JPH03228562A - Tape type polishing device - Google Patents
Tape type polishing deviceInfo
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- JPH03228562A JPH03228562A JP29101989A JP29101989A JPH03228562A JP H03228562 A JPH03228562 A JP H03228562A JP 29101989 A JP29101989 A JP 29101989A JP 29101989 A JP29101989 A JP 29101989A JP H03228562 A JPH03228562 A JP H03228562A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は研磨装置に係り、特に砥面の使用効率を高める
ようにしたテープ式研磨装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a polishing device, and particularly to a tape-type polishing device that improves the efficiency of use of an abrasive surface.
ベルトまたはテープに対して耐摩耗性の高い粒子を砥粒
として付着させる等の方法により砥面を形成したテープ
式の研磨材が現在提供されており、このテープ式の研磨
部材を一定速度で移動させることによって対象物を研磨
する方法が実施されている。Tape-type abrasive materials are currently available in which the abrasive surface is formed by attaching highly wear-resistant particles as abrasive grains to a belt or tape, and this tape-type abrasive member is moved at a constant speed. A method of polishing an object by grinding has been implemented.
一方、円板状の研磨(研削)部材を回転させて研磨を行
う装置も従来よりあるが、この装置では研磨作業を行う
部分がその円板の円弧状の周壁面や側壁の一部に限定さ
れるる。こたに対して、前記テープ式の装置ではテープ
の掛は方により研磨作業を行う範囲を比較的自由に設定
できる等の利点がある。On the other hand, there is a conventional device that performs polishing by rotating a disk-shaped polishing (grinding) member, but in this device, the polishing work is limited to a part of the arc-shaped peripheral wall surface or side wall of the disk. It will be done. In contrast, the tape-type device has the advantage that the range of polishing work can be set relatively freely depending on how the tape is applied.
第6図は従来型のテープ式研磨装置の構成概念を示す。 FIG. 6 shows the structural concept of a conventional tape type polishing device.
この従来構成は、ローラ52と53との間に、砥面を外
側としてエンドレスに形成したテープ50を掛け、モー
タ54によりこのエンドレステープ50をこれらローラ
52と53との間で循環させ、作業面50aにおいて研
磨作業を行うようにしである。この構成の装置はエンド
レステープを循環させるのでテープを有効利用でき、経
済的である反面、テープの循環に対応して砥面を何回も
使用するため、時間の経過と共に砥面が摩耗し、研磨の
効率が段々に低下するという問題がある。In this conventional configuration, an endless tape 50 is hung between rollers 52 and 53 with the abrasive surface on the outside, and a motor 54 circulates the endless tape 50 between these rollers 52 and 53, so that the work surface is The polishing operation is performed at 50a. This device circulates endless tape, making it possible to use the tape effectively and is economical. However, as the abrasive surface is used many times in response to the circulation of the tape, the abrasive surface wears out over time. There is a problem that polishing efficiency gradually decreases.
第7図は別の従来構成を示す。この従来構成は長尺の研
磨テープ51を巻いたローラ55を一方に配置し、他方
にはこのローラ55から繰り出されたテープ51を巻き
取るローラ56を配置し、テープ51は前記ローラ55
から56に向かって一方向にのみ移動するようにしであ
る。FIG. 7 shows another conventional configuration. In this conventional configuration, a roller 55 on which a long abrasive tape 51 is wound is disposed on one side, and a roller 56 for winding up the tape 51 fed out from this roller 55 is disposed on the other side.
It is designed to move only in one direction from to 56.
この構成の装置では、その利点と欠点が前記構成と丁度
逆の関係となる。即ちテープは一定方向にのみ移動する
ため砥面は常に新しく高い研磨性を有する反面、テープ
の砥面ば一回限りの使用であるため砥面が十分使用され
ないうち先送りされたり、研磨作業の態様によっては全
く使用されない砥面部分がかなり発生する等、全体的に
不経済な装置となっている。The advantages and disadvantages of this configuration of the device are exactly opposite to those of the previous configuration. In other words, since the tape moves only in a certain direction, the abrasive surface is always new and has high abrasiveness, but on the other hand, because the abrasive surface of the tape can only be used once, it may be postponed until the abrasive surface is not fully used, or the mode of polishing work may be delayed. In some cases, there is a large portion of the abrasive surface that is not used at all, resulting in an overall uneconomical device.
以上のように従来型のテープ式の研磨装置はその構成に
より一長一短があり、例えば経済性を犠牲にしても良好
な研磨を行いたい場合には後者の装置を使用し、また研
磨効率がある程度低下しても経済性を確保した場合には
前者の装置を使用する等、その目的に応じて使い分けて
いるのが実情である。As mentioned above, conventional tape-type polishing devices have advantages and disadvantages depending on their configuration.For example, if you want to achieve good polishing even at the cost of economic efficiency, use the latter device, and polishing efficiency will decrease to some extent. However, the reality is that the former device is used when it is economical to do so, depending on the purpose.
本発明は以上に示した従来装置の有する技術的課題を解
決すべく構成したものであって、砥面の使用効率を高め
、しかも高い研磨効率を確保するように構成した装置で
ある。The present invention has been constructed to solve the technical problems of the conventional apparatus described above, and is an apparatus constructed to increase the usage efficiency of the abrasive surface and ensure high polishing efficiency.
この目的を達成するため、一定方向に移動するテープ(
このテープの構成は場合によってはエンドレス弐にした
ものであってもよい)の経路に対して往復運動機構を配
置し、この往復運動機構によって前記テープの移動とは
別に、テープに対して往復移動を行わせ、この往復移動
を行う面を研磨作業面とするように構成した装置である
。To achieve this purpose, a tape (
A reciprocating mechanism is arranged with respect to the path of the tape (which may have an endless configuration depending on the case), and the reciprocating mechanism causes reciprocating movement with respect to the tape, apart from the movement of the tape. This device is configured so that the surface on which this reciprocating movement occurs is used as the polishing work surface.
[作用]
研磨テープは全体として一定方向に比較的低速で送られ
、このテープの移動経路に配置した往復運動機構により
テープはこの一定方向の移動とは別に往復移動を行う。[Operation] The abrasive tape as a whole is sent in a fixed direction at a relatively low speed, and the tape is reciprocated in addition to the fixed direction movement by a reciprocating mechanism disposed in the tape movement path.
これにより、前記一定方向の移動により研磨作業面に対
しては常時新しい砥面が供給され、かつこの研磨作業面
ではテープが高速で往復しているため、このテープの砥
面に被研磨物を接触させることにより研磨作業を行う。As a result, a new abrasive surface is always supplied to the polishing work surface by the movement in the fixed direction, and since the tape is reciprocating at high speed on this polishing work surface, the object to be polished is placed on the abrasive surface of this tape. Polishing work is done by bringing it into contact.
以下本発明の構成を具体的に説明する。 The configuration of the present invention will be specifically explained below.
先ず第1図および第2図を用いて本発明の構成概念を示
す。First, the structural concept of the present invention will be shown using FIGS. 1 and 2.
第1図は第1の構成を示す。FIG. 1 shows a first configuration.
符号2は一方の面に砥面を形成した研磨テープ(以下単
に「テープ」と称する)1を巻いである繰り出しロール
、3はこの繰り出しロール2から繰り出されたテープ1
を巻き取る巻き取りロールであって、このテープ1の移
動経路を構成すべく複数のローラが配置され、このテー
プの移動経路に対してテープに往復運動を行わせる往復
作動機構が配置しである。Reference numeral 2 denotes a feeding roll around which abrasive tape (hereinafter simply referred to as "tape") 1 having an abrasive surface formed on one side is wound, and 3 refers to a tape 1 fed out from this feeding roll 2.
A take-up roll for winding up the tape 1, in which a plurality of rollers are arranged to form a moving path for the tape 1, and a reciprocating mechanism for reciprocating the tape with respect to the tape moving path is arranged. .
先ずテープlの移動経路を決定する固定ローラは図示の
構成では、符号5a、5b、5c、5d、5e、5f、
5gが設置しである。6はこれら固定コーラのうち、5
aと5bとの間に配置したテンションローラであり、エ
アシリンダ4に接続し、このエアシリンダ4によってテ
ープ1に対して一定の張力を与えるようになっている。First, in the illustrated configuration, the fixed rollers that determine the moving path of the tape l are designated by reference numerals 5a, 5b, 5c, 5d, 5e, 5f,
5g is installed. 6 is 5 of these fixed cola
This is a tension roller disposed between a and 5b, and is connected to an air cylinder 4 so that a constant tension is applied to the tape 1 by the air cylinder 4.
またエアシリンダ4はテープ1に対して張力を与える外
、後述の如く繰り出しロール2に対し、繰り出し作動を
指令する信号も発している。In addition to applying tension to the tape 1, the air cylinder 4 also issues a signal to the feed roll 2 to command the feed operation, as will be described later.
次に7はテープlに対して往復移動をさせるための往復
作動機構を示す。Next, 7 shows a reciprocating mechanism for reciprocating the tape l.
この往復作動機構は二つのローラ8および9を有する往
復作動部10と、この往復作動部10に往復作動を行わ
せる往復作動駆動部11とから成っている。図示の構成
では往復作動駆動部11はモータ12により駆動される
クランク機構となついるが、この構成に限定するもので
はなく、要するに往復作動機構がX−Y方向に往復運動
するようなものであればその構成は問わない。例えば前
述のクランク機構の外に、磁極を特定の周波数で変更す
ることにより電磁的に往復運動を行わせるような構成等
も使用可能である。This reciprocating mechanism includes a reciprocating section 10 having two rollers 8 and 9, and a reciprocating drive section 11 that causes the reciprocating section 10 to perform reciprocating motion. In the illustrated configuration, the reciprocating drive unit 11 is a crank mechanism driven by the motor 12, but the configuration is not limited to this.In short, any type of reciprocating mechanism that reciprocates in the The composition of the bar does not matter. For example, in addition to the above-mentioned crank mechanism, it is also possible to use a configuration in which reciprocating motion is performed electromagnetically by changing the magnetic poles at a specific frequency.
なお、固定ローラ5gに対しては二〇ローラ5gの回転
数を検出するセンサ13を設けておき、このセンサ13
の信号に対応して巻き取りロール3駆動用のモータ14
の回転数を制御するように構成してもよい。即ち、巻き
取りロール3の回転数を一定にしておくと、テープ1の
巻き取りと共にロール径が大きくなり、従って順次巻き
取り速度が早くなってしまうため、固定ローラ5gの回
転数をセンサ13でチエツクし、固定ローラ5gが常時
一定速度で回転するようにモータ14を制御すれば、テ
ープ1は常に一定速度で巻き取られることになる。Note that a sensor 13 is provided for the fixed roller 5g to detect the number of rotations of the roller 5g.
The motor 14 for driving the winding roll 3 in response to the signal of
The rotation speed may be controlled. That is, if the rotation speed of the take-up roll 3 is kept constant, the roll diameter will increase as the tape 1 is wound, and therefore the winding speed will become faster. If this is checked and the motor 14 is controlled so that the fixed roller 5g always rotates at a constant speed, the tape 1 will always be wound up at a constant speed.
次に装置の作動状態を説明する。Next, the operating state of the device will be explained.
先ず、往復移動部分構7は往復作動駆動部11によりX
−Y方向に往復作動する。この作動速度は例えば数十〜
数百往復/分程度と比較的高速に設定しておく。First, the reciprocating portion mechanism 7 is moved by the reciprocating drive unit 11.
- It reciprocates in the Y direction. This operating speed is, for example, several dozen to
Set it to a relatively high speed of several hundred round trips/minute.
次に、テープの往復移動をより具体的に説明すると、例
えば往復作動機構7の往復作動部10がY方向に移動量
αを以て移動することにより、テープ1はローラ8に引
き込まれるようにして2αの移動量を以てY′方向に移
動する。一方このY方向の移動により往復作動部lOの
他方のローラ9からは同様に2αの移動量を以てY′方
向にテープ1が繰り出される。即ち、前記ローラ8によ
り引き込まれた移動量と同じ量のテープ1がローラ9か
ら繰り出されることによって往復作動部10の上流側お
よび同作動部10の下流側に於けるテープ1の移動は相
殺され、テープの移動は固定ローラ5d、5e、5fの
間でのみ生じることになる。つまり往復作動機構7より
も上流のテープ繰り出し側およびこの部分よりも下流側
のテープ巻き取り側の何れにおいても、往復作動部10
の作動による影響は無く、従ってこの部分でのテープ1
の往復移動は生じない。Next, to explain the reciprocating movement of the tape in more detail, for example, the reciprocating part 10 of the reciprocating mechanism 7 moves in the Y direction by a movement amount α, so that the tape 1 is drawn into the roller 8 by 2α It moves in the Y' direction by an amount of movement. On the other hand, due to this movement in the Y direction, the tape 1 is similarly fed out in the Y' direction from the other roller 9 of the reciprocating portion 1O with a movement amount of 2α. That is, the same amount of tape 1 as the amount of movement drawn by the roller 8 is fed out from the roller 9, so that the movement of the tape 1 on the upstream side of the reciprocating operation section 10 and the downstream side of the reciprocating operation section 10 is canceled out. , tape movement occurs only between fixed rollers 5d, 5e, and 5f. That is, both on the tape feeding side upstream of the reciprocating mechanism 7 and on the tape winding side downstream of this part, the reciprocating mechanism 10
There is no effect due to the operation of , therefore tape 1 in this part
No reciprocating movement occurs.
次に往復作動部10がX方向に移動した際には、同様の
移動量を以てテープ1はX゛方向移動することになる。Next, when the reciprocating section 10 moves in the X direction, the tape 1 will move in the X' direction by the same amount of movement.
従って往復作動部10を作動させることにより、この往
復作動部10の往復動作に対応してローラ5d〜5rの
間ではテープ1の往復移動が生じる。この往復移動は高
速で行われるため、往復移動しているテープ1の砥面に
被研磨物を接触させることより、大きな相対速度を利用
して研磨作業を行う。Therefore, by operating the reciprocating section 10, the tape 1 is moved back and forth between the rollers 5d to 5r in response to the reciprocating operation of the reciprocating section 10. Since this reciprocating movement is performed at a high speed, the polishing operation is performed using a large relative speed by bringing the object to be polished into contact with the abrasive surface of the tape 1 that is reciprocatingly moving.
上述したテープ1の往復移動の間に、巻き取りロール3
の駆動によりテープ1全体は速度V(図中太い矢印で示
す)を以て巻き取られている。即ち、テープ1の往復移
動部では往復移動が行われるのと同時に、前記速度■を
以て徐々にテープ1は移動しており、従ってローラ5d
〜5fの往復移動部分ではテープ1は往復移動を行うと
共に、前記速度Vを以て巻き取りロール3側に移動して
いる。このため研磨部15に対しては常時新しいテープ
が供給さることになる。During the reciprocating movement of the tape 1 described above, the winding roll 3
The entire tape 1 is wound up at a speed V (indicated by a thick arrow in the figure) by the drive. That is, in the reciprocating portion of the tape 1, at the same time as the reciprocating movement is being performed, the tape 1 is gradually moving at the speed ①, and therefore the roller 5d
In the reciprocating portion of ~5f, the tape 1 reciprocates and moves toward the take-up roll 3 at the speed V. Therefore, new tape is constantly supplied to the polishing section 15.
一方繰り出しロール2は常時は停止している。On the other hand, the feed roll 2 is normally stopped.
このためテープの巻き取と共にテンションローラ6は固
定ローラ5a、5b側に移動する。この移動によりエア
シリンダ4に設けたリミットスイッチSが作動し、モー
タ16に作動信号を発し、繰り出しロール2からテープ
1が繰り出される。テープ1の繰り出しによりテンショ
ンローラ6は引き戻され、前記リミットスイッチSが再
度作動してモータ16に対して停止信号を発し、テープ
1の繰り出しを停止する。この作動を繰り返すことによ
りテープ1は間欠的に繰り出される。Therefore, as the tape is wound up, the tension roller 6 moves toward the fixed rollers 5a and 5b. This movement activates the limit switch S provided on the air cylinder 4, which issues an activation signal to the motor 16, and the tape 1 is fed out from the feeding roll 2. As the tape 1 is fed out, the tension roller 6 is pulled back, and the limit switch S is activated again to issue a stop signal to the motor 16, thereby stopping the tape 1 from being fed out. By repeating this operation, the tape 1 is fed out intermittently.
第2図は以上に示す構成をエンドレステープに使用した
場合を示す。FIG. 2 shows the case where the configuration described above is used for an endless tape.
前記構成が、テープ1を一定方向に対して繰り出す形式
であるのに対して、この構成では、各ローラに掛けるテ
ープはエンドレスに形成しである。In contrast to the configuration described above in which the tape 1 is fed out in a fixed direction, in this configuration, the tape hung on each roller is formed endlessly.
この構成の場合にはエンドレステープ1を移動させるた
めの駆動ロール17が設けてあり、これによりテープ1
は例えば前記構成の移動速度と同じ速度■を以て常時移
動している。一方往復作動部10の作動によりローラ5
d〜5fの間ではテープ1は前記移動動作に加えてX′
−Y’力方向の往復移動を行っている。この構成の場合
にはテープ1はその移動経路の全ての部分で一定の速度
■を以て移動しているため、繰り出しロールを間欠的に
作動させるためのスイッチ機構は不要となる。In this configuration, a drive roll 17 for moving the endless tape 1 is provided, which allows the tape 1 to move.
For example, is always moving at the same speed (2) as the moving speed of the above configuration. On the other hand, due to the operation of the reciprocating part 10, the roller 5
Between d and 5f, the tape 1 performs X' in addition to the movement described above.
-Y' It is performing reciprocating movement in the force direction. In this configuration, since the tape 1 moves at a constant speed (2) throughout its moving path, there is no need for a switch mechanism for intermittently operating the feed roll.
従ってエアシリンダ4の機能は単にテープ1に対して一
定の張力を与えることのみとなるため、リミットスイッ
チ等は不要となる。また固定ローラ5gの回転数をチエ
ツクして巻き取りロールにおけるテープ巻き取り速度を
一定に保持する機構も不要となる。Therefore, the function of the air cylinder 4 is simply to apply a constant tension to the tape 1, so a limit switch or the like is not required. Further, there is no need for a mechanism for checking the number of rotations of the fixed roller 5g to maintain a constant tape winding speed on the winding roll.
この構成は、使用するテープがエンドレスであるので、
長時間運転していると使用した砥面が戻って来るが、こ
の時点でテープを交換すれば、エンドレステープでも、
より効率的な使用が可faとなる。This configuration uses endless tape, so
If the abrasive surface is used for a long time, it will come back, but if you replace the tape at this point, even if it is an endless tape,
More efficient usage becomes possible.
なお、符号5h、51は固定ローラである。Note that numerals 5h and 51 are fixed rollers.
以下実施例を示す。 Examples are shown below.
この実施例は第1図に示す構成をより具体化したもので
あり、従って第1図と同じ部材は同じ符号をもって示す
。This embodiment is a more specific version of the configuration shown in FIG. 1, and therefore, the same members as in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.
先ず往復作動機構7の構造について示す。First, the structure of the reciprocating mechanism 7 will be described.
第3図および第4図において、20は往復作動機構のう
ちの往復作動部(第1図の符号10に対応)のフレーム
を構成するフレーム材であり、対のフレーム材20.2
0によりローラ8および9が軸支された構成となってい
る。矢印22はこの装置の本体側に固定された状態で配
置された固定フレームである。21はこの固定フレーム
22に対して固定したガイドロッド(図示の構成では全
部で4本使用)であり、前記往復作動部10のフレーム
材20に各々固定した案内部材23を挿通している。前
記往復作動部10は案内部材23およびガイドロッド2
1の保合により、ガイドロッド21に沿ってX−Y方向
に往復移動するようになっている。3 and 4, reference numeral 20 denotes a frame material constituting a frame of a reciprocating portion (corresponding to the reference numeral 10 in FIG. 1) of the reciprocating mechanism, and a pair of frame materials 20.2
0, the rollers 8 and 9 are pivotally supported. Arrow 22 indicates a fixed frame fixedly disposed on the main body side of this device. Reference numeral 21 designates guide rods (four in total are used in the illustrated configuration) fixed to the fixed frame 22, through which guide members 23 fixed to the frame material 20 of the reciprocating section 10 are inserted. The reciprocating section 10 includes a guide member 23 and a guide rod 2.
1, it is configured to reciprocate along the guide rod 21 in the X-Y direction.
25は軸受け30によりこの固定フレーム内に収納され
、かつ軸心26を中心として回転するように支持された
回転軸である。27はこの回転軸に対して固定した歯車
であって、ベルト等の動力伝達手段28によりモータ1
2の回転力を受ける別の歯車29と係合することにより
、回転軸25を回転するように構成しである。Reference numeral 25 denotes a rotating shaft that is housed in this fixed frame by a bearing 30 and supported so as to rotate about an axis 26 . 27 is a gear fixed to this rotating shaft, and the motor 1 is connected by a power transmission means 28 such as a belt.
The rotating shaft 25 is configured to be rotated by engaging with another gear 29 that receives rotational force of the second gear.
31は上述の回転軸25の一方の端面に対し、その中心
が回転軸25の軸心26から一定の距離り、をもって取
り付けであるカムである。一方32aおよび32bはこ
のカム31を挟持するようにフレーム材20側に形成し
たカムフォロワである。Reference numeral 31 denotes a cam attached to one end surface of the rotating shaft 25, with its center being a certain distance from the axis 26 of the rotating shaft 25. On the other hand, 32a and 32b are cam followers formed on the frame material 20 side so as to sandwich the cam 31 therebetween.
第5図は回転軸25に対するカム31の取り付け状態を
概念的に示す。図からも明らかなとおり、回転軸25に
対するカムの取り付け部分は4個所形成してあり、各取
り付け場所は、回転軸25の軸心26からの距離がD+
、Dz 、D3 、D4と相違するように形成しであ
る(D+ >I)2>D3〉D4)。FIG. 5 conceptually shows how the cam 31 is attached to the rotating shaft 25. As is clear from the figure, the cam is attached to the rotating shaft 25 at four locations, and each attachment location is located at a distance of D+ from the axis 26 of the rotating shaft 25.
, Dz, D3, and D4 (D+>I)2>D3>D4).
33はフレーム材20に形成した開口部であり、この開
口部33を介して回転軸25に取りつけであるカム31
を、フレーム材20の外側から、回転軸25の別の位置
に付け替えることができるようになっている。なお34
はフレーム材20の軽量化のために形成した開口である
。33 is an opening formed in the frame material 20, and a cam 31 that is attached to the rotating shaft 25 is inserted through this opening 33.
can be replaced from the outside of the frame material 20 to another position on the rotating shaft 25. Furthermore, 34
is an opening formed to reduce the weight of the frame material 20.
以上の構成において、モータ12を作動させると、その
回転力は伝達手段28、歯車29、同27を経て回転軸
25に伝達され、回転軸25は軸心26を中心として回
転し、更にその端部に取り付けたカム31も同様に回転
する。回転軸25の回転によるカム31の変位はカムフ
ォロワ32a、32bに対して伝達されるが、これらカ
ムフォロワはガイドロッド21に案内されて移動するフ
レーム材20に取り付けであるため、その変位は図示の
X−Y方向への往復運動として伝達され、この結果フレ
ーム材21およびローラ8および9から成る往復作動部
10はガイドロット21に沿って往復運動を行うことに
なる。なお、変位量は回転軸25端部のカム31の取り
付け位置により変化し、例えばカム31と回転軸25の
中心軸との距離がり、であれば、往復運動全体での変位
量は2D、となり、従って研磨作業面(矢印35で示す
)に於けるテープ1の移動距離は2x2D+ で4D、
となる。In the above configuration, when the motor 12 is operated, its rotational force is transmitted to the rotating shaft 25 via the transmission means 28, gears 29, and 27, and the rotating shaft 25 rotates around the axis 26, and furthermore, A cam 31 attached to the section also rotates in the same manner. The displacement of the cam 31 due to the rotation of the rotating shaft 25 is transmitted to the cam followers 32a and 32b, but since these cam followers are attached to the frame member 20 that moves guided by the guide rod 21, the displacement is This is transmitted as a reciprocating motion in the -Y direction, and as a result, the reciprocating section 10 consisting of the frame member 21 and the rollers 8 and 9 performs a reciprocating motion along the guide rod 21. Note that the amount of displacement changes depending on the mounting position of the cam 31 at the end of the rotating shaft 25. For example, if the distance between the cam 31 and the center axis of the rotating shaft 25 increases, the amount of displacement during the entire reciprocating motion is 2D. , so the distance traveled by the tape 1 on the polishing work surface (indicated by arrow 35) is 2x2D+ which is 4D,
becomes.
テープ1の往復移動の距離は第5図に示すように、回転
軸25におけるカム31の取り付け位置を変更すること
により調整することができるわけであるが、このカム3
1の取り付け位置の変更は前述の如く、フレーム材20
に形成した開口部33を介して装置の外側から簡単に行
うことができる。The reciprocating distance of the tape 1 can be adjusted by changing the mounting position of the cam 31 on the rotating shaft 25, as shown in FIG.
As mentioned above, changing the mounting position of 1 is done by changing the frame material 20.
This can easily be done from outside the device via the opening 33 formed in the .
その他テープ1の繰り出し、巻き取りは第1図で説明し
た方法により行う。In addition, the tape 1 is fed out and wound up by the method explained in FIG. 1.
次に出願人等は以上に示す装置を用いて研磨試験を実際
に行ったところ、非常に良好な結果を得ることができた
。Next, the applicants actually conducted a polishing test using the apparatus described above, and were able to obtain very good results.
より具体的には、作業面35におけるテープの往復移動
距離(振幅)は例えば20cm〜15cmの間とし、か
つ往復運動回数(周波数)は約100〜600回/分と
して試験を行ったところ、はぼ全ての領域で良好な研磨
を行うことができた。これは高い周波数でテープが往復
するため、研磨対象物とテープとの相対速度が従来装置
と同等もしくはそれ以上の速度となるためであると考え
られる。More specifically, the test was conducted with the reciprocating distance (amplitude) of the tape on the work surface 35 being between 20 cm and 15 cm, and the number of reciprocating movements (frequency) being approximately 100 to 600 times/min. Good polishing was achieved in almost all areas. This is thought to be because the tape reciprocates at a high frequency, so that the relative speed between the object to be polished and the tape is equal to or higher than that of the conventional device.
この相対速度は、振幅を大きくとることによっても、ま
た反対に周波数を大きく取ることによっても可能である
が、−船釣には振幅を小さくし、かつ周波数を大きく取
った方がより良好な結果を得ることができた。即ち、低
周波数領域で振幅を大きくすると、テープに対する研磨
対象物の圧接状態によっては、研磨対象物とテープの砥
面との間の接触抵抗により被研磨物がテープの往復移動
に対応した往復運動を取ろうとする動きを生じ、研磨対
象物をしっかりと保持しないと作業が困難となる事態が
生じた。This relative speed can be achieved by increasing the amplitude or, conversely, by increasing the frequency, but - for boat fishing, it is better to use a small amplitude and a large frequency. I was able to get In other words, when the amplitude is increased in the low frequency region, depending on the state of pressure of the object to be polished against the tape, the object to be polished may undergo reciprocating motion corresponding to the reciprocating movement of the tape due to the contact resistance between the object to be polished and the abrasive surface of the tape. A situation occurred in which the work was difficult unless the object to be polished was firmly held.
これに対して周波数を増加させると、極めて短時間で慣
性が逆方向に変化するため、全体としてはこれら逆方向
の慣性が相殺された結果となり、前述のように研磨対象
物がテープの動きに追従するようなことはなくなって、
研磨作業が楽であり、かつ研磨も良好であった。On the other hand, when the frequency is increased, the inertia changes in the opposite direction in an extremely short period of time, so the overall result is that these opposite inertias cancel each other out, and as mentioned above, the object to be polished is affected by the movement of the tape. There is no longer anything to follow,
The polishing work was easy and the polishing was good.
更に、テープ全体の移動速度■は数m7分とかなり遅い
ものであるため、研磨作業面35における研磨作業では
テープ1の幅方向に対してもその砥面を有効に利用する
ことが可能であった。因にテープを高速で一定方向に移
動させる従来装置ではテープの幅方向の利用は困難であ
り、特に長尺のテープを一回限り使用する装置では幅方
向の利用は事実上全く不可能であった。Furthermore, since the moving speed (2) of the entire tape is quite slow at several meters, it is possible to effectively utilize the abrasive surface in the width direction of the tape 1 in the polishing work on the polishing work surface 35. Ta. In fact, with conventional devices that move the tape in a fixed direction at high speed, it is difficult to utilize the width of the tape, and especially with devices that only use a long tape once, it is virtually impossible to utilize the width of the tape. Ta.
本発明は以上具体的に説明したように、一定方向に移動
するテープの経路に対して往復作動機構を配置し、この
往復作動機構によって前記テープの移動とは別に往復移
動を行わせ、この往復移動を行う面を研磨作業面とする
ように構成したので、テープと被研磨物のとの相対速度
はテープの高速の往復移動によって高く保持でき、従っ
て良好な研磨性能を確保する一方、テープ全体の送り速
度は低速であるためテープの単位長さ当たりの使用効率
を飛躍的に増加させることが可能となる。As specifically explained above, the present invention disposes a reciprocating mechanism on the path of a tape moving in a certain direction, and causes the reciprocating mechanism to perform reciprocating motion separately from the movement of the tape. Since the moving surface is used as the polishing work surface, the relative speed between the tape and the object to be polished can be maintained high due to the high-speed reciprocating movement of the tape, thus ensuring good polishing performance while also reducing the overall speed of the tape. Since the feeding speed is low, it is possible to dramatically increase the usage efficiency per unit length of tape.
第1図は本発明の第1の構成を示す概念図、第2図は第
2の構成を示す概念図、第3図は本発明の一実施例を示
す研磨装置の側面図、第4図は第3図に示す装置の往復
作動機構部分を中心とした平面図、第5図は回転軸に対
するカムの取り付け状態を示す概略図、第6図は従来の
テープ式研磨装置を示す概略図、第7図は別の従来型テ
ープ式研摩装置を示す概略図である。
l・・・研磨テープ
2・・・繰り出しロール
3・・ ・巻き取りロール
4・・・エアシリンダ
5a、5b、5c、5d、5e、5f、5g、5h、5
1.5j・・・固定ローラ
7・・・往復作動機構
10・・・往復作動部
11・・・往復作動駆動部
12・・・モータ
20・・・フレーム材
21・ ・ ・ガイドロンド
22・・・固定フレーム
25・・・回転軸
26・・・回転軸の軸心
31・・・カム
32a、32b・・・カムフォロワ
第6図
第7図
1Fig. 1 is a conceptual diagram showing a first configuration of the present invention, Fig. 2 is a conceptual diagram showing a second configuration, Fig. 3 is a side view of a polishing apparatus showing an embodiment of the present invention, and Fig. 4 is a plan view centered on the reciprocating mechanism portion of the device shown in FIG. 3, FIG. 5 is a schematic diagram showing how the cam is attached to the rotating shaft, and FIG. 6 is a schematic diagram showing a conventional tape-type polishing device. FIG. 7 is a schematic diagram showing another conventional tape polishing device. l... Polishing tape 2... Feeding roll 3... - Winding roll 4... Air cylinders 5a, 5b, 5c, 5d, 5e, 5f, 5g, 5h, 5
1.5j...Fixed roller 7...Reciprocating mechanism 10...Reciprocating unit 11...Reciprocating drive unit 12...Motor 20...Frame material 21...Guide Rond 22...・Fixed frame 25... Rotating shaft 26... Axis center of rotating shaft 31... Cam 32a, 32b... Cam follower Fig. 6 Fig. 7 Fig. 1
Claims (4)
磨を行う装置において、一定方向に移動するテープの移
動経路に対して往復作動機構を配置し、この往復作動機
構によりテープに対して前記一定方向の移動とは別に往
復移動を行わせることにより、テープの往復移動部分を
研磨作業面としたことを特徴とするテープ式研磨装置。(1) In a device that performs polishing by moving a tape on which an abrasive surface has been formed, a reciprocating mechanism is arranged along the moving path of the tape that moves in a certain direction, and this reciprocating mechanism moves the tape in the same direction. A tape-type polishing device characterized in that by performing reciprocating movement in addition to directional movement, the reciprocating portion of the tape is used as a polishing work surface.
ロールで巻き取ることによりテープを一定方向に移動さ
せ、往復作動機構よりも上流のテープ繰り出し側にテン
ションローラを配置し、かつテンションローラの変位に
より繰り出しロールを間欠的に作動させるように構成し
たことを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載のテ
ープ式研磨装置。(2) The tape is moved in a fixed direction by winding up the tape fed out from the feeding roll with a take-up roll, and a tension roller is arranged on the tape feeding side upstream of the reciprocating mechanism, and the tape is fed out by displacement of the tension roller. The tape-type polishing device according to claim 1, characterized in that the roll is configured to operate intermittently.
回転軸と、この回転軸の端部においてその軸心から所定
の距離を以て配置したカムと、このカムに係合するよう
往復作動部側に配置したカムフォロワとから構成し、カ
ムの回転に対応して往復作動部が往復動作を行うように
したことを特徴とする特許請求の範囲第(1)項または
第(2)項記載のテープ式研磨装置。(3) The reciprocating mechanism includes a rotary shaft disposed on the fixed frame side, a cam disposed at an end of the rotary shaft at a predetermined distance from the axis, and a reciprocating portion side so as to engage with the cam. The tape according to claim 1 or 2, characterized in that the tape comprises a cam follower disposed in the cam, and the reciprocating part reciprocates in response to the rotation of the cam. Type polishing device.
して複数のカム取り付け部を形成し、カム取り付け位置
としてこれら複数のカム取り付け部のうちの何れかを選
択することにより、往復作動部の振幅を調整するように
したことを特徴とする特許請求の範囲第(3)項記載の
テープ式研磨装置。(4) By forming a plurality of cam attachment parts at different distances from the axis of the rotating shaft, and selecting any one of these cam attachment parts as the cam attachment position, the reciprocating part 3. The tape polishing device according to claim 3, wherein the amplitude of the polishing is adjusted.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29101989A JPH03228562A (en) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | Tape type polishing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29101989A JPH03228562A (en) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | Tape type polishing device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03228562A true JPH03228562A (en) | 1991-10-09 |
Family
ID=17763403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29101989A Pending JPH03228562A (en) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | Tape type polishing device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03228562A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07124853A (en) * | 1993-10-29 | 1995-05-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Polishing device for notch section of wafer |
JP2014018921A (en) * | 2012-07-19 | 2014-02-03 | Sanshin Co Ltd | Tape polishing apparatus |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP29101989A patent/JPH03228562A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07124853A (en) * | 1993-10-29 | 1995-05-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | Polishing device for notch section of wafer |
JP2014018921A (en) * | 2012-07-19 | 2014-02-03 | Sanshin Co Ltd | Tape polishing apparatus |
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