JPH0370700B2 - - Google Patents
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- JPH0370700B2 JPH0370700B2 JP58112460A JP11246083A JPH0370700B2 JP H0370700 B2 JPH0370700 B2 JP H0370700B2 JP 58112460 A JP58112460 A JP 58112460A JP 11246083 A JP11246083 A JP 11246083A JP H0370700 B2 JPH0370700 B2 JP H0370700B2
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- JP
- Japan
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- toluenesulfonate
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- hydrogen atom
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58112460A JPS604165A (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | スルホニウム誘導体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58112460A JPS604165A (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | スルホニウム誘導体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604165A JPS604165A (ja) | 1985-01-10 |
| JPH0370700B2 true JPH0370700B2 (pt) | 1991-11-08 |
Family
ID=14587183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58112460A Granted JPS604165A (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | スルホニウム誘導体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604165A (pt) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2006144821A (ru) | 2004-07-08 | 2008-08-20 | Ново Нордиск А/С (DK) | Пролонгирующие метки полипептидов, содержащие тетразольную группировку |
| JP4866605B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2012-02-01 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に用いられる化合物 |
| US8404427B2 (en) | 2005-12-28 | 2013-03-26 | Fujifilm Corporation | Photosensitive composition, and pattern-forming method and resist film using the photosensitive composition |
| JP5130164B2 (ja) * | 2008-09-05 | 2013-01-30 | 富士フイルム株式会社 | ポジ型レジスト組成物及びこれを用いたパターン形成方法 |
| JP5756672B2 (ja) * | 2010-04-27 | 2015-07-29 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーＲｏｈｍ ａｎｄ Ｈａａｓ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ＬＬＣ | 光酸発生剤およびこれを含むフォトレジスト |
-
1983
- 1983-06-21 JP JP58112460A patent/JPS604165A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS604165A (ja) | 1985-01-10 |
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