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JPH03248308A - Magnetic head device - Google Patents

Magnetic head device

Info

Publication number
JPH03248308A
JPH03248308A JP4521690A JP4521690A JPH03248308A JP H03248308 A JPH03248308 A JP H03248308A JP 4521690 A JP4521690 A JP 4521690A JP 4521690 A JP4521690 A JP 4521690A JP H03248308 A JPH03248308 A JP H03248308A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
film magnetic
magnetic head
head
slider
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4521690A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mikio Matsuzaki
幹男 松崎
Jiyouichirou Ezaki
江崎 城一朗
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP4521690A priority Critical patent/JPH03248308A/en
Publication of JPH03248308A publication Critical patent/JPH03248308A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Magnetic Heads (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To miniaturize a thin film magnetic head by reducing the area of an end face having a thin film magnetic conversion element by deriving the takeoff electrode of the thin film magnetic conversion element to a plane at a side opposite to the medium confronting plane of a slider. CONSTITUTION:A head supporting device 6 is mounted on the plane 102 at the side opposite to the medium confronting plane 101 of the slider 1 so as to permit the rolling motion and pitching motion of the thin film magnetic head. The thin film magnetic conversion element 2 is attached on the end face 103 which becomes an outflow terminal part against an air current flowing in a direction of arrow head (a) in combination with a magnetic recording medium. The take-off electrodes 3, 4 of the thin film magnetic conversion element 2 are derived to the plane 102 opposite to the medium confronting plane 101 of the slider 1. In such a way, it is possible to realize miniaturization without receiving limitation due to the area of the take off electrode, and to obtain a miniaturized magnetic head with high density recording and traceability, and fitted in fast access.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、薄膜磁気ヘッドとヘッド支持装置とを有する
磁気ヘッド装置に関し、薄膜磁気ヘッドの薄膜磁気変換
素子の取出電極をスライダの媒体対向面とは反対側の面
に導出することにより、取出電極面積による制限を比較
的受けることなく、薄膜磁気ヘッドを小型化でき、取出
電極へのリード導体の接続が容易で、リート導体から薄
膜磁気ヘッドに対して加わる外力が小さく、安定した浮
上特性及び電磁変換特性を確保し得る磁気ヘッド装置を
提供できるようにしたものである。
Detailed Description of the Invention <Industrial Application Field> The present invention relates to a magnetic head device having a thin film magnetic head and a head support device, in which an extraction electrode of a thin film magnetic transducer element of the thin film magnetic head is connected to the medium facing surface of a slider. By leading out the lead conductor to the side opposite to the lead conductor, the thin film magnetic head can be made smaller without being relatively limited by the area of the lead electrode, and it is easy to connect the lead conductor to the lead electrode, allowing the thin film magnetic head to be connected from the lead conductor to the lead conductor. It is possible to provide a magnetic head device which can ensure stable flying characteristics and electromagnetic conversion characteristics with a small external force applied to the magnetic head.

〈従来の技術〉 この種の磁気ヘッド装置において、薄膜磁気ヘッドが磁
気ディスク面を一定の間隔をおいて近接して追従し得る
ようにするためには、薄膜磁気ヘッドを構成するスライ
ダが第1軸に関してピッチ運動を行ない、第1軸と直交
する第2軸に関してロール運動を行なうようにすること
、偏揺れを除去すること等が要求される。このような磁
気ヘッド装置は、特公昭58−22827号公報や特開
昭61−93868号公報等で公知である。
<Prior Art> In this type of magnetic head device, in order for the thin film magnetic head to closely follow the magnetic disk surface at regular intervals, the slider constituting the thin film magnetic head must first It is required to perform a pitch motion about an axis, a roll motion about a second axis perpendicular to the first axis, and to eliminate yawing. Such a magnetic head device is known from Japanese Patent Publication No. 58-22827 and Japanese Patent Application Laid-open No. 61-93868.

これらの先行技術で開示されたヘッド支持装置の一般的
な構造は、弾性バネ部及びこの弾性バネ部に連続する剛
性ビーム部を有する支持体を、ステンレス等の弾性金属
板で形成すると共に、この支持体の自由端に、同じくス
テンレスの弾性金属板でなる可撓体を取付け、可撓体の
上面または支持体の自由端付近の下面の何れか一方に設
けられた荷重用突起により、支持体の自由端から可撓体
へ荷重力を伝えるようにし、スライダに薄膜磁気変換素
子を担持させた薄膜磁気ヘッドを、可撓体の下面に取付
けた構造となっていた。
The general structure of the head support device disclosed in these prior art is that a support body having an elastic spring part and a rigid beam part continuous to the elastic spring part is formed of an elastic metal plate such as stainless steel. A flexible body made of a stainless steel elastic metal plate is attached to the free end of the support, and the load projection provided on either the top surface of the flexible body or the bottom surface near the free end of the support The structure was such that a load force was transmitted from the free end of the head to the flexible body, and a thin film magnetic head, in which a slider carried a thin film magnetic transducer element, was attached to the lower surface of the flexible body.

ヘッド支持装置と組合される薄膜磁気ヘッドとしては、
磁気記録媒体の走行によフて生じる動圧を利用して、磁
気記録媒体との間に微小な空気ヘアリングによる間隙を
保って浮上する浮上型の薄膜磁気ヘッドが用いられる。
As a thin film magnetic head combined with a head support device,
A floating thin film magnetic head is used that uses dynamic pressure generated by the movement of the magnetic recording medium to fly while maintaining a small air-hair ring gap between itself and the magnetic recording medium.

このような浮上型の薄膜磁気ヘッドは、例えば特公昭5
8−21329号、特公昭58−28650号各公報等
で公知であり、その基本的な構成は、磁気記録媒体と対
向する面側に浮上面を有するスライダの空気流出端部側
に薄膜磁気変換素子を備える構造となりている。薄膜磁
気変換素子はIC製造テクノロジと同様のプロセスにし
たがフて形成された薄膜磁気変換素子であり、テーバ部
とは反対側の空気流出端部側に付着されている。
Such a floating type thin film magnetic head was developed, for example, by the
It is known from Japanese Patent Publication No. 8-21329 and Japanese Patent Publication No. 58-28650, etc., and its basic configuration is a thin film magnetic converter on the air outflow end side of a slider that has an air bearing surface on the side facing the magnetic recording medium. It has a structure that includes elements. The thin film magnetic transducer is a thin film magnetic transducer that is formed using a process similar to IC manufacturing technology, and is attached to the air outflow end side opposite to the tapered portion.

この種の薄膜磁気ヘッドは、磁気記録の高密度化及び高
速化に対応するため、ますます、小型化される傾向にあ
る。小型化は、高密度記録を達成するのに必要な浮上量
減少及びスペーシングロス低下に有効である上に、ジン
バルとの組合せにおいて、共振周波数を高め、クラッシ
ュ防止及び耐久性向上に効果があり、しかも、動圧と支
持バネ圧との間の適正なバランスを保ち、フライト姿勢
を良好に保ち、安定な浮上特性が得られるからである。
This type of thin film magnetic head is becoming increasingly smaller in order to cope with higher density and higher speed magnetic recording. Miniaturization is effective in reducing the flying height and spacing loss necessary to achieve high-density recording, and in combination with a gimbal, it is effective in increasing the resonance frequency, preventing crashes and improving durability. Moreover, it is possible to maintain an appropriate balance between dynamic pressure and support spring pressure, maintain a good flight attitude, and obtain stable flying characteristics.

更に、小形化によるヘッドの質量減少は、ジンバルを支
持するアームのアクセス運動の高速化をもたらす。
Furthermore, the reduction in mass of the head due to miniaturization results in faster access movements of the arm supporting the gimbal.

しかし、従来の浮上型Fit@磁気ヘッドは、媒体対向
面側にレール部及びテーバ部を有する複雑な構造となっ
ており、小形化には限界がある。これを解決する手段と
して、例えば特開昭64−84486号公報には、スラ
イダの媒体対向面を、レール部のない平面状とした薄膜
磁気ヘッドが開示されている。第13図はかかる薄膜磁
気ヘッドの斜視図であり、1はスライダ、2は薄膜磁気
変換素子1.3.4は取出電極である。
However, the conventional floating Fit@magnetic head has a complicated structure having a rail portion and a tapered portion on the medium facing surface side, and there is a limit to miniaturization. As a means to solve this problem, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-84486 discloses a thin film magnetic head in which the medium facing surface of the slider is flat without a rail portion. FIG. 13 is a perspective view of such a thin film magnetic head, in which 1 is a slider, 2 is a thin film magnetic transducer element 1, 3, and 4 is an extraction electrode.

スライダ1は媒体対向面101が、レール部及びテーバ
面を持たない平面状となっており、この面101の全体
をABS面として作用させるようになっている。
The slider 1 has a medium facing surface 101 that is flat without a rail portion or a tapered surface, and the entire surface 101 functions as an ABS surface.

薄膜磁気変換素子2は、磁気記録媒体との組合せにおい
て、空気流出端部側となる端面に付着させである。薄膜
磁気変換素子2は1個であり、幅方向の略中間部に配置
されている。
The thin film magnetic transducer 2 is attached to the end surface that is the air outflow end side in combination with a magnetic recording medium. There is only one thin film magnetic transducer element 2, and it is arranged approximately in the middle in the width direction.

取出電極3.4は、磁性膜とともに磁気回路を構成する
導体コイル膜の両端に接続されている。
The extraction electrodes 3.4 are connected to both ends of a conductive coil film that together with the magnetic film constitutes a magnetic circuit.

磁気ヘッド装置として使用する場合は、媒体対向面10
1とは反対側の面102を、図示しないジンバル系ヘッ
ド支持装置に接着し、媒体対向面101を磁気ディスク
の表面にバネ接触させ、この状態で起動及び停止を行な
う、いわゆるコンタクl−、スタート、ストップ方式に
よって駆動される。磁気ディスクが静止しているときは
、ヘッド支持装置のバネ圧により媒体対向面101が磁
気ディスクの表面に押付けられているが、磁気ディスク
が回転すると、スライダ1の媒体対向面101に揚力動
圧が発生し、この動圧とヘッド支持装置のバネ圧と釣り
合う浮」量で動作する。
When used as a magnetic head device, the medium facing surface 10
The surface 102 on the opposite side from 1 is glued to a gimbal-type head support device (not shown), and the medium facing surface 101 is brought into spring contact with the surface of the magnetic disk, and the so-called contact l-start is started and stopped in this state. , driven by stop method. When the magnetic disk is stationary, the medium facing surface 101 is pressed against the surface of the magnetic disk by the spring pressure of the head support device, but when the magnetic disk rotates, lift dynamic pressure is applied to the medium facing surface 101 of the slider 1. is generated, and the head operates with an amount of float that balances this dynamic pressure with the spring pressure of the head support device.

第13図に示す薄膜磁気ヘッドは、スライダ1の媒体対
向面101がレール部のない単純な平面状となっている
ため、小形化が容易であり、小形化による上記利点を確
保できる。
In the thin film magnetic head shown in FIG. 13, since the medium facing surface 101 of the slider 1 has a simple planar shape without a rail portion, it can be easily miniaturized, and the above-mentioned advantages of miniaturization can be secured.

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上述した従来の薄膜磁気ヘッドを用いた
磁気ヘッド装置には、次のような問題点がある。
<Problems to be Solved by the Invention> However, the magnetic head device using the conventional thin-film magnetic head described above has the following problems.

(A)薄膜磁気変換素子2及びその取出電極3.4が同
一の端面103側に配置されているため、端面103の
面積が薄膜磁気変換素子2及び取出電極3.4において
要求される面積による制限を受け、小型化に限界を生じ
る。
(A) Since the thin film magnetic transducer 2 and its extraction electrode 3.4 are arranged on the same end face 103 side, the area of the end face 103 depends on the area required for the thin film magnetic transducer 2 and its extraction electrode 3.4. Due to these restrictions, there are limits to miniaturization.

(B)薄膜磁気ヘッド2の取出電極3.4に導通接続す
べき読み書き回路のリード導体は、媒体対向面101と
は反対側の面102に取付けられたヘッド支持装置によ
って支持され案内される。
(B) The lead conductor of the read/write circuit to be electrically connected to the extraction electrode 3.4 of the thin film magnetic head 2 is supported and guided by a head support device attached to the surface 102 opposite to the medium facing surface 101.

従って、取出電極3.4に対するリード導体の接続に当
って、リード導体を面102から面103に曲げて接続
しなければならず、その接続作業が面倒になると共に、
リード導体の曲げによりヘッドに余分な外力が作用Iハ
浮上特性に悪影響を与えることがある。
Therefore, when connecting the lead conductor to the extraction electrode 3.4, it is necessary to bend the lead conductor from the surface 102 to the surface 103, which makes the connection work troublesome.
Due to the bending of the lead conductor, an extra external force is applied to the head, which may adversely affect the flying characteristics.

(C)スライダ1の加工歪等の影響を受けて、媒体対向
面101か、第14図に誇張して示すように、幅方向の
両端で凸となり、中間部で凹となることがある。媒体対
向面101がこのような形状になると、磁気ディスクと
の組合せにおいて、ヘッドタッチが悪くなり、スペーシ
ングロスが大きくなると共に、ヘッドクラッシュを生じ
易くなり、耐久性が低下する。
(C) Under the influence of processing distortion of the slider 1, the medium facing surface 101 may become convex at both ends in the width direction and concave at the middle, as shown exaggeratedly in FIG. When the medium facing surface 101 has such a shape, when used in combination with a magnetic disk, head touch becomes poor, spacing loss increases, head crashes tend to occur, and durability decreases.

そこで、本発明の課題は上述する従来の問題点を解決し
、取出電極面積による制限を比較的受けることなく、薄
膜磁気ヘッドを小型化でき、取出電極へのリード導体の
接続が容易で、リード導体から薄膜磁気ヘッドに対して
加わる外力が小さく、安定した浮上特性及び電磁変換特
性を確保し得る磁気ヘッド装置を提供することである9
く課題を解決するための手段〉 上述する課題を解決するため、本発明に係る磁気ヘッド
装置は、薄膜磁気ヘッドと、ヘッド支持装置とを有する
磁気ヘッド装置であって、前記薄膜磁気ヘッドは、スラ
イダの端面に薄膜磁気変換素子を備えており、 前記薄膜磁気変換素子は、磁性膜とともに磁気回路を構
成する導体コイル膜に導通接続された取出電極を有して
おり、 前記取出N8iは、前記スライダの媒体対向面とは反対
側の面に導出されていること を特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, the object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and to make it possible to miniaturize a thin film magnetic head without being relatively limited by the area of the lead-out electrode, to easily connect the lead conductor to the lead-out electrode, and to It is an object of the present invention to provide a magnetic head device which can ensure stable flying characteristics and electromagnetic conversion characteristics with a small external force applied from a conductor to a thin film magnetic head.
Means for Solving the Problems> In order to solve the above problems, a magnetic head device according to the present invention includes a thin film magnetic head and a head support device, the thin film magnetic head comprising: A thin film magnetic transducer is provided on the end face of the slider, and the thin film magnetic transducer has an extraction electrode conductively connected to a conductive coil film that constitutes a magnetic circuit together with the magnetic film, and the extraction N8i is connected to the It is characterized by being led out on the surface of the slider opposite to the medium facing surface.

更に、スライダは、前記媒体対向面とは反対側の前記面
に、空気の流れ方向に沿う凹溝を有すること を特徴とする。
Furthermore, the slider is characterized in that the slider has a concave groove along the air flow direction on the surface opposite to the medium facing surface.

く作用〉 薄膜磁気変換素子の取出電極は、スライダの媒体対向面
とは反対側の面に導出されているので、薄膜磁気変換素
子を有する端面の面積を、取出電極面積による制限をあ
まり受けることなく縮小し、薄膜磁気ヘッドを小型化で
きる。
Effect> Since the extraction electrode of the thin-film magnetic transducer is led out to the surface of the slider opposite to the medium facing surface, the area of the end face having the thin-film magnetic transduction element is not too limited by the area of the extraction electrode. This allows the thin film magnetic head to be made smaller.

また、取出電極を導出した面は、通常の条件では、ヘッ
ド支持装置の取付面と一致するので、取出電極に対する
リード導体のポンデイグ作業が容易になる。しかも、取
出電極へのり−ト導体のホンデイグに当って、リード導
体の曲げなどは不要になるので、リード導体から薄膜磁
気ヘッドに対して加わる外力が小さくなる。
Further, since the surface from which the lead-out electrode is led out coincides with the mounting surface of the head support device under normal conditions, the work of attaching the lead conductor to the lead-out electrode is facilitated. Moreover, since bending of the lead conductor is not necessary when attaching the conductor to the lead-out electrode, the external force applied from the lead conductor to the thin-film magnetic head is reduced.

スライダは、媒体対向面とは反対側の面に、空気の流れ
方向に沿う凹溝を有することも可能である。この場合に
は、凹溝の作用によって、スライダの媒体対向面は凸状
の曲面となる。このため、ヘッドタッチが良好で、スペ
ーシングロスが小さく、ヘッドクラッシュ等を生じにく
い耐久性の高い薄膜磁気ヘッドが得られる。
The slider can also have grooves along the air flow direction on the surface opposite to the medium facing surface. In this case, the medium facing surface of the slider becomes a convex curved surface due to the effect of the groove. Therefore, a thin film magnetic head with good head touch, small spacing loss, and high durability that is resistant to head crashes and the like can be obtained.

また、スライダの媒体対向面と対向する面に凹溝を設け
ると、この凹溝を利用してヘッド支持装置を位置決め設
定できる。このため、小形化した場合でも、ヘッド支持
装置の取付は接続が容易になる。
Furthermore, if a groove is provided on the surface of the slider that faces the medium facing surface, the head support device can be positioned and set using this groove. Therefore, even when downsized, the head support device can be easily attached and connected.

〈実施例〉 第1図は本発明に係る磁気ヘッド装置の斜視図、第2図
はその正面図である。5はFii膜磁気ヘッド、6はヘ
ッド支持装置である。ヘッド支持装置6は薄膜磁気ヘッ
ド5にロール運動及びピッチ運動を許容するように、ス
ライダ1の媒体対向面101とは反対側の面102に取
付ける。
<Embodiment> FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head device according to the present invention, and FIG. 2 is a front view thereof. 5 is a Fii film magnetic head, and 6 is a head support device. The head support device 6 is attached to the surface 102 of the slider 1 opposite to the medium facing surface 101 so as to allow the thin film magnetic head 5 to perform roll and pitch movements.

薄膜磁気ヘッド5は、スライダ1の端面103に薄膜磁
気変換素子2を備えている。第3図は薄膜磁気へラド5
の斜視図であり、薄膜磁気変換素子2は、磁気記録媒体
との組合せにおいて、矢印a方向に流れる空気流に対し
て流出端部側となる端面103に付着させである。実施
例において、薄膜磁気変換素子2は1個であり、幅方向
の略中間部に配置されているが、何れか一方に寄せて配
置してもよい。
The thin film magnetic head 5 includes a thin film magnetic transducer element 2 on an end surface 103 of the slider 1. Figure 3 shows the thin film magnetic herad 5.
, in which the thin film magnetic transducer 2 is attached to an end surface 103 that is on the outflow end side with respect to the airflow flowing in the direction of arrow a when combined with a magnetic recording medium. In the embodiment, there is one thin film magnetic transducer element 2, and it is arranged approximately in the middle in the width direction, but it may be arranged closer to either side.

薄膜磁気変換素子2の取出電極3.4は、スライダ1の
媒体対向面101とは反対側の面102に導出されてい
る。取出室8i3.4は、面102に露出する端面の面
積がリード導体接続に必要な面積となるように、メツキ
膜として形成する。媒体対向面10】は、レール部及び
テーパ面を持たない平面状となっている。空気流出方向
aで見た媒体対向面101の端縁(イ)、(ロ)は、コ
ンタクト、スタート時における磁気ディスクの表面との
引掛りをなくすため、弧状に形成するのが望ましい(第
3図参照)。他の端縁(ハ)、(ニ)も弧状に形成でき
る。
The extraction electrode 3.4 of the thin film magnetic transducer 2 is led out to a surface 102 of the slider 1 on the side opposite to the medium facing surface 101. The extraction chamber 8i3.4 is formed as a plating film so that the area of the end surface exposed to the surface 102 is the area necessary for connecting the lead conductor. The medium facing surface 10 has a planar shape without a rail portion or a tapered surface. The edges (a) and (b) of the medium facing surface 101 viewed in the air outflow direction a are desirably formed in an arc shape in order to avoid catching on the surface of the magnetic disk at the time of contact and start. (see figure). The other edges (c) and (d) can also be formed into arc shapes.

薄膜磁気変換素子2の取出電極3.4を、媒体対向面1
01とは反対側の面102に導出した場合、取出電極3
.4を薄膜磁気変換素子2の付着されている端面103
に設ける従来技術と異なフて、薄膜磁気変換素子2を付
着させる端面103の面積を小さくし、薄膜磁気ヘッド
全体を小型化できる。具体的には、スライダ1の大きさ
を、媒体対向面101から反対側の面102までの厚み
Hoが0.65mm以下、空気流出方向の長さLlが0
.5mm〜2mm、空気流出方向と直交する方向の幅W
Iが0.5mm〜2mm程度となるように小型化するこ
とは容易である(第3図参照)。
The extraction electrode 3.4 of the thin film magnetic transducer 2 is connected to the medium facing surface 1.
When led out to the surface 102 opposite to 01, the extraction electrode 3
.. 4 is the end face 103 to which the thin film magnetic transducer 2 is attached.
Unlike the conventional technology, the area of the end face 103 to which the thin film magnetic transducer 2 is attached can be reduced, and the entire thin film magnetic head can be miniaturized. Specifically, the size of the slider 1 is such that the thickness Ho from the medium facing surface 101 to the opposite surface 102 is 0.65 mm or less, and the length Ll in the air outflow direction is 0.
.. 5mm to 2mm, width W in the direction perpendicular to the air outflow direction
It is easy to reduce the size so that I is about 0.5 mm to 2 mm (see FIG. 3).

薄膜磁気変換素子2は、rc製造テクノロジと同様のプ
ロセスにしたがって形成された薄膜素子である。第4図
は薄膜磁気変換素子2を中心とした拡大斜視図、第5図
は同じくその拡大断面図である。図において、21は下
部磁性膜、22はアルミナ等でなるギャップ膜、23は
上部磁性膜、24は導体コイル膜、25はノボラック樹
脂等の有機樹脂で構成された絶縁膜、26.27はリー
ド電極、28は保護膜である。
The thin film magnetic conversion element 2 is a thin film element formed according to a process similar to RC manufacturing technology. FIG. 4 is an enlarged perspective view centered on the thin film magnetic transducer 2, and FIG. 5 is an enlarged sectional view thereof. In the figure, 21 is a lower magnetic film, 22 is a gap film made of alumina, etc., 23 is an upper magnetic film, 24 is a conductive coil film, 25 is an insulating film made of organic resin such as novolac resin, and 26.27 are leads. The electrode 28 is a protective film.

下部磁性膜21及び上部磁性M23の先端部は、微小厚
みのギャップ膜22を隔てて対向するボール部211.
231となっており、ボール部211.231に形成さ
れた変換ギャップおいて読み書きを行なう、212.2
32はヨーク部であり、ボール部211.231とは反
対側にあるバックギャップ部で互いに結合されている。
The tip portions of the lower magnetic film 21 and the upper magnetic M23 are formed into ball portions 211 .
231, reading and writing are performed in the conversion gap formed in the ball portion 211.231, 212.2
32 is a yoke portion, which is connected to each other at a back gap portion on the opposite side from the ball portions 211 and 231.

絶縁膜25は複数層の絶縁膜251〜253から構成さ
れていて、絶縁膜251.252の上に、ヨーク部21
2.232のバックギャップ部のまわりを渦巻状にまわ
るように、導体コイル膜24を形成しである。これによ
り、下部磁性膜21、上部磁性膜23及び導体コイル膜
24による磁気回路が構成される。
The insulating film 25 is composed of multiple layers of insulating films 251 to 253, and the yoke portion 21 is formed on the insulating films 251 and 252.
The conductor coil film 24 is formed so as to spiral around the back gap portion of 2.232. As a result, a magnetic circuit is formed by the lower magnetic film 21, the upper magnetic film 23, and the conductor coil film 24.

リード電極26.27は、一端側が導体コイル膜24の
両端にそれぞれ導通接続されており、他端側に取出電極
3.4が形成されている。
The lead electrodes 26 and 27 have one end electrically connected to both ends of the conductive coil film 24, and have a lead electrode 3.4 formed on the other end.

次に、ヘッド支持装置6は、可撓体61、ヘッド支持腕
62.63、荷重腕64及び取付片65等を含んでいる
。ただし、ヘッド支持装置6は、特公昭58−2282
7号公報や特開昭61−93868号公報等で知られて
いる構造をとることも可能である。可撓体61は、絶縁
材料である高分子樹脂によって板状に形成してあり、そ
の内部には、外部の読み書ぎ回路に導かれるリード導体
66及び67が埋設されている。可撓体61を構成する
高分子樹脂としては、繰返し曲げ性に耐え得る機械的強
度を有し、適度のバネ性、ひねり及び伸びを示す高分子
材料、例えばポリイミド樹脂等が適している。
Next, the head support device 6 includes a flexible body 61, head support arms 62, 63, a load arm 64, a mounting piece 65, and the like. However, the head support device 6 is
It is also possible to adopt a structure known from Japanese Patent No. 7, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-93868, and the like. The flexible body 61 is formed into a plate shape from a polymer resin which is an insulating material, and lead conductors 66 and 67 guided to an external read/write circuit are buried inside the flexible body 61 . As the polymer resin constituting the flexible body 61, a polymer material having mechanical strength capable of withstanding repeated bending and exhibiting appropriate springiness, twisting and elongation, such as polyimide resin, is suitable.

ヘッド支持腕62.63は、可撓体61から連続して形
成されている。ヘッド支持腕62.63には、リード導
体66.67が埋設されていて、リード導体66.67
の端部はヘッド支持腕62.63の先端から外部に導出
されている。
The head support arms 62 , 63 are formed continuously from the flexible body 61 . Lead conductors 66.67 are embedded in the head support arms 62.63.
The ends of the head support arms 62 and 63 are led out from the tips of the head support arms 62 and 63.

取付片65は、金属等の剛性部材でなり、可撓体61の
他端部側に接着等の手段によって一体的に取付けられて
いる。荷重腕64は、この取付片65から可撓体61の
上を通って薄膜磁気ヘッド5の面102上まで延びてい
る。
The attachment piece 65 is made of a rigid member such as metal, and is integrally attached to the other end of the flexible body 61 by adhesive or other means. The load arm 64 extends from the mounting piece 65 over the flexible body 61 and onto the surface 102 of the thin film magnetic head 5 .

薄膜磁気ヘッド5とヘッド支持装置6との組合せに当っ
ては、スライダ1の面102にヘッド支持腕62.63
を接着等の手段によって取付けると共に、ヘッド支持腕
62.63の先端部から突出するリード導体66.67
を取出電極3.4に半田付は等の手段によって接続し、
スライダ1の面102に荷重腕64の先端部641を配
置する。荷重腕64の先端部641はスライダ1の面1
02にバネ接触し、薄膜磁気ヘッド5に対して下向きの
荷重を与える。
When combining the thin film magnetic head 5 and the head support device 6, head support arms 62 and 63 are provided on the surface 102 of the slider 1.
are attached by adhesive or other means, and lead conductors 66, 67 protruding from the tips of the head support arms 62, 63.
Connect it to the extraction electrode 3.4 by soldering or other means,
The tip 641 of the load arm 64 is placed on the surface 102 of the slider 1. The tip end 641 of the load arm 64 is connected to the surface 1 of the slider 1.
02 and applies a downward load to the thin film magnetic head 5.

実施例に示す可撓体61は、ポリイミド樹脂等の高分子
樹脂で構成されているので、従来のステンレス等の弾性
金属板に比較して、バネ性が弱く、ひねり、伸びの自由
度の高い可撓体61が得られる。従フて、薄膜磁気ヘッ
ド7を小型化して浮上量を低減させ、磁気記録の高密度
化を図った場合にも、スライダ1に発生する揚力動圧と
可撓体61のバネ性とのバランスをとり、安定した姿勢
制御作用が得られるようになる。また、可撓体61を高
分子樹脂で構成したので、加工が容易になる。
The flexible body 61 shown in the embodiment is made of polymer resin such as polyimide resin, so it has weaker springiness and a higher degree of freedom in twisting and stretching than conventional elastic metal plates such as stainless steel. A flexible body 61 is obtained. Therefore, even when the thin-film magnetic head 7 is downsized to reduce its flying height and the magnetic recording density is increased, the balance between the lift dynamic pressure generated in the slider 1 and the springiness of the flexible body 61 is not maintained. , and a stable posture control effect can be obtained. Furthermore, since the flexible body 61 is made of polymer resin, processing becomes easy.

取出電極3.4に対するリード導体66.67のポンデ
イグを、ヘッド支持装置6の取付は面となる面102上
で行なうことができるので、その作業が容易になる。し
かも、取出電極3.4へのリード導体66.67のポン
デイグに当って、リード導体66.67の曲げなど不要
になるので、リード導体66.67から薄膜磁気ヘッド
5に対して加わる外力が小さくなる。このため、安定し
た浮上特性及び電磁変換特性が得られる。
Since the lead conductors 66 and 67 can be connected to the extraction electrodes 3 and 4 on the surface 102 on which the head support device 6 is attached, the work is facilitated. Furthermore, when bending the lead conductor 66.67 to the extraction electrode 3.4, there is no need to bend the lead conductor 66.67, so the external force applied from the lead conductor 66.67 to the thin film magnetic head 5 is small. Become. Therefore, stable flying characteristics and electromagnetic conversion characteristics can be obtained.

第6図は本発明に係る磁気ヘッド装置の別の実施例にお
ける斜視図、第7図は同じくその正面図、第8図は第6
図及び第7図の磁気ヘッド装置を構成する薄膜磁気ヘッ
ド5の斜視図である。
6 is a perspective view of another embodiment of the magnetic head device according to the present invention, FIG. 7 is a front view thereof, and FIG. 8 is a perspective view of another embodiment of the magnetic head device according to the present invention.
FIG. 8 is a perspective view of a thin film magnetic head 5 constituting the magnetic head device shown in FIGS.

図において、第1図〜第3図と同一の参照符号は同一性
ある構成部分を示しでいる。薄膜磁気ヘッド5は、スラ
イダ1の媒体対向面101とは反対側の面102に、幅
方向の中間部において長さ方向に沿う条状の凹溝104
が設けられている。凹溝104は、弧状溝または角状溝
として、スライダ1の全長にわたって形成するのが望ま
しい。荷重腕64の先端部641は、面102に形成さ
れた凹溝104内に位置決めされている。この実施例の
場合は、第1図に示す実施例と同様の効果が得られるこ
とは勿論であるが、凹溝104を利用してヘッド支持装
置6を位置決めできるので、小形化した場合でも、ヘッ
ド支持装置6の取付けが容易になるという利点が得られ
る。
In the figures, the same reference numerals as in FIGS. 1 to 3 indicate the same components. The thin film magnetic head 5 has a groove 104 in the form of a strip extending along the length in the middle part in the width direction on the surface 102 of the slider 1 opposite to the medium facing surface 101.
is provided. It is desirable that the groove 104 be formed over the entire length of the slider 1 as an arcuate groove or an angular groove. A tip 641 of the load arm 64 is positioned within a groove 104 formed in the surface 102. In the case of this embodiment, it goes without saying that the same effects as the embodiment shown in FIG. The advantage is that the head support device 6 can be easily attached.

また、凹溝104があると、スライダ1の媒体対向面1
01が、薄膜磁気変換素子2の位置する幅方向の中間部
で最も高く、幅方向の両端縁に向かって次第に傾斜する
凸状の曲面となる。このため、加工歪等に起因するスラ
イダ1の媒体対向面101の凹面が補正され、ヘッドタ
ッチが良好で、スペーシングロスが小さく、ヘッドクラ
ッシュ等を生じにくい耐久性の高い磁気ヘッド装置が得
られる。
Furthermore, when the groove 104 is present, the medium facing surface 1 of the slider 1
01 is the highest at the middle part in the width direction where the thin film magnetic transducer element 2 is located, and is a convex curved surface that gradually slopes toward both edges in the width direction. Therefore, the concave surface of the medium facing surface 101 of the slider 1 caused by processing distortion etc. is corrected, and a highly durable magnetic head device with good head touch, small spacing loss, and less likelihood of head crash etc. can be obtained. .

第9図は本発明に係る磁気ヘッド装置の別の実施例にお
ける斜視図、第10図は同じくその正面図、第11図は
第9図及び第10図の磁気ヘッド装置を構成する薄膜磁
気ヘッド5の斜視図である。図において、第1図〜第3
図、第6図〜第8図と同一の参照符号は同一性ある構成
部分を示す。薄膜磁気ヘッド5は、スライダ1の媒体対
向面101とは反対側の面102に、取出電極3.4の
位置において、長さ方向に沿う条状の凹溝104.10
5が設けられている。ヘッド支持装置6は可撓体61か
ら平行に引出されたリード導体66.67を有しており
、このリート導体66.67を薄膜磁気ヘッド5の凹溝
104.105に接着等の手段によって接続固定すると
共に、リード導体66.67の端部を取出電極3.4に
導通接続させ、リード導体66.67をヘッド支持腕と
して利用するようになっている。この実施例の場合も、
第6図〜第8図の実施例と同様の作用効果が得られる。
9 is a perspective view of another embodiment of the magnetic head device according to the present invention, FIG. 10 is a front view thereof, and FIG. 11 is a thin film magnetic head constituting the magnetic head device of FIGS. 9 and 10. 5 is a perspective view of FIG. In the figure, Figures 1 to 3
The same reference numerals as in the figures and FIGS. 6 to 8 indicate the same components. The thin film magnetic head 5 has a groove 104.10 in the form of a strip extending in the length direction on the surface 102 of the slider 1 opposite to the medium facing surface 101 at the position of the extraction electrode 3.4.
5 is provided. The head support device 6 has lead conductors 66 and 67 drawn out in parallel from the flexible body 61, and these lead conductors 66 and 67 are connected to the grooves 104 and 105 of the thin film magnetic head 5 by adhesive or other means. At the same time, the ends of the lead conductors 66, 67 are electrically connected to the extraction electrode 3.4, and the lead conductors 66, 67 are used as head support arms. Also in this example,
The same effects as the embodiments shown in FIGS. 6 to 8 can be obtained.

第12図は上記各実施例に示された磁気ヘッド装置を用
いた磁気ディスク装置の構成を示す図で、7は磁気ディ
スク、8は位置決め機構である。磁気ディスク7は、図
示しない回転駆動機構により、矢印a方向に回転駆動さ
れる。磁気ヘッド装置を構成する薄膜磁気ヘッド5及び
ヘッド支持装置6は、位置決め機構8により矢印b1ま
たはb2の方向に直線的にまたは所定の回転角度で駆動
される。これにより、磁気ディスク7の上の所定のトラ
ックにおいて、磁気記録及び読み出しが行なわれる。
FIG. 12 is a diagram showing the configuration of a magnetic disk device using the magnetic head device shown in each of the above embodiments, where 7 is a magnetic disk and 8 is a positioning mechanism. The magnetic disk 7 is rotationally driven in the direction of arrow a by a rotational drive mechanism (not shown). The thin film magnetic head 5 and head support device 6 that constitute the magnetic head device are driven by a positioning mechanism 8 linearly or at a predetermined rotation angle in the direction of arrow b1 or b2. As a result, magnetic recording and reading are performed on predetermined tracks on the magnetic disk 7.

上記各実施例では、面内記録再生用の薄膜磁気ヘッドを
示したが、垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッドにも、
本発明は適用できる。更に、実施例に示す2端子型の薄
膜磁気ヘッドに限らず、センタータップを有する3端子
型の薄膜磁気ヘッドにも、本発明は適用できる。
In each of the above embodiments, a thin film magnetic head for in-plane recording/reproduction is shown, but a thin film magnetic head for perpendicular magnetic recording/reproduction may also be used.
The present invention is applicable. Furthermore, the present invention is applicable not only to the two-terminal thin film magnetic head shown in the embodiment but also to a three-terminal thin film magnetic head having a center tap.

〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明によれば、次のような効果が
得られる。
<Effects of the Invention> As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.

(a)薄膜磁気変換素子の取出電極は、スライダの媒体
対向面とは反対側の面に導出されているので、取出電極
面積による制限を、あまり受けることなく小型化でき、
高密度記録、高速追従及び高速アクセスに適した小型の
薄膜磁気ヘッドを有する磁気ヘッド装置を提供できる。
(a) Since the extraction electrode of the thin-film magnetic transducer is led out to the surface of the slider opposite to the medium facing surface, it can be miniaturized without being too limited by the area of the extraction electrode.
A magnetic head device having a small thin-film magnetic head suitable for high-density recording, high-speed tracking, and high-speed access can be provided.

(b)取出電極に対するリード導体のポンデイグ作業が
容易で、取出電極へのリード導体のポンデイグに当って
、リード導体の曲げなどが殆ど不要であり、リード導体
から薄膜磁気ヘッドに加わる外力が小さく、安定した電
磁変換特性、浮上特性を発揮し得る磁気ヘッド装置を提
供できる。
(b) It is easy to connect the lead conductor to the extraction electrode, there is almost no need to bend the lead conductor when attaching the lead conductor to the extraction electrode, and the external force applied from the lead conductor to the thin-film magnetic head is small; A magnetic head device that can exhibit stable electromagnetic conversion characteristics and flying characteristics can be provided.

(C)スライダの媒体対向面とは反対側の面に、空気の
流れ方向に沿う凹溝を設けることにより、スライダの媒
体対向面を凸状曲面とし、ヘッドタッチが良好で、スペ
ーシングロスが小さく、ヘッドクラッシュを生じにくい
耐久性の高い磁気ヘッド装置を提供できる。
(C) By providing a concave groove along the air flow direction on the surface opposite to the medium facing surface of the slider, the medium facing surface of the slider is made into a convex curved surface, resulting in good head touch and reduced spacing loss. It is possible to provide a small, highly durable magnetic head device that is less prone to head crashes.

(dンスライダの媒体対向面と対向する面に凹溝を設け
ることにより、小形化した場合でも、ヘッド支持装置を
容易に取付けることの可能な磁気ヘッド装置を提供でき
る。
(By providing the concave grooves on the surface of the d slider that faces the medium, it is possible to provide a magnetic head device to which a head support device can be easily attached even when downsized.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係る磁気ヘッド装置の斜視図、第2図
はその正面図、第3図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの
斜視図、第4図は薄膜磁気変換素子を中心とした拡大斜
視図、第5図は同じくその拡大断面図、第6図は本発明
に係る磁気ヘッド装置の別の実施例における斜視図、第
7図は同じくその正面図、第8図は第6図及び第7図の
磁気ヘッド装置を構成する薄膜磁気ヘッドの斜視図、第
9図は本発明に係る磁気ヘッド装置の別の実施例におけ
る斜視図、第10図は同じくその正面図、第11図は第
9図及び第10図の磁気ヘッド装置を構成する薄膜磁気
ヘッド5の斜視図、第12図は上記各実施例に示された
磁気ヘッド装置を用いた磁気ディスク装置の構成を示す
図、第13図は従来の磁気ヘッド装置に用いられていた
薄膜磁気ヘッドの斜視図、第14図は従来の薄膜磁気ヘ
ッドの問題点を示す図である。 1・・・スライダ 2・・・薄膜磁気変換素子101・
・・媒体対向面 102・・・媒体対向面と対向する面 104・・・凹溝 3.4・・・取出電極 5・・・薄膜磁気ヘッド 6・・・ヘッド支持装置 第 8 図 コ 第10図 第 1 図 第 12図
FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head device according to the present invention, FIG. 2 is a front view thereof, FIG. 3 is a perspective view of a thin film magnetic head according to the present invention, and FIG. 5 is an enlarged sectional view thereof, FIG. 6 is a perspective view of another embodiment of the magnetic head device according to the present invention, FIG. 7 is a front view thereof, and FIG. 8 is FIG. and FIG. 7 is a perspective view of a thin film magnetic head constituting the magnetic head device, FIG. 9 is a perspective view of another embodiment of the magnetic head device according to the present invention, FIG. 10 is a front view thereof, and FIG. is a perspective view of the thin film magnetic head 5 constituting the magnetic head device of FIGS. 9 and 10, and FIG. 12 is a diagram showing the configuration of a magnetic disk device using the magnetic head device shown in each of the above embodiments. FIG. 13 is a perspective view of a thin film magnetic head used in a conventional magnetic head device, and FIG. 14 is a diagram showing problems with the conventional thin film magnetic head. 1... Slider 2... Thin film magnetic conversion element 101.
...Medium facing surface 102 ... Surface facing the medium facing surface 104 ... Groove 3.4 ... Extraction electrode 5 ... Thin film magnetic head 6 ... Head support device No. 8 (Fig. 10) Figure 1 Figure 12

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)薄膜磁気ヘッドと、ヘッド支持装置とを有する磁
気ヘッド装置であって、 前記薄膜磁気ヘッドは、スライダの端面に薄膜磁気変換
素子を備えており、 前記薄膜磁気変換素子は、磁性膜とともに磁気回路を構
成する導体コイル膜に導通接続された取出電極を有して
おり、 前記取出電極は、前記スライダの媒体対向面とは反対側
の面に導出されていること を特徴とする磁気ヘッド装置。
(1) A magnetic head device including a thin-film magnetic head and a head support device, wherein the thin-film magnetic head includes a thin-film magnetic transducer on an end face of a slider, and the thin-film magnetic transducer includes a magnetic film as well as a thin-film magnetic transducer. A magnetic head comprising an extraction electrode conductively connected to a conductive coil film constituting a magnetic circuit, the extraction electrode being led out to a surface of the slider opposite to a medium facing surface. Device.
(2)前記ヘッド支持装置は、可撓体と、支持腕と、荷
重腕とを含み、 前記支持腕は、前記可撓体と一体化されていて、前記薄
膜磁気ヘッドの前記媒体対向面とは反対側の前記面に接
合されており、 前記荷重腕は、前記薄膜磁気ヘッドの前記媒体対向面と
は反対側の前記面に荷重を加えていること を特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド装置。
(2) The head support device includes a flexible body, a support arm, and a load arm, and the support arm is integrated with the flexible body and is connected to the medium facing surface of the thin film magnetic head. is joined to the surface on the opposite side, and the load arm applies a load to the surface on the opposite side to the medium facing surface of the thin film magnetic head. head device.
(3)前記可撓体は高分子樹脂でなること を特徴とする請求項2記載の磁気ヘッド装置。(3) The flexible body is made of polymer resin. The magnetic head device according to claim 2, characterized in that:
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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