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JPH03200939A - 光波長変換装置 - Google Patents

光波長変換装置

Info

Publication number
JPH03200939A
JPH03200939A JP6373190A JP6373190A JPH03200939A JP H03200939 A JPH03200939 A JP H03200939A JP 6373190 A JP6373190 A JP 6373190A JP 6373190 A JP6373190 A JP 6373190A JP H03200939 A JPH03200939 A JP H03200939A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wavelength conversion
conversion element
optical
fundamental wave
optical wavelength
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6373190A
Other languages
English (en)
Inventor
Takayuki Kato
隆之 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP6373190A priority Critical patent/JPH03200939A/ja
Priority to US07/597,601 priority patent/US5049762A/en
Publication of JPH03200939A publication Critical patent/JPH03200939A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、基本波を第2高調波や和周波、差周波等に波
長変換する光波長変換装置、特に詳細には、有機非線形
光学材料を用いた光波長変換素子により波長変換を行な
う光波長変換装置に関するものである。
(従来の技術) 従来より、非線形光学材料を利用して、レーザー光を第
2高調波等に波長変換(短波長化)する試みが種々なさ
れている。このようにして波長変換を行なう光波長変換
素子として、具体的には、例えば「光エレクトロニクス
の基礎JA、YARIV著、多田邦雄、神谷武志訳(丸
善株式会社)のp200〜204に示されるようなバル
ク結晶型のものがよく知られている。ところがこの光波
長変換素子は、位相整合条件を満たすために結晶の複屈
折を利用するので、非線形性が大きくても複屈折性が無
い材料あるいは小さい材料は利用できない、という問題
があった。
上記のような問題を解決できる光波長変換素子として、
いわゆるファイバー型のものが提案されている。この光
波長変換素子は、クラッド内に非線形光学材料からなる
コアが充てんされた光ファイバーであり、応用物理学会
懇話会微小光学研究グループ機関誌VOL、 3. N
(12,p28〜32にはその一例が示されている。こ
のファイバー型の光波長変換素子は、基本波と波長変換
波との間の位相整合をとることも容易であるので、最近
ではこのファイバー型光波長変換素子についての研究が
盛んになされている。また、例えば本出願人による特開
昭63−15233号、同63−15234号公報に示
されるように、クラッド層となる2枚の基板の間に非線
形光学材料からなるスラブ状先導波路を形成した、2次
元光導波路型の光波長変換素子も知られている。さらに
は、クラッド層となる1枚の基板内に非線形光学材料か
らなる3次元光導波路を埋め込んだ、3次元光導波路型
の光波長変換素子も知られている。この先導波路型の光
波長変換素子も、上述のような特長を有している。
ところで、近時、これらファイバー型、先導波路型の光
波長変換素子において、非線形光学材料として単結晶の
有機非線形光学材料を用いる提案が種々なされている。
この有機非線形光学材料は、無機材料に比べて非線形光
学定数が極めて大きいので、この有機非線形光学材料を
用いれば高い波長変換効率を得ることが可能となるので
ある。この有機非線形光学材料としては、例えば特開昭
60−250334号公報及び” N onllner
 Optlcat  P roperties of 
 Organic and  P olymerlcM
aterials”AC8SYMPO8IUM  5E
RIES  223. Davld J、 Willl
aws編(American Che@1cal 5o
ciety、  1983年刊)「有機非線形光学材料
」加藤政雄、中西へ部監修(シー・エム◆シー社、19
85年刊)、“Non1lnear  0ptical
  Propertlesof  OrganicMo
lecules and  Crystals ” D
、  S、CheslaおよびJ、Zyss編(Aca
demicPress  Inc。
1987年刊) 、R,T、  Ba1ley等による
The  Quallty and  Perform
ance or TheOrganle  Non−L
lnear 0ptical  Material(−
)  2−  Ca −Methylbenzylas
lno)  −5−N1tropYridine (M
BA−NP) ’  (Optics Cowmunl
catlons、  Vol、 65. NoJ 、 
 P229 )等に示されるMNA (2−メチル−4
−ニトロアニリン) 、mNA (メタニトロアニリン
)、POM(3−メチル−4−二トロビリジン−1−オ
キサイド)、尿素、NPP [N−(4−ニトロフェニ
ル)−(S)−プロリノール] 、NPAN (2−[
N−(4−ニトロフェニル)−N−メチルアミノコアセ
トニトリル) 、DAN (2−ジメチルアミノ−5−
ニトロアセトアニリド) 、MBA−NP [2−N 
(α−メチルベンジルアミノ)−5−二トロビリジン]
さらには特開昭62−210432号公報に示される3
、5−ジメチル−1−(4−ニトロフェニル)ピラゾー
ル、3. 5−ジメチル−1−(4−ニトロフェニル)
−1,2゜4−トリアゾール、2−エチル−1−(4−
ニトロフェニル)イミダゾール、1−(4−ニトロフェ
ニル)ピロール、2−ジメチルアミノ1−5−ニトロア
セトアニリド、5−ニトロ−2−ピロリジノアセトアニ
リド、3−メチル−4−ニトロピリジン−N−オキシド
等が挙げられる。例えばMNAは、無機非線形光学材料
であるLiNbO3に比べると2000倍程度高い波長
変換効率を有するので、この有機非線形光学材料を用い
て光波長変換素子を形成すれば、一般的な小型かつ低コ
ストの半導体レーザーからの赤外レーザー光を基本波と
して第2高調波等を発生させることにより、青領域の短
波長レーザー光を得ることも可能となる。
(発明が解決しようとする課題) ところが、上述の有機非線形光学材料によって光ファイ
バーのコア、あるいは先導波路を構成して得られたファ
イバー型あるいは光導波路型の光波長変換素子にあって
は、従来、波長変換効率および基本波の入射結合効率が
時間経過にともなって著しく悪化する、という問題が認
められていた。
すなわち、光波長変換素子を構成する有機非線形光学材
料は、その端面において周囲の空気等の雰囲気と接する
ので、この部分から昇華して単結晶部分が短くなり、あ
るいは変成して単結晶でなくなってしまって上述の問題
を招くのである。また、基板の表面部分に先導波路を埋
め込んでなる3次元光導波路型の光波長変換素子にあっ
ては、上記の端面のみならず、表面も周囲雰囲気と接す
ることになるので、上述の問題がより発生しやすい。
そこで本発明は、上記の問題を解決しうる光波長変換装
置を提供することを目的とするものである。
(課題を解決するための手段及び作用)本発明の光波長
変換装置は、先に述べたような有機非線形光学材料を用
いたファイバー型あるいは先導波路型の光波長変換素子
と、基本波を発生する光源と、基本波を光波長変換素子
の有機非線形光学材料内に入射させる入射光学系とを有
する光波長変換装置において、 上記光波長変換素子を、入射光学系から出射した基本波
を透過させる透明窓と、光波長変換素子から出射した波
長変換波を透過させる透明窓とを備えた密閉容器内に収
納し、 そしてこの密閉容器内に不活性媒体を充填させたことを
特徴とするものである。
上記の構成においては、有機非線形光学材料の端面等の
露出した部分は不活性媒体と接するようになるから、前
述した昇華や変成が防止される。
なおさらに好ましくは、本出願人による特願昭62−3
09145号明細書に開示されているように有機非線形
光学材料の端面等に、この面と不活性媒体とを遮断する
遮断層を設ける。上述のように有機非線形光学材料が不
活性媒体と接するようにしておいても、空気等と接する
場合に比べれば極めて進行が遅いものの、前述の昇華や
変成が生じることがある。しかし、上記のような遮断層
が設けられていれば、有機非線形光学材料の端面等は不
活性媒体とさえも直接接しなくなるので、前述した昇華
あるいは変成がより確実に防止される。また、遮断層が
有機樹脂のように安定性に問題がある場合でも、周囲が
不活性媒体によって覆われているため遮断層が雰囲気に
よって劣化する(例えば、樹脂の場合は水蒸気を吸収し
て変形してしまう、または、酸化等により樹脂の物性が
劣化してしまう)ことを防ぐことができる。
なお、光波長変換素子とともに上記の光源や入射光学系
も密閉容器内に収納することが考えられ、そのようにし
ても、有機非線形光学材料の保護については本発明と同
様の効果が得られる。しかしその場合は、光源と入射光
学系と光波長変換素子との光軸合せを密閉容器内で行な
うことが必要となり、その作業が困難化する。
それに対して本発明の光波長変換装置を組み立てる場合
は、光波長変換素子を密閉容器内に収納してそこに不活
性媒体を充填させてしまえば、その後の光軸合せは、こ
の密閉容器ごと光波長変換素子を位ri!調整して行な
えばよいから、光軸合せを密閉容器内で行なうような煩
わしさが生じない。
なお上記不活性媒体としては、液体、ガスの双方が利用
可能であるが、ガスを用いる方がより好ましい。すなわ
ち不活性の液体は不活性ガスに比べて、屈折率の温度依
存性が一般にかなり大きい。
そこでこの液体を用いた場合には、入射光学系によって
集光された基本波の集光位置が周囲温度に応じて変動し
て、基本波の光波長変換素子への入射効率が低下しやす
い。さらには、光波長変換素子から出射して不活性液体
中を通過する波長変換波の波面が、この液体の屈折率変
化によって歪みやすくなり、波長変換波を小さなスポッ
トに絞ることが困難になることもある。
それに対して、不活性液体と比べて屈折率の温度依存性
が著しく小さい不活性ガスを用いれば、上述のような問
題を防止することができる。
(実 施 例) 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。
第1図は、本発明の一実施例による光波長変換装置を示
すものである。この光波長変換装置は密閉容器20と、
その中に収納されたファイバー型の光波長変換素子lO
と、この光波長変換素子10により波長変換される基本
波15を発する半導体レーザー18と、上記基本波15
を光波長変換素子10のコア11内に入射させる入射光
学系としてのコリメーターレンズ17および対物レンズ
18とを有している。
そして上記密閉容器20内には、不活性媒体の1つであ
るフッ素系オイル21が充填されている。
なお光波長変換素子lOは、密閉容器20内で保持部材
22により保持されている。また密閉容器20には、基
本波15を透過させる透明窓27と、後述する第2高調
波を透過させる透明窓28とが設けられている。
次に光波長変換素子lOについて詳しく説明する。
この光波長変換素子10は、第2図に分かりやすく示す
通り、クラッド12の中心の中空部分内に、非線形光学
材料からなるコア11が充てんされた光ファイバーであ
る。上記非線形光学材料としては、前述したように波長
変換効率が高い有機非線形光学材料が用いられる。本例
では特に、前述した特開昭62−210432号公報に
示される3、5−ジメチル−1−(4−ニトロフェニル
)ピラゾール(以下、PRAと称する)によってコア1
1を形成している。
ここで、−例としてコア11を上述のPRA、クラッド
12を5FIOガラスから形成する場合について、この
光波長変換素子IOの製造方法を説明する。
まずクラッド12となる中空のガラスファイバー12”
が用意される。このガラスファイバー12°は一例とし
て、外径が1mmで、中空部の径が1μmのものである
。そして第3図に示すように、炉内等においてPRAI
I’ を融液状態に保ち、この融液内にガラスファイバ
ー12°の一端部を浸入させる。
すると毛細管現象により、融液状態のPRAII’がガ
ラスファイバー12°の中空部内に進入する。
なお該融液の温度は、PRAII’ の分解を防止する
ため、その融点(102℃)よりも僅かに高い温度とす
る。その後ガラスファイバー12°を急冷させると、中
空部に進入していたP RA 11’が多結晶化する。
次いでこのガラスファイバー12′を、PRAII’の
融点より高い温度(例えば102.5℃)に保たれた炉
内から、該融点より低い温度に保たれた炉外に徐々に引
き出すことにより、溶融状態のPRAII’ を炉外へ
の引出し部分から単結晶化させる。それにより、極めて
長い単結晶状態で結晶方位も一定に揃ったコア11が形
成され、光波長変換素子lOを十分に長くすることがで
きる。周知のようにこの種の光波長変換素子の波長変換
効率は素子の長さに比例するので、光波長変換素子は長
いほど実用的価値が高くなる。
以上述べたようにしてコア11が充てんされた後、適宜
両端が切断されたガラスファイバー12”の両端面には
、アクリル−スチレン共重合体のようなアクリル樹脂が
塗布されて遮断層13aS13bが形成される。この遮
断層13a、13bの形成は、例えばアクリル樹脂を水
で希釈した塗布液を調製し、この液中にファイバー両端
部を浸漬後、乾燥するという工程によって行なわれる。
それにより第1図および第2図に示すような光波長変換
素子lOが得られる。なお遮断層18a、13bは例え
ば厚さ1μm程度に形成される。
上記光波長変換素子lOは第1図図示のようにして使用
される。すなわち、半導体レーザーlBから射出された
発散ビームである波長890nmのレーザー光(基本波
) 15は、コリメーターレンズ17によって平行ビー
ムとされ、さらに対物レンズ18で集光した上で密閉容
器20の透明窓27を透過させ、遮断層13aを通して
素子端面10a上に照射される。
このレーザー光15は、コア11の端面上においてそれ
と同径(本例では1μm)の小さなスポットに収束する
。それにより該レーザー光15が、コア11内に入射す
る。この基本波15は、コア11を構成するPRAによ
り、波長が1/2の第2高調波15゜に変換される。こ
の第2高調波15°はクラッド12中に放射し、その外
表面の間で全反射を繰り返して素子lO内を端面側に進
行する。位相整合は、基本波15のコア部での導波モー
ドと、第2高調波15゜のクラッド部への放射モードと
の間で取られる(いわゆるチェレンコフ放射の場合)。
光波長変換素子lOの出射端面10bからは、上記第2
高調波15°を含むビーム15”が出射する。この出射
ビーム15”は、密閉容器20の透明窓2Bを通して容
器外に出射し、コリメーターレンズ30で平行ビームと
され、集光レンズ31で集光される。またこの際、出射
ビーム15”はフィルター32に通され、第2高調波1
5°のみが取り出される。
なお、以上述べたような光波長変換装置を組み立てるた
めには、各素子の光軸合せをする必要があるが、光波長
変換素子lOを密閉容器20内に収納してそこにフッ素
系オイル21を充填させてしまえば、その後はこの密閉
容器20ごと光波長変換素子IOを位置調整して光軸合
せが可能である。つまり本装置においては、密閉容器2
0内に光波長変換素子lOO40素子をも収納して、そ
れらの光軸合せを密閉容器20内で行なう場合のような
煩わしさが生じない。
ここで本装置においては、光波長変換素子lOを不活性
媒体であるフッ素系オイル21内に閉じ込めているので
、有機材料のPRAからなるコア11の端面が空気等の
雰囲気に接することがなく、したがってこのコア11の
昇華や変成が防止される。しかも本実施例では、光波長
変換素子lOの両端面に遮断層13a、13bを設けて
いるので、コア11の端面がフッ素系オイル21に接す
ることさえもなく、よって上記昇華や変成がより確実に
防止される。
なお遮断層18aS13bを設ければ、上述の通りの好
ましい結果が得られるが、このような遮断層は必ずしも
設けられなくてもよい。
また上記実施例では、密閉容器20内に充填させる不活
性媒体としてフッ素系オイル21が用いられているが、
この不活性媒体としてはその他例えば、液体ではシリコ
ンオイル、流動パラフィン、気体ではN2 SHe、N
es Ar、Kr、Xe、等を用いることができる。さ
らに、上記実施例では、遮断層13a、13bの材料と
してアクリル樹°脂が用いられているが、この遮断層1
3a、13bの材料としては、そのほか、たとえばシリ
コン樹脂、エポキシ樹脂、フッ素系樹脂、ゼラチン、カ
ゼイン、コラーゲン、セルロース、ポリビニールアルコ
ール、ポリ酢酸ビニル、ポリエチレンテレフタレート、
ポリウレタン、不飽和ポリエステル、フェノール、ポリ
アミド、アルキド樹脂等を用いることができる。
第4図は、上記のような不活性ガスを用いた本発明の別
の実施例を示している。なおこの第4図において、前記
第1図中の要素と同等の要素には同番号を付し、それら
についての詳しい説明は省略する。
この第4図の装置においては、密閉容器20内に、不活
性ガスの1つである乾燥hh  (窒素)ガス50が充
填されている。勿論、このN2ガス50の代わりに、上
述したその他のガスを用いることもできる。このN2ガ
ス50の充填は、例えば密閉容器20にガス流入口とガ
ス排出口(図示せず)を設けておき、密閉容器20内の
空気をガス流入口から送り込んだN2ガス50によって
置換し、次いでガス流入口および排出口を閉じる、とい
う操作によってなされ得る。また、N2ガス50の充填
は、このガス50で置換したキャンバ−1あるいはグロ
ーブボックス内で密閉容器20を組み立てることによっ
ても実現でき、この場合は密閉容器20にガス流入口お
よび排出口を設ける必要がない。
この実施例においても、不活性媒体であるN2ガス50
を密閉容器20内に充填させたことにより、コア11の
昇華や変成が防止される。
またこの実施例においては、不活性媒体として不活性液
体に比べて屈折率の温度依存性が小さいガスを用いてい
るので、対物レンズ18で集光される基本波15の収束
位置が温度に応じて変動して、そのコア11への入射効
率が低下するといった問題や、さらには、光波長変換素
子10から出射した第2高調波15°の波面が歪んで、
それを集光レンズ31で小さなスポットに絞ることが困
難になるといった問題が起き難い。したがってこの装置
においては、周囲温度の変化に応じて光学系を再調整す
るような必要は無い。
またこの第4図の装置においては特に、密閉容器20内
に脱酸素剤51.脱水剤52および吸着剤53が固定さ
れている。これらの脱酸素剤51.脱水剤52および吸
着剤53を密閉容器20内に収めておくと、N2ガス5
0に混入していたり、あるいは遮断層13a、tabを
構成する樹脂等から蒸発した水分や溶剤や酸素等の活性
なガスを、さらには、前記置換に用いるガス中に不純物
として存在していたり、密封容器20の内壁に付着して
いた水分や酸素等の活性なガスを、光波長変換素子lO
の雰囲気から取り除くことが可能となる。そうなってい
れば、遮断層13aS13bが樹脂からなる場合それら
が酸化により劣化したり、あるいは遮断層18aS18
bがゼラチン、カゼイン、コラーゲン、セルロース等の
天然または半合成高分子化合物からなる場合それらにカ
ビが発生する、等の不具合発生を防止可能である。
上述の効果を得る上では、脱酸素剤51.脱水剤52お
よび吸着剤53のすべてを密閉容器20内に収めておく
のが最も好ましいが、それらのうちの1つあるいは2つ
を収めておいても、それなりの効果が得られる。
上記の脱酸素剤51としては例えば鉄系脱酸素剤、活性
炭とオルト−ジ−フェノールを用いた脱酸素剤等を用い
ることができる。また脱水剤52としては例えば、活性
アルミナ、モレキュラシーブ(結晶性ゼオライト)、シ
リカゲル、Pz 05 、Mg(ClO4)2、Ba0
SKOH,NaOH,Cao、CaSO4、Mg0SC
aC12等を用いることができる。また吸着剤53とし
ては例えば、活性アルミナ、モレキュラシーブ、シリカ
ゲル等を用いることができる。
なお上記2つの実施例では、ファイバー型の光波長変換
素子lOを用いているが、本発明の光波長変換装置は、
前述した2次元あるいは3次元光導波路型の光波長変換
素子を用いて構成することも勿論可能である。
また上記の実施例は、基本波を第2高調波に変換するも
のであるが、本発明の光波長変換装置はその他、基本波
を和周波、差周波等に変換する光波長変換素子を用いて
構成することもできる。
(発明の効果) 以上詳細に説明した通り本発明の光波長変換装置におい
ては、有機非線形光学材料によって波長変換を行なう光
波長変換素子を不活性媒体内に閉じ込めた構成としたの
で、有機非線形光学材料の昇華あるいは変成が確実に防
止される。したがつてこの光波長変換装置によれば、基
本波の入射結合効率が低下することを防止して、光波長
変換素子の波長変換効率を高く維持することが可能とな
る。
また上記の構成としたことにより、光波長変換素子の端
面にゴミが付着したり、あるいは傷が付くことも防止で
き、この点から光波長変換素子の波長変換効率が低下す
ることも防止でき、さらには、取扱性が良くなるという
効果も得られる。
さらに本発明の光波長変換装置においては、密閉容器内
で光波長変換素子とその他の光学素子との光軸合せをす
る必要が無いから、そのような煩わしくて時間のかかる
作業を行なう際に光波長変換素子の端面を損傷させたり
、該端面部分から有機非線形光学材料を劣化させてしま
うようなことが、確実に防止される。
さらに、不活性媒体としてガスにした場合は、温度変化
により、入射基本波の集光位置が、変化したり、波長変
換波の波面が歪んで、小さなスポットに絞れなくなるこ
とが防止できるので、周囲温度によって光学系を再調整
する必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例による光波長変換装置を示
す一部破断側面図、 第2図は、上記実施例の装置に用いられた光波長変換素
子を示す斜視図、 第3図は上記光波長変換素子の製造方法を説明する概略
図、 第4図は、本発明の別の実施例による光波長変換装置を
示す一部破断側面図である。 lO・・・光波長変換素子  11・・・コア12・・
・クラッド     13a%18b・・・遮断層15
・・・基本波      15°・・・第2高調波1B
・・・半導体レーザー 17.30・・・コリメーターレンズ 18・・・対物レンズ    20・・・密閉容器21
・・・フッ素系オイル  27.28・・・透明窓31
・・・集光レンズ    50・・・N2ガス51・・
・脱酸素剤     52・・・脱水剤53・・・吸着
剤 第 2 図 0 第 図 6゜ 補正の対象 図面 平成02年05 月 9 日 7゜ 補正の内容 (1) 図面中箱1図と第4図を、添付の通り訂正する。 平成02年 特 許 願 第063.731 号 2゜ 発明の名称 光波艮変換装買 補正をする者 事件との関係 Wrf出願人 住 所 神奈川県南足柄市中酒210番地 名 称 +520)富士写真フィルム株式会社 代 理 人 住 所 東京都港区六本木5−2 はうらいやビル7階 自発?Iii正

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)有機非線形光学材料がそれよりも低屈折率のクラ
    ッド層によって被覆されてなり、入射された基本波を波
    長変換して出射させる光波長変換素子と、前記基本波を
    発生する光源と、 この基本波を前記光波長変換素子の有機非線形光学材料
    内に入射させる入射光学系と、 前記光波長変換素子を収納し、前記入射光学系から出射
    した基本波を透過させる透明窓と、光波長変換素子から
    出射した波長変換波を透過させる透明窓とを備えた密閉
    容器と、 この密閉容器内に充填された不活性媒体とからなる光波
    長変換装置。
  2. (2)前記不活性媒体が不活性ガスであり、前記密閉容
    器内に脱酸素剤、脱水剤および吸着剤のうちの少なくと
    も1つが収められていることを特徴とする請求項1記載
    の光波長変換装置。
JP6373190A 1988-09-14 1990-03-14 光波長変換装置 Pending JPH03200939A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6373190A JPH03200939A (ja) 1989-10-13 1990-03-14 光波長変換装置
US07/597,601 US5049762A (en) 1988-09-14 1990-10-15 Optical wavelength converter system

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1-267669 1989-10-13
JP26766989 1989-10-13
JP6373190A JPH03200939A (ja) 1989-10-13 1990-03-14 光波長変換装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7041797B2 (en) 2001-10-31 2006-05-09 Spin'tec Engineering Gmbh Precursor silk feedstock for forming filaments
US7305015B2 (en) 2000-02-09 2007-12-04 Hitachi, Ltd. Ultraviolet laser-generating device and defect inspection apparatus and method therefor
CN115508057A (zh) * 2022-11-08 2022-12-23 泰州晶达光电有限公司 一种光学波片的检测装置

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