示している。 第1図において、磁気記録媒体基盤lは、ガラス、樹脂
、あるいはアルミからなり、その記録面には、第2図(
a)〜(C)に示すように、同心円状あるいはスパイラ
ル状のトラック2,2′に沿って周期的に多数のトラッ
キングサーボ用ピット3.3’ 、4.4’ がエツチ
ングあるいはインジェクション整形でプリフォームされ
ている。より好適には、イオンミリングあるいは反応性
イオンエツチングにより磁性膜を除去してプリフォーム
される。このように、サーボマークとしては、トラック
2,2′の中心線に対して左右に振り分けてプリフォー
ムされた少なくとも一対のビット3.4 (3’ 、4
”)を用いる。トラッキングサーボ用ピットは、第2図
(b)に示すように隣接トラック2,2′間で共用する
こともできる。また、第2図(c)に示すように、トラ
ッキング用ピットは、トラックの進行方向、すなわち円
周方向に見たとき、一部重複するように幅広く形成して
もよい。なお、第2図(c)の35.35’はトラック
2,2′の中心線に沿って設けられたクロックピットで
あり、これらクロックピットもトラッキングサーボピッ
トと同様にイオンミリングあるいは反応性イオンエツチ
ングにより磁性膜を除去してプリフォームされる。 尚、これらプリフォームピット3,4,35゜3’ 、
4’ 、35’は、第3図(a)〜(c)に示すように
、データの記録方向(トラック方向)と直角の方向に細
長く、その長さdが磁気ヘッドの記録領域30(斜線で
示す磁気ギャップ)のl1li)Dと同程度であるのが
好適である。 また、これらプリフォームピット3,4,35゜3’ 
、4’ 、35’は、第3図(d)に示すように、トラ
ック2,2′に対して傾いて設けてもよく、データもト
ラックに対して傾いた磁気ヘッドの磁気ギャップ30に
よって傾いて記録再生される。こうすることによりトラ
ック2,2′間のクロストークがなくなり、トラックピ
ッチをより狭まくすることが可能になる。 この媒体基盤1上には磁気記録薄膜(強磁性膜)5が形
成されているが、ビット3.3’   35゜4.4’
 、35’のプリフォームピットには磁気記録薄膜はな
い。磁気記録媒体(磁性膜)5は回転させながら、マグ
ネットで全面一様に初期磁化される。磁化の方向6はデ
ィスク円周方向、すなわちデータ記録方向と一致する。 第4図は、サーボピット3.3’ 、4.4’あるいは
クロックピット35.35’などのプリフォームピット
20をディスク円周方向、すなわちデータ記録方向に沿
って見た断面図を示す。 第4図(a)はプリフォームピット20を磁気ヘッド1
0が再生している図を示している。図中、5は基板1上
に形成された記録磁性膜を示している。 この磁気記録薄膜(m性膜)5は初期磁化によって一方
向6に磁化されており、プリフォームピット20から離
れた場所では、漏れ磁界はない。 しかし、プリフォームピット20 13、3’ 、4゜
4’ 、35,35’ )ではその両壁にプラスとマイ
ナスの磁極7,8が形成され、その結果プリフォームビ
ット200両エツジから漏れ磁界が発生する。この漏れ
磁界を、磁気記録媒体上に位置す35′)は磁気的に読
み取られる。例えば、回転している磁気ディスク記録媒
体の上に位置する磁気ヘッド上止はμm以下の微小な浮
上量で浮上している。 第4図(b)〜(d)はプリフォームビット20付近の
磁性膜構造を示している。第4図(b)はプリフォーム
ピット20 13、3’ 、4.4’35.35’ )
の基盤1が平坦で、その部分での磁性膜5がない例であ
る。こうすると、プリフォームピット20の両端壁にN
とSの磁極7,8が形成され、その結果プリフォームピ
ット20の両エツジに漏れ磁界9が発生する。第4図(
c)はプリフォームピット20の基盤1が凸の場合で。 この凸ピット部には磁性膜5はない。第4図(d)はプ
リフォームピット20が凹の場合で、この凹ピット部に
は同様に磁性膜5はない。これらプリフォームピット2
0 13、3’ 、4.4’ 、35゜35′)の深さ
はデータ記録方向のピット幅と同程度位が望ましく、た
とえば磁性膜5の厚さを0.1ミクロンとすると、プリ
フォームピット20の深さを0.1−0.5ミクロンと
する。また、プリフォームピット20のデータ記録方向
のピット長を0.5ミクロン、ディスク半径方向のピッ
ト幅を1から20ミクロン程度にすればよい。第4図(
b)、(Q)、(d)のいずれの場合でも、プリフォー
ムピット20(サーボピット3,3′4.4′あるいは
クロックピット35.35’ )の両端壁にNとSの磁
極7,8が形成され、その結果プリフォームピット20
の両端部に漏れ磁界9が発生する。このようなプリフォ
ームピット20のエツジから発生する磁束9を磁気ヘッ
ド10で検出することによって、磁気的に検出できる。 すなわち、このようなプリフォームピット20を磁気ヘ
ッド10で走査し、プリフォームピット20を磁気ヘッ
ド10が通過する際に、磁気ヘッド10のコア13に形
成される磁束11を磁気コイル12で検出することによ
って磁気的に再生できる。 第5図は、磁気ヘッドよ仝がプリフォームピット20を
データ記録方向と直角の方向すなわち半径方向に走行し
た場合の磁気コイル12を通る磁束11の強度を表わし
たものである。この磁束11は、磁気ヘッド10のデー
タ記録方向と直角の方向の寸法りをプリフォームピット
20のデータ記録方向と直角方向の幅dとほぼ同じにす
ると望ましい出力信号が得られる。第5図において、磁
束11はピット中心に対称であり、これからはトラック
ズレの大きさはわかるが、トラックズレの方向は検出で
きない。 そこで、本発明では、 トラックズレの大きさと方向を
検出するためのトラッキングサーボ用ピットとして、磁
気記録媒体上のトラック中心に対して蛇行したプリフォ
ームピット3.4 (3’4′)を用いる。 第6図及び第7図(a)〜(c)を用いて第2図や第3
図に示した蛇行プリフォームピット3,4(3’ 、4
’ )からトラッキング信号を検出する動作を説明する
。第6図において、磁気ヘッド10の中心が、A、B、
Cのそれぞれに沿って通過する場合を考える。磁気ヘッ
ドが一点鎖線Aに沿って通過する場合、磁気ヘッドはピ
ット3上を通過するので磁気ヘッドが検出する信号はピ
ット3からの信号が大きく、一方、ピット4からの信号
は小さくなる。したがって、第7図(a)に示した検出
信号が得られる6第7図(b)は磁気ヘッドが第6図の
実線B(トラック中心)に沿って通過する場合、第7図
(c)は磁気ヘッドが第6図の2点鎖線Cに沿って通過
する場合の検出波形を示す。したがって、トラックズレ
の大きさと方向を示すトラッキング信号は、一対の蛇行
したプリフォームピット3.4 (3’ 、4’ )上
を磁気ヘッド10が通過するときに得られる磁気ヘッド
10の再生信号をサンプル検出し1両者の差を求めるこ
とにより得られる。磁気ヘッド10の磁気ギャップ30
の位置がトラック中心に一致するように制御するには、
第7図(b)の検出波形が常にえられるように、検出し
たトラッキング信号により磁気ヘッドIOの位置をデー
タ記録方向と直角方向(半径方向)に動かしてトラッキ
ング制御すればよい。 次に、磁気記録媒体(例えば磁気ディスク)上に上述し
た磁気的に検出できるトラッキングサーボ用ピットをあ
らかじめ形成しておき、これらトラッキングサーボピッ
トを用いて磁気ヘッドの高精度なトラッキング制御を行
ないながら、情報を磁気的に記録再生する方法について
説明する。 第8図は、1個の磁気ヘッド上立(第4図(a)参照)
でデータの記録再生及びトラッキング信号の検出の両方
をできる場合を示す。同心円状あるいはスパイラル状の
トラック2は、トラッキング信号や周期信号を検出する
サーボ領域とデータを記録するデータ領域とに分離され
ており、これらサーボ領域とデータ領域とが交互にトラ
ックに沿って周期的に多数設けられている。これらサー
ボ領域内のプリフォームピット(ρ1ts)とデータ領
域の記録データは、トラックの中心線に沿って走査する
1個の磁気ヘッドよ仝で時分割に検出される。各サーボ
領域には、トラックズレの大きさと方向を検出するため
のトラッキングサーボマークとして、上述したように、
磁気記録媒体上のトラック中心に対して蛇行した一対の
プリフォームピット3,4が形成されている。なお、各
サーボ領域には、第2図(c)や第3図(c)に35゜
35′で図示したように、クロックピットをトラックの
中心線に沿ってプリフォームしてもよい。 また、第3図(d)に示したようにトラックに対して傾
けてプリフォームしてもよい。更に、必要に応じてトラ
ックアドレスピットをトラックの中心線に沿ってプリフ
ォームしてもよい。サーボ領域内のこれらプリフォーム
ピットは、上述したように、記録磁性膜5とは局部的に
磁気特性が異なり、例えばイオンミリングあるいは反応
性イオンエツチングにより磁性膜5を除去して形成され
ており、これらプリフォームビットの両エツジから発生
する漏れ磁界を磁気ヘッド10で検出することにより、
磁気的に読み取る。トラッキング信号は、第6図、第7
図を用いて詳細に説明したように、サーボ領域にプリフ
ォームされた一対のウォブルピット3,4のエツジから
発生する漏れ磁界を磁気ヘッド10でサンプル検出する
ことにより得られる。その検出したトラッキング信号に
基づいて磁気ヘッド10をサーボ位置制御しながら、サ
ーボ領域間のデータ領域に所望のデータをトラックの中
心線に沿って磁気ヘッド10で記録したり、あるいは再
生する。磁気ヘッド10は、アクチュエータ(図示せず
)に連結した支持機構(図示せず)で支持されており、
このアクチュエータを廃動することにより、データ記録
方向と直角方向(例えば、磁気ディスクの半径方向)に
動かすことができる。従って、検出したトラッキング信
号に基づいてこのアクチュエータを開動することにより
、磁気ヘッド10がトラック中心を常に走査するように
トラッキング制御され、データはトラッキング制御され
た磁気ヘッドユによりデータ領域のトラック中心に沿っ
て正確に記録再生される。尚、データ領域が長い場合は
、サーボ領域のウォブルピットから検出したトラッキン
グ信号をデータ領域期間中ホールドするのが好適である
。 本実施例では、磁性膜5は面内記録用の磁気薄膜であり
、データ領域に記録されるデータは磁気ヘッド10によ
り面内記録(磁性膜5に平行な方向に磁化される)され
る。 第9図及び第10図は本発明で用いる磁気記録媒体のト
ラックパターンの他の例をそれぞれ示す。 どちらの場合もトラックにはトラッキング信号を検出す
るサーボ領域とデータを記録するデータ領域が分離され
ており、1個の磁気コイルで時分割に信号を検出する点
は第8図の場合と同じであり。 所望のデータが、トラッキング制御された磁気ヘッドに
より、サーボ領域間のデータ領域にトラック中心に沿っ
て記録再生される。第9図では、各サーボ領域に、トラ
ッキングサーボマークとして、トラック中心に対して蛇
行した一対の円形ピット53.54がプリフォームされ
ている。一方、第10図では、各サーボ領域にトラック
中心から一方向(データの記録方向と直角方向で、例え
ば内周側)にわずかに偏位した位置に周波数f1のピッ
ト列63が、十方向(例えば外周側)に偏位した位置に
周波数f2のピット列64がプリフォームされている。 第10図では、プリフォームピット列63゜64をそれ
ぞれ円形ピットで形成したが、トラック方向の記録密度
向上及びS/N向上の点からは、前述したように、デー
タの記録方向と直角方向に長く、その長さが磁気ヘッド
上生の記録領域30の幅と同程度となるような矩形ピッ
トで、ピット列63.64をプリフォームした方が好適
である。 第11図は、異なる周波数f□t fzのピット列72
゜73を矩形ピットでプリフォームしたものである。 周波数fユt f2のピット列は、周波数弁別によりそ
れぞれ分離して検出できるので、第10図のようにトラ
ック中心の両側に同時にプリフォームしておき、同時に
検出することもできるし、第11図のようにトラックに
沿ってずらしてプリフォームしておき、時分割に検出す
ることもできる。これら周波数fi、 f2のプリフォ
ームピット列からトラッキング信号を検出する方法を第
12図で説明する。トラックに沿って走査する磁気ヘッ
ド10の検出信号は周波数弁別器65で周波数fよと周
波数f2の成分に分けられる。おのおのの成分は差動増
幅器66で増幅され、トラッキング信号が得られる。そ
のトラッキング信号は、磁気ヘッドの半径方向位置を変
化させるアクチュエータに送られる。おのおのの成分の
振幅が等しいときは磁気ヘッドがトラック中心にあるこ
とになる。 次に、上述したプリフォームビットを有する磁気記録媒
体の作成方法を説明する。 第13図は、本発明の製造方法で用いるホトマスフの記
録装置を示す。この記録装置は、クロムホトマスク13
0上に紫外レーザ光で、磁気記録媒体1にあらかじめ設
けるべき情報のパターン。 すなわちROM領域にあらかじめ設けられる磁気的に再
生可能なROMデータや、ROM領域及び/又はRAM
領域にトラックに沿って周期的に多数設けられるサーボ
領域内の磁気的に再生可能なトラッキングサーボマーク
、クロックピット、アドレスピット等のプリフォームさ
れるべき信号からなるパターンを記録するものである。 第13図(a)において、クロムホトマスク130は回
転軸受けに固定されて回転するようになっている。 一方、レーザ光たとえばアルゴンレーザ(W=0.45
ミクロン)LAは、プリフォームすべき信号に応じて光
変調器MDで強度変調され、高NA(例えばNA=0.
93)のレンズ系りで集光すると、回転マスク130上
に直径0.4ミクロン程度の円形スポットが形成される
。今。 ROMデータやトラッキングサーボマーク、クロックピ
ット、アドレスピットを構成する各プリフォームピット
20が、その寸法がディスク半径方向に長く、例えば5
ミクロンとすると、0.4ミクロンの円形スポットでは
縦長のピットは作れない。第13図(b)は縦長のピッ
トを形成するための方法の一例を説明するための図であ
る。第13図(a)において光学系は移動台に乗ってホ
トマスク130のディスク半径方向に直線移動するが、
その移動速度はホトマスク130が1回転する時間に光
スポツト径より小さい距離、例えばほぼ光スポットの半
径に相当する量だけ動くように制御するとよい。そうす
ると第13図(b)に示す様に、ホトマスク130の所
望の部分に照射される光量の積分値は一様な矩形になる
。いま光スポツト径を0.4ミクロンとし、5ミクロン
の縦長のプリフォームピットを形成するためには、光学
系の移動量を0.2ミクロン/回転とし、510.2=
25、すなわちホトマスク130が25回転している間
所望のタイミングでプリフォームすべき信号に応じて光
を強度変調すればよい。 上述したホトマスクの記録装置によって、上述したプリ
フォームピット20(トラッキングサーボピット3,4
.3’ 、4’・・・・・・;53,54;63.64
;72,73;アドレスピットやクロックピット35.
35’・・・・・・、後述するROMデータピット17
・・・・・・)の列からなるパターンが記録されたマス
ク130は現像され、エツチングさせると、所望のプリ
フォームピット20がパターン記録されたマスク130
が得られる。このマスク130を用いて1本発明の一実
施例である第14図〜第17図にそれぞれ示すプロセス
で磁気記録媒体が作成される。 第14図は、各プリフォームピット20の磁気薄膜(磁
性膜)5を除去した磁気媒体の作成方法の一例を示す。 第14図(a)ではアルミ、ガラスディスク基盤1上に
ネガレジスト22を塗布し、このホトレジスト塗布ディ
スク基盤lに、上述のマスク130を密着して露光する
。第14図(b)では、ネガレジスト22を露光後、マ
スク130を取りはずし、現像すると、ピット部20以
外のレジストは現像により溶解してしまうが、ピット部
20だけにはレジスト23が残る。第14図(c)では
そのレジスト23が残ったディスク基盤1の全面に磁気
薄膜5をスパッタ形成する。第14図(d)では、ディ
スク上のレジスト23を除去する。例えば、プラズマア
ッシャや有機溶媒などで除去すると、ピット部20の磁
気薄膜5が除去され、ピット部20だけに磁性膜5のな
い磁気記録媒体を作成することができる。また、第14
図(d)では、ピット部に盛り上がって塗布されている
磁性膜5を除去してもよい。例えばディスク表面を薄く
研磨すると、盛り上がって塗布されているピット部の磁
性膜が除去される。 第15図に、各プリフォームピット2oの磁性膜(磁気
記録膜)5を除去した磁気記録媒体の作成方法の他の例
を示す。第15図(a)ではアルミ、ガラスディスク基
盤1上に磁気薄膜5を一様にスパッタ形成した後、ポジ
レジスト21を塗布し、この磁性膜5とホトレジスト2
1が形成されたディスク基盤1に、上述のマスク130
を密着して露光する。第15図(b)では、ポジレジス
ト21を露光後、マスク130を取りはずし、現像する
と、ピット部20のレジストは現像により溶解してしま
うが、それ以外のレジストは残る。 第15図(c)ではたとえば、イオンミリング法でエツ
チングしてレジスト21がないピット部20の磁気薄膜
5を除去する。第工5図(d)では、たとえば、有機溶
媒でディスク上の未露光部のレジスト21を除去する。 この作成方法によってもプリフォームピット20だけに
磁性膜5のない磁気記録媒体を作成することができる。 第16図に、各プリフォームピット2oが非強磁性であ
る磁気媒体の作成方法の一例を示す。 第16図において、第16図(a)(b)(d)のプロ
セスは第15図の(a)、(b)、(d)と同じである
。第16図(c)においては、例えば水素、アルゴン、
窒素、ボロン、ネオン、ディスプロシウム等23を打込
んで、プリフォームピット部の磁性膜5を強磁性体でな
くしてしまうことによって、プリフォームピット部20
だけが強磁性体でない磁気記録媒体を作成することがで
きる。 このようにプリフォームピット部だけを強磁性でないよ
うにすると、ピット部以外の記録膜は強磁性であるため
に、各プリフォームピット20の両壁に磁極が形成され
、その結果ピットのエツジから漏れ磁界が発生するので
、前述したのと同様に磁気ヘッドよ仝により磁気的に検
出できる。なお、第18図は、この作成方法によるプリ
フォームピット20の部分を拡大して示したものである
。 第17図に、各プリフォームピット20に下地膜のない
磁気記録媒体の作成方法の一例を示す。 第17図(a)ではアルミ、ガラスディスク基盤1上に
Cr薄膜32をスパッタ形成した後、ポジレジスト21
を塗布し、このCr下地膜32とホトレジスト21が形
成されたディスク基盤1に。 前述のマスク130を密着して露光する。第17図(b
)では、ポジレジスト21を露光後、マスク130をは
ずし、現像すると、ピット部20のレジスト21は現像
により溶解してしまうが、それ以外のレジスト21は残
る。第17図(c)では、たとえば1反応性イオンエツ
チング法でエツチングして、レジスト21がないピット
部20のCr薄@32を除去する。第17図(d)では
、たとえば、有機溶媒でディスク上の未露光部のレジス
ト21を除去する。第17図(e)ではCr薄膜32の
パターンの上にCoNiZr等の強磁性膜5およびC等
の保護膜34を一様にスパッタ法で形成する。この作成
方法によって、プリフォームピット部20だけにCr下
地膜32のない磁気記録媒体を作成することができる。 第19図に、この作成方法によるプリフォームピット2
0の部分を拡大して示す。第19図(a)はプリフォー
ムピット20部を磁気ヘッド10が走査している図を示
し、第19図(b)はプリフォームピット20部付近の
磁性膜構造を示している。プリフォームピット部20以
外の磁性膜の構造は、アルミニウム(AQ)あるいはガ
ラス基板1上に下地膜として例えば300から500n
m厚さのCr膜32がスパッタ法で形成され、その上に
例えばCoNiZr等の強磁性膜5が50nmから70
nm厚、さらにその上にC等の保護膜34がスパッタ法
で形成されている。 各プリフォームピット部20ではCr下地膜32が部分
的に除かれており、強磁性膜(記録磁性膜)5および保
護膜34のみが形成されている。 膜形成後、この磁気記録媒体は回転させながら、マグネ
ットで全面一様に初期磁化される。磁化の方向6はディ
スク円周方向、すなわちデータ記録方向と一致する。 Cr下地膜32は強磁性膜5の飽和磁化Msを大きくす
る効果をもっている。各プリフォームピット部20では
Cr下地膜32がないため、その場所での飽和磁化は小
さくなっている。記録磁性膜5を初期磁化によって一方
向6に磁化させておくと、プリフォームピット20から
離れた場所では、漏れ磁界はない。しかし、サーボピッ
ト3゜3’ 、4.4’等の各プリフォームピット20
ではその部分での飽和磁化が他の部分より小さくなって
いるために、各プリフォームピット20の両壁7,8に
プラスとマイナスの磁極が形成され、その結果プリフォ
ームピットのエツジから漏れ磁界9が発生するので、前
述したのと同様に磁気ヘッド10により磁気的に再生で
きる。 以上、第14図乃至第19図を用いて詳述したように、
本発明の製造方法によれば、磁気的に検出可能でかつ局
所的に記録磁性膜とは磁気特性が異なるプリフォームピ
ットが設けられた磁気記録媒体を容易に作成することが
できる。しかも、磁気記録媒体にあらかじめ設けるべき
プリフォームピットのパターンを有するマスク130は
多数回使用できるので、同じパターンを有する磁気記録
媒体を精度良く大量に作成できる。また、第14図〜第
17図に示した作成方法は、マスク130にプリフォー
ムピット以外の任意のパターンを形成することも可能で
、例えば直線溝を作っておけば磁気記録媒体上には磁気
薄膜のない直線溝をプリフォームすることが可能である
。さらに、サーボピットはトラッキングピット以外に同
期用ピット、アドレスピットあるいはアクセス用のピッ
トも同様にプリフォームすることも可能であることは勿
論である。なお、第14図〜第16図の作製方法では、
保護膜34について説明しなかったが。 第14図〜第16図の作成方法においても、第17図(
e)と同様に、記録磁性膜5の上にC等の保護膜34を
形成するのが好適である。 以上の説明においては、サーボ領域間のデータ領域は磁
気ヘッド10で自由に記録、消去できる磁気記録媒体の
場合を想定していた。ここでは、この機能をもったディ
スクを、RA M機能をもったディスクと名付ける。し
かし、さらに拡張したディスクの使用法として、第20
図に示したようにRAM機能を持った領域40と、RO
M、すなわち読み出し専用領域39とが混在したディス
クの形態が考えられる。このような構成にしておくと、
再生専用の情報と書き換え可能な情報とが短い時間で同
時にアクセスすることができるようになる利点がある。 すなわち、磁気ディスク1は、情報を磁気的に記録再生
可能な磁性膜を有し、ユーザが情報を磁気的に記録再生
できる第2の領域(RAM領域)40と磁気的に再生可
能な情報がプリフォームされた第1の領域(ROM領域
)39とを有する。 第20図では、RAM領域40が外周側に。 ROM領域39が内周側に設けられている。第2↓図で
は、RAM領域40が外周側に、ROM領域39が内周
側に設けられているとともに、ROM領域39がRAM
領域40内に角度分割されて混在している。RAM領域
40及びROM領域39には、同心円又はスパイラル状
のトラックが設けられており、このトラックに沿ってデ
ータが記録再生及び/又は再生される。 第22図は上記RAM領域40内のデータ記録トラック
を示している。第22図において、データトラック2,
2′は、トラックに沿って周期的に多数設けたサーボ領
域15と、これらサーボ領域15間のユーザ情報記録領
域(データ領域)に記録されるRAMデータ16との組
み合わせで構成されている。各サーボ領域上5には、上
述したように、例えば磁性膜を局部的にエツチング除去
した、磁気特性が記録磁性膜とは異なるプリフォームピ
ットが形成されており、これらサーボ領域15内のプリ
フォームピットのエツジに発生する磁界を磁気ヘッド1
0で磁気的にサンプル検出してトラッキング信号を得、
そのトラッキング信子に基づいて磁気ヘッドl○をサー
ボ位置制御しながら、サーボ領域15間のユーザ情報記
録領域(データ領域)に所望のRAMデータ(例えばコ
ードデータ)16をトラック2,2′の中心線に沿って
記録したり、あるいは再生する。磁性膜は面内記録用の
磁気薄膜であり、RAMデータ16は、トラッキング制
御された磁気ヘッド10で磁気的に面内記録、再生され
る。なお、サーボ領域15内のプリフォームピットとし
ては、前述した第2図、第3図、第9図で説明したよう
に、トラック2,2′の中心線に対して左右に振り分け
た一対のトラッキングサーボピット3,4;53゜54
あるいは第10図、第11図で説明したようにトラック
中心線に対して左右に設けられた周波数の異なる及び/
又は位相の異なるピット列63゜64;72,73から
なるトラッキング用マークを用いる。また、必要に応じ
て、アドレスピットやクコツクピット35.35’ が
プリフォームされる。その−例を第23図に示す。 第23図は、RAM領域40内の記録トラックの一例を
示す。各サーボ領域15には、トラッキングサーボマー
クとして、トラック中心に対して蛇行した一対のサーボ
ピット3,4がプリフォームされている。図中、35で
示したピットはクロックおよびアクセスマークに関する
プリフォームピットであり、サーボピット3,4と同様
の磁性膜構造で基ml上にプリフォームされている。 36はトラック間に形成された溝であり、トラック間の
データ読み出しにおけるクロストークを低減させるため
のものである。この溝36もサーボピット3,4と同様
の構造でプリフォームされている。16は磁気ヘッド1
立によってデータ領域に磁気的に記録されたデータを示
している。 第24図は上記ROM領域39内のデータ再生専用トラ
ックを示している。第24図において、データトラック
2,2′は、トラックに沿って周期的に多数設けたサー
ボ領域15と、これらサーボ領域15間に設けられた読
出し専用のROMデータ(例えばコードデータ)17ど
の組み合わせで構成されている。各サーボ領域15及び
ROMデータ17は共に、上述したように例えば磁性膜
を局部的にエツチング除去した、磁気特性が記録磁性膜
とは異なるプリフォームビットで形成されている。これ
らサーボ領域15内のプリフォームビットのエツジに発
生する磁界を磁気ヘッド10で磁気的にサンプル検出し
てトラッキング信号を得、そのトラッキング信号に基づ
いて磁気ヘッドをサーボ位置制御しながら、サーボ領域
15間のROMデータ17をトラック2,2′の中心線
に沿って再生する。ROMデータ17は磁気ヘッドで再
生されるのみで、磁気ヘッドでは記録されなしN。 ROM領域39内の記録トラックの一例を第25図に示
す。 サーボ領域15のプリフォームビット3,4゜35およ
びデータ領域のトラック間の溝36については、第23
図に示したものと同様である。データ領域のピット17
は、ROM39領域ではサーボ領域におけるプリフォー
ムビット3,4゜35と同様の方法でプリフォームされ
ている。 このようにROM領域39では、サーボ領域のピット及
びデータ領域のROMデータ17は共に、上述したよう
に例えば、記録膜を局部的にエツチング除去して形成さ
れている。これらサーボ領域のプリフォームビットのエ
ツジに発生する磁界を磁気ヘッドで磁気的にサンプル検
出してトラッキング信号を得、そのトラッキング信号に
基づいて磁気ヘッドをサーボ位置制御しながら、サーボ
領域間のデータ領域内のROMデータ17をトラックの
中心線に沿って再生する。 本実施例によれば、磁気記録媒体にROM情報を安価に
レプリカで複製記録できるばかりでなく、ROM情報と
RAM情報が混在しているため、パソコンなどの装置に
おいて用いる場合、ソフトプログラム等をあらかじめR
OM情報として磁気記録媒体に形成しておけるので、フ
ロッピーを使って磁気記録媒体にソフトをコピーする手
間が省ける。 また、第1の領域(ROM領域)および第2の領域(R
AM領域)にサーボ領域をあらかじめ周期的に多数設け
ておくことにより、サーボ領域のプリフォームビットに
発生する磁束分布を磁気ヘッドで磁気的に検出してサー
ボ位置制御しながら、第2の領域(RAM領域)に情報
を記録再生したり、あるいは第1の領域(ROM領域)
の情報を読み出したりすることができる。 【発明の効果1 本発明によれば、プリフォームされたサーボマークに発
生する磁界を磁気ヘッドで磁気的に検出してサーボ位置
制御しながら、情報を記録、再生でき、高密度記録が達
成される。 また、プリフォームビットは複製記録でき、高精度かつ
容易に同じものを作成できるので、プリフォーマット付
の磁気記録媒体を大量に安価に作成することが出来る。 また、本発明によれば、磁気記録媒体にサーボ情報を安
価に複製記録できるばかりでなく、ROM情報とRAM
情報を混在させることができ。 パソコンなどの装置において用いる場合、ソフトプログ
ラム等をあらかじめROM情報として磁気能B媒体に形
成しておけるので、フロッピーを使って磁気記録媒体に
ソフトをコピーする手間が省ける。
The construction drawing shows a magnetic recording medium according to one embodiment of the present invention, and FIGS. A tracking pit and a clock pit are shown. In FIG. 1, the magnetic recording medium base l is made of glass, resin, or aluminum, and its recording surface has a structure shown in FIG.
As shown in a) to (C), a large number of tracking servo pits 3.3' and 4.4' are periodically printed along concentric or spiral tracks 2 and 2' by etching or injection shaping. It has been renovated. More preferably, the preform is performed by removing the magnetic film by ion milling or reactive ion etching. In this way, the servo mark consists of at least a pair of bits 3.4 (3', 4) preformed to the left and right with respect to the center line of the tracks 2, 2'.
”).The tracking servo pit can also be shared between adjacent tracks 2 and 2' as shown in FIG. 2(b).Also, as shown in FIG. 2(c), the tracking servo pit The pits may be formed widely so that they partially overlap when viewed in the traveling direction of the tracks, that is, in the circumferential direction.The pits 35 and 35' in FIG. These are clock pits provided along the center line, and like the tracking servo pits, these clock pits are also preformed by removing the magnetic film by ion milling or reactive ion etching. 4,35°3',
4' and 35' are elongated in a direction perpendicular to the data recording direction (track direction), as shown in FIGS. It is preferable that the magnetic gap is approximately the same as l1li)D of the magnetic gap). In addition, these preform pits 3, 4, 35° 3'
, 4', 35' may be provided at an angle with respect to the tracks 2, 2', as shown in FIG. recorded and played back. This eliminates crosstalk between tracks 2 and 2', making it possible to further narrow the track pitch. A magnetic recording thin film (ferromagnetic film) 5 is formed on this medium base 1, and bits 3.3'35°4.4'
, 35', there is no magnetic recording thin film in the preform pits. While rotating the magnetic recording medium (magnetic film) 5, the entire surface is initially magnetized by a magnet. The magnetization direction 6 coincides with the disk circumferential direction, that is, the data recording direction. FIG. 4 shows a cross-sectional view of a preform pit 20, such as a servo pit 3.3', 4.4' or a clock pit 35.35', viewed along the circumferential direction of the disk, that is, the data recording direction. FIG. 4(a) shows the preform pit 20 connected to the magnetic head 1.
0 shows the diagram being played. In the figure, numeral 5 indicates a recording magnetic film formed on the substrate 1. This magnetic recording thin film (m-type film) 5 is magnetized in one direction 6 due to initial magnetization, and there is no leakage magnetic field at a location away from the preform pit 20. However, in the preform pit 20 (13, 3', 4°4', 35, 35'), positive and negative magnetic poles 7, 8 are formed on both walls, and as a result, a magnetic field leaks from both edges of the preform bit 200. Occur. This leakage magnetic field is magnetically read by 35' located on the magnetic recording medium. For example, a magnetic head upper stop positioned above a rotating magnetic disk recording medium flies with a minute flying height of .mu.m or less. FIGS. 4(b) to 4(d) show the magnetic film structure near the preform bit 20. FIG. Fig. 4(b) shows the preform pit 20 13, 3', 4.4'35.35')
This is an example in which the substrate 1 is flat and there is no magnetic film 5 in that portion. In this way, N is applied to both end walls of the preform pit 20.
and S magnetic poles 7 and 8 are formed, and as a result a leakage magnetic field 9 is generated at both edges of the preform pit 20. Figure 4 (
c) is a case where the base 1 of the preform pit 20 is convex. There is no magnetic film 5 in this convex pit portion. FIG. 4(d) shows a case where the preform pit 20 is concave, and similarly there is no magnetic film 5 in this concave pit portion. These preform pits 2
0 13, 3', 4.4', 35°35') is preferably about the same depth as the pit width in the data recording direction.For example, if the thickness of the magnetic film 5 is 0.1 micron, the preform The depth of the pit 20 is 0.1-0.5 micron. Further, the pit length of the preform pit 20 in the data recording direction may be set to 0.5 microns, and the pit width in the disk radial direction may be set to about 1 to 20 microns. Figure 4 (
In any of cases b), (Q), and (d), N and S magnetic poles 7, 8 is formed, resulting in a preform pit 20
A leakage magnetic field 9 is generated at both ends. Magnetism can be detected by detecting the magnetic flux 9 generated from the edge of the preform pit 20 with the magnetic head 10. That is, such a preform pit 20 is scanned by the magnetic head 10, and when the magnetic head 10 passes through the preform pit 20, the magnetic flux 11 formed in the core 13 of the magnetic head 10 is detected by the magnetic coil 12. It can be reproduced magnetically. FIG. 5 shows the intensity of the magnetic flux 11 passing through the magnetic coil 12 when the magnetic head travels through the preform pit 20 in a direction perpendicular to the data recording direction, that is, in the radial direction. A desirable output signal can be obtained by making the size of the magnetic flux 11 in the direction perpendicular to the data recording direction of the magnetic head 10 approximately the same as the width d of the preform pit 20 in the direction perpendicular to the data recording direction. In FIG. 5, the magnetic flux 11 is symmetrical about the pit center, and although the magnitude of the track deviation can be determined from this, the direction of the track deviation cannot be detected. Therefore, in the present invention, preform pits 3.4 (3'4') meandering with respect to the track center on the magnetic recording medium are used as tracking servo pits for detecting the magnitude and direction of track deviation. Figures 2 and 3 can be drawn using Figures 6 and 7 (a) to (c).
Meandering preform pits 3, 4 (3', 4
The operation of detecting a tracking signal from ) will be explained. In FIG. 6, the center of the magnetic head 10 is A, B,
Consider the case of passing along each of C. When the magnetic head passes along the dashed line A, the magnetic head passes over the pit 3, so that the signal detected by the magnetic head is large from the pit 3, while the signal from the pit 4 is small. Therefore, the detection signal shown in Fig. 7(a) is obtained.6 Fig. 7(b) shows that when the magnetic head passes along the solid line B (track center) in Fig. 6, the detection signal shown in Fig. 7(c) is obtained. shows a detected waveform when the magnetic head passes along the two-dot chain line C in FIG. Therefore, the tracking signal indicating the magnitude and direction of the track deviation is the reproduction signal of the magnetic head 10 obtained when the magnetic head 10 passes over the pair of meandering preform pits 3.4 (3', 4'). It is obtained by detecting a sample and finding the difference between the two. Magnetic gap 30 of magnetic head 10
To control the position of coincident with the center of the track,
Tracking control may be performed by moving the position of the magnetic head IO in a direction perpendicular to the data recording direction (radial direction) using the detected tracking signal so that the detected waveform shown in FIG. 7(b) is always obtained. Next, the above-mentioned magnetically detectable tracking servo pits are formed in advance on a magnetic recording medium (for example, a magnetic disk), and these tracking servo pits are used to perform highly accurate tracking control of the magnetic head. A method for magnetically recording and reproducing information will be explained. Figure 8 shows one magnetic head raised (see Figure 4 (a)).
This shows a case where both data recording/reproduction and tracking signal detection can be performed. The concentric or spiral track 2 is divided into a servo area for detecting tracking signals and periodic signals and a data area for recording data, and these servo areas and data areas alternate periodically along the track. There are many. The preform pits (ρ1ts) in these servo areas and the recorded data in the data area are detected in a time-division manner by one magnetic head that scans along the center line of the track. As mentioned above, each servo area has a tracking servo mark for detecting the size and direction of track deviation.
A pair of preform pits 3 and 4 are formed in a meandering manner with respect to the track center on the magnetic recording medium. In each servo area, a clock pit may be preformed along the center line of the track, as shown at 35°35' in FIGS. 2(c) and 3(c). Alternatively, the preform may be tilted with respect to the track as shown in FIG. 3(d). Furthermore, track address pits may be preformed along the center line of the track if necessary. As mentioned above, these preform pits in the servo area have locally different magnetic properties from the recording magnetic film 5, and are formed by removing the magnetic film 5 by, for example, ion milling or reactive ion etching. By detecting the leakage magnetic field generated from both edges of these preform bits with the magnetic head 10,
Read magnetically. The tracking signal is as shown in Figures 6 and 7.
As explained in detail with reference to the drawings, this is obtained by sample-detecting the leakage magnetic field generated from the edges of a pair of wobble pits 3 and 4 preformed in the servo area using the magnetic head 10. While controlling the servo position of the magnetic head 10 based on the detected tracking signal, the magnetic head 10 records or reproduces desired data in the data area between the servo areas along the center line of the track. The magnetic head 10 is supported by a support mechanism (not shown) connected to an actuator (not shown),
By disabling this actuator, it is possible to move in a direction perpendicular to the data recording direction (for example, in the radial direction of the magnetic disk). Therefore, by opening this actuator based on the detected tracking signal, tracking is controlled so that the magnetic head 10 always scans the center of the track, and data is transferred along the center of the track in the data area by the magnetic head 10 under tracking control. Accurately recorded and played back. Note that when the data area is long, it is preferable to hold the tracking signal detected from the wobble pit in the servo area during the data area period. In this embodiment, the magnetic film 5 is a magnetic thin film for in-plane recording, and the data recorded in the data area is recorded in-plane (magnetized in a direction parallel to the magnetic film 5) by the magnetic head 10. 9 and 10 respectively show other examples of track patterns of the magnetic recording medium used in the present invention. In both cases, the track is separated into a servo area for detecting tracking signals and a data area for recording data, and the point that the signal is detected in a time-division manner using one magnetic coil is the same as in the case of Figure 8. can be. Desired data is recorded and reproduced along the track center in the data area between the servo areas by a tracking-controlled magnetic head. In FIG. 9, a pair of circular pits 53 and 54 meandering with respect to the track center are preformed as tracking servo marks in each servo area. On the other hand, in FIG. 10, in each servo area, a pit row 63 with a frequency f1 is located at a position slightly offset from the track center in one direction (perpendicular to the data recording direction, for example, toward the inner circumference). For example, a pit row 64 with a frequency f2 is preformed at a position shifted toward the outer circumference. In FIG. 10, the preform pit rows 63 and 64 are each formed with circular pits, but from the viewpoint of improving the recording density in the track direction and improving the S/N, as mentioned above, it is necessary to It is preferable to preform the pit rows 63 and 64 with long rectangular pits whose length is about the same as the width of the recording area 30 on the magnetic head. FIG. 11 shows pit rows 72 of different frequencies f□t fz.
゜73 was preformed with a rectangular pit. The pit rows of frequencies fyut and f2 can be detected separately by frequency discrimination, so they can be preformed on both sides of the track center at the same time as shown in Fig. 10 and detected at the same time, or as shown in Fig. 11. It is also possible to preform it by shifting it along the track, as shown in the figure, and detect it in a time-division manner. A method for detecting tracking signals from the preform pit arrays of these frequencies fi and f2 will be explained with reference to FIG. A detection signal from the magnetic head 10 scanning along the track is separated by a frequency discriminator 65 into components of frequency f and f2. Each component is amplified by a differential amplifier 66 to obtain a tracking signal. The tracking signal is sent to an actuator that changes the radial position of the magnetic head. When the amplitudes of each component are equal, the magnetic head is located at the center of the track. Next, a method for producing a magnetic recording medium having the above-mentioned preform bits will be explained. FIG. 13 shows a photomask recording device used in the manufacturing method of the present invention. This recording device uses a chrome photomask 13
0 on the magnetic recording medium 1 using ultraviolet laser light. That is, magnetically reproducible ROM data provided in advance in the ROM area, ROM area and/or RAM
A pattern consisting of signals to be preformed such as magnetically reproducible tracking servo marks, clock pits, address pits, etc. in a servo area provided periodically along a track is recorded in the area. In FIG. 13(a), a chrome photomask 130 is fixed to a rotation bearing and rotated. On the other hand, a laser beam such as an argon laser (W=0.45
Micron) LA is intensity-modulated by a light modulator MD according to the signal to be preformed, and has a high NA (for example, NA=0.
When the light is focused by the lens system 93), a circular spot with a diameter of about 0.4 microns is formed on the rotating mask 130. now. Each preform pit 20 constituting ROM data, tracking servo marks, clock pits, and address pits has a long dimension in the disk radial direction, for example, 5 mm.
In terms of microns, a circular spot of 0.4 microns cannot create a vertically long pit. FIG. 13(b) is a diagram for explaining an example of a method for forming vertically long pits. In FIG. 13(a), the optical system is moved linearly in the radial direction of the disk of the photomask 130 on a moving table.
The speed of movement is preferably controlled so that the photomask 130 moves by a distance smaller than the diameter of the light spot, for example, by an amount approximately equivalent to the radius of the light spot, during one rotation of the photomask 130. Then, as shown in FIG. 13(b), the integral value of the amount of light irradiated onto a desired portion of the photomask 130 becomes a uniform rectangle. Now, in order to form a vertically long preform pit of 5 microns with a light spot diameter of 0.4 microns, the amount of movement of the optical system is 0.2 microns/rotation, and 510.2=
In other words, the intensity of the light may be modulated in accordance with the signal to be preformed at a desired timing while the photomask 130 rotates 25 times. The above-mentioned preform pit 20 (tracking servo pits 3 and 4) is
.. 3', 4'...;53,54;63.64
;72,73;Address pit and clock pit35.
35'..., ROM data pit 17 to be described later
The mask 130 on which a pattern consisting of rows of . . . ) is recorded is developed and etched.
is obtained. Using this mask 130, a magnetic recording medium is produced by the processes shown in FIGS. 14 to 17, which are an embodiment of the present invention. FIG. 14 shows an example of a method for producing a magnetic medium in which the magnetic thin film (magnetic film) 5 of each preform pit 20 is removed. In FIG. 14(a), a negative resist 22 is coated on an aluminum or glass disk substrate 1, and the above-mentioned mask 130 is brought into close contact with this photoresist-coated disk substrate 1 for exposure. In FIG. 14(b), after exposing the negative resist 22, the mask 130 is removed and developed, and the resist other than the pit portions 20 is dissolved by the development, but the resist 23 remains only in the pit portions 20. In FIG. 14(c), a magnetic thin film 5 is formed by sputtering on the entire surface of the disk substrate 1 where the resist 23 remains. In FIG. 14(d), the resist 23 on the disk is removed. For example, by removing with a plasma asher or an organic solvent, the magnetic thin film 5 in the pit portions 20 is removed, and a magnetic recording medium without the magnetic film 5 only in the pit portions 20 can be created. Also, the 14th
In Figure (d), the magnetic film 5 coated in a raised manner on the pit portion may be removed. For example, when the disk surface is polished to a thin layer, the magnetic film in the pit portions, which is coated in a raised manner, is removed. FIG. 15 shows another example of a method for producing a magnetic recording medium in which the magnetic film (magnetic recording film) 5 of each preform pit 2o is removed. In FIG. 15(a), after a magnetic thin film 5 is uniformly sputtered on an aluminum or glass disk substrate 1, a positive resist 21 is applied, and this magnetic film 5 and a photoresist 2 are coated.
The above-described mask 130 is applied to the disk substrate 1 on which the mask 130 is formed.
exposed in close contact. In FIG. 15(b), after exposing the positive resist 21, the mask 130 is removed and the resist is developed. The resist in the pit portions 20 is dissolved by the development, but the other resist remains. In FIG. 15(c), for example, the magnetic thin film 5 in the pit portions 20 where the resist 21 does not exist is removed by etching using an ion milling method. In FIG. 5(d), for example, the resist 21 on the unexposed portion of the disk is removed using an organic solvent. This manufacturing method also makes it possible to create a magnetic recording medium in which the magnetic film 5 is not present only in the preform pits 20. FIG. 16 shows an example of a method for producing a magnetic medium in which each preform pit 2o is non-ferromagnetic. In FIG. 16, the processes in FIGS. 16(a), (b), and (d) are the same as those in FIG. 15(a), (b), and (d). In FIG. 16(c), for example, hydrogen, argon,
By implanting nitrogen, boron, neon, dysprosium, etc. 23 to replace the magnetic film 5 in the preform pit portion with ferromagnetic material, the preform pit portion 20
It is possible to create a magnetic recording medium that is not only ferromagnetic. If only the preform pits are made non-ferromagnetic in this way, since the recording film other than the pits is ferromagnetic, magnetic poles are formed on both walls of each preform pit 20, and as a result, the edges of the pits are Since a leakage magnetic field is generated, it can be detected magnetically by a magnetic head in the same way as described above. Note that FIG. 18 shows an enlarged view of the preform pit 20 formed by this manufacturing method. FIG. 17 shows an example of a method for producing a magnetic recording medium in which each preform pit 20 does not have a base film. In FIG. 17(a), after sputtering a Cr thin film 32 on an aluminum or glass disk substrate 1, a positive resist 21 is applied.
was applied to the disk substrate 1 on which the Cr underlayer 32 and photoresist 21 were formed. The mask 130 described above is exposed in close contact with the mask 130 . Figure 17 (b
), when the positive resist 21 is exposed, the mask 130 is removed, and the resist 21 is developed, the resist 21 in the pit portions 20 is dissolved by the development, but the rest of the resist 21 remains. In FIG. 17(c), the Cr thin layer 32 in the pit portion 20 where the resist 21 does not exist is removed by etching using, for example, a single-reactive ion etching method. In FIG. 17(d), for example, the resist 21 in the unexposed area on the disk is removed using an organic solvent. In FIG. 17(e), a ferromagnetic film 5 such as CoNiZr and a protective film 34 such as C are uniformly formed on the pattern of the Cr thin film 32 by sputtering. By this manufacturing method, it is possible to create a magnetic recording medium in which the Cr underlayer 32 is not provided only in the preform pit portion 20. Figure 19 shows preform pit 2 created by this method.
The 0 part is shown enlarged. FIG. 19(a) shows the magnetic head 10 scanning the preform pit 20, and FIG. 19(b) shows the magnetic film structure near the preform pit 20. The structure of the magnetic film other than the preform pit portion 20 is such that a base film of, for example, 300 to 500 nm is formed on an aluminum (AQ) or glass substrate 1.
A Cr film 32 with a thickness of m is formed by sputtering, and a ferromagnetic film 5 of CoNiZr or the like is formed on it with a thickness of 50 nm to 70 nm.
nm thick, and a protective film 34 made of C or the like is formed thereon by sputtering. In each preform pit portion 20, the Cr base film 32 is partially removed, and only the ferromagnetic film (recording magnetic film) 5 and the protective film 34 are formed. After the film is formed, the entire surface of the magnetic recording medium is initially magnetized uniformly by a magnet while being rotated. The magnetization direction 6 coincides with the disk circumferential direction, that is, the data recording direction. The Cr underlayer 32 has the effect of increasing the saturation magnetization Ms of the ferromagnetic film 5. Since there is no Cr underlayer 32 in each preform pit portion 20, the saturation magnetization at that location is small. If the recording magnetic film 5 is magnetized in one direction 6 by initial magnetization, there will be no leakage magnetic field at a location away from the preform pit 20. However, each preform pit 20 such as servo pit 3°3', 4.4', etc.
Since the saturation magnetization in that part is smaller than in other parts, positive and negative magnetic poles are formed on both walls 7 and 8 of each preform pit 20, and as a result, a magnetic field leaks from the edge of the preform pit. 9 is generated, so that it can be magnetically reproduced by the magnetic head 10 in the same way as described above. As described above in detail using FIGS. 14 to 19,
According to the manufacturing method of the present invention, it is possible to easily manufacture a magnetic recording medium provided with preform pits that are magnetically detectable and have locally different magnetic properties from those of the recording magnetic film. Moreover, since the mask 130 having a pattern of preform pits to be provided in advance on a magnetic recording medium can be used many times, a large number of magnetic recording media having the same pattern can be produced with high precision. In addition, the manufacturing method shown in FIGS. 14 to 17 also allows forming any pattern other than preform pits on the mask 130. For example, if a straight groove is made, the magnetic recording medium will not have a magnetic field. It is possible to preform straight grooves without membranes. Furthermore, it is of course possible to preform synchronization pits, address pits, or access pits in addition to tracking pits as servo pits. In addition, in the manufacturing method shown in FIGS. 14 to 16,
Although the protective film 34 was not explained. In the method for creating Figures 14 to 16, Figure 17 (
Similarly to e), it is preferable to form a protective film 34 made of C or the like on the recording magnetic film 5. In the above description, it is assumed that the data area between the servo areas is a magnetic recording medium that can be freely recorded and erased by the magnetic head 10. Here, a disk with this function will be named a disk with RAM function. However, as a further expanded use of discs, the 20th
As shown in the figure, an area 40 with a RAM function and an RO
M, that is, a disk configuration including a read-only area 39 is conceivable. With this configuration,
This has the advantage that read-only information and rewritable information can be accessed simultaneously in a short period of time. That is, the magnetic disk 1 has a magnetic film on which information can be magnetically recorded and reproduced, and has a second area (RAM area) 40 where the user can magnetically record and reproduce information, and a second area (RAM area) 40 where information can be magnetically reproduced. It has a preformed first area (ROM area) 39. In FIG. 20, the RAM area 40 is on the outer peripheral side. A ROM area 39 is provided on the inner circumferential side. In Fig. 2↓, the RAM area 40 is provided on the outer circumferential side, the ROM area 39 is provided on the inner circumferential side, and the ROM area 39 is provided as a RAM area.
They are angularly divided and mixed within the area 40. The RAM area 40 and the ROM area 39 are provided with concentric or spiral tracks, along which data is recorded and/or reproduced. FIG. 22 shows data recording tracks in the RAM area 40. In FIG. 22, data track 2,
2' is composed of a combination of a large number of servo areas 15 provided periodically along the track and RAM data 16 recorded in user information recording areas (data areas) between these servo areas 15. As described above, on each servo area 5, preform pits are formed, for example, by locally etching away the magnetic film and having magnetic properties different from those of the recording magnetic film. The magnetic field generated at the edge of the pit is transmitted to the magnetic head 1.
0 magnetically detects the sample and obtains a tracking signal.
While controlling the servo position of the magnetic head l○ based on the tracking signal, desired RAM data (for example, code data) 16 is recorded in the user information recording area (data area) between the servo areas 15 along the center line of tracks 2 and 2'. Record or play along. The magnetic film is a magnetic thin film for in-plane recording, and the RAM data 16 is magnetically recorded and reproduced in-plane by a tracking-controlled magnetic head 10. As explained in FIGS. 2, 3, and 9, the preform pits in the servo area 15 are a pair of tracking holes distributed left and right with respect to the center line of the tracks 2 and 2'. Servo pit 3, 4; 53°54
Alternatively, as explained in FIG. 10 and FIG. 11, different frequency and/or
Alternatively, a tracking mark consisting of pit rows 63, 64; 72, 73 having different phases is used. Further, address pits and kukotsuku pits 35 and 35' are preformed as necessary. An example thereof is shown in FIG. FIG. 23 shows an example of recording tracks in the RAM area 40. Each servo area 15 is preformed with a pair of servo pits 3 and 4 meandering relative to the track center as tracking servo marks. In the figure, pits indicated by 35 are preform pits for clocks and access marks, and are preformed on the base ml with the same magnetic film structure as the servo pits 3 and 4. Numeral 36 is a groove formed between tracks, and is used to reduce crosstalk during data reading between tracks. This groove 36 is also preformed with the same structure as the servo pits 3 and 4. 16 is the magnetic head 1
This shows data magnetically recorded in the data area by the vertical axis. FIG. 24 shows tracks dedicated to data reproduction in the ROM area 39. In FIG. 24, the data tracks 2, 2' consist of a number of servo areas 15 periodically provided along the tracks, and read-only ROM data (for example, code data) 17 provided between these servo areas 15 in any combination. It consists of Each servo area 15 and the ROM data 17 are both formed of preformed bits whose magnetic properties are different from those of the recording magnetic film, for example, by locally etching away the magnetic film, as described above. The magnetic head 10 magnetically samples and detects the magnetic field generated at the edges of the preform bits in the servo area 15 to obtain a tracking signal, and while controlling the servo position of the magnetic head based on the tracking signal, the servo area 15 The ROM data 17 between the tracks 2 and 2' is reproduced along the center line of the tracks 2 and 2'. ROM data 17 is only reproduced by the magnetic head and not recorded by the magnetic head.N. An example of recording tracks in the ROM area 39 is shown in FIG. Regarding the preform bits 3 and 4° 35 in the servo area 15 and the groove 36 between tracks in the data area, the 23rd
It is similar to that shown in the figure. Pit 17 in the data area
are preformed in the ROM 39 area in the same manner as the preform bits 3 and 4° 35 in the servo area. In this way, in the ROM area 39, both the pits in the servo area and the ROM data 17 in the data area are formed, for example, by locally etching away the recording film, as described above. The magnetic field generated at the edge of the preform bit in these servo areas is magnetically sampled and detected by a magnetic head to obtain a tracking signal, and the data area between the servo areas is controlled while controlling the servo position of the magnetic head based on the tracking signal. The ROM data 17 within is reproduced along the center line of the track. According to this embodiment, not only can ROM information be copied and recorded on a magnetic recording medium at low cost as a replica, but also ROM information and RAM information are mixed, so when used in a device such as a personal computer, software programs etc. can be written in advance. R
Since it can be formed on the magnetic recording medium as OM information, the effort of copying the software to the magnetic recording medium using a floppy disk can be saved. In addition, the first area (ROM area) and the second area (R
By providing a large number of servo areas periodically in advance in the AM area (AM area), the magnetic flux distribution generated in the preform bit in the servo area is magnetically detected by a magnetic head to control the servo position while the second area (AM area) is controlled. Recording and reproducing information in the first area (RAM area) or the first area (ROM area)
information can be read out. Effects of the Invention 1 According to the present invention, information can be recorded and reproduced while controlling the servo position by magnetically detecting the magnetic field generated in the preformed servo mark with a magnetic head, and high-density recording can be achieved. Ru. In addition, preform bits can be duplicated and recorded, and identical bits can be easily produced with high precision, so it is possible to produce large quantities of preformatted magnetic recording media at low cost. Further, according to the present invention, not only can servo information be inexpensively copied and recorded on a magnetic recording medium, but also ROM information and RAM information can be copied and recorded on a magnetic recording medium.
Information can be mixed. When used in a device such as a personal computer, software programs and the like can be formed in advance as ROM information on a magnetic B medium, thereby saving the effort of copying the software to a magnetic recording medium using a floppy disk.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の磁気記録媒体(磁気ディスク媒体)の
一実施例を示す概略図、第2図(a)〜(c)は、それ
ぞれ第1図の磁気記録媒体の記録面にプリフォームされ
た記録トラックの一例を示す図、第3図(a)〜(d)
は、それぞれ第1図の磁気記録媒体の記録面にプリフォ
ームされた記録トラックの他の例を、磁気ヘッドの記録
領域とともに示す図、第4図(a)は第2図及び第3図
に示した′V!、録トラシトラックフォームされたピッ
トを磁気ヘッドが再生している様子を示す図、第4図(
b)〜(d)は、それぞれプリフォームピット付近の磁
(i:膜構造を示す概W@断面図、第5図は磁気ヘッド
がプリフォームピットをデータ記録方向と直角方向に走
行した時に得られる磁気ヘッドの出力を示す図、第6図
及び第7図(a)〜(c)は本発明によるトラッキング
信号の検出動作を説明するための図であり、第6図は蛇
行したトラッキングサーボピットとそれらを走査する磁
気ヘッドとの関係を示す図、第7図(a)〜(C)は、
第6図の走査値IA、B、Cに沿って磁気ヘッドが走査
したときに得られる検出波形の例をそれぞれ示す図、第
8図はサーボ領域で検出したトラッキング信号でトラッ
キング制御しながらデータ領域にデータを記録再生する
本発明の記録再生方法の一実施例を説明するための図、
第9図、第10図。 第11図はそれぞれサーボ領域にプリフォームされたト
ラッキングサーボピットの他の例を示す図。 第12図は第10図及び第11図に示したトラッキング
サーボピットからトラッキング信号を検出する方法を説
明するための図、第13図(a)は本発明の記録媒体作
成方法で用いるマスク記録装置の一例を示す図、第13
図(b)は−様な矩形のプリフォームピットを形成する
ための方法を説明するための図、第14図乃至第17図
はそれぞれ本発明の磁気記録媒体の作成方法の一実施例
を説明するための図であり、第14図(a)〜(d)は
プリフォームビットの磁性膜を除去した磁気媒体の作成
方法の一例を示す図、第15図(a)〜(d)はその作
成方法の他の例を示す図、第16図(a)〜(d)はプ
リフォームピットが非強磁性である磁気媒体の作成方法
の一例を示す図、第17図(a)〜(e)はプリフォー
ムピットの下地膜を除去した磁気媒体の作成方法の一例
を示す図、第18図は第16図の作成方法によるプリフ
ォームピット付近の磁性膜構造を示す図、第19図(a
)、(b)は第18図の作成方法によるプリフォームビ
ットの再生方法とその磁性膜構造を示す図、第20図、
第21図はそれぞれ本発明の磁気記録媒体の一実施例を
示し、ROM領域とRAM領域が混在した磁気ディスク
媒体を示す図、第22図、第23図はそれぞれRAM領
域内の記録トラックの一例を示す図、第24図、第25
図はそれぞれROM領域内の再生専用トラックの一例を
示す図である。 葛 / 図 第 の 第3図 (A) (B)(C7) 委7図 某7図 第72図 市/3凪 已 /乙 図 第1?図 笛2/図
FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of the magnetic recording medium (magnetic disk medium) of the present invention, and FIGS. 2(a) to (c) each show a preform on the recording surface of the magnetic recording medium of FIG. Figures 3(a) to 3(d) show examples of recorded tracks.
4(a) is a diagram showing other examples of recording tracks preformed on the recording surface of the magnetic recording medium in FIG. 1, together with the recording area of the magnetic head, and FIG. 4(a) is similar to FIGS. 2 and 3. Showed 'V! FIG.
b) to (d) are the magnetism near the preform pit (i: approximate cross-sectional view showing the film structure; Figure 5 shows the magnetic head obtained when the magnetic head runs through the preform pit in a direction perpendicular to the data recording direction) 6 and 7 (a) to (c) are diagrams for explaining the tracking signal detection operation according to the present invention, and FIG. 6 shows a meandering tracking servo pit. 7(a) to (C) are diagrams showing the relationship between the magnetic head and the magnetic head that scans them.
Figures showing examples of detected waveforms obtained when the magnetic head scans along the scanning values IA, B, and C in Figure 6. Figure 8 shows the data area while tracking is controlled using the tracking signal detected in the servo area. A diagram for explaining an embodiment of the recording and reproducing method of the present invention for recording and reproducing data on the
Figures 9 and 10. FIG. 11 is a diagram showing another example of tracking servo pits preformed in each servo area. FIG. 12 is a diagram for explaining a method for detecting tracking signals from the tracking servo pits shown in FIGS. 10 and 11, and FIG. 13(a) is a mask recording apparatus used in the recording medium production method of the present invention. Figure 13 showing an example of
Figure (b) is a diagram for explaining a method for forming --shaped rectangular preform pits, and Figures 14 to 17 each illustrate an embodiment of the method for producing a magnetic recording medium of the present invention. FIGS. 14(a) to 14(d) are diagrams showing an example of a method for creating a magnetic medium in which the magnetic film of the preform bit is removed, and FIGS. 15(a) to (d) are diagrams showing the method Figures 16(a) to 16(d) are diagrams showing other examples of the manufacturing method, and Figures 17(a) to 17(e) are diagrams showing an example of the manufacturing method of a magnetic medium in which preform pits are non-ferromagnetic. ) is a diagram showing an example of a method for creating a magnetic medium with the underlying film of the preform pit removed, FIG. 18 is a diagram showing the magnetic film structure near the preform pit by the manufacturing method shown in FIG. 16, and FIG.
), (b) are diagrams showing a method of reproducing a preform bit according to the production method shown in FIG. 18 and its magnetic film structure, and FIG.
21 shows an embodiment of the magnetic recording medium of the present invention, a diagram showing a magnetic disk medium in which a ROM area and a RAM area are mixed, and FIGS. 22 and 23 each show an example of a recording track in the RAM area. Figures 24 and 25 showing
Each figure shows an example of a read-only track in the ROM area. Kuzu / Figure 3 (A) (B) (C7) Figure 7 Figure 7 Figure 72 City / 3 Nagimi / Figure 1? Diagram flute 2/diagram

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、磁気的に記録再生できる形態で情報を記憶する磁性
膜を有する磁気記録媒体であって、トラッキング信号を
検出するためのサーボ領域がトラックに沿って周期的に
設けられ、各サーボ領域に上記磁性膜とは磁気特性が異
なってプリフォームされたサーボピットを有する磁気記
録媒体を用い、上記各サーボ領域を磁気ヘッドが走査す
る際に、上記プリフォームされたサーボピットに発生す
る磁界を検出して上記トラッキング信号を得、その得ら
れたトラッキング信号に基づいて上記磁気ヘッドが上記
トラックの中心に沿うようにトラッキング制御しながら
上記サーボ領域の間に上記磁気ヘッドにより情報を記録
しあるいは再生することを特徴とする情報の磁気的記録
再生方法。 2、上記プリフォームされたサーボピットのエッジに発
生する磁界を検出して上記トラッキング信号を検出する
ことを特徴とする請求項1記載の磁気的記録再生方法。 3、上記磁気記録媒体として、上記各サーボ領域の上記
プリフォームされたサーボピットが上記トラックの中心
に対して蛇行して設けられた少なくとも一対のウォブル
サーボピットからなる磁気記録媒体を用い、該一対のウ
ォブルサーボピットのそれぞれに発生する磁界を上記磁
気ヘッドで検出して得られる出力の差から上記トラッキ
ング信号を検出することを特徴とする請求項1記載の磁
気的記録再生方法。 4、上記磁気記録媒体として、上記各サーボ領域の上記
プリフォームされたサーボピットが、異なる周波数の一
組のピット列からなる磁気記録媒体を用い、該一組のピ
ット列を上記磁気ヘッドで走査して得られる出力から上
記異なる周波数の成分をそれぞれ検出し、その検出した
信号の差から上記トラッキング信号を検出することを特
徴とする請求項1記載の磁気的記録再生方法。 5、上記磁気記録媒体として、上記サーボ領域間に上記
磁性膜とは磁気特性が異なってプリフォームされたデー
タピットを有する第1の領域と、上記サーボ領域間に上
記磁気ヘッドでデータを記録できる記録領域を有する第
2の領域とを有する磁気記録媒体を用い、上記プリフォ
ームされたデータピットに発生する磁界を上記磁気ヘッ
ドで検出して該データピットを再生することを特徴とす
る請求項1乃至4のいずれかに記載の磁気的記録再生方
法。 6、上記プリフォームされたサーボピットの上記トラッ
クと直角方向の長さが、上記磁気ヘッドの記録部分のそ
れと同程度であることを特徴とする請求項1乃至5のい
ずれかに記載の磁気的記録再生方法。 7、上記磁気記録媒体として、上記プリフオームされた
サーボピットが上記磁性膜を除去して形成された磁気記
録媒体を用いることを特徴とする請求項1乃至6のいず
れかに記載の磁気的記録再生方法。 8、上記磁気記録媒体として、上記プリフオームされた
サーボピットが上記磁性膜を局部的に非強磁性にして形
成された磁気記録媒体を用いることを特徴とする請求項
1乃至6のいずれかに記載の磁気的記録再生方法。 9、上記磁気記録媒体として、上記プリフォームされた
サーボピットが上記磁性膜下の下地膜を除去して形成さ
れた磁気記録媒体を用いることを特徴とする請求項1乃
至6のいずれかに記載の磁気的記録再生方法。 10、磁気的に読み取りうる情報が記録される強磁性の
磁性膜を有する磁気記録媒体であって、トラッキング信
号を検出するためのサーボ領域がトラックに沿って周期
的に設けられ、各サーボ領域に上記磁性膜とは磁気特性
が異なって、プリフオームされたサーボピットを有する
ことを特徴とする磁気記録媒体。 11、上記各サーボ領域の上記プリフォームされたサー
ボピットが上記トラックの中心に対して蛇行して設けら
れた少なくとも一対のウォブルサーボピットからなるこ
とを特徴とする請求項10記載の磁気記録媒体。 12、上記各サーボ領域の上記プリフオームされたサー
ボピットは上記磁性膜が形成されていないことを特徴と
する請求項10又は11記載の磁気記録媒体。 13、上記各サーボ領域の上記プリフォームされたサー
ボピットが上記磁性膜を局部的に非強磁性にして形成さ
れたことを特徴とする請求項10又は11記載の磁気記
録媒体。 14、上記各サーボ領域の上記プリフォームされたサー
ボピットが凹凸で形成され、その部分は上記磁性膜が形
成されていないことを特徴とする請求項10又は11記
載の磁気記録媒体。 15、上記各サーボ領域の上記プリフォームされたサー
ボピットが上記磁性膜下の下地膜を除去して形成された
ことを特徴とする請求項10又は11記載の磁気記録媒
体。 16、上記各サーボ領域の上記プリフォームされたサー
ボピットが、異なる周波数の一組のピット列からなるこ
とを特徴とする請求項10乃至15のいずれかに記載の
磁気記録媒体。 17、上記サーボ領域間に上記磁性膜とは磁気特性が異
なってプリフォームされたデータピットを有する第1の
領域と、上記サーボ領域間に上記磁気ヘッドでデータを
記録できる記録領域を有する第2の領域とを有すること
を特徴とする請求項10乃至16のいずれかに記載の磁
気記録媒体。 18、上記第1の領域と上記第2の領域とが、角度分割
されて混在していることを特徴とする請求項17記載の
磁気記録媒体。 19、磁性膜を有し、磁気的に情報が記録再生可能な磁
気記録媒体であって、磁気的に再生可能な情報があらか
じめ設けられた第1の領域と、ユーザが情報を磁気的に
記録再生できる第2の領域とを有することを特徴とする
磁気記録媒体。 20、上記第1の領域と、上記第2の領域とが、角度分
割されて混在していることを特徴とする請求項19記載
の磁気記録媒体。 21、上記第1の領域には上記磁気的に再生可能な情報
が上記磁性膜を部分的に除去して記録されていることを
特徴とする請求項19又は20に記載の磁気記録媒体。 22、上記第1の領域には上記磁性膜を部分的に除去し
て記録された磁気的に再生可能なサーボマークがトラッ
クに沿って周期的に多数設けられ、これらサーボマーク
間に上記磁気的に再生可能な情報が設けられていること
を特徴とする請求項19乃至21のいずれかに記載の磁
気記録媒体。 23、上記第2の領域には上記磁性膜を部分的に除去し
て記録された磁気的に再生可能なサーボマークがトラッ
クに沿って周期的に多数設けられ、これらサーボマーク
間をユーザ情報記録領域としたことを特徴とする請求項
19乃至22のいずれかに記載の磁気記録媒体。 24、請求項10乃至23のいずれかに記載の磁気記録
媒体の製造方法であって、上記サーボ領域にあらかじめ
設けられるサーボピットのパータンを有するマスクを準
備し、上記磁性膜上に設けたレジストを上記マスクを介
して露光し、上記パターンに対応する上記レジストを除
去し、そのレジストをマスクとして上記パターンに対応
する上記磁性膜の部分の磁気特性を異ならせることによ
り、上記サーボピットをプリフオームすることを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法。 25、上記パターンに対応する上記磁性膜の部分を除去
して上記サーボピットをプリフォームすることを特徴と
する請求項24記載の製造方法。 26、上記パターンに対応する上記磁性膜の部分を非磁
性にして上記サーボピットをプリフォームすることを特
徴とする請求項24記載の製造方法。 27、上記パターンに対応する上記磁性膜下の下地膜を
部分的に除去して上記サーボピットをプリフォームする
ことを特徴とする請求項24記載の製造方法。 28、請求項10乃至23のいずれかに記載の磁気記録
媒体から磁気ヘッドが上記サーボピットに発生する磁界
を検出することによりトラッキング信号を検出し、上記
トラッキング信号により上記磁気ヘッドの記録位置を制
御しながら情報を磁気的に記録することを特徴とする磁
気記録装置。 29、上記サーボピットのデータ記録方向と直角方向の
長さが上記磁気ヘッドの記録部分のそれ幅と同程度であ
ることを特徴とする請求項28記載の磁気記録装置。
[Claims] 1. A magnetic recording medium having a magnetic film that stores information in a form that can be magnetically recorded and reproduced, in which servo areas for detecting tracking signals are provided periodically along the track. , a magnetic recording medium is used in which each servo area has preformed servo pits with magnetic properties different from those of the magnetic film, and when a magnetic head scans each of the servo areas, the preformed servo pits are The tracking signal is obtained by detecting the generated magnetic field, and the magnetic head transmits information between the servo areas while controlling the tracking so that the magnetic head follows the center of the track based on the obtained tracking signal. A method for magnetically recording and reproducing information, characterized by recording or reproducing information. 2. The magnetic recording and reproducing method according to claim 1, wherein the tracking signal is detected by detecting a magnetic field generated at the edge of the preformed servo pit. 3. As the magnetic recording medium, use is made of a magnetic recording medium consisting of at least a pair of wobble servo pits in which the preformed servo pits of each of the servo areas are provided in a meandering manner with respect to the center of the track; 2. The magnetic recording and reproducing method according to claim 1, wherein the tracking signal is detected from a difference in output obtained by detecting a magnetic field generated in each of the wobble servo pits with the magnetic head. 4. The magnetic recording medium is a magnetic recording medium in which the preformed servo pits in each servo area are composed of a set of pit rows with different frequencies, and the set of pit rows is scanned by the magnetic head. 2. The magnetic recording and reproducing method according to claim 1, wherein the components of the different frequencies are detected from the output obtained by the magnetic recording and the tracking signal is detected from the difference between the detected signals. 5. The magnetic recording medium includes a first area having preformed data pits having magnetic properties different from those of the magnetic film between the servo areas, and data can be recorded by the magnetic head between the servo areas. 1. A magnetic recording medium having a second area having a recording area is used, and the magnetic field generated in the preformed data pit is detected by the magnetic head to reproduce the data pit. 5. The magnetic recording and reproducing method according to any one of 4 to 4. 6. The magnetic head according to claim 1, wherein the length of the preformed servo pit in a direction perpendicular to the track is approximately the same as that of the recording portion of the magnetic head. Recording and playback method. 7. The magnetic recording/reproducing method according to claim 1, wherein the magnetic recording medium is a magnetic recording medium in which the preformed servo pits are formed by removing the magnetic film. Method. 8. As the magnetic recording medium, use is made of a magnetic recording medium in which the preformed servo pits are formed by making the magnetic film locally non-ferromagnetic. magnetic recording and reproducing method. 9. The magnetic recording medium used is a magnetic recording medium in which the preformed servo pits are formed by removing a base film under the magnetic film. magnetic recording and reproducing method. 10. A magnetic recording medium having a ferromagnetic film on which magnetically readable information is recorded, in which servo areas for detecting tracking signals are provided periodically along the track, and each servo area has a A magnetic recording medium having preformed servo pits having magnetic properties different from those of the magnetic film. 11. The magnetic recording medium according to claim 10, wherein the preformed servo pits in each of the servo areas are comprised of at least a pair of wobbled servo pits provided in a meandering manner with respect to the center of the track. 12. The magnetic recording medium according to claim 10 or 11, wherein the preformed servo pits in each of the servo areas are not formed with the magnetic film. 13. The magnetic recording medium according to claim 10 or 11, wherein the preformed servo pits in each of the servo areas are formed by making the magnetic film locally non-ferromagnetic. 14. The magnetic recording medium according to claim 10 or 11, wherein the preformed servo pits in each of the servo areas are formed with unevenness, and the magnetic film is not formed on those portions. 15. The magnetic recording medium according to claim 10 or 11, wherein the preformed servo pits in each of the servo areas are formed by removing a base film below the magnetic film. 16. The magnetic recording medium according to claim 10, wherein the preformed servo pits in each of the servo areas are comprised of a set of pit rows having different frequencies. 17. A first area having preformed data pits having different magnetic properties from the magnetic film between the servo areas, and a second area having a recording area where data can be recorded by the magnetic head between the servo areas. 17. The magnetic recording medium according to claim 10, wherein the magnetic recording medium has a region. 18. The magnetic recording medium according to claim 17, wherein the first area and the second area are angularly divided and coexist. 19. A magnetic recording medium having a magnetic film and capable of magnetically recording and reproducing information, comprising a first area in which magnetically reproducible information is provided in advance, and a region in which a user magnetically records information. A magnetic recording medium characterized in that it has a second reproducible area. 20. The magnetic recording medium according to claim 19, wherein the first area and the second area are angularly divided and coexist. 21. The magnetic recording medium according to claim 19 or 20, wherein the magnetically reproducible information is recorded in the first area by partially removing the magnetic film. 22. In the first area, a large number of magnetically reproducible servo marks recorded by partially removing the magnetic film are provided periodically along the track, and between these servo marks, the magnetically reproducible servo marks are recorded by partially removing the magnetic film. 22. The magnetic recording medium according to claim 19, wherein reproducible information is provided on the magnetic recording medium. 23. In the second area, a large number of magnetically reproducible servo marks recorded by partially removing the magnetic film are provided periodically along the track, and user information is recorded between these servo marks. 23. The magnetic recording medium according to claim 19, wherein the magnetic recording medium is a region. 24. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to any one of claims 10 to 23, wherein a mask having a pattern of servo pits provided in advance in the servo area is prepared, and a resist provided on the magnetic film is Preforming the servo pit by exposing through the mask, removing the resist corresponding to the pattern, and using the resist as a mask to vary the magnetic properties of the portion of the magnetic film corresponding to the pattern. A method of manufacturing a magnetic recording medium characterized by: 25. The manufacturing method according to claim 24, wherein the servo pit is preformed by removing a portion of the magnetic film corresponding to the pattern. 26. The manufacturing method according to claim 24, wherein the servo pit is preformed by making a portion of the magnetic film corresponding to the pattern non-magnetic. 27. The manufacturing method according to claim 24, wherein the servo pit is preformed by partially removing a base film under the magnetic film corresponding to the pattern. 28. A magnetic head from the magnetic recording medium according to any one of claims 10 to 23 detects a tracking signal by detecting a magnetic field generated in the servo pit, and controls the recording position of the magnetic head using the tracking signal. A magnetic recording device characterized by magnetically recording information while 29. The magnetic recording device according to claim 28, wherein the length of the servo pit in the direction perpendicular to the data recording direction is approximately the same as the width of the recording portion of the magnetic head.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6127017A (en) * 1997-04-30 2000-10-03 Hitachi Maxell, Ltd. Substrate for information recording disk, mold and stamper for injection molding substrate, and method for making stamper, and information recording disk
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