JPH0340334Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体製造工場、病院などのクリー
ンルームなどに使用されるフイルタユニツトに関
するものである。

〔従来の技術〕

一般にフイルタ・ユニツトは建屋の天井面或い
は例えばクリーンベンチなどの諸機器上部に据付
けられ、清浄空気を室又は器内に吹出し、室内或
いは上記諸機器内の清浄度を保つために使用され
ている。

従来のフイルタ・ユニツトは除塵するためのフ
イルタと、このフイルタを介して空気を圧送する
ための送風用フアン及びこれらを収納するケーシ
ングボツクスとから構成され、ケーシングボツク
スに形成した吸込口より除塵すべき空気を取入れ
フイルタを経て吹出口から清浄空気をクリーンル
ームに吹出すものである。

しかし、このフイルタ・ユニツトは天井面或い
は、クリーンベンチなどの諸機器上部に設置され
るのでフイルタ・ユニツトの高さが小さいものが
要望されている。これは、フイルタ・ユニツトの
高さが小であれば、天井面設置の場合天井部空間
の高さを低くすることが出来るので建屋の建設費
を低減できるからであり、また、例えばクリーン
ベンチに設置する場合も、フイルタ・ユニツトの
高さが小であればクリーンベンチ全体の高さを低
くでき、床面から天井面までの高さがクリーンベ
ンチ全体の高さで制約を受けている場合には、ク
リーンベンチ全体の高さが低くなる分だけ建屋の
高さを低くできるので、建屋の建設費の大幅な低
減化をはかることができるからである。

〔考案が解決しようとする課題〕

ところが、送風装置に多翼送風機を用いた場合
には、多翼送風機のケーシングの外形寸法はその
羽根車の外径寸法より大きいため、多翼送風機を
フイルタ・ユニツト内に収納するにはフイルタ・
ユニツトの高さ寸法を大きくしなければならず建
屋の高さがそれだけ高くなつて設備的に不経済で
あるばかりでなく、殊に広範囲の室内の清浄度を
維持するためには大容量の送風装置を用いる必要
ができて、ますます大規模の設備とならざるを得
ないなど問題がまだあつた。

本考案は、これら従来の欠点を除き、高さの低
いコンパクトなフイルタ・ユニツトとし送風機の
昇圧をより有効に使用し損失圧力も大幅に減少さ
せて著しく効率よい運転が可能な経済的な装置と
して提供することを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本考案は、ケーシングボツクス４に複数の吸込
口１９と、該吸込口１９にそれぞれ連通する複数
の吹出口２０とを形成し、各吹出口２０に対応し
てフイルタ１０をそれぞれ設けると共に、該フイ
ルタ１０と前記吸込口１９とに連通する遠心送風
機１１をそれぞれ配備したフイルタ・ユニツトに
おいて、ケーシングボツクス４の内部を吸込側と
吐出側とに内板２１で区画し、前記遠心送風機１
１を内板２１に固定しているものであつて、該内
板２１とケーシングボツクス外板との間に連絡板
２３を介在配備し、このケーシングボツクス外板
と前記内板２１及び連絡板２３により、各吸込口
１９から吸込まれる空気を各遠心送風機１１の吸
込口１４に導くダクト部２２を形成すると共に、
さらに各遠心送風機１１間の送風領域を区分する
仕切部材１７を前記内板２１に固定配備したこと
を特徴とするフイルタ・ユニツトである。

〔実施例〕

第１図においてフイルタ１０のあるケーシング
ボツクス４は床面２と天井面３とで囲成されるク
リーンルーム１に吐出口と吸込口とを開口して天
井用額縁８に吊り金具７で建屋等に取付けられる
か、建屋側面外に空調装置５として設けるかする
形態とするものであるのは従来例と同じである
が、第２図及び第３図に示すようにケーシングボ
ツクス４には遠心送風機１１を複数台同一平面上
に並列配列或いは直列配列或いは両者合わせて使
用し、ケーシングボツクス４の下部にフイルタ１
０を各遠心送風機１１の吐出口に対応して備え、
該フイルタ１０により除塵されるべき空気を圧送
できるようにしてある。

前記遠心送風機１１はフアンケーシング１２を
有し駆動用の電動機１３をフアン吸込口１４に設
置し、即ち電動機１３を送風機吸込側に取付け、
前記フアンとしての羽根車１５を電動機回転軸１
６に直接取付けた回転軸方向の外形寸法を小さく
したものを用い、該遠心送風機１１の電動機回転
軸１６をフイルタ１０の高さ方向に設置してケー
シングボツクス４内に収納されていると共に、各
遠心送風機間の送風領域を区分する仕切部材例え
ば仕切板１７を遠心送風機１１の吐出口１８の開
口縁を結んで配備してある。この仕切板１７は平
板でもよいが流れを誘導しうる波板又は湾曲板を
遠心送風機の配置に関連して選んで用いケーシン
グボツクス４内を区画するように設けられるし、
必要に応じ遮音板若しくはフイルタ又はパンチン
グメタルなどを用いてもよい。

これらの場合フイルタ・ユニツトに複数台の遠
心送風機１１を並列配列する場合、各々の送風機
から吐出される気流が相互に衝突したり、或いは
干渉し合つて気流の有する圧力エネルギーの損失
を生じないように一方の送風機吐出口と他方の吐
出口を仕切板１７（送風機吐出口幅B₁″と同じあ
るいはそれ以上の高さの仕切板）で連結し、圧力
の損失を生ずることを防止し、送風機の昇圧をよ
り有効に使用することができ、フイルタ・ユニツ
トの風量が増大するように考慮してある。

この仕切板１７が直線状でもよいが波板例えば
Ｓ字状の曲板であると、送風機吐出口近くの流速
の早い部分での拡大角度が小さくなるため、拡大
による損失圧力が小さくなる利益がある。

またこのケーシングボツクス４は除塵すべき空
気を取入れられる吸込口１９とフイルタ１０を経
た清浄空気を吹き出す吹出口２０を複数形成した
外板、側板とから箱形に形成され、内部を内板２
１で区画し、吸込口１９から吸込まれた空気を遠
心送風機１１の吸込口１４に導くダクト部２２を
備えており、必要に応じ内板でフアンケーシング
１２を併用してもよく、該内板２１とケーシング
ボツクス４の外板との間に補強用の連結板２３を
介在配備してある。前記遠心送風機１１は送風機
取付座２４にボルト締めで設けてあり、この取付
座２４が内板２１に固定されてケーシングボツク
ス４内に固定収納されるようにするのが便利であ
り、さらに前記連絡板２３を第４図に示すように
区画した仕切壁として活用し空気導にダクトを形
成するように構成したり、案内用のガイドベーン
又は可動ベーンに構成（図示せず）したりするの
も効果である。

なおこの連絡板２３は外板と内板２１とを連絡
してあるが、送風機吸込口１４の周囲に閉じられ
た状態で囲成しケーシングボツクス４の吸込口１
９から吸込まれた空気をすべて送風機１１に吸込
んで別の送風機には流入しないようにするのが、
送風機吸込口で干渉がなく吸込まれる気流が乱れ
ないで送風機の性能低下がなく望ましいが、両サ
イドだけでガイドするのもよく、いずれにしても
ケーシングボツクス４と内板２１とを連絡しハニ
カム構造として剛性を増加させ板厚も薄くても送
風機を十分支持することができ送風機運転による
振動防止構造とすることができる。

第５図の具体例では前記送風機１１をケーシン
グボツクス４内に３台並列配備したもので、それ
ぞれに吸込口１９と吹出口２０とを有し各遠心送
風機間を仕切板１７，１７で区画仕切つてある。

なお、前記ケーシングボツクス４内には消音材
（図示せず）を内装してもよいし、吹出口２０並
びにフイルタ１０や吸込口１９などもその数を適
宜選んで内部を区画するように構成することが考
慮されている。

図中２５は電動機取付脚である。

なおクリーンルーム全体の清浄度を高めるため
には、清浄空気をクリーンルーム全体に一様に送
気するようにフイルタ・ユニツトを通常複数台設
置する。例えば病院の手術室に使用するクリーン
ルームにおいては、手術時には高度の清浄度が要
求されるが、手術を行わない期間は手術室内の清
浄度は高度でなくてよい。このようにクリーンル
ーム内に要求される清浄度が変化する場合におい
てはクリーンルームに送風する清浄空気量（換気
回数）を必要に応じて変えることにより省エネル
ギーをはかるようにしてあるし、１台のフイル
タ・ユニツトに複数の遠心送風機を並列に設置し
ているので、フイルタ・ユニツト内の送風機の台
数制御を行うことにより、必要に応じて清浄空気
の送風量を調節でき清浄空気の流れの分布が片寄
ることなく一様に保ちつつ送風量を調整可能とな
る。

〔考案の効果〕

本考案は、ケーシングボツクスの内部を吸込側
と吐出側とに内板で区画し、前記遠心送風機を内
板に固定しているものであつて、該内板とケーシ
ングボツクス外板との間に連絡板を介在配備し、
このケーシングボツクス外板と前記内板及び連絡
板により、各吸込口から吸込まれる空気を各遠心
送風機の吸込口に導くダクト部を形成すると共
に、さらに各遠心送風機間の送風領域を区分する
仕切部材を前記内板に固定配備したことにより、
遠心送風機のケーシングボツクス内での固定収納
が簡単で組立作業も楽であり、送風機吸込口付近
での気流乱れがなく、かつ各々の送風機から吐出
される気流の相互干渉もなく送風機の性能を著し
く向上し、さらにケーシングボツクス内では内板
と連絡板とでハニカム構造となつて剛性が増加
し、さらに板厚が薄くても送風機を複数設けても
十分支持でき振動防止構造にできるし、従来のも
のに比べて著しくコンパクトで高さ寸法の小なる
フイルタ・ユニツトを提供することができ、設置
スペースの縮少、建屋の小型化、建設費の低減を
もたらし得ると共に、フイルタ・ユニツト内の送
風機の台数制御も簡易にでき、クリーンルームに
送風する清浄空気も省エネルギー下で供給運転で
きるし清浄空気の流れの分布も一様に保ちつつ効
率よく配分使用できるなど実用上極めて大なる効
果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のフイルタ・ユニツトの使用状態
の配置図、第２図は本考案の実施例を示す平面
図、第３図は第２図−線における拡大縦断面
図、第４図は第３図−線における横断面図、
第５図は他の実施例の平面図である。 ４……ケーシングボツクス、１０……フイル
タ、１１……遠心送風機、１２……フアンケーシ
ング、１３……電動機、１４……フアン吸込口、
１５……羽根車、１６…回転軸、１７……仕切
板、１８……吐出口、１９……吸込口、２０……
吹出口、２１……内板、２２……ダクト部、２３
……連絡板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ケーシングボツクス４に複数の吸込口１９と、
   該吸込口１９にそれぞれ連通する複数の吹出口２
   ０とを形成し、各吹出口２０に対応してフイルタ
   １０をそれぞれ設けると共に、該フイルタ１０と
   前記吸込口１９とに連通する遠心送風機１１をそ
   れぞれ配備したフイルタ・ユニツトにおいて、ケ
   ーシングボツクス４の内部を吸込側と吐出側とに
   内板２１で区画し、前記遠心送風機１１を内板２
   １に固定しているものであつて、該内板２１とケ
   ーシングボツクス外板との間に連絡板２３を介在
   配備し、このケーシングボツクス外板と前記内板
   ２１及び連絡板２３により、各吸込口１９から吸
   込まれる空気を各遠心送風機１１の吸込口１４に
   導くダクト部２２を形成すると共に、さらに各遠
   心送風機１１間の送風領域を区分する仕切部材１
   ７を前記内板２１に固定配備したことを特徴とす
   るフイルタ・ユニツト。