JPH0323294B2 - - Google Patents
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- JPH0323294B2 JPH0323294B2 JP2076983A JP2076983A JPH0323294B2 JP H0323294 B2 JPH0323294 B2 JP H0323294B2 JP 2076983 A JP2076983 A JP 2076983A JP 2076983 A JP2076983 A JP 2076983A JP H0323294 B2 JPH0323294 B2 JP H0323294B2
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/406—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by monitoring or safety
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Automation & Control Theory (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、数値制御(以下NCと略す)旋盤
の干渉チエツク方法の改良に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an improvement in an interference checking method for a numerically controlled (hereinafter abbreviated as NC) lathe.
NC旋盤の干渉チエツク方法は、被加工物に対
する工具の位置をそれに対応する数値情報で制御
し、被加工物の加工を行うときに、工具の位置情
報に基づいて他のチヤツクやテールストツクに対
しても干渉することなく制御されるようになつて
いる。しかし、複雑な形状のものを容易、かつ高
精度に加工し、さらに生産性を向上させる旋盤、
特に複数刃物台付の旋盤については、刃物台(以
下タレツトという)どうしが個別に移動するため
その干渉チエツクが問題であつた。 The NC lathe's interference check method controls the position of the tool relative to the workpiece using the corresponding numerical information, and when machining the workpiece, it uses the position information of the tool to control other chucks and tailstocks. are now being controlled without interference. However, lathes that can process complex shapes easily and with high precision, further improving productivity.
Particularly for lathes with multiple tool rests, checking for interference has been a problem because the tool rests (hereinafter referred to as turrets) move individually.
第1図は複数刃物台付旋盤の概略構成を示す図
である。第1図において、回転軸(Z軸)を中心
として回転するチヤツク1には、円柱形のワーク
2が位置決め固定され、ワーク2はその一端がテ
ールストツク3の先端部3aによつて支持されて
いる。また第1のタレツト4、第2のタレツト5
にはそれぞれワーク2の切削を行う工具6,7が
固定されている。そしてワーク2を切削する場合
には、第1および第2のタレツト4,5を矢印Z
方向に移動すれば、工具6,7によりワーク2が
切削されることになる。 FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a lathe with multiple tool rests. In FIG. 1, a cylindrical workpiece 2 is positioned and fixed on a chuck 1 that rotates about a rotation axis (Z-axis), and one end of the workpiece 2 is supported by the tip 3a of a tail stock 3. . Also, the first turret 4 and the second turret 5
Tools 6 and 7 for cutting the workpiece 2 are fixed to each of them. When cutting the workpiece 2, the first and second turrets 4 and 5 are aligned with the arrow Z.
If the workpiece 2 is moved in this direction, the workpiece 2 will be cut by the tools 6 and 7.
次に第2図によつて従来の干渉チエツクの概略
について説明する。第2図は第1図の第1のタレ
ツト4、第2のタレツト5の干渉チエツクのブロ
ツク図を示すものである。この図で、10は第1
図に示した第1のタレツト4の移動データを保持
する第1のタレツト移動データレジスタ、11は
同じく第2のタレツト5の移動データを保持する
第2のタレツト移動データレジスタ、12は同じ
く第1のタレツト4の移動データと第2のタレツ
ト5の移動データの大小を判定して干渉するかど
うかを判別する干渉チエツク判別器である。 Next, an outline of a conventional interference check will be explained with reference to FIG. FIG. 2 shows a block diagram of an interference check of the first turret 4 and the second turret 5 shown in FIG. In this figure, 10 is the first
A first turret movement data register that holds movement data of the first turret 4 shown in the figure; 11 a second turret movement data register that also holds movement data of the second turret 5; and 12 a second turret movement data register that also holds movement data of the second turret 5. This is an interference check discriminator that determines the magnitude of the movement data of the second turret 4 and the movement data of the second turret 5 to determine whether or not they interfere.
次に動作について説明する。第1のタレツト4
を移動すると、その移動データが第1のタレツト
移動データレジスタ10へ入り、また第2のタレ
ツト5を移動すると、その移動データが第2のタ
レツト移動データレジスタ11へ入力される。干
渉チエツク判別器12は、第1のタレツト移動デ
ータレジスタ10と第2のタレツト移動データレ
ジスタ11の移動データの大小を判別して、干渉
するかどうかの判定を常時行い、干渉したと判定
したら警報信号を出力し以後の動作を停止する。
なおこの干渉チエツク判別器12の干渉判別は、
移動データの大小を常時判断しているものである
ので、干渉寸前でタレツトの動作を停止させる。
また干渉しないと判定したら、そのまま動作を続
行する。 Next, the operation will be explained. 1st turret 4
When the turret 5 is moved, its movement data is entered into the first turret movement data register 10, and when the second turret 5 is moved, its movement data is input into the second turret movement data register 11. The interference check discriminator 12 determines the magnitude of the movement data in the first turret movement data register 10 and the second turret movement data register 11, constantly judges whether or not there is interference, and issues an alarm if it is judged that there is interference. Outputs a signal and stops further operations.
Note that the interference determination by this interference check discriminator 12 is as follows:
Since the magnitude of movement data is constantly judged, the operation of the turret is stopped just before interference occurs.
If it is determined that there is no interference, the operation continues.
従来のNC旋盤の干渉チエツクは、以上のよう
に行われているので、各タレツト4,5の干渉が
検知されても、ただ機械的に停止するだけでその
後の再開については、各タレツト4,5を原点に
戻し、加工プログラムを修正した後、もう一度最
初からやり直さなければならないという問題があ
つた。 The interference check of conventional NC lathes is carried out as described above, so even if interference between the turrets 4 and 5 is detected, it will simply be mechanically stopped and each turret 4 and 5 will be stopped for subsequent restarts. There was a problem in that after returning No. 5 to the origin and correcting the machining program, it was necessary to start over from the beginning.
この発明は、上記のような従来のものの欠点を
除去するためになされたもので、各タレツト間に
干渉が生じる場合にあつても、機械を停止させる
と共に、各タレツトを原点に戻し、加工プログラ
ムを修正後もう一度最初から干渉チエツクをやり
直す必要のない数値制御旋盤の干渉チエツク方法
を提供することを目的とするものである。 This invention was made in order to eliminate the drawbacks of the conventional machines as described above. Even if interference occurs between each turret, the machine is stopped, each turret is returned to its origin, and the machining program is restarted. The object of the present invention is to provide an interference check method for a numerically controlled lathe that does not require the interference check to be restarted from the beginning after correction.
以下、この発明の一実施例を第3図〜第5図に
基づいて説明する。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on FIGS. 3 to 5.
第3図において、10,11,12は第2図と
同じものを示し、13は第1図の第1のタレツト
4の干渉をとめるために第1のタレツト4の移動
を停止する第1の待機スイツチ、14は同じく第
2のタレツト5の干渉をとめるために第2のタレ
ツト5の移動を停止する第2の待機スイツチ、1
5は前記第1の待機スイツチ13によりセツトさ
れて第1のタレツト移動データレジスタ10の移
動データをブロツクするためのフリツプフロツ
プ、16は前記第2の待機スイツチ14によりセ
ツトされて第2のタレツト移動データレジスタ1
1の移動データをブロツクするためのフリツプフ
ロツプである。17は前記フリツプフロツプ15
からの待機信号19と第1のタレツト移動データ
レジスタ10とのアンドをとるアンドゲート、1
8は前記フリツプフロツプ16からの待機信号2
0と第2のタレツト移動データレジスタ11との
アンドをとるアンドゲートである。また21は第
2のタレツト5の移動の1つの移動の単位(以下
1ブロツクと称する)が終了されるごとに発生す
る第1のタレツト待機解除信号、22は前記第1
のタレツト4の1ブロツク終了ごとに発生する第
2のタレツト待機解除信号である。 In FIG. 3, 10, 11, and 12 are the same as in FIG. The standby switch 14 is also a second standby switch 1 that stops the movement of the second turret 5 in order to stop the interference of the second turret 5.
5 is a flip-flop which is set by the first standby switch 13 to block the movement data of the first turret movement data register 10; 16 is a flip-flop which is set by the second standby switch 14 to block the movement data of the first turret movement data register 10; register 1
This is a flip-flop for blocking one movement data. 17 is the flip-flop 15
AND gate 1 which ANDs the standby signal 19 from the first turret movement data register 10;
8 is a standby signal 2 from the flip-flop 16;
This is an AND gate that performs AND between 0 and the second turret movement data register 11. Further, 21 is a first turret standby release signal that is generated every time one movement unit (hereinafter referred to as 1 block) of the movement of the second turret 5 is completed, and 22 is the first turret standby release signal.
This is the second turret standby release signal that is generated every time one block of the turret 4 is completed.
次に動作について説明する。 Next, the operation will be explained.
まず、第1のタレツト4を移動させると第1の
タレツト移動データレジスタ10に移動データが
入り、第1の待機スイツチ13が押されていない
ときは、フリツプフロツプ15はリセツト状態で
あるため待機信号19は“1”となりアンドゲー
ト17をそのまま通過して干渉チエツク判別器1
2へ入るが、この時第2のタレツト5が移動して
いないので干渉はおきない。 First, when the first turret 4 is moved, movement data is entered into the first turret movement data register 10, and when the first standby switch 13 is not pressed, the flip-flop 15 is in the reset state, so the standby signal 19 is input. becomes “1” and passes through the AND gate 17 as it is to the interference check discriminator 1.
2, but since the second turret 5 is not moving at this time, no interference occurs.
次に、第2のタレツト5も移動することにより
第2のタレツト移動データレジスタ11に移動デ
ータが入り、第1のタレツト4と第2のタレツト
5とが同時に移動しオペレータが目視により干渉
しそうになつたと判断した場合について述べる。 Next, as the second turret 5 also moves, movement data is entered into the second turret movement data register 11, and the first turret 4 and second turret 5 move simultaneously, making it possible for the operator to visually check that they are likely to interfere. I will explain what happens when it is determined that the child has become sick.
なおこのような場合とは例えば第4図に示すよ
うな場合であり、具体的には中ぐり加工を終了し
た第1のタレツト4が図の右側に移動中(矢印
A)に、端面加工を行う工具が付いた第2のタレ
ツト5が矢印B方向に動き出し、C点で干渉しそ
うになつた場合である。 Note that such a case is, for example, the case shown in Fig. 4, and specifically, while the first turret 4 that has finished boring is moving to the right side of the figure (arrow A), the end face processing is performed. This is a case where the second turret 5 with the tool for cutting starts moving in the direction of arrow B and is about to interfere at point C.
このとき、オペレータは、第2のタレツト5を
停止させた方がよいと目視により判断し、オペレ
ータが第2のタレツト5の第2の待機スイツチ1
4を押す。この結果、フリツプフロツプ16がセ
ツトされる。フリツプフロツプ16がセツトされ
ると待機信号20が“0”となり、アンドゲート
18の出力は“0”となり、第2のタレツト移動
データレジスタ11からの移動データはブロツク
されるので、第2のタレツト5は実線位置に停止
し、また干渉チエツク判別器12には、第1のタ
レツト4の移動データのみ入る。したがつて干渉
チエツク判別器12は働かず、第1のタレツト4
のみが移動可能となる。 At this time, the operator visually determines that it is better to stop the second turret 5, and turns on the second standby switch 1 of the second turret 5.
Press 4. As a result, flip-flop 16 is set. When the flip-flop 16 is set, the standby signal 20 becomes "0", the output of the AND gate 18 becomes "0", and the movement data from the second turret movement data register 11 is blocked, so that the second turret 5 stops at the solid line position, and only the movement data of the first turret 4 is input to the interference check discriminator 12. Therefore, the interference check discriminator 12 does not work, and the first turret 4
only can be moved.
そして第1のタレツト4はそのまま移動しつづ
けて、第1のタレツト4の移動が終了し(第4図
点線位置)、第1のタレツト移動データレジスタ
10が“0”になつたときに、第2のタレツト待
機解除信号22を発生する。この第2のタレツト
待機解除信号22が出力されると、第2のタレツ
ト5の移動をブロツクしているフリツプフロツプ
16がリセツトされるので待機信号20が“1”
になり、アンドゲート18がオンされることによ
り、第2のタレツト移動データレジスタ11のデ
ータが出力される。この場合、第1のタレツト4
の移動は完了している(第4図点線位置)ので、
第2のタレツト5が点線位置まで動いても、第1
のタレツト4との干渉がおこることなく移動が可
能となる。 Then, the first turret 4 continues to move, and when the movement of the first turret 4 is completed (the dotted line position in FIG. 4) and the first turret movement data register 10 becomes "0", the first turret 4 is moved. A second turret standby release signal 22 is generated. When this second turret standby release signal 22 is output, the flip-flop 16 blocking the movement of the second turret 5 is reset, so that the standby signal 20 becomes "1".
When the AND gate 18 is turned on, the data in the second turret movement data register 11 is output. In this case, the first turret 4
Since the movement of has been completed (dotted line position in Figure 4),
Even if the second turret 5 moves to the dotted line position, the first
The turret 4 can be moved without interference with the turret 4.
次に第1のタレツト4と第2のタレツト5の移
動中に、第1のタレツト4の移動を停止させる場
合について説明する。 Next, a case will be described in which the movement of the first turret 4 is stopped while the first turret 4 and the second turret 5 are moving.
なおこのような場合とは、例えば第5図に示す
ような場合であり、具体的には穴明け加工を終る
所定の位置に矢印Bのように戻る途中の第1のタ
レツト4に、矢印A方向に移動している中ぐり加
工を行う第2のタレツト5が干渉しそうになつた
場合である。 Incidentally, such a case is, for example, a case as shown in FIG. This is a case where the second turret 5, which performs the boring process and is moving in the direction, is about to interfere.
このとき、第1のタレツト4と第2のタレツト
5とが干渉しそうになつたとオペレータが目視に
より判断した場合、オペレータが第1の待機スイ
ツチ13を押すと、フリツプフロツプ15がセツ
トされる。フリツプフロツプ15がセツトされる
と待機信号19が“0”となり、アンドゲート1
7をブロツクするために、第1のタレツト移動デ
ータレジスタ10からの移動データは、干渉チエ
ツク判別器12へは出力されなくなる。この結
果、第1のタレツト4は第5図実線位置で止ま
る。第1のタレツト4が停止している間にも第2
のタレツト5は、第2のタレツト移動データレジ
スタ11から移動データが出力されつづけて移動
しつづけている。第2のタレツト移動データレジ
スタ11が“0”になり、第2のタレツト5が第
1のタレツト4より離れた位置(第5図点線位
置)で停止すると、第2のタレツト移動データレ
ジスタ11が第1のタレツト待機解除信号21を
発生する。この第1のタレツト待機解除信号21
は、第1のタレツト4の移動データをブロツクす
るフリツプフロツプ15をリセツトすることによ
り、待機信号19は“1”になり、アンドゲート
17を開くことにより、第1のタレツト移動デー
タレジスタ10からの移動データが干渉チエツク
判別器12を通過し、第1のタレツト4を点線位
置まで移動させる。 At this time, if the operator visually determines that the first turret 4 and the second turret 5 are about to interfere, when the operator presses the first standby switch 13, the flip-flop 15 is set. When the flip-flop 15 is set, the standby signal 19 becomes "0" and the AND gate 1
7, the movement data from the first turret movement data register 10 is no longer output to the interference check discriminator 12. As a result, the first turret 4 stops at the solid line position in FIG. Even when the first turret 4 is stopped, the second turret 4
The turret 5 continues to move as movement data is continuously outputted from the second turret movement data register 11. When the second turret movement data register 11 becomes "0" and the second turret 5 stops at a position away from the first turret 4 (dotted line position in Figure 5), the second turret movement data register 11 becomes "0". A first turret standby release signal 21 is generated. This first turret standby release signal 21
By resetting the flip-flop 15 that blocks the movement data of the first turret 4, the standby signal 19 becomes "1", and by opening the AND gate 17, the movement data from the first turret movement data register 10 is blocked. The data passes through the interference check discriminator 12 and moves the first turret 4 to the dotted line position.
なお、干渉チエツク判別器12は従来のものと
同様のものであるので、上述した第1、第2のタ
レツト4,5の干渉が生じる場合、オペレータの
ミスにより第1のタレツト4または第2のタレツ
ト5を停止させなかつた場合に動作するもので、
この干渉チエツク判別器12が働いた場合には、
従来と同様に各タレツト4,5を原点に戻す必要
がある。 Note that the interference check discriminator 12 is similar to the conventional one, so if interference occurs between the first and second turrets 4 and 5, the first turret 4 or the second turret may It operates when turret 5 is not stopped.
When this interference check discriminator 12 works,
As in the past, it is necessary to return each turret 4, 5 to its origin.
以上説明したように、この発明によれば、タレ
ツト間に干渉が生じる場合、機械を停止させると
共に各タレツトを原点に戻し、加工プログラムを
修正した後、もう一度最初からやり直す必要がな
くなり、連続的にタレツトを移動させることが可
能となる。 As explained above, according to the present invention, when interference occurs between turrets, there is no need to stop the machine, return each turret to its origin, correct the machining program, and then start over again from the beginning. It becomes possible to move the turret.
また各タレツトを停止させた時間をメモリに記
憶させ、作成した加工プログラムにこの停止させ
た時間を反映させれば、二度目の加工からは、各
タレツト間の干渉を考慮することなく連続して加
工を行うことが可能となる。 In addition, if the time at which each turret was stopped is stored in memory and this stopped time is reflected in the created machining program, from the second machining onwards, machining can be performed continuously without considering interference between each turret. It becomes possible to perform processing.
なお、上記実施例において、一方のタレツトを
停止させても、他方のタレツトの移動によりタレ
ツト間が干渉する場合には、加工プログラム作成
に根本的なミスがあるものであるので、この場合
には、加工プログラムを作成し直す必要がある。 In the above embodiment, even if one turret is stopped, if there is interference between the turrets due to the movement of the other turret, there is a fundamental mistake in creating the machining program, so in this case, , it is necessary to recreate the machining program.
また、上記実施例では、第1、第2の待機スイ
ツチ13,14を設けて待機信号19,20を発
生させたが、第1、第2の待機スイツチ13,1
4を設けずに外部からの待機信号を用いてもよ
い。 Further, in the above embodiment, the first and second standby switches 13 and 14 are provided to generate the standby signals 19 and 20, but the first and second standby switches 13 and 1
4 may be omitted and an external standby signal may be used.
また上記実施例では、2個の刃物台の干渉チエ
ツクについて説明したが、3個以上の場合につい
ても同様な手段により相互の干渉を防止すること
ができる。 Further, in the above embodiment, the interference check for two tool rests has been explained, but mutual interference can be prevented by similar means even in the case of three or more tool rests.
以上説明したように、この発明は、複数の刃物
台を有する数値制御旋盤の相互干渉を待機信号に
より未然に防ぐとともに、干渉状態が解除したら
自動的に再開できるように構成したので、タレツ
ト間に干渉が生じる場合、機械を停止させると共
に、各タレツトを原点に戻し、加工プログラムを
修正した後、もう一度最初から干渉チエツクをや
り直す必要がなくなり、ひいては作業性よく干渉
チエツクを行うことが可能となる。 As explained above, this invention prevents mutual interference between numerically controlled lathes having a plurality of tool turrets by using standby signals, and is configured to automatically restart when the interference state is removed. When interference occurs, there is no need to stop the machine, return each turret to its origin, correct the machining program, and then repeat the interference check from the beginning, making it possible to perform the interference check with improved workability.
第1図は複数刃物台付旋盤の概略を示す説明
図、第2図は従来の干渉チエツクを示すブロツク
図、第3図はこの発明の一実施例を示すブロツク
図、第4図及び第5図は、各タレツト間が干渉す
る例を説明するための図である。
図中、4は第1のタレツト、6は工具、10は
第1のタレツト移動データレジスタ、11は第2
のタレツト移動データレジスタ、12は干渉チエ
ツク判別器、13は第1の待機スイツチ、14は
第2の待機スイツチ、15,16はフリツプフロ
ツプ、17,18はアンドゲート、19,20は
待機信号、21は第1のタレツト待機解除信号、
22は第2のタレツト待機解除信号である。な
お、図中の同一符号は同一または相当部分を示
す。
Fig. 1 is an explanatory diagram showing the outline of a lathe with multiple tool rests, Fig. 2 is a block diagram showing a conventional interference check, Fig. 3 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, Figs. The figure is a diagram for explaining an example in which turrets interfere with each other. In the figure, 4 is the first turret, 6 is the tool, 10 is the first turret movement data register, and 11 is the second turret.
12 is an interference check discriminator, 13 is a first standby switch, 14 is a second standby switch, 15 and 16 are flip-flops, 17 and 18 are AND gates, 19 and 20 are standby signals, 21 is the first turret standby release signal,
22 is a second turret standby release signal. Note that the same reference numerals in the figures indicate the same or corresponding parts.
Claims (1)
御旋盤における上記刃物台間の干渉をチエツクす
る方法において、上記各刃物台の移動を独立に一
時停止させる停止手段と、この停止手段にて停止
されなかつた刃物台の加工が終了した後、その終
了信号に基づいて一時停止されている刃物台の一
時停止を解除する解除手段とを設けておき、上記
停止手段にて上記各刃物台間に干渉が発生する前
に所定の刃物台を一時停止させ、上記停止手段に
て停止されなかつた刃物台の加工が終了した後、
上記解除手段にて一時停止されている刃物台の一
時停止を解除させることを特徴とする数値制御旋
盤の干渉チエツク方法。1. A method for checking interference between the turrets in a numerically controlled lathe equipped with a plurality of turrets that move simultaneously, including a stopping means for independently temporarily stopping the movement of each turret, and a stop means for stopping the movement of each turret independently. A release means is provided for canceling the temporary stop of the temporarily stopped tool post based on the completion signal after the machining of the dead tool post is completed, and the stopping means prevents interference between the respective tool posts. A predetermined tool rest is temporarily stopped before this occurs, and after the processing of the tool rest that was not stopped by the above-mentioned stopping means is completed,
An interference checking method for a numerically controlled lathe, characterized in that the temporary stop of a tool post which has been temporarily stopped by the above-mentioned release means is released.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2076983A JPS59146733A (en) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | Interference check system for numerically controlled lathe |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2076983A JPS59146733A (en) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | Interference check system for numerically controlled lathe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59146733A JPS59146733A (en) | 1984-08-22 |
JPH0323294B2 true JPH0323294B2 (en) | 1991-03-28 |
Family
ID=12036373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2076983A Granted JPS59146733A (en) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | Interference check system for numerically controlled lathe |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59146733A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6936906B2 (en) | 2001-09-26 | 2005-08-30 | Applied Materials, Inc. | Integration of barrier layer and seed layer |
US6998579B2 (en) | 2000-12-29 | 2006-02-14 | Applied Materials, Inc. | Chamber for uniform substrate heating |
US7101795B1 (en) | 2000-06-28 | 2006-09-05 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for depositing refractory metal layers employing sequential deposition techniques to form a nucleation layer |
US7211144B2 (en) | 2001-07-13 | 2007-05-01 | Applied Materials, Inc. | Pulsed nucleation deposition of tungsten layers |
-
1983
- 1983-02-10 JP JP2076983A patent/JPS59146733A/en active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7101795B1 (en) | 2000-06-28 | 2006-09-05 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for depositing refractory metal layers employing sequential deposition techniques to form a nucleation layer |
US6998579B2 (en) | 2000-12-29 | 2006-02-14 | Applied Materials, Inc. | Chamber for uniform substrate heating |
US7211144B2 (en) | 2001-07-13 | 2007-05-01 | Applied Materials, Inc. | Pulsed nucleation deposition of tungsten layers |
US6936906B2 (en) | 2001-09-26 | 2005-08-30 | Applied Materials, Inc. | Integration of barrier layer and seed layer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59146733A (en) | 1984-08-22 |
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