JPH0321966B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0321966B2 JPH0321966B2 JP56167514A JP16751481A JPH0321966B2 JP H0321966 B2 JPH0321966 B2 JP H0321966B2 JP 56167514 A JP56167514 A JP 56167514A JP 16751481 A JP16751481 A JP 16751481A JP H0321966 B2 JPH0321966 B2 JP H0321966B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic
- tape
- electrical resistance
- ferromagnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、高密度、高分解能の磁気記録媒体
に関するものである。
に関するものである。
近年、磁気記録技術の進展に伴ない、高密度、
高分解能のものが望まれており、小型VTRやカ
メラ一体型VTR、さらにPCM対応録音機などが
提案されるにつれて、それらに用いるための新し
い磁気記録媒体が必要になつてきている。
高分解能のものが望まれており、小型VTRやカ
メラ一体型VTR、さらにPCM対応録音機などが
提案されるにつれて、それらに用いるための新し
い磁気記録媒体が必要になつてきている。
こうした状況下にあつて、真空技術を用いた薄
膜型の磁気記録媒体が注目されている。中でも蒸
着、イオンプレーテイング、スパツタリングなど
によつて非磁性の基体上に直接強磁性層を形成し
て磁気記録媒体とする方法については広く実用化
のための研究が進んでいる。
膜型の磁気記録媒体が注目されている。中でも蒸
着、イオンプレーテイング、スパツタリングなど
によつて非磁性の基体上に直接強磁性層を形成し
て磁気記録媒体とする方法については広く実用化
のための研究が進んでいる。
しかるに上記蒸着テープをオーデイオテープ用
として設計する際に考慮すべき特性には種々ある
が、表面電気抵抗、ステイフネスなどは重要な項
目である。電気抵抗については、元来塗布タイプ
の磁気テープは主に酸化鉄と高分子バインダーか
ら磁性層が形成されているため、電気抵抗は109
Ω以上の高い値になつていた。このために電気抵
抗値が問題となるのは、走行によつて各所に生じ
る帯電がテープから逃げにくく、いわゆる放置ノ
イズとして音声信号に重なり、耳ざわりであるこ
とが主であつた。この点を解決するために磁性塗
料に導電性材料を混合したり、逆に導電性の薄膜
をベース裏面に設けるなどしてテープ全体として
の電気抵抗を下げる技術が実用化されている。
として設計する際に考慮すべき特性には種々ある
が、表面電気抵抗、ステイフネスなどは重要な項
目である。電気抵抗については、元来塗布タイプ
の磁気テープは主に酸化鉄と高分子バインダーか
ら磁性層が形成されているため、電気抵抗は109
Ω以上の高い値になつていた。このために電気抵
抗値が問題となるのは、走行によつて各所に生じ
る帯電がテープから逃げにくく、いわゆる放置ノ
イズとして音声信号に重なり、耳ざわりであるこ
とが主であつた。この点を解決するために磁性塗
料に導電性材料を混合したり、逆に導電性の薄膜
をベース裏面に設けるなどしてテープ全体として
の電気抵抗を下げる技術が実用化されている。
しかしながら、蒸着テープなどの場合、磁性層
は金属あるいは合金から構成され、高分子バイン
ダーなどを含まないので、電気抵抗が極端に低く
なり、このためヘツド周囲のシール性の悪いデツ
キなどでは録音時に問題を生じることがある。す
なわち、電気抵抗が極めて低いテープを、いわゆ
る３ヘツドタイプと称されるデツキで使用した場
合、消去ヘツド、録音ヘツド、再生ヘツド間の回
路が、録音ヘツドで発生するバイアス磁界や、消
去ヘツドからの消去磁界に誘起されて、再生ヘツ
ドにノイズをひき起すことが判つている。
は金属あるいは合金から構成され、高分子バイン
ダーなどを含まないので、電気抵抗が極端に低く
なり、このためヘツド周囲のシール性の悪いデツ
キなどでは録音時に問題を生じることがある。す
なわち、電気抵抗が極めて低いテープを、いわゆ
る３ヘツドタイプと称されるデツキで使用した場
合、消去ヘツド、録音ヘツド、再生ヘツド間の回
路が、録音ヘツドで発生するバイアス磁界や、消
去ヘツドからの消去磁界に誘起されて、再生ヘツ
ドにノイズをひき起すことが判つている。
このような現象は、例えば、特開昭56−47924
号公報にも開示されているところである。そこ
で、上述したような問題は、デツキを製造する際
に配慮すればほとんど回避することが可能である
と思われるが、磁気テープの製造上からも改善が
望まれているところである。さらに上記ノイズの
多くは磁気テープ表面の電気抵抗を高めることに
よつて低減できるものであり、その一つの解決法
として前出の特開昭56−47924号公報に開示され
た如く、連続体である薄膜磁性層にクラツクを設
けて部分的に不連続部分である絶縁層をつくるこ
とが提案されており、ある程度有効であるとして
も薄膜磁性層にクラツクを連続的に再現性よく形
成する技術は極めて困難である。また、蒸着テー
プでは、蒸着金属ないし、合金の薄膜磁性層がそ
の内部応力で反りを招きかつテープ基体（ベース
フイルム）への付着性に改善の余地がある。
号公報にも開示されているところである。そこ
で、上述したような問題は、デツキを製造する際
に配慮すればほとんど回避することが可能である
と思われるが、磁気テープの製造上からも改善が
望まれているところである。さらに上記ノイズの
多くは磁気テープ表面の電気抵抗を高めることに
よつて低減できるものであり、その一つの解決法
として前出の特開昭56−47924号公報に開示され
た如く、連続体である薄膜磁性層にクラツクを設
けて部分的に不連続部分である絶縁層をつくるこ
とが提案されており、ある程度有効であるとして
も薄膜磁性層にクラツクを連続的に再現性よく形
成する技術は極めて困難である。また、蒸着テー
プでは、蒸着金属ないし、合金の薄膜磁性層がそ
の内部応力で反りを招きかつテープ基体（ベース
フイルム）への付着性に改善の余地がある。
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたも
のであり、非磁性基体と；該非磁性基体の上に形
成された非磁性中間層と；該非磁性中間層の上に
形成されかつ３層以上の強磁性層とそれぞれの強
磁性層を構成する強磁性材を酸化した酸化物層と
の交互積層体である磁性層と；からなる磁気記録
媒体を提出し、磁性層での最上層がその強磁性体
の酸化物からなるものは表面電気抵抗が高くする
ことができ、ノイズが改善されると共に電磁変換
特性もすぐれた磁気記録媒体となるものである。
さらに、中間層をアルミニウム（Al）、SiOx（ｘ
＝1.0〜2.0）やチタン（Ti）などの非磁性材料で
蒸着法ないしスパツタリング法で基体（テープベ
ースフイルム）上に直接に、磁性層の形成前に、
堆積形成することによつて、蒸着金属（合金）と
は反対の反りを中間層に与えてカツピング性を改
善し、かつ基体のテープフイルムのステイフネス
（剛性）を改善することができる。
のであり、非磁性基体と；該非磁性基体の上に形
成された非磁性中間層と；該非磁性中間層の上に
形成されかつ３層以上の強磁性層とそれぞれの強
磁性層を構成する強磁性材を酸化した酸化物層と
の交互積層体である磁性層と；からなる磁気記録
媒体を提出し、磁性層での最上層がその強磁性体
の酸化物からなるものは表面電気抵抗が高くする
ことができ、ノイズが改善されると共に電磁変換
特性もすぐれた磁気記録媒体となるものである。
さらに、中間層をアルミニウム（Al）、SiOx（ｘ
＝1.0〜2.0）やチタン（Ti）などの非磁性材料で
蒸着法ないしスパツタリング法で基体（テープベ
ースフイルム）上に直接に、磁性層の形成前に、
堆積形成することによつて、蒸着金属（合金）と
は反対の反りを中間層に与えてカツピング性を改
善し、かつ基体のテープフイルムのステイフネス
（剛性）を改善することができる。
以下、この発明による実施例を添付した図面に
もとづいて詳細に説明する。
もとづいて詳細に説明する。
実施例
第４図に示すように、15μｍ厚さのポリエチレ
ンテレフタレートのベースフイルム（テープ）１
を用意し、その上に真空蒸着法によつてアルミニ
ウムの中間層２を厚さ25nｍで形成した。次に、
強磁性材のコバルト・ニツケル（Co−Ni）を斜
め蒸着法によつて、冷却キヤン（ドラム）に接触
させて走行するテープのアルミニウム中間層２の
上に強磁性層（Co−Ni層）A1を形成した。この
斜め蒸着法において、蒸着流の最小（又は最大）
入射角付近の部分に酸素（O2）ガスを添加して
Co−Ni層蒸着形成終了近くではCo−Niの酸化物
を蒸着させて酸化物層B1を形成した。蒸着は圧
力を３×10-3Pa（約２×10-5Torr）にし、電子ビ
ーム（EB）にてCo−Niを加熱・溶解して蒸着流
を発生させ、冷却キヤンを０℃に維持した。得ら
れるCo−Ni層A1のテープ長さ方向の保磁力を約
6000e以上となるようした。このようなCo−Ni層
および酸化物層の蒸着形成を繰り返して（２回、
３回、４回および５回の繰り返しで）磁性層３を
形成した。なお、第４図においては、３回繰り返
した３層構造を示す。磁性層３の厚さを200nｍ
一定となるように、Co−Ni層および酸化物層の
厚さを多層構造に応じて決めた。例えば、３層構
造（第４図）であれば、Co−Ni層A1を50nｍと
し、A2およびA3を60nｍとし、酸化物層B1，B2，
B3を10nｍとした。また、４層構造であれば、Co
−Ni層A1〜A4を40nｍとし、酸化物層B1〜B4を
10nｍとした。
ンテレフタレートのベースフイルム（テープ）１
を用意し、その上に真空蒸着法によつてアルミニ
ウムの中間層２を厚さ25nｍで形成した。次に、
強磁性材のコバルト・ニツケル（Co−Ni）を斜
め蒸着法によつて、冷却キヤン（ドラム）に接触
させて走行するテープのアルミニウム中間層２の
上に強磁性層（Co−Ni層）A1を形成した。この
斜め蒸着法において、蒸着流の最小（又は最大）
入射角付近の部分に酸素（O2）ガスを添加して
Co−Ni層蒸着形成終了近くではCo−Niの酸化物
を蒸着させて酸化物層B1を形成した。蒸着は圧
力を３×10-3Pa（約２×10-5Torr）にし、電子ビ
ーム（EB）にてCo−Niを加熱・溶解して蒸着流
を発生させ、冷却キヤンを０℃に維持した。得ら
れるCo−Ni層A1のテープ長さ方向の保磁力を約
6000e以上となるようした。このようなCo−Ni層
および酸化物層の蒸着形成を繰り返して（２回、
３回、４回および５回の繰り返しで）磁性層３を
形成した。なお、第４図においては、３回繰り返
した３層構造を示す。磁性層３の厚さを200nｍ
一定となるように、Co−Ni層および酸化物層の
厚さを多層構造に応じて決めた。例えば、３層構
造（第４図）であれば、Co−Ni層A1を50nｍと
し、A2およびA3を60nｍとし、酸化物層B1，B2，
B3を10nｍとした。また、４層構造であれば、Co
−Ni層A1〜A4を40nｍとし、酸化物層B1〜B4を
10nｍとした。
以上の条件で非磁性中間層と多層構造の磁性層
の蒸着膜を形成した。このときの磁性層の強磁性
層数と感度の関係は第１図に示すようになつた。
図において、感度は幅3.8mmに切断したカセツト
テープの形にし、4.75cm／secで333Hzの相対出力
を示した。これによると層数が１ないし２の場合
は、このテープはあまり良い感度を示さないが、
これに対して３層以上の強磁性層からなるテープ
はそれよりすぐれた感度を示すことが明らかにな
つた。
の蒸着膜を形成した。このときの磁性層の強磁性
層数と感度の関係は第１図に示すようになつた。
図において、感度は幅3.8mmに切断したカセツト
テープの形にし、4.75cm／secで333Hzの相対出力
を示した。これによると層数が１ないし２の場合
は、このテープはあまり良い感度を示さないが、
これに対して３層以上の強磁性層からなるテープ
はそれよりすぐれた感度を示すことが明らかにな
つた。
つぎに、第４図に示したサンプルをつくる際
に、最上層を含めたコバルト・ニツケルの酸化物
層蒸着時に、酸素分圧をいくつかの圧力として酸
化の度合いの異なるサンプルを得た。ただし、こ
の時、強磁性層（Co−Ni層）の保磁力は同様に
概ね6000e以上になるように斜め蒸着の際の入射
角を調整した。上述したようにして得られたサン
プルの最上層形成時の酸素分圧とテープ表面の電
気抵抗は第２図に示したようになつた。ここで電
気抵抗とはテープを幅3.8mm、長さ20cmにしてそ
の両端で測定した電気抵抗をいう。なお、得られ
たサンプルについて酸化の度合いとノイズの関係
を調べると、上述のように表面電気抵抗が低く、
導電性のあるテープは３ヘツドタイプのデツキ
で、ヘツドのシールを悪くしたものは、録音同時
再生時に、再生信号に含まれるノイズが単に再生
した場合に比べて大きくなるのだが、酸化物の最
上層を形成することによつてこの緩和がなされる
ものである。すなわち両ノイズレベルの差をテー
プ表面の電気抵抗との関係で示せば第３図のよう
になる。
に、最上層を含めたコバルト・ニツケルの酸化物
層蒸着時に、酸素分圧をいくつかの圧力として酸
化の度合いの異なるサンプルを得た。ただし、こ
の時、強磁性層（Co−Ni層）の保磁力は同様に
概ね6000e以上になるように斜め蒸着の際の入射
角を調整した。上述したようにして得られたサン
プルの最上層形成時の酸素分圧とテープ表面の電
気抵抗は第２図に示したようになつた。ここで電
気抵抗とはテープを幅3.8mm、長さ20cmにしてそ
の両端で測定した電気抵抗をいう。なお、得られ
たサンプルについて酸化の度合いとノイズの関係
を調べると、上述のように表面電気抵抗が低く、
導電性のあるテープは３ヘツドタイプのデツキ
で、ヘツドのシールを悪くしたものは、録音同時
再生時に、再生信号に含まれるノイズが単に再生
した場合に比べて大きくなるのだが、酸化物の最
上層を形成することによつてこの緩和がなされる
ものである。すなわち両ノイズレベルの差をテー
プ表面の電気抵抗との関係で示せば第３図のよう
になる。
ここでノイズレベルは333Hzのノイズ成分であ
る。
る。
上記第３図によると、200Ωを越える表面電気
抵抗のテープはノイズレベル差は1dB以下とな
り、実用上に問題はない。このとき、感度は数10
Ωのサンプルに比べて1dB程度低くなつたにとど
まつたので、テープのSN比はノイズレベル差が
なくなつた分だけ改善されたことになり、実用上
問題のない範囲となつた。
抵抗のテープはノイズレベル差は1dB以下とな
り、実用上に問題はない。このとき、感度は数10
Ωのサンプルに比べて1dB程度低くなつたにとど
まつたので、テープのSN比はノイズレベル差が
なくなつた分だけ改善されたことになり、実用上
問題のない範囲となつた。
なお、ノイズレベル差のこの傾向はオーデイオ
周波数領域のどこでも同じであつた。また強磁性
層が４層以上の場合でも、200Ω以上の抵抗にな
るとこの発明の実施例と同様にノイズレベル差は
2dB以下となる。
周波数領域のどこでも同じであつた。また強磁性
層が４層以上の場合でも、200Ω以上の抵抗にな
るとこの発明の実施例と同様にノイズレベル差は
2dB以下となる。
以上詳細に説明したように、この発明による磁
気記録媒体は、蒸着テープを実用化する上で不可
避なノイズの問題を解決したものであり、工業的
効果は顕著である。さらに、アルミニウムなどの
中間層を蒸着する際に該アルミニウム蒸着層に生
じる内部応力によつて基体（テープ）と共に反る
が、強磁性（Co−Ni）層の蒸着で生じる該強磁
性層内部応力とは反対方向の応力で反り方も逆で
あるために、結果として相殺されて蒸着テープ
（磁気記録媒体）としては反り発生が従来よりも
大幅に小さくできる。また、中間層の形成はテー
プ（基体）のステイフネスを向上させ（すなわ
ち、腰を強くして）、磁気ヘツド当りなどを改善
する。
気記録媒体は、蒸着テープを実用化する上で不可
避なノイズの問題を解決したものであり、工業的
効果は顕著である。さらに、アルミニウムなどの
中間層を蒸着する際に該アルミニウム蒸着層に生
じる内部応力によつて基体（テープ）と共に反る
が、強磁性（Co−Ni）層の蒸着で生じる該強磁
性層内部応力とは反対方向の応力で反り方も逆で
あるために、結果として相殺されて蒸着テープ
（磁気記録媒体）としては反り発生が従来よりも
大幅に小さくできる。また、中間層の形成はテー
プ（基体）のステイフネスを向上させ（すなわ
ち、腰を強くして）、磁気ヘツド当りなどを改善
する。
なお、実施例に示した中間層、強磁性層および
酸化物層の形成において、その方法がこの発明に
よる主旨を逸脱しない範囲で変更することは可能
であり、イオンプレーテイングやスパツタリング
なども用い得るものである。特に、酸素雰囲気と
電気抵抗との関係については、その他の条件、例
えば蒸発速度、基体の移動速度などが影響を与え
るので、この発明の有効な範囲を限定するもので
はない。
酸化物層の形成において、その方法がこの発明に
よる主旨を逸脱しない範囲で変更することは可能
であり、イオンプレーテイングやスパツタリング
なども用い得るものである。特に、酸素雰囲気と
電気抵抗との関係については、その他の条件、例
えば蒸発速度、基体の移動速度などが影響を与え
るので、この発明の有効な範囲を限定するもので
はない。
第１図は本発明に係る磁気記録媒体（蒸着磁気
テープ）の部分拡大断面図、第２図はこの発明の
実施例で得られた磁気テープの磁性層の強磁性層
数と感度の関係図、第３図は３層構造磁性層での
酸化物層を形成する際の真空槽内の酸化分圧とで
きあがつたテープ表面の電気抵抗との関係図、お
よび第４図は最上層が酸化物層となつている３層
構造の磁性層である場合の表面電気抵抗とノイズ
レベル差の関係図である。
テープ）の部分拡大断面図、第２図はこの発明の
実施例で得られた磁気テープの磁性層の強磁性層
数と感度の関係図、第３図は３層構造磁性層での
酸化物層を形成する際の真空槽内の酸化分圧とで
きあがつたテープ表面の電気抵抗との関係図、お
よび第４図は最上層が酸化物層となつている３層
構造の磁性層である場合の表面電気抵抗とノイズ
レベル差の関係図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 非磁性基体１と； 該非磁性基体１の上に形成された非磁性中間層
２と； 該非磁性中間層２の上に形成されかつ３層以上
の強磁性層A1，〜A3とそれぞれの強磁性層を構
成する強磁性材を酸化した酸化物層B1，〜B3と
の交互積層体である磁性層３と； からなる磁気記録媒体。 ２ 前記磁気記録媒体において、幅3.8mm、長さ
20cmの両端で測定した電気抵抗が200Ω以上であ
ることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56167514A JPS5870421A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56167514A JPS5870421A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5870421A JPS5870421A (ja) | 1983-04-26 |
| JPH0321966B2 true JPH0321966B2 (ja) | 1991-03-25 |
Family
ID=15851090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56167514A Granted JPS5870421A (ja) | 1981-10-20 | 1981-10-20 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5870421A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6056916U (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-20 | 大日本印刷株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JPS6056915U (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-20 | 大日本印刷株式会社 | 磁気記録媒体 |
| JP2002367135A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5720920A (en) * | 1980-07-14 | 1982-02-03 | Sekisui Chem Co Ltd | Magnetic recording medium and its manufacture |
-
1981
- 1981-10-20 JP JP56167514A patent/JPS5870421A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5870421A (ja) | 1983-04-26 |
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