JPH03225851A - Semiconductor memory device - Google Patents
Semiconductor memory deviceInfo
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- JPH03225851A JPH03225851A JP2021528A JP2152890A JPH03225851A JP H03225851 A JPH03225851 A JP H03225851A JP 2021528 A JP2021528 A JP 2021528A JP 2152890 A JP2152890 A JP 2152890A JP H03225851 A JPH03225851 A JP H03225851A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、半導体記憶装置に関する。[Detailed description of the invention] <Industrial application field> The present invention relates to a semiconductor memory device.
〈従来の技術〉
近年の半導体記憶装置の進歩は著しいものがあり、RA
M、ROM、その他のメモリとも、3年に4倍づつ集積
度を増してきている。<Conventional technology> There has been remarkable progress in semiconductor memory devices in recent years, and RA
The density of M, ROM, and other memories is increasing fourfold every three years.
このような微細化につれて、製造工程でのクリーン度も
着実に向上してきているが、不良回路が生じることは避
けられず、冗長回路を設けておくことは重要である。特
に、量産初期においては冗長回路の果たす役割は大きい
。With such miniaturization, the cleanliness of the manufacturing process has steadily improved, but the occurrence of defective circuits is unavoidable, so it is important to provide redundant circuits. Especially in the early stages of mass production, redundant circuits play a large role.
〈発明が解決しようとする課題〉
ところで、不良回路が発生した場合にそれを正常な回路
と置換する冗長救済処理は製造工程における重要な処理
の一つであるが、従来の冗長救済技術では不良配線を正
常な回路から完全に切り離すことはしていないため、完
全良品に比べると冗長救済品の消費電力が大きくなると
いう問題があった。特に、センスアンプに接続された一
対のビット線がショートしている場合には、センス用の
NMO8)ランジスタが接続されたGNDレベルにある
信号線と、プルアップ用のPMOSトランジスタが接続
されたVccレベルにある信号線とがそれらのトランジ
スタと上記ビット線を介して導通し、vccからGND
に向かってDCパスができて余分な電流が流れ、消費電
力が大きくなるという問題があった。<Problems to be Solved by the Invention> By the way, redundancy relief processing, which replaces defective circuits with normal circuits when they occur, is one of the important processes in the manufacturing process. Since the wiring is not completely separated from normal circuits, there is a problem in that redundant relief products consume more power than completely non-defective products. In particular, if a pair of bit lines connected to the sense amplifier are short-circuited, the signal line at GND level connected to the sense NMO8) transistor and the Vcc connected to the pull-up PMOS transistor The signal line at the level is electrically connected through those transistors and the bit line, and from VCC to GND.
There was a problem in that a DC path was created towards the end, causing an extra current to flow, increasing power consumption.
そこで、この発明の目的は、ビット線が不良な場合には
その不良ビット線をそれにつながるセンスアンプから切
り離すことができるようにして、冗長救済品の消費電力
が増大することのない半導体記憶装置を提供することに
ある。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device in which when a bit line is defective, the defective bit line can be separated from the sense amplifier connected to it, and the power consumption of redundant relief products does not increase. It is about providing.
く課題を解決するための手段〉
上記目的を達成するため、第1の発明は、センスアンプ
を有する半導体記憶装置において、上記センスアンプを
駆動する信号線の一部または全部をヒユーズを介して上
記センスアンプに後続したことを特徴としている。Means for Solving the Problems> To achieve the above object, a first invention provides a semiconductor memory device having a sense amplifier, in which a part or all of the signal line for driving the sense amplifier is connected to the above through a fuse. It is characterized by following the sense amplifier.
また、第2の発明は、センスアンプを有する半導体記憶
装置において、上記センスアンプに接続されたビット線
が切断可能な部分を有することを特徴としている。Further, a second invention is a semiconductor memory device having a sense amplifier, characterized in that a bit line connected to the sense amplifier has a cuttable portion.
この、第2の発明は、上記切断可能な部分がヒユーズで
あるようにすることができる。In this second invention, the cuttable portion may be a fuse.
また、この第2の発明は、上記切断可能な部分が各セン
スアンプ毎に互いに接近して配置されているようにする
ことができる。Further, in the second invention, the cuttable portions can be arranged close to each other for each sense amplifier.
く作用〉
第1の発明においては、不良ビット線に接続されたセン
スアンプの上記ヒユーズを切断することにより、信号線
の一部または全部がそのセンスアンプから切り離される
。従って、信号線間でDCパスができないため余分な電
流が流れず、消費電力が大きくなること(よない。Effect> In the first invention, by cutting the fuse of the sense amplifier connected to the defective bit line, part or all of the signal line is separated from the sense amplifier. Therefore, since no DC path is formed between the signal lines, no extra current flows, resulting in increased power consumption.
また、第2の発明においては、不良ビット線の切断可能
な部分を切断することにより、第1の発明と同様、信号
線間でDCパスができないため余分な電流が流れず、消
費電力が大きくなることはない。In addition, in the second invention, by cutting the cuttable portion of the defective bit line, as in the first invention, no DC path is formed between the signal lines, so no excess current flows, and power consumption is increased. It won't happen.
また、上記切断可能な部分がヒユーズの場合は、不良ビ
ット線のヒユーズを切断することにより、上記と同様に
信号線間でDCパスができないため余分な電流が流れず
、消費電力が大きくなることはない。In addition, if the above cuttable part is a fuse, cutting the fuse of the defective bit line will prevent excess current from flowing and increase power consumption because a DC path cannot be created between the signal lines in the same way as above. There isn't.
また、上記切断可能な部分が各センスアンプ毎に互いに
接近して配置されている場合には、不良ビット線をまと
めて切断できるので切断処理が容易となる。Furthermore, if the cuttable portions are arranged close to each other for each sense amplifier, the defective bit lines can be cut all at once, making the cutting process easier.
〈実施例〉 以下、この発明を図示の実施例により詳細に説明する。<Example> Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to illustrated embodiments.
第1の発明の実施例
第1図は第1の発明の一実施例のDRAMの主要部を示
す回路図である。Embodiment of the First Invention FIG. 1 is a circuit diagram showing the main part of a DRAM according to an embodiment of the first invention.
この第1図において、lはセンスアンプ、2はメモリセ
ルアレイ、φp、φnは信号線、BL、BL#はビット
線である。このビット線の材料としては、例えばポリシ
リうンあるいはタングステンポリサイドが用いられる。In FIG. 1, l is a sense amplifier, 2 is a memory cell array, φp and φn are signal lines, and BL and BL# are bit lines. As the material for this bit line, for example, polysilicon or tungsten polycide is used.
上記センスアンプlのNMOSトランジスタ11.12
は上記信号線φnと接続されており、PMOS)ランジ
スタ13.14はヒユーズ15を介して上記信号線φp
と接続されている。また、上1己ビット線BLは上記N
MOS)ランジスタ11とPMOS)ランジスタ13と
の接続部に接続されており、上記ビット線BL#は上記
NMO8)ランノスタ12とPMOS)ランジスタ14
との接続部に接続されている。NMOS transistors 11 and 12 of the sense amplifier 1 above
is connected to the signal line φn, and the PMOS transistors 13 and 14 are connected to the signal line φp via the fuse 15.
is connected to. In addition, the upper bit line BL is
The bit line BL# is connected to the connection between the MOS) transistor 11 and the PMOS) transistor 13, and the bit line BL# is connected to the NMO 8) lannostar 12 and the PMOS) transistor 14.
is connected to the connection part.
第2図は第1図に示す回路を動作させるためのセンス信
号の変化を示したものである。FIG. 2 shows changes in the sense signal for operating the circuit shown in FIG. 1.
この第2図に示すように、スタンバイ状態においては通
常、信号線φpおよびφnは1/2V。。レベルであり
、ビット線BL、BL#も1/2Vccレベルにプリチ
ャージされている。そして、時刻t1でセンス動作が始
まると、まずφnが立ち下がり、NMOS)ランジスタ
11.12を介して、主にビット線の低レベル側が引き
下げられる。次いで、時刻t、にはφpが立ち上がり、
PMOSトランジスタ13.14を介して、高レベル側
のビット線がプルアップされる。As shown in FIG. 2, in the standby state, signal lines φp and φn are normally at 1/2V. . bit lines BL and BL# are also precharged to 1/2 Vcc level. Then, when the sensing operation starts at time t1, φn first falls, and mainly the low level side of the bit line is pulled down via the NMOS transistors 11 and 12. Next, at time t, φp rises,
The bit line on the high level side is pulled up via PMOS transistors 13 and 14.
もし、ビット線同士がショートしていると、時刻t、以
降はセンスアンプ!のトランジスタII。If the bit lines are short-circuited, at time t, the sense amplifier is switched on. Transistor II.
12.13.14を介して信号線φpから信号線φnへ
DCパスができ、消費電流が増大してしまう。A DC path is created from the signal line φp to the signal line φn via lines 12, 13, and 14, resulting in an increase in current consumption.
そこで、そのような不良ビット線がある場合は、冗長救
済後ヒユーズ15を切断して、信号線φpとセンスアン
プiを切り離しておけば、時刻t、以降もDCパスが発
生することなく消費電流の増大が抑えられる。Therefore, if there is such a defective bit line, if the fuse 15 is cut off after redundancy relief and the signal line φp and the sense amplifier i are separated, the current consumption will be reduced without any DC path occurring from time t onwards. increase is suppressed.
本実施例においてはヒユーズを信号線φρ側にだけ設け
たが、ヒユーズを信号線φn側にだけ設けた場合でも、
信号線φp側とφn側の両方に設けた場合でも同様の効
果を得ることができる。In this embodiment, the fuse is provided only on the signal line φρ side, but even if the fuse is provided only on the signal line φn side,
A similar effect can be obtained even when provided on both the signal line φp side and φn side.
なお、冗長救済によって複数のビット線がまとめて置換
される場合は、そのまとまり毎に1個のヒユーズを設け
ておけば十分である。−1lq良丸旦叉胤賎
第3図はこの発明の第1の実施例のRAMの主要部を示
す回路図である。Note that when a plurality of bit lines are replaced at once by redundancy relief, it is sufficient to provide one fuse for each group. Figure 3 is a circuit diagram showing the main part of the RAM according to the first embodiment of the present invention.
この第3図において、31はセンスアンプ、32はヒユ
ーズ、33はメモリセルアレイ、BL、BL#はビット
線である。In FIG. 3, 31 is a sense amplifier, 32 is a fuse, 33 is a memory cell array, and BL and BL# are bit lines.
上記センスアンプ31は第1図に示すセンスアンプ1と
同様の回路構成をしている。但し、信号線とセンスアン
プとの間にはヒユーズは設けられていない。The sense amplifier 31 has the same circuit configuration as the sense amplifier 1 shown in FIG. However, no fuse is provided between the signal line and the sense amplifier.
従って、ビット線BL、BL#がショートしていると、
第1図の場合と同様にして、それらのトランジスタを介
してVccからGNDに向かってDCパスができ、消費
電流が増大してしまう。Therefore, if the bit lines BL and BL# are shorted,
Similar to the case of FIG. 1, a DC path is created from Vcc to GND through these transistors, resulting in an increase in current consumption.
そこで、そのような不良ビット線がある場合は、冗長救
済後その不良ビット線のヒユーズ32を切断して、不良
ビット線とセンスアンプ31を切り雌しておけば、セン
不動作時にセンスアンプ31でDCバスが発生すること
なく消費電流の増大が抑えられる。Therefore, if there is such a defective bit line, if the fuse 32 of the defective bit line is cut after redundancy relief and the defective bit line and the sense amplifier 31 are disconnected, the sense amplifier 31 will be disconnected when the sensor is not operating. Therefore, an increase in current consumption can be suppressed without generating a DC bus.
尚、上記ヒユーズ32は、ビット線と別の層で構成して
も良いが、ビット線自身を切断することが可能であれば
、切断に必要なスペースさえ確保すれば、特にヒユーズ
用の素子を構成する必要がない。Note that the fuse 32 may be constructed in a layer separate from the bit line, but if the bit line itself can be cut, as long as the space necessary for cutting is secured, it is possible to No need to configure.
第4Eはこの発明の第2の実施例のRAMの主要部を示
す回路図である。4E is a circuit diagram showing the main part of the RAM according to the second embodiment of the present invention.
この実施例のRAMは第1の実施例のRAMにおけるヒ
ユーズ32を設ける代わりに、各センスアンプ31のビ
ット線BL、BL#を各センスアンプ毎に2本まとめて
切断しやすいように切断可能な部分34を第4図に示す
ようにレイアウトしたものである。In the RAM of this embodiment, instead of providing the fuse 32 in the RAM of the first embodiment, the bit lines BL and BL# of each sense amplifier 31 can be easily cut into two lines for each sense amplifier. The portion 34 is laid out as shown in FIG.
従って、第1の実施例のRAMと同様に消費電流の増大
が抑えられ、更にビット線の切断処理が容易となる。Therefore, similar to the RAM of the first embodiment, an increase in current consumption is suppressed, and furthermore, the bit line cutting process is facilitated.
〈発明の効果〉
以上より明らかなように、第1の発明の半導体記憶装置
は、センスアンプを駆動する信号線の一部または全部を
ヒユーズを介して上記センスアンプに接続するようにし
ているので、不良ビット線がある場合にその不良ビット
線に接続されたセンスアンプを上記ヒユーズを切断して
信号線から切り離すことにより、センス動作時にセンス
アンプでDCパスが発生することなく消費電流の増大が
抑えられる。<Effects of the Invention> As is clear from the above, in the semiconductor memory device of the first invention, part or all of the signal line for driving the sense amplifier is connected to the sense amplifier via a fuse. If there is a defective bit line, by cutting the fuse and separating the sense amplifier connected to the defective bit line from the signal line, an increase in current consumption can be achieved without generating a DC path in the sense amplifier during sensing operation. It can be suppressed.
また、第2の発明の半導体記憶装置は、センスアンプに
接続されたビット線が切断可能な部分を有しているので
、不良ビット線がある場合に、この不良ビット線の切断
可能な部分を切断することにより、第1の発明と同様の
効果がある。Further, in the semiconductor memory device of the second invention, since the bit line connected to the sense amplifier has a cuttable portion, if there is a defective bit line, the cuttable portion of the defective bit line can be removed. By cutting, the same effect as the first invention can be obtained.
また、この第2の発明の半導体記憶装置は、上記切断可
能な部分を各センスアンプ毎に互いに接近して配置する
ことにより、上記の効果に加えて、ビット線の切断処理
を容易にすることができる。Further, in the semiconductor memory device of the second invention, by arranging the cuttable portions close to each other for each sense amplifier, in addition to the above effects, the bit line cutting process can be facilitated. I can do it.
第1図は第1の発明の一実施例のRAMの主要部回路図
、第2図は上記実施例におけるセンス信号の変化を示す
図、第3図は第2の発明の第1の実施例のRAMの主要
部回路図、第4図は第2の発明の第2の実施例のRAM
の主要部回路図である。
1.31・・・センスアンプ、
2.33・・・メモリセルアレイ、
11.12・・・NMO5)ランジスタ、13.14・
・・PMOSトランジスタ、15.32・・・ヒユーズ
、34・・・切断可能部、φp、φn・・・信号線、B
L、BL#・・・ビット線。FIG. 1 is a circuit diagram of the main part of a RAM according to an embodiment of the first invention, FIG. 2 is a diagram showing changes in the sense signal in the above embodiment, and FIG. 3 is a diagram of the first embodiment of the second invention. FIG. 4 is a circuit diagram of the main part of the RAM of the second embodiment of the second invention.
FIG. 2 is a circuit diagram of the main parts. 1.31...Sense amplifier, 2.33...Memory cell array, 11.12...NMO5) transistor, 13.14...
...PMOS transistor, 15.32...fuse, 34...cuttable part, φp, φn...signal line, B
L, BL#...Bit line.
Claims (2)
上記センスアンプを駆動する信号線の一部または全部を
ヒューズを介して上記センスアンプに接続したことを特
徴とする半導体記憶装置。(1) In a semiconductor memory device having a sense amplifier,
A semiconductor memory device characterized in that part or all of the signal line for driving the sense amplifier is connected to the sense amplifier via a fuse.
上記センスアンプに接続されたビット線が切断可能な部
分を有することを特徴とする半導体記憶装置。(2) In a semiconductor memory device having a sense amplifier,
A semiconductor memory device characterized in that the bit line connected to the sense amplifier has a cuttable portion.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021528A JPH03225851A (en) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | Semiconductor memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021528A JPH03225851A (en) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | Semiconductor memory device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03225851A true JPH03225851A (en) | 1991-10-04 |
Family
ID=12057458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021528A Pending JPH03225851A (en) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | Semiconductor memory device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03225851A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5596542A (en) * | 1994-09-30 | 1997-01-21 | Nec Corporation | Semiconductor memory device having dual word line configuration |
JP2006079695A (en) * | 2004-09-08 | 2006-03-23 | Toshiba Corp | Nonvolatile semiconductor memory device |
US7239548B2 (en) | 2004-12-24 | 2007-07-03 | Spansion Llc | Method and apparatus for applying bias to a storage device |
-
1990
- 1990-01-30 JP JP2021528A patent/JPH03225851A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5596542A (en) * | 1994-09-30 | 1997-01-21 | Nec Corporation | Semiconductor memory device having dual word line configuration |
JP2006079695A (en) * | 2004-09-08 | 2006-03-23 | Toshiba Corp | Nonvolatile semiconductor memory device |
US7239548B2 (en) | 2004-12-24 | 2007-07-03 | Spansion Llc | Method and apparatus for applying bias to a storage device |
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