JPH0342559A - 部材表面の検査法 - Google Patents
部材表面の検査法Info
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- JPH0342559A JPH0342559A JP2168631A JP16863190A JPH0342559A JP H0342559 A JPH0342559 A JP H0342559A JP 2168631 A JP2168631 A JP 2168631A JP 16863190 A JP16863190 A JP 16863190A JP H0342559 A JPH0342559 A JP H0342559A
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- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、部材表面の欠陥の41無を検査する方法に関
でるものである。
でるものである。
従来の技術、および発明が解決しようとする課題
自動車の車体のパネルなとの昂産部材には、若干数の欠
陥部材もしくは欠陥パネルが含まれているごと/J<
t36る。表面のクレータなとの局所的な欠陥が重体用
の鋼製パネルに生じることがあるが、パネルのプレス時
に型(=jけ上の欠陥が生じることもある。
陥部材もしくは欠陥パネルが含まれているごと/J<
t36る。表面のクレータなとの局所的な欠陥が重体用
の鋼製パネルに生じることがあるが、パネルのプレス時
に型(=jけ上の欠陥が生じることもある。
完成した11動車の場合、この種の欠陥で最り目立つの
は、光沢亀の高い仕上げ塗装面から反射が、不規則にゆ
がんでいる場合である。
は、光沢亀の高い仕上げ塗装面から反射が、不規則にゆ
がんでいる場合である。
アシ1ランド・ケミカルズ(^shlandChemi
cals )社のロリア(1−ORIA)(商標〉表面
分析システムにより既に次のような提案がなされている
。この提案は、パネルの表面を分析又は検査するために
、レーデ光を高角度の入射角で・パネルからスクリーン
へ反射させて、ビームを低角度で屈折(づなわち、入射
方向から僅かに屈折〉させ、ビームによりパネル表面を
lff1断しく走査し、光跡を生じさせ、その光跡の映
像をスクリーンに記録し、更に、パネルの次の部分につ
いて同じように光跡と映像を生じさせ、それを、2録し
、映像の記録を分析し、パネルの形状と表面品質の基準
を得るというものである。本発明は、この種のシステム
の改良に係わるものである。
cals )社のロリア(1−ORIA)(商標〉表面
分析システムにより既に次のような提案がなされている
。この提案は、パネルの表面を分析又は検査するために
、レーデ光を高角度の入射角で・パネルからスクリーン
へ反射させて、ビームを低角度で屈折(づなわち、入射
方向から僅かに屈折〉させ、ビームによりパネル表面を
lff1断しく走査し、光跡を生じさせ、その光跡の映
像をスクリーンに記録し、更に、パネルの次の部分につ
いて同じように光跡と映像を生じさせ、それを、2録し
、映像の記録を分析し、パネルの形状と表面品質の基準
を得るというものである。本発明は、この種のシステム
の改良に係わるものである。
前記公知システムは、油塵が僅かな、また凹凸の僅かな
表面を検査するにはh効であるが、ある種の輪tJ6線
をもつパネルの場合には、あまり効果的な検査はぐぎな
い。
表面を検査するにはh効であるが、ある種の輪tJ6線
をもつパネルの場合には、あまり効果的な検査はぐぎな
い。
本発明の1]的番よ、#J記の欠点が除去又は恢減され
た改良システムを得ることにある。
た改良システムを得ることにある。
課題を達成するための手段
本発明によれば、部材表面を検査する次のような方法が
得られる。すなわち、部材を検査デープルにセットする
ステップと、ライ]・を高角度の入射角で部材表面に向
けC1部材表面を横断する光跡を形成し、かつ低角度の
屈折(すなわち入射角からの僅かな屈折)により部材表
面から光を反射させて検出スクリーンに光跡の映像を映
し出づステップと、この映像を記録ケるステップと、部
材表面に対しほぼ直角の位”14から表面上の光跡を観
察し、記録するステラIと、この映像の記録と光跡の記
録とを一賭に分析し、前記光跡のところでの表向の性質
を表示するステラIと、部材を光で走査し、更に部材を
横断する光跡を生じさせるステップと、新たな光跡を得
るために、残りのステップを反復するステップとを行な
う方法である。
得られる。すなわち、部材を検査デープルにセットする
ステップと、ライ]・を高角度の入射角で部材表面に向
けC1部材表面を横断する光跡を形成し、かつ低角度の
屈折(すなわち入射角からの僅かな屈折)により部材表
面から光を反射させて検出スクリーンに光跡の映像を映
し出づステップと、この映像を記録ケるステップと、部
材表面に対しほぼ直角の位”14から表面上の光跡を観
察し、記録するステラIと、この映像の記録と光跡の記
録とを一賭に分析し、前記光跡のところでの表向の性質
を表示するステラIと、部材を光で走査し、更に部材を
横断する光跡を生じさせるステップと、新たな光跡を得
るために、残りのステップを反復するステップとを行な
う方法である。
入射光の幾何形状とスクリーン上の映像に関連するデー
タに加えて、はぼ垂直方向からのv;2察により、パネ
ルに対する入射光の接触線についての付加的データが得
られる。反射映像、パネル上のその光跡双方からのデー
タを一緒に分析することにより、表面の性質に関する指
示が改善される。
タに加えて、はぼ垂直方向からのv;2察により、パネ
ルに対する入射光の接触線についての付加的データが得
られる。反射映像、パネル上のその光跡双方からのデー
タを一緒に分析することにより、表面の性質に関する指
示が改善される。
入射光はレーザにより発生させ、このレー「は可視スペ
クトル内ぐ操作するのが好ましい。
クトル内ぐ操作するのが好ましい。
また、入射光は、扇形ビームの形に集められることによ
りパネル表面を横断する光跡を形成し、ビーム横断面が
横断線をなすようにするのが好ましいが、この光跡を狭
幅ビームにより形成し、このビームが横断線の形でパネ
ルを走査するようにすることもできる。
りパネル表面を横断する光跡を形成し、ビーム横断面が
横断線をなすようにするのが好ましいが、この光跡を狭
幅ビームにより形成し、このビームが横断線の形でパネ
ルを走査するようにすることもできる。
表面の分析は、?J!認による検査や、映像と光跡との
比較によっても有用な程度に可能であるが、コンビ1−
夕による分析は極めて強力な道具と4cる。パネル形状
を表わ寸データの分析は、このデータに最もJ、く適合
する可能性のある2変1m、) 3次多項式を導出して
、この多項式と実際のデータとの間の誤差信号を表向の
合格度の尺度とすることで行なうことがCきる。−〕ン
ビュータ・システムは、したがって、自動的又は準自動
式の検査法により個々のパネルの取捨選択するのに適し
Cいる。
比較によっても有用な程度に可能であるが、コンビ1−
夕による分析は極めて強力な道具と4cる。パネル形状
を表わ寸データの分析は、このデータに最もJ、く適合
する可能性のある2変1m、) 3次多項式を導出して
、この多項式と実際のデータとの間の誤差信号を表向の
合格度の尺度とすることで行なうことがCきる。−〕ン
ビュータ・システムは、したがって、自動的又は準自動
式の検査法により個々のパネルの取捨選択するのに適し
Cいる。
自#!ll車の車体のパネルの場合に、この秤の検査法
を用いれば、自動車の品質の改否に投)7でることが(
゛きる。
を用いれば、自動車の品質の改否に投)7でることが(
゛きる。
このシステムは、平らな、bt、、<ははば平らな車体
パネル、たとえばドアパネル、I−ランクリッド、ボン
ネットリッドなどに有効である。より深い形状の部材、
たとえば典型的な)1ンダパネルなどには、このシステ
ムは、V常は適用できない。
パネル、たとえばドアパネル、I−ランクリッド、ボン
ネットリッドなどに有効である。より深い形状の部材、
たとえば典型的な)1ンダパネルなどには、このシステ
ムは、V常は適用できない。
曲率が極端なため、全表面を走査するには不適だからで
ある。この秤のパネルの比較的平らな部分は検査ぐきる
が、その出費を正当化−Cきだけ1−分に111ilI
Nある成績は得られない。
ある。この秤のパネルの比較的平らな部分は検査ぐきる
が、その出費を正当化−Cきだけ1−分に111ilI
Nある成績は得られない。
実施例
次に添付図面につき本発明の実/+1M酬を131明す
る。
る。
第1図は、部材(11)の表面欠陥を検査する、本発明
による方法を実施する猿回−式を示したものである。こ
の実施例′C′4.1 、部材(11)は、当業者の間
(゛は゛ボディ・イン・ホワイト・″又はB I W
”と呼ばれているブランクボディ・パネルである。すな
わら、ベインI−その他の表面コーティングが施されC
いないプレス鋼板である。この種の鋼板の表面には、十
分に明確な反則光を得るために、反剣材利で表面をコー
ディングせねばへらない場合がある。この方法唸、しか
し、他の秤類の表面、たとえばペイント塗装の表向や、
プラスデック成形品又はガラス繊組補強プラスチックの
表面にも適用できる。
による方法を実施する猿回−式を示したものである。こ
の実施例′C′4.1 、部材(11)は、当業者の間
(゛は゛ボディ・イン・ホワイト・″又はB I W
”と呼ばれているブランクボディ・パネルである。すな
わら、ベインI−その他の表面コーティングが施されC
いないプレス鋼板である。この種の鋼板の表面には、十
分に明確な反則光を得るために、反剣材利で表面をコー
ディングせねばへらない場合がある。この方法唸、しか
し、他の秤類の表面、たとえばペイント塗装の表向や、
プラスデック成形品又はガラス繊組補強プラスチックの
表面にも適用できる。
この装置は、支持構造物13に叔吐られた水平ベツド1
2を有している。テーブル14は、ベツド12の上に取
付けられ、ローラ15のLを走行し、直線的にのみ運動
するよう強制されている。
2を有している。テーブル14は、ベツド12の上に取
付けられ、ローラ15のLを走行し、直線的にのみ運動
するよう強制されている。
ステップモータ・ユニツl−16がプーリ17を駆動し
、プーリ17は、また、ケーゾル18と駆動ブラケット
19を介してテーブル14を駆動する。車体パネルは、
テーブルしに表を七にして取付けられ、ベツド12の縦
方向に間欠的に段々式に進むか、連続的に進むかする。
、プーリ17は、また、ケーゾル18と駆動ブラケット
19を介してテーブル14を駆動する。車体パネルは、
テーブルしに表を七にして取付けられ、ベツド12の縦
方向に間欠的に段々式に進むか、連続的に進むかする。
干渉性riJ ?!光源、たとえば5mWのHeNeレ
ーザ21は、その出力が、高い入射角ぐパネルに向tJ
られ、低角度′C″11■折する反射光、すなわち入射
角からの屈折が小さい反射光を生じるように、固定Ml
aに取付けられ(いる。85°稈度の入射角で約10
°の屈折となるように4るのが適当である。レーIJ’
・ビームは、被検査パネルの全幅にわたって当ることが
数*される。これを達成するために、狭輸ビームを単一
の点に集中し、パネル表面を横断するようにする。但し
、レーザ出力は扇形平面ビーム20に集中し、どんなと
きにも被験パネル全幅にビームが当・るJ、うにする。
ーザ21は、その出力が、高い入射角ぐパネルに向tJ
られ、低角度′C″11■折する反射光、すなわち入射
角からの屈折が小さい反射光を生じるように、固定Ml
aに取付けられ(いる。85°稈度の入射角で約10
°の屈折となるように4るのが適当である。レーIJ’
・ビームは、被検査パネルの全幅にわたって当ることが
数*される。これを達成するために、狭輸ビームを単一
の点に集中し、パネル表面を横断するようにする。但し
、レーザ出力は扇形平面ビーム20に集中し、どんなと
きにも被験パネル全幅にビームが当・るJ、うにする。
20備又は30αの狭幅パネルの場合、パネル全幅は1
回の走査で検査できる。もつと幅の広いドアパネルの場
合、パネルは数回の別にの走査で検査し、全幅をカバー
する。
回の走査で検査できる。もつと幅の広いドアパネルの場
合、パネルは数回の別にの走査で検査し、全幅をカバー
する。
ライトの毛な部分は、矢印22で示されているように反
射面から反射され、スクリーン23に映し出される。ス
クリーン23は、ベツド12の縦方向とレーIJ″21
からの入銅光の方向とに対し、はぼ直角に配訳されてい
る。パネルの表向が、くれ自体では十分に反射性が無い
場合には、適当なコーティングを行なって反射性を高め
る心数があろう。この映像の発生を示したのが第3図で
ある。
射面から反射され、スクリーン23に映し出される。ス
クリーン23は、ベツド12の縦方向とレーIJ″21
からの入銅光の方向とに対し、はぼ直角に配訳されてい
る。パネルの表向が、くれ自体では十分に反射性が無い
場合には、適当なコーティングを行なって反射性を高め
る心数があろう。この映像の発生を示したのが第3図で
ある。
平面状の扇形大剣ビーム20が、パネル11に当るよう
に示され、パネル上に光跡24を形成しCいる。この光
跡は、パネルの曲率に応じた曲線となり、この実際の光
跡24の曲率は高い入射角に応じて増幅される。直接反
射光22がスクリーン23に当って映!&25を生じる
。映像25は、パネルの横断面形に、大体におい【合致
するが、その曲率は、ビームの発故により拡大され、パ
ネルの曲率に応じた外方への屈折にJ、りゑめられる(
この例の場合は引きのばされている)。
に示され、パネル上に光跡24を形成しCいる。この光
跡は、パネルの曲率に応じた曲線となり、この実際の光
跡24の曲率は高い入射角に応じて増幅される。直接反
射光22がスクリーン23に当って映!&25を生じる
。映像25は、パネルの横断面形に、大体におい【合致
するが、その曲率は、ビームの発故により拡大され、パ
ネルの曲率に応じた外方への屈折にJ、りゑめられる(
この例の場合は引きのばされている)。
第1図では、スクリーンに映し出される映像25を記録
するため、スクリーン23に向けて第1のカメラ26が
配置阿され(いる。この力メンは、受像システム27に
接続され、モニタ28に符月25Aのように映像が映し
出される。映像25の記録を表わ1信号又はデータは、
」ンビj−夕29へ送られ、分析される。
するため、スクリーン23に向けて第1のカメラ26が
配置阿され(いる。この力メンは、受像システム27に
接続され、モニタ28に符月25Aのように映像が映し
出される。映像25の記録を表わ1信号又はデータは、
」ンビj−夕29へ送られ、分析される。
第2のカメラ31は、直接にパネル11の1方に配置さ
れ、レーIFビームがパネルに当り光跡を生じる区域に
向いている。入射光のいくらかは、光跡のところr反則
せずに散乱する。この結果、光跡は、秤々の角麿から見
ることかでき、カメラ31で記録することができる。光
@24を表ねりカメラ31からの出力は、受像システム
に送られる。図示の実施例では、カメラ26用の受像シ
ステムが共用されている。カメラ31よりの光跡24は
、要求があれば、スクリーン28に映し出すことができ
る。光跡の記録を表わ寸借g又ロデータはコンビ」−夕
29へ送られる。
れ、レーIFビームがパネルに当り光跡を生じる区域に
向いている。入射光のいくらかは、光跡のところr反則
せずに散乱する。この結果、光跡は、秤々の角麿から見
ることかでき、カメラ31で記録することができる。光
@24を表ねりカメラ31からの出力は、受像システム
に送られる。図示の実施例では、カメラ26用の受像シ
ステムが共用されている。カメラ31よりの光跡24は
、要求があれば、スクリーン28に映し出すことができ
る。光跡の記録を表わ寸借g又ロデータはコンビ」−夕
29へ送られる。
必要な入射光は、かなりの深度を右しており、その結果
、光跡24と映像25も111 hりの深度を有してい
る。光跡24と映像25の縁部は、明確に解像するため
に、光度が閾1171に達する位’i’(を規定される
。光跡叉は映像の限定線は、これらの縁部の1つ又は2
つの縁部の中間位首と考えてよい。
、光跡24と映像25も111 hりの深度を有してい
る。光跡24と映像25の縁部は、明確に解像するため
に、光度が閾1171に達する位’i’(を規定される
。光跡叉は映像の限定線は、これらの縁部の1つ又は2
つの縁部の中間位首と考えてよい。
パネル11の下のテーブル14は、ベツド12に沿って
数ミリメータづつ段々式に移!IIIJする。このよう
にして、ジ−1fヒームCよパネルに沿つC効果的に走
査を行う。映像25と光跡24とは、くれぞれ走査され
た位置ごとに記録され、光跡と映像の1つの〕7ミリー
を形成する。たとえば、そのような一連の映像は、]ン
ビュータ29の七二り32に表示される。あるい(よ又
、代案として、パネルを連続的に移動さ已(、光跡ど映
像を特定の間隔ぐ記録することも可能である。
数ミリメータづつ段々式に移!IIIJする。このよう
にして、ジ−1fヒームCよパネルに沿つC効果的に走
査を行う。映像25と光跡24とは、くれぞれ走査され
た位置ごとに記録され、光跡と映像の1つの〕7ミリー
を形成する。たとえば、そのような一連の映像は、]ン
ビュータ29の七二り32に表示される。あるい(よ又
、代案として、パネルを連続的に移動さ已(、光跡ど映
像を特定の間隔ぐ記録することも可能である。
このようにすることによって、パネルの横方向の曲率を
示づ一連の光跡と映像が、同時に観察され、パネル品質
の判定は容易と4fる。
示づ一連の光跡と映像が、同時に観察され、パネル品質
の判定は容易と4fる。
パネルの走査により集めたデータは、パネルの形状を完
全に表わケものであり、この形状【よコンピュータによ
って次のように分析される。実測形状の簡単化して表現
が、2変昂3次多項式の形式で8Iさ出されるが、この
多項式は、実際の表向と多項式とが嵯もよく適合する可
能性のあるものである。規則的に湾曲したパネルの場合
、2変M3次多項式は、実際のパネルにぴったり適合す
るが、不規則な曲線のパネルの場合は、多項式と実際の
形状との間にはかなりの差又は誤差が生じる。
全に表わケものであり、この形状【よコンピュータによ
って次のように分析される。実測形状の簡単化して表現
が、2変昂3次多項式の形式で8Iさ出されるが、この
多項式は、実際の表向と多項式とが嵯もよく適合する可
能性のあるものである。規則的に湾曲したパネルの場合
、2変M3次多項式は、実際のパネルにぴったり適合す
るが、不規則な曲線のパネルの場合は、多項式と実際の
形状との間にはかなりの差又は誤差が生じる。
これらの誤差信号【よ、スクリーン32に示されるよう
な曲線ファミリーの上方にスーパーインポーズされるカ
ラー信号で表示するようにする。カラー信号は、差のマ
グニチュード範囲の相違を異なるカラーで表わすように
する。オペレータは、コード化されたカラー表/へを観
察して、パネルの合格、不合格を決めることができる。
な曲線ファミリーの上方にスーパーインポーズされるカ
ラー信号で表示するようにする。カラー信号は、差のマ
グニチュード範囲の相違を異なるカラーで表わすように
する。オペレータは、コード化されたカラー表/へを観
察して、パネルの合格、不合格を決めることができる。
これは、大きなエラーの信号を表わすカラーがイi息に
表示されたとする主観的に判断にもとづいて1jわれる
。
表示されたとする主観的に判断にもとづいて1jわれる
。
あるいはまた、パネルは、誤差信F3の特定レベルにも
とづき、自動的に不合格とすることもできる。
とづき、自動的に不合格とすることもできる。
上に説明した検査と分析により、表面の不規則な点が検
出されるが、パネルは、標準的t、1 y、を準パネル
との比較は行わない。標111パネルとの比較番よ、他
の手段で行うか、もしくは不必要−Cある。
出されるが、パネルは、標準的t、1 y、を準パネル
との比較は行わない。標111パネルとの比較番よ、他
の手段で行うか、もしくは不必要−Cある。
もう一つの分析手続きでは、]ンビュータ11表面の理
想形状を表わt2変単3次多項式′C負狗される。この
多項式を計算するより、むしろ、理想形状は、要求され
た形状であるこが分かつている一連のパネルを検査し、
そこから(9られた信Hを平均化することで得ることが
できよう。
想形状を表わt2変単3次多項式′C負狗される。この
多項式を計算するより、むしろ、理想形状は、要求され
た形状であるこが分かつている一連のパネルを検査し、
そこから(9られた信Hを平均化することで得ることが
できよう。
検査されているパネルからの映像及び光跡の)?ミリー
を表わづ信号は、その場合、標壓多項式と比較され、そ
れに適合せしめられで、パネルは理想形状と整列する位
置に効率よく闘かれる。そして、実際の表向と理想表面
との差を示す誤差信号が得られる。これらの信号は、先
述の例同様、表示されるか、もしくは自動的な合格、不
合格の判定に利用される。
を表わづ信号は、その場合、標壓多項式と比較され、そ
れに適合せしめられで、パネルは理想形状と整列する位
置に効率よく闘かれる。そして、実際の表向と理想表面
との差を示す誤差信号が得られる。これらの信号は、先
述の例同様、表示されるか、もしくは自動的な合格、不
合格の判定に利用される。
映像25だけを処理しても有用な結果が得られるし、ま
た、同じように、カメラ31に記録した光跡24を処理
しても有用な結果が得られはするが、映像25と光跡2
4からの情報を結合すれば、表面の性質についてより有
効な指示が得られる。
た、同じように、カメラ31に記録した光跡24を処理
しても有用な結果が得られはするが、映像25と光跡2
4からの情報を結合すれば、表面の性質についてより有
効な指示が得られる。
2つのカメラからのアーク(ま、以1・でi−,52明
するように補完的なものぐある。
するように補完的なものぐある。
第2のカメラ31で記録されたr−夕は、パネル上の1
個隋での状態を完全に定着させたものではあるが、解像
度は低い。特に、その個所は、入射光の固定平面内に位
置しており、この平面に拾い、かつこの平面を横切るそ
の(■旧、↓、この平面に対してほぼ直角方向から観察
するカメラ31により記録される。解1g1度が高くな
い理山は、入射光平面と表面とが極めて浅い角度−C検
出され、hいに交線が明確に定められない結果どなるた
めである。
個隋での状態を完全に定着させたものではあるが、解像
度は低い。特に、その個所は、入射光の固定平面内に位
置しており、この平面に拾い、かつこの平面を横切るそ
の(■旧、↓、この平面に対してほぼ直角方向から観察
するカメラ31により記録される。解1g1度が高くな
い理山は、入射光平面と表面とが極めて浅い角度−C検
出され、hいに交線が明確に定められない結果どなるた
めである。
第1のカメラ26からの映像記録Y−夕は、パネル位置
とパネル角度の組合せをホづ点で、それ自体が、あいま
いなものである。スクリーン上の同じ映像点が、人銅光
平商内で異なる位置からの、異なる角度での反射によっ
て得ることができる。
とパネル角度の組合せをホづ点で、それ自体が、あいま
いなものである。スクリーン上の同じ映像点が、人銅光
平商内で異なる位置からの、異なる角度での反射によっ
て得ることができる。
しかし、スクリーンは高解像度の映像を与える反射光に
対しほぼ直角に位置している。
対しほぼ直角に位置している。
低解像度で、精確な位置の光跡と、高解像度で、あいよ
いな陽の映像からのデータを組合ヒることに上って、パ
ネルを特に明確に把握することができる。
いな陽の映像からのデータを組合ヒることに上って、パ
ネルを特に明確に把握することができる。
図面の111中4i説明
第1図は本発明の方法を実施するための装置η−式の略
本配冑図、 第2図は第1図の装置の一部を示した拡大平面図、 第3図は第1図、第2図の装置のスクリーンに示される
映像の構成を示した図て゛ある3゜11・・・被験部材
、12・・・水平ベツド、13・・・支持構造物、14
・・・デープル、15・・・ローラ、16・・・ステッ
プ・モータ、17・・・プーリ、18・・・ケーブル、
19・・・駆ll1l]1ラケット、2o・・・平面ビ
ーム、21・−・レーザ光源、22・・・矢印、23・
・・スクリーン、24・・・光跡、25・・・映像、2
6・・・第1のカメラ、27・・・受像システム、28
・・・−Eニタ、29・・・」ンピl−タ、31・・・
第2のカメラ。
本配冑図、 第2図は第1図の装置の一部を示した拡大平面図、 第3図は第1図、第2図の装置のスクリーンに示される
映像の構成を示した図て゛ある3゜11・・・被験部材
、12・・・水平ベツド、13・・・支持構造物、14
・・・デープル、15・・・ローラ、16・・・ステッ
プ・モータ、17・・・プーリ、18・・・ケーブル、
19・・・駆ll1l]1ラケット、2o・・・平面ビ
ーム、21・−・レーザ光源、22・・・矢印、23・
・・スクリーン、24・・・光跡、25・・・映像、2
6・・・第1のカメラ、27・・・受像システム、28
・・・−Eニタ、29・・・」ンピl−タ、31・・・
第2のカメラ。
Claims (8)
- (1)部材(11)の表面を検査する方法であって、検
査台に部材(11)をセットするステップと、ライト(
20)を高角度の入射角で部材表面に向けて、表面を横
断する光跡を形成し、かつ低角度の屈折により表面から
光を反射させて検出スクリーン(23)に光跡の映像を
映し出すステップと、この映像を記録するステップと、
更に部材を横断する光跡を形成するため部材を光により
走査するステップとを有する形式のものにおいて、更に
、表面に対しほぼ直角の位置(31)から表面上の光跡
を観察して、記録するステップと、前記光跡の映像の記
録と前記光跡の記録とを一緒に分析し、前記光跡(24
)のところでの表面の性質を表示するステップと、新し
い光跡について、前記の観察、記録、分析のステップを
反復するステップとを有することを特徴とする部材表面
の検査法。 - (2)光源がレーザ(21)である請求項1記載の検査
法。 - (3)ライトが扇形の平面ビーム(20)となるように
集められ、表面を横断する光跡(24)を形成する請求
項1又は2記載の検査法。 - (4)ビームの縁部を表わす光跡又は映像の一方の縁部
が、その光跡又は映像を表わすものとして記録される請
求項3記載の検査法。 - (5)パネルの形状を表わすデータが、データと最もよ
く適合する可能性をもつ2変量の3次多項式を導出し、
この多項式と実際のデータとの間の誤差信号を表面の合
格度の尺度として用いる請求項1から4のいずれか1項
記載の検査法。 - (6)部材表面の実際の形状を表わす信号が、映像信号
及び光跡信号から得られ、予め記録されている、理想形
状を表わすデータと比較されて、欠陥を示す誤差信号が
得られる請求項1から5のいずれか1項記載の検査法。 - (7)誤差がマグニチュードのレンジで表示される請求
項6記載の検査法。 - (8)部材を支持するテーブル(14)と、高角度の入
射角でテーブルに投射するようにセットされた光源(2
1)と、前記部材の表面から反射する映像を受像するよ
うに構成されたスクリーン(23)と、映像の形状を記
録する装置(26、27)とを有しており、更に、前記
部材に対しほぼ直角の位置から部材上のビームの光跡(
24)を観察する装置(31)と、受取った映像信号と
光跡信号とから、部材の形状を指示する信号を得る装置
(29)とが備えられていることを特徴とする請求項1
から7のいずれか1項記載の検査法を実施する装置。
Applications Claiming Priority (4)
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---|---|---|---|
GB898915093A GB8915093D0 (en) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | Methods of inspecting surfaces for defects |
GB8915093.2 | 1989-09-08 | ||
GB898920358A GB8920358D0 (en) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | Methods of inspecting surfaces for defects |
GB8920358.2 | 1989-09-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0342559A true JPH0342559A (ja) | 1991-02-22 |
JP2931640B2 JP2931640B2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=26295564
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2168631A Expired - Lifetime JP2931640B2 (ja) | 1989-06-30 | 1990-06-28 | 部材表面の検査法 |
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---|---|
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EP (1) | EP0405806B1 (ja) |
JP (1) | JP2931640B2 (ja) |
DE (1) | DE69008623T2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011089981A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-05-06 | Kde Corp | 検査システム及び検査方法 |
DE102012109637A1 (de) | 2011-10-13 | 2013-04-18 | Shimano Inc. | Fahrradantriebseinheit |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2692355B1 (fr) * | 1992-06-10 | 1997-06-20 | Valinox | Dispositif et procede de detection au defile de defauts de surface sur des produits longs metalliques. |
US5878153A (en) * | 1994-06-24 | 1999-03-02 | Ford Global Technologies, Inc. | Method for monitoring coating adhesion propensity based on surface morphology |
US5844801A (en) * | 1994-12-08 | 1998-12-01 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of inspecting and manufacturing vehicle body |
KR100267665B1 (ko) * | 1997-08-28 | 2001-01-15 | 하나와 요시카즈 | 표면검사장치 |
AU4277501A (en) * | 2000-03-24 | 2001-10-03 | Olympus Optical Co., Ltd. | Apparatus for detecting defect |
GB2376068A (en) * | 2001-05-31 | 2002-12-04 | Millennium Venture Holdings Lt | Method and apparatus of in-process inspection |
EP1464920B1 (de) * | 2003-04-03 | 2007-07-25 | Erwin Pristner | Vorrichtung zum Erfassen, Bestimmen und Dokumentieren von Schäden, insbesondere durch plötzliche Ereignisse verursachte Deformationen an lackierten Oberflächen |
US7362450B2 (en) * | 2005-12-23 | 2008-04-22 | Xerox Corporation | Specular surface flaw detection |
FR2908514B1 (fr) * | 2006-11-10 | 2009-04-17 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Procede et installation de controle de la qualite de pieces |
DE102009009272B4 (de) * | 2009-02-17 | 2013-02-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Qualitätsprüfung für Rotorblätter einer Windenergieanlage |
KR101416383B1 (ko) | 2012-11-16 | 2014-07-16 | 현대자동차 주식회사 | 차량용 도어 검사 시스템 및 그 제어방법 |
FR3028867B1 (fr) * | 2014-11-26 | 2016-12-09 | Intelligence Artificielle Applications | Procede et dispositif de detection d'ensemencement et installation automatisee d'ensemencement equipee d'un tel dispositif de detection |
DE202018103274U1 (de) | 2018-06-11 | 2018-06-22 | ATB Blank GmbH | Vorrichtung zur Oberflächeninspektion eines Kraftfahrzeugs |
DE102018113919A1 (de) | 2018-06-11 | 2019-12-12 | ATB Blank GmbH | Vorrichtung zur Oberflächeninspektion eines Kraftfahrzeugs und Verfahren hierzu |
CN112912717A (zh) * | 2018-11-14 | 2021-06-04 | 3M创新有限公司 | 用于表征表面均匀度的方法和系统 |
CN111650201B (zh) * | 2020-07-15 | 2023-06-06 | Oppo(重庆)智能科技有限公司 | 检测装置及检测方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59108903A (ja) * | 1982-12-14 | 1984-06-23 | Kawasaki Steel Corp | 電縫管のシ−ム位置検出方法 |
JPS6262205A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-18 | Toray Ind Inc | 物体の表面凹凸検査方法 |
JPS63124942A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-28 | ワツカー・ケミトロニク・ゲゼルシヤフト・フユア・エレクトロニク・グルントシユトツフエ・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 特に半導体スライスの表面性状を測定するための方法と装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5357087A (en) * | 1976-11-04 | 1978-05-24 | Oki Electric Ind Co Ltd | Flaw detecting system |
DE2827704C3 (de) * | 1978-06-23 | 1981-03-19 | Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch | Optische Vorrichtung zur Bestimmung der Lichtaustrittswinkel |
JPS58204350A (ja) * | 1982-05-24 | 1983-11-29 | Kawasaki Steel Corp | 金属物体表面探傷方法 |
GB2133871A (en) * | 1982-12-23 | 1984-08-01 | Austin Rover Group | Apparatus for a method of inspecting automotive components |
GB2159271B (en) * | 1984-04-27 | 1988-05-18 | Nissan Motor | Surface flaw detecting method and apparatus |
US4759074A (en) * | 1986-10-28 | 1988-07-19 | General Motors Corporation | Method for automatically inspecting parts utilizing machine vision and system utilizing same |
US4853777A (en) * | 1987-07-07 | 1989-08-01 | Ashland Oil, Inc. | Method for evaluating smooth surfaces |
JPH0820371B2 (ja) * | 1988-01-21 | 1996-03-04 | 株式会社ニコン | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
US4966455A (en) * | 1988-12-05 | 1990-10-30 | Union Camp Corporation | Real time mottle measuring device and method |
-
1990
- 1990-06-15 DE DE69008623T patent/DE69008623T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-06-15 EP EP90306558A patent/EP0405806B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-06-28 JP JP2168631A patent/JP2931640B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1990-06-29 US US07/547,467 patent/US5086232A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59108903A (ja) * | 1982-12-14 | 1984-06-23 | Kawasaki Steel Corp | 電縫管のシ−ム位置検出方法 |
JPS6262205A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-18 | Toray Ind Inc | 物体の表面凹凸検査方法 |
JPS63124942A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-28 | ワツカー・ケミトロニク・ゲゼルシヤフト・フユア・エレクトロニク・グルントシユトツフエ・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 特に半導体スライスの表面性状を測定するための方法と装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011089981A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-05-06 | Kde Corp | 検査システム及び検査方法 |
DE102012109637A1 (de) | 2011-10-13 | 2013-04-18 | Shimano Inc. | Fahrradantriebseinheit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0405806A2 (en) | 1991-01-02 |
EP0405806A3 (en) | 1991-04-24 |
US5086232A (en) | 1992-02-04 |
DE69008623T2 (de) | 1994-08-18 |
EP0405806B1 (en) | 1994-05-04 |
DE69008623D1 (de) | 1994-06-09 |
JP2931640B2 (ja) | 1999-08-09 |
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