JPH03228891A - Method and apparatus for producing single crystal fiber - Google Patents
Method and apparatus for producing single crystal fiberInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、単結晶ファイバー製造方法及び製造装置に関
し、詳しくは、固溶体化合物1分解溶融化合物及び相転
移化合物の単結晶ファイバーの育成を可能とする製造技
術に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a single crystal fiber manufacturing method and manufacturing apparatus, and more specifically, to a single crystal fiber manufacturing method and a manufacturing device that enable the growth of single crystal fibers of solid solution compounds, decomposed molten compounds, and phase change compounds. related to manufacturing technology.
[従来の技術]
単結晶ファイバー製造技術として、従来から考えられて
いる方法に、レーザーペデスタル法(LHPG)がある
。この方法は、細く絞ったCO2レーザーで原料棒の先
端の微小域を融解させ、その融液部から、微小結晶を種
子結晶としてファイバー状に結晶引上げを行うものであ
る。[Prior Art] Laser pedestal method (LHPG) is a method conventionally considered as a single crystal fiber manufacturing technology. In this method, a finely focused CO2 laser is used to melt a minute area at the tip of a raw material rod, and from the melted area, crystals are pulled up into fibers using minute crystals as seed crystals.
この方法によれば、従来のチョクラルスキー法のような
、ルツボによる不純物の混入や、溶融温度の制限がなく
9周りの環境について特に注意を払わずに、結晶育成が
可能である。According to this method, unlike the conventional Czochralski method, there is no contamination by impurities caused by the crucible, there is no restriction on the melting temperature, and crystal growth is possible without paying special attention to the surrounding environment.
非線形光学結晶のファイバー化は、LiNbO3単結晶
に関して、Fejerら(Rev、 Sei。Fiberization of nonlinear optical crystals is described by Fejer et al. (Rev, Sei.) for LiNbO3 single crystals.
Instrument、55.1791(1982)、
B a T i O、単結晶のファイバー化につい
ては、5aifiら(J、Mater Res、、l、
452.19813)により、試みられている。Instrument, 55.1791 (1982),
Regarding the fiberization of B a T i O, single crystal, 5aifi et al. (J, Mater Res,, l.
452.19813).
又、大面は通常の単結晶引上げ技術では、熱対流による
位置に応じた温度変動と、温度制御の時間遅れ等の問題
により、細径化に限度があるので。Another major reason is that with normal single crystal pulling technology, there is a limit to the ability to reduce the diameter due to problems such as temperature fluctuations depending on location due to thermal convection and time delays in temperature control.
融液量を微小量に制限し、白金製の発熱材の表面に、微
小な凸部を設け、これに原料を接触融解させて融液で表
面を濡らし、この凸部で結晶種付けを実施し、結晶引上
げを行う方法を提案した(大面、第34回応用物理学会
春期予稿集、 31a−Z−5゜31a−Z−[i、第
193頁 (1987) )。The amount of melt is limited to a minute amount, a minute convex part is provided on the surface of the platinum heat generating material, the raw material is melted in contact with this, the surface is wetted with the melt, and crystal seeding is carried out with this convex part. proposed a method for crystal pulling (Omen, 34th Spring Proceedings of the Japan Society of Applied Physics, 31a-Z-5゜31a-Z-[i, p. 193 (1987)).
このようにして形成された融液層は、薄いために、厚さ
方向の温度差が小さく、熱対流が抑えられるほか、融液
が発熱体に密着して、温度の制御性を向上させて1表面
張力による融液の集中、結晶化する位置の固定及び局所
な冷却効果などにより、細径ファイバー単結晶の連続引
上げを可能とし Iこ 。The melt layer formed in this way is thin, so the temperature difference in the thickness direction is small, suppressing thermal convection, and the melt adheres closely to the heating element, improving temperature controllability. 1 Continuous pulling of small-diameter fiber single crystals is possible by concentrating the melt due to surface tension, fixing the crystallization position, and local cooling effects.
この方法により、LiNbO3単結晶では。With this method, LiNbO3 single crystal.
<0001>方向に30μmφX120m++n。30μmφX120m++n in the <0001> direction.
BaB2O+単結晶では、20μmφ×60mn+を夫
々0. 1〜2mm/ll1in 、 0. 01〜
0. 3mm/ ll1in 、 0 、 04−1
mm/ minで引上げて単結晶ファイバーを得てい
る。For BaB2O+ single crystal, 20μmφ×60mn+ are each 0. 1-2mm/ll1in, 0. 01~
0. 3mm/ll1in, 0, 04-1
A single crystal fiber is obtained by pulling at a rate of mm/min.
ここで、説明の便宜上、「融液」とは目的とする単結晶
ファイバーの組成と同組成の液体を呼び。Here, for convenience of explanation, "melt" refers to a liquid having the same composition as the target single crystal fiber.
「溶液」とは後述するように目的と異なる組成を有する
液体であって温度の低下とともに目的とする組成を有す
る単結晶が析出する液体を呼ぶ。The term "solution" refers to a liquid having a composition different from the desired composition, as will be described later, and from which a single crystal having the desired composition precipitates as the temperature decreases.
[発明が解決しようとする課題]
従来技術において述べてきたFejer(1982)S
a i f i (1986)、大面(1987)ら
の方法は、いずれも、原料融液から直接同化により、フ
ァイバー単結晶を引き上げる方法を採っており、この意
味でストイキオメトリツク融液からの成長である。[Problem to be solved by the invention] Fejer (1982) S described in the prior art
The methods of Ai F i (1986) and Ohmen (1987) all employ the method of pulling fiber single crystals by direct assimilation from the raw material melt, and in this sense, they are difficult to pull from stoichiometric melt. It's growth.
また、大面や5aifiに記載されている方法では、B
aB2O4あるいは、BaTi0i結晶は、ファイバー
化すると、直接低温相構造を有する結晶が得られるため
、ノンストイキオメトリツクな融液からの成長を必要と
しないことが、主張されている。In addition, in the method described in Omen and 5aifi, B
It is claimed that aB2O4 or BaTiOi crystals do not require growth from a non-stoichiometric melt since a crystal with a low-temperature phase structure is directly obtained when fiberized.
しかしながら、一般に、 KT i OP 04等の分
解溶融化合物、BaTi0.等の相転移型化合物(低温
相構造)、LiNbO3等の固溶体化合物の単結晶ファ
イバーを育成するためには、上記したストイキオメトリ
ツクな融液から単結晶ファイバーを育成しても本来必要
とされるような単結晶ファイバーを得ることをできない
場合が多い。However, in general, decomposed melt compounds such as KT i OP 04, BaTi0. In order to grow single crystal fibers of phase change type compounds (low temperature phase structure) such as, solid solution compounds such as LiNbO3, even if single crystal fibers are grown from the above-mentioned stoichiometric melt, it is originally necessary. In many cases, it is not possible to obtain such single crystal fibers.
従って1本発明の技術的課題は、ストイキオメトリツク
な融液から得られる化合物は、もちろんのこと2分解溶
融化合物、相転移型化合物、固溶体化合物等のようなス
トイキオメトリツク融液から単結晶ファイバーの作製が
困難であった化合物の単結晶ファイバーが容易に得られ
る単結晶ファイバーの製造方法及び製造装置を提供する
ことにある。Therefore, the technical problem of the present invention is that compounds obtained from stoichiometric melts, as well as monocrystalline fibers from stoichiometric melts such as bicomponent melt compounds, phase change compounds, solid solution compounds, etc. An object of the present invention is to provide a method and apparatus for manufacturing single crystal fibers, which can easily produce single crystal fibers of compounds that have been difficult to manufacture.
[課題を解決するための手段]
従って1本発明は上記した目的を達成するために成され
たものであり1本発明の単結晶ファイバーの製造方法は
、所望する単結晶ファイバーが得られるような組成の原
料溶液を微小孔を有する発熱体の突起部にプールし、前
記微小孔から伸張するとともに、前記単結晶ファイバー
と実質的に同一組成で、育成される単結晶ファイバーと
同量である原料を前記プールに供給しながら単結晶ファ
イバーを育成することを特徴としている。[Means for Solving the Problems] Accordingly, 1. the present invention has been made to achieve the above-mentioned objects, and 1. the method for producing a single crystal fiber of the present invention is such that a desired single crystal fiber can be obtained. A raw material solution having a composition is pooled in a protrusion of a heating element having micropores, and is extended from the micropores, and a raw material solution having substantially the same composition as the single crystal fiber and in the same amount as the single crystal fiber to be grown. The method is characterized in that a single crystal fiber is grown while supplying the above-mentioned water to the pool.
また1本発明の単結晶ファイバーの製造装置は。In addition, there is an apparatus for producing single crystal fiber according to the present invention.
所望する単結晶ファイバーが得られるような組成を有す
る原料溶液をプールする突起部及び該突起部に設けられ
た微小孔を有する発熱体と、前記突起部にプールされた
原料溶液に原料を供給する原料供給部と、前記微小孔を
通過した原料溶液を伸張しながら単結晶ファイバーを成
長させる伸張部とを備えたことを特徴としている。A protrusion for pooling a raw material solution having a composition such that a desired single crystal fiber can be obtained, a heating element provided in the protrusion and having micropores, and supplying the raw material to the raw material solution pooled in the protrusion. It is characterized by comprising a raw material supply section and a stretching section that grows a single crystal fiber while stretching the raw material solution that has passed through the micropores.
更に、具体的には1本発明では1発熱体の突起部に出発
原料溶液を形成し、この溶融部に種結晶を接触させ単結
晶ファイバーを引下(あるいは引上げる)単結晶ファイ
バー育成装置において2本発明では原料溶液の代わりに
、目的とする単結晶が析出するような組成からなる溶液
を用い、ファイバー単結晶の引下げ(或いは引上げ)に
応じて溶液組成が変化しない状態を保つための原料供給
が可能なように構成された製造方法及び装置である。Furthermore, specifically, in the present invention, a starting material solution is formed on the projection part of a heating element, and a seed crystal is brought into contact with this melting part to pull down (or pull up) a single crystal fiber. 2 In the present invention, instead of a raw material solution, a solution having a composition that allows the desired single crystal to precipitate is used, and the raw material is used to maintain a state in which the solution composition does not change as the fiber single crystal is pulled down (or pulled up). This is a manufacturing method and apparatus configured to enable supply.
従来の融液から単結晶ファイバーの引上げ法においては
、融液量を微小量に制限し、白金製の発熱体の表面に突
起部を設け、これにより原料に接触融解させて、溶液で
表面をぬらし、この突起部で種付け(Seeding)
を実施し、引上げを行うが。In the conventional method of pulling single crystal fibers from a melt, the amount of melt is limited to a minute amount, and a protrusion is provided on the surface of a platinum heating element, which melts the raw material in contact with it and covers the surface with the solution. Wet it and use this protrusion for seeding.
However, the amount will be increased.
本発明では第1図に示すようにこの突起部の中央に微小
な導通孔を設け、その端部に目的とする単結晶が析出す
るような組成からなる溶液のプールを設ける。In the present invention, as shown in FIG. 1, a minute through hole is provided in the center of this protrusion, and a pool of solution having a composition such that the desired single crystal is precipitated is provided at the end of the hole.
この溶液から単結晶ファイバーの引上げ法の場合と同様
に、白金製発熱体の突起部から結晶ファイバーの引下げ
(あるいは引上げ、以下、“上”と呼ぶ)を行うが、こ
の微小突起部に付着する溶液の組成は、ファイバー単結
晶の引下(上)げにつれて、単結晶成分に乏しくなるが
、これを埋合わせるように、原料棒が溶液表面で接触溶
融し。Similar to the method for pulling single crystal fibers from this solution, the crystal fibers are pulled down (or pulled up, hereinafter referred to as "upper") from the protrusions of the platinum heating element, but the crystal fibers adhere to the minute protrusions. The composition of the solution becomes depleted in single crystal components as the fiber single crystal is pulled down (upward), but to compensate for this, the raw material rod contacts and melts on the solution surface.
濃度差を相殺するように、溶液プールへの原料の供給が
行われ、プール溶液の組成は常に一定に保持される。Raw materials are supplied to the solution pool so as to offset the concentration difference, and the composition of the pool solution is always kept constant.
この溶液プールへの原料の供給は、原料棒の溶かし込み
で行われるが、溶液プールの組成が常に一定に保たれる
ようにするためにはは、原料棒ホールダーが回転し、均
質化を図る。The raw material is supplied to this solution pool by melting the raw material rod, but in order to keep the composition of the solution pool constant, the raw material rod holder must be rotated to ensure homogenization. .
また、溶液プールでこの原料棒の溶かし込みを行う際に
は、原料棒からの熱の逃げによる液温の低下を考慮しな
ければならないが、これは、原料棒供給部を補助ヒータ
等によって、加熱することにより、液温の低下を防止す
る。Furthermore, when melting this raw material rod in a solution pool, it is necessary to take into account the drop in liquid temperature due to the escape of heat from the raw material rod. By heating, a drop in liquid temperature is prevented.
以上のような、製造方法及び装置により、一定組成から
なる固溶体化合物分解溶融化合物及び相転移型化合物の
単結晶ファイバーを引下(上)げることが可能となる。With the manufacturing method and apparatus as described above, it is possible to pull down (raise) single crystal fibers of a solid solution compound decomposed molten compound and a phase change compound having a certain composition.
[作 用] 本発明の単結晶ファイバー引上げ装置において。[Work] In the single crystal fiber pulling apparatus of the present invention.
単結晶ファイバーと原料との間にファイバー単結晶の組
成で、析出する様に調整された化学組成からなる溶液を
介在させるための白金製のヒータ兼プールを設置し、プ
ールの一端で、原料の溶融を測り、もう一端において、
ファイバーの単結晶の製造を測ることによって、溶液の
組成が変化することが無いので、常に一定組成の固溶体
単結晶ファイバーを育成することができ、また、低融点
の溶媒を用いることにより、低温相や分解溶融化合物単
結晶ファイバーの育成ができる。A platinum heater and pool is installed between the single crystal fiber and the raw material to interpose a solution with a chemical composition adjusted to precipitate the composition of the fiber single crystal. Measure the melt and at the other end,
By measuring the production of single crystal fibers, the composition of the solution does not change, so it is possible to grow solid solution single crystal fibers with a constant composition, and by using a low melting point solvent, it is possible to grow solid solution single crystal fibers with a constant composition. It is also possible to grow single crystal fibers from decomposed molten compounds.
[実施例] 本発明の実施例を図面を参照して説明する。[Example] Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図(a)及び(b)は本発明の実施例に係る単結晶
ファイバーの製造装置の要部を示す図で。FIGS. 1(a) and 1(b) are diagrams showing essential parts of a single crystal fiber manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
第1図(a)は断面図、第1図(b)は正面図である。FIG. 1(a) is a sectional view, and FIG. 1(b) is a front view.
これらの図において、白金ヒータ1は原料、溶液をプー
ルできるように、−面が陥没し、これに対向する他面側
が突出した突起部2を有している。この突起部2の形状
は特に限定されるものではないが、温度分布を良くする
ために断面が台形状や円形状が好ましい。In these figures, the platinum heater 1 has a protrusion 2 whose negative side is sunken and the other side opposite to it is protruded so that raw materials and solutions can be pooled. Although the shape of the protrusion 2 is not particularly limited, it is preferable that the cross section is trapezoidal or circular in order to improve temperature distribution.
突起部2は微小孔3を有している。微小孔3は。The protrusion 2 has a microhole 3 . Micropore 3.
溶液4が表面張力により保持される大きさであれば、特
に制限はないが、10〜50μm程度が良い。There is no particular restriction as long as the size of the solution 4 is maintained by surface tension, but about 10 to 50 μm is preferable.
その突起部2は微小孔3に原料溶液4がプールされてお
り、原料棒5からは、原料溶液4に連続的に原料が供給
されている。A raw material solution 4 is pooled in the micropores 3 of the protrusion 2, and raw material is continuously supplied to the raw material solution 4 from the raw material rod 5.
さらに、原料棒5は補助ヒータ6により加熱され、原料
棒ホールダ−7により保持されている。Further, the raw material rod 5 is heated by an auxiliary heater 6 and held by a raw material rod holder 7.
そして、単結晶ファイバー8は、単結晶の引き下げによ
り原料溶液4から連続的に製造される。Then, the single crystal fiber 8 is continuously manufactured from the raw material solution 4 by pulling down the single crystal.
第2図は本発明の単結晶ファイバーの製造装置の全体構
成例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an example of the overall configuration of the single crystal fiber manufacturing apparatus of the present invention.
第2図において、単結晶ファイバーの製造装置は、原料
棒供給部と、溶液作製部と伸張部とを備えている。In FIG. 2, the single crystal fiber manufacturing apparatus includes a raw material rod supply section, a solution preparation section, and a stretching section.
0
原料供給部は、パルスモータ駆動部15により駆動され
る上XYステージ9に接続された原料棒ホールダー7を
備えている。0 The raw material supply section includes a raw material rod holder 7 connected to an upper XY stage 9 driven by a pulse motor drive section 15.
この原料棒ホールダ−7は、この上XYステージ9に接
続され2回転及び上下方向に移動可能となっている。This raw material rod holder 7 is connected to the upper XY stage 9 and is movable two rotations and vertically.
伸張部は、パルスモータ駆動部16により駆動される下
XYステージ11に接続されたファイバーホールダー1
0を備えている。The extension section is a fiber holder 1 connected to a lower XY stage 11 driven by a pulse motor drive section 16.
0.
単結晶ファイバー8は、下XYステージ11に接続され
たファイバーホールダ−10に保持され。Single crystal fiber 8 is held in a fiber holder 10 connected to a lower XY stage 11.
この下XYステージ11は上XYステージ9と同様にパ
ルスモータ駆動部16により回転及び上下方向に移動可
能となっている。Like the upper XY stage 9, this lower XY stage 11 can be rotated and moved in the vertical direction by a pulse motor drive section 16.
又、溶液作製部は1円筒耐火物13に囲まれており、実
体顕微鏡14により2発熱板12を観察できるようにな
っている。Further, the solution preparation section is surrounded by a cylindrical refractory 13, and the two heating plates 12 can be observed using a stereoscopic microscope 14.
次に、上記した単結晶ファイバーの製造装置による単結
晶ファイバーの製造例を固溶体化合物であるLiNbO
3により述べる。Next, an example of manufacturing a single crystal fiber using the above-mentioned single crystal fiber manufacturing apparatus will be explained using LiNbO, which is a solid solution compound.
3.
1
それぞれ4〜5 N (99,99%〜99.999%
)の純度を持つL f CO3及びNb2O5試薬を使
って。1 4 to 5 N each (99,99% to 99.999%
) using L f CO3 and Nb2O5 reagents with purity.
単結晶ファイバーの原料となるストイキオメトリツク組
成のL i N b O3の焼結体を作成した。その方
法は、まず、夫々等モルのLi2CO3とNb205と
をメノウニュウバチにて混合し、約10gの量とし、こ
れを静水圧加圧法(ラバープレス法)にて丸棒状に成形
し、これを縦型電気炉中にセットして、焼結した。焼結
は0.21)/minの酸素気流中で実施し、はじめ約
1時間で900℃まで昇温し、2〜3時間保持し、焼結
した後、約1時間で常温まで降温した。A sintered body of L i N b O3 having a stoichiometric composition was prepared as a raw material for a single crystal fiber. The method is to first mix equal moles of each of Li2CO3 and Nb205 in an agate to make an amount of about 10 g, and then mold this into a round bar shape using a hydrostatic press method (rubber press method). It was set in a vertical electric furnace and sintered. The sintering was carried out in an oxygen flow of 0.21)/min, and the temperature was first raised to 900° C. in about 1 hour, held for 2 to 3 hours, and after sintering, the temperature was lowered to room temperature in about 1 hour.
この焼結物をメノウニュウバチを使って可能な限り細粉
化し、再び同上の方法を繰返し、固相線直下の温度11
70〜1180℃にて2〜3時間焼結し、(昇、降温は
、それぞれ10時間で行った。)緻密度95%の焼結棒
を作成した。This sintered material was pulverized as finely as possible using an agate bee, and the same method as above was repeated.
Sintering was carried out at 70 to 1180° C. for 2 to 3 hours (the temperature was raised and lowered for 10 hours each) to produce a sintered rod with a density of 95%.
このように作成した焼結棒を切断加工し、径1關長さ1
0mm程度の原料棒を作成した。The sintered rod created in this way is cut into pieces with a diameter of 1 and a length of 1.
A raw material rod of about 0 mm was created.
また、同様な方法によって、42.5mo1%の 2
Nb2 o、、と52.5mo1%のLi2Oとからな
る溶液原料用焼結棒を作成した。In addition, a sintered rod for solution raw material consisting of 42.5 mo1% 2 Nb2 O and 52.5 mo1% Li2O was created by the same method.
以上の様にして作成した原料用焼結棒を用い。Using the sintered rod for raw material created as described above.
原料用焼結棒をホールダーにセットしく第1図(a)、
(b)参照)、予め白金ヒーターを加熱させておいた状
態(1150〜1200℃)で溶液原料用焼結棒を接触
させ、溶融して、白金ヒータ部を十分濡らし、溶液プー
ルを形成する。この際の温度は、ヒータに近接させた熱
電対によってモニターする。Figure 1 (a) shows how to set the raw material sintered rod in the holder.
(See (b)), the solution raw material sintered rod is brought into contact with the platinum heater heated in advance (1150 to 1200° C.), melted, and the platinum heater portion is sufficiently wetted to form a solution pool. The temperature at this time is monitored by a thermocouple placed close to the heater.
この際の温度は、ヒータに近接させた熱電対によって、
モニターする。The temperature at this time is determined by a thermocouple placed close to the heater.
Monitor.
次に、原料用焼結棒をホールダーに再セットして、補助
ヒーターで原料用焼結棒本体を暖めながら、ゆっくり、
溶液プールに接触した。Next, reset the raw material sintered rod into the holder, and slowly heat the raw material sintered rod body with the auxiliary heater.
contacted the solution pool.
この際、注意深く観察しながら行う必要があり。At this time, it is necessary to observe carefully.
原料用焼結棒が溶融しすぎるようであれば、白金ヒータ
ーの温度を低下させながら調整を行う。原料用焼結棒が
、プールの溶液と接していても、溶融も同化もおこらな
い状態を確認した上でC軸方 3
向に切出し作成した種結晶を、白金ヒータを挾んで、原
料用焼結棒と反対側からプール溶液表面に接触させた。If the raw material sintered rod melts too much, adjust it while lowering the temperature of the platinum heater. After confirming that the raw material sintered rod does not melt or assimilate even if it is in contact with the solution in the pool, the seed crystal cut in the C-axis direction is placed between platinum heaters and sintered for raw material. The surface of the pool solution was contacted from the opposite side of the knot.
もう一方何の突起部先端を緩やかに移した。このような
状態をしばらく保った後に。The tip of the protrusion on the other hand was gently transferred. After staying like this for a while.
約0.5〜1.0mm/hの速度で種結晶の引下げを開
始した。その結果、30μmφ、長さ15關の定比組成
に近いL i N b O3単結晶フアイバーを育成す
ることができた。Drawdown of the seed crystal was started at a speed of about 0.5-1.0 mm/h. As a result, it was possible to grow a L i N b O3 single crystal fiber having a stoichiometric composition of 30 μmφ and a length of 15 mm.
本実施例では、固溶体化合物の場合を述べたが。In this example, the case of a solid solution compound was described.
分解溶融化合物や相移転型化合物の場合も1本実施例と
同様の方法及び装置により単結晶ファイバーを製造する
ことができる。In the case of a decomposition melt compound or a phase transfer type compound, a single crystal fiber can be produced using the same method and apparatus as in this example.
[発明の効果コ
以上、説明したように1本発明の単結晶ファイバーの製
造方法及び製造装置によれば、従来の単結晶ファイバー
の製造方法では困難であったノンストイキオメトリツク
融液あるいは溶液からも。[Effects of the Invention] As explained above, according to the method and apparatus for producing single crystal fiber of the present invention, it is possible to produce a monocrystalline fiber from a non-stoichiometric melt or solution, which has been difficult with the conventional method for producing single crystal fiber. too.
極めて容易に目的とする化学組成の均質な固溶体化合物
2分解溶融化合物、及び相転移型化合物の単結晶ファイ
バーを製造することができる。A homogeneous solid solution compound bicomponent molten compound having a desired chemical composition and a single crystal fiber of a phase change type compound can be produced very easily.
44
第1図(a)及び(b)は本発明の実施例に係る製造装
置の要部を示す図で、(a)は断面図。
(b)は正面図、第2図は本発明の実施例に係る単結晶
ファイバーの製造装置の全体構成を示す図である。
図中、1・・・白金ヒーター、4・・・原料溶液、5・
・・原料用焼結棒、8・・・単結晶ファイバー第2図
5パルスモータ駆動部FIGS. 1(a) and 1(b) are views showing essential parts of a manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1(a) is a sectional view. (b) is a front view, and FIG. 2 is a diagram showing the overall configuration of a single crystal fiber manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention. In the figure, 1... platinum heater, 4... raw material solution, 5...
... Sintered rod for raw material, 8... Single crystal fiber Fig. 2 5 Pulse motor drive section
Claims (1)
原料溶液を微小孔を有する発熱体の突起部にプールし、
前記微小孔から伸張するとともに、前記単結晶ファイバ
ーと実質的に同一組成で、育成される単結晶ファイバー
と同量である原料を前記プールに供給しながら単結晶フ
ァイバーを育成することを特徴とする単結晶ファイバー
の製造方法。 2、所望する単結晶ファイバーが得られるような組成を
有する原料溶液をプールする突起部及び該突起部に設け
られた微小孔を有する発熱体と、前記突起部にプールさ
れた原料溶液に原料を供給する原料供給部と、前記微小
孔を通過した原料溶液を伸張しながら単結晶ファイバー
を成長させる伸張部とを備えたことを特徴とする単結晶
ファイバーの製造装置。[Claims] 1. Pooling a raw material solution having a composition such that a desired single crystal fiber can be obtained in a protrusion of a heating element having micropores,
The method is characterized in that the single crystal fiber is grown while extending from the micropores and supplying to the pool a raw material having substantially the same composition as the single crystal fiber and the same amount as the single crystal fiber to be grown. Method of manufacturing single crystal fiber. 2. A protrusion for pooling a raw material solution having a composition such that a desired single crystal fiber can be obtained, and a heating element having micropores provided in the protrusion; and a heating element having a micropore provided in the protrusion; 1. An apparatus for producing a single crystal fiber, comprising: a raw material supply section that supplies a raw material; and a stretching section that grows a single crystal fiber while stretching the raw material solution that has passed through the micropores.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019221A JPH03228891A (en) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | Method and apparatus for producing single crystal fiber |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019221A JPH03228891A (en) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | Method and apparatus for producing single crystal fiber |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03228891A true JPH03228891A (en) | 1991-10-09 |
Family
ID=11993314
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019221A Pending JPH03228891A (en) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | Method and apparatus for producing single crystal fiber |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03228891A (en) |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP2019221A patent/JPH03228891A/en active Pending
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