JPH03155374A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH03155374A JPH03155374A JP1291492A JP29149289A JPH03155374A JP H03155374 A JPH03155374 A JP H03155374A JP 1291492 A JP1291492 A JP 1291492A JP 29149289 A JP29149289 A JP 29149289A JP H03155374 A JPH03155374 A JP H03155374A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- insulator
- displacement
- voltage
- longitudinal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 2
- 241000256247 Spodoptera exigua Species 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
皮４水災
本発明は、超音波モータに関する。
従来技術
近年、圧電変位素子の開発・応用が活発に行なわれてい
る。圧電素子は電圧制御により比較的簡単にサブミクロ
ンオーダーの変位精度が得られるため、精密位置決め用
のアクチュエーターとして注目されている。
る。圧電素子は電圧制御により比較的簡単にサブミクロ
ンオーダーの変位精度が得られるため、精密位置決め用
のアクチュエーターとして注目されている。
而して、弾性体内に電歪素子又は磁歪素子を組込構成す
ることによって、表面に励振される超音波を利用し、該
超音波の持つ強力な振動エネルギーによって楕円振動を
伴った進行波を発生させて移動体の回転又は直進運動に
変換するようにした表面弾性波を利用したモータ装置が
、特開昭５８−１４８６８２号公報により提案されてい
る。しかし、該公報に開示されたモータ装置は、表面弾
性波を用いているので高周波が必要となり、変位も少な
く、また、正しく位相差のある駆動波が必要となるため
回路コストが高くつく欠点があった。
ることによって、表面に励振される超音波を利用し、該
超音波の持つ強力な振動エネルギーによって楕円振動を
伴った進行波を発生させて移動体の回転又は直進運動に
変換するようにした表面弾性波を利用したモータ装置が
、特開昭５８−１４８６８２号公報により提案されてい
る。しかし、該公報に開示されたモータ装置は、表面弾
性波を用いているので高周波が必要となり、変位も少な
く、また、正しく位相差のある駆動波が必要となるため
回路コストが高くつく欠点があった。
また、信学技報、ＵＳ８８−６１ ｐ、ｐ２９〜３６
（回転インチウオーム型アクチュエータ）には、上下動
と左右動の振動子を用いて回転力を得るようにした超音
波モータが提案されているが、このものは、上下動の振
動子と左右動の振動子を別の場所に配置しているため構
造が複雑で大型になる欠点があった。
（回転インチウオーム型アクチュエータ）には、上下動
と左右動の振動子を用いて回転力を得るようにした超音
波モータが提案されているが、このものは、上下動の振
動子と左右動の振動子を別の場所に配置しているため構
造が複雑で大型になる欠点があった。
目 的
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
特に、効率が良く、構成が簡単で小型化が容易な超音波
モータを提供することを目的としてなされたものである
。
特に、効率が良く、構成が簡単で小型化が容易な超音波
モータを提供することを目的としてなされたものである
。
購−一」文
本発明は、上記目的を達成するために、厚みすべり変位
を起こす圧電振動子と厚み方向変位又は長さ方向電位を
起こする圧電振動子を直列に接続し、両端を固定したこ
とを特徴としたものである。
を起こす圧電振動子と厚み方向変位又は長さ方向電位を
起こする圧電振動子を直列に接続し、両端を固定したこ
とを特徴としたものである。
以Ｆ１本発明の実施例に基いて説明する６第１図は、本
発明の一実施例を説明するための構成図で、図中、１は
長さ方向変位振動子、２はすべり方向変位振動子、３は
絶縁体、４は剛体。
発明の一実施例を説明するための構成図で、図中、１は
長さ方向変位振動子、２はすべり方向変位振動子、３は
絶縁体、４は剛体。
Ａ、Ｂは振動子１の電極、Ｄ、Ｃは振動子２の電極で、
図示のように、長さ方向変位振動子１とすべり方向変位
振動子２が絶縁体３を介して固着されている。なお、２
つの振動子の電極が接しなければ絶縁体３は無くてもよ
い。両端は剛体（固定子）４の壁に固着し、動かないよ
うにされている。
図示のように、長さ方向変位振動子１とすべり方向変位
振動子２が絶縁体３を介して固着されている。なお、２
つの振動子の電極が接しなければ絶縁体３は無くてもよ
い。両端は剛体（固定子）４の壁に固着し、動かないよ
うにされている。
長さ方向振動子１の分極方向（Ｆ、）は電極に垂直に図
のような向きになっており、すベリ方向変位振動子２は
電極に並行な分極方向（Ｆ２）となっている。
のような向きになっており、すベリ方向変位振動子２は
電極に並行な分極方向（Ｆ２）となっている。
第２図は、動作原理を示す図で、Ｂ、Ｄ電極は常にアー
スとする。第２図（ａ）に示すように。
スとする。第２図（ａ）に示すように。
すべり振動子２の電極Ｃに＋Ｅ工の電圧をかけるとすベ
リ変位を生じて絶縁体３を上に押し上げる。
リ変位を生じて絶縁体３を上に押し上げる。
次に、第２図（ｂ）に示すように長さ方向振動子１の電
極Ａに＋Ｅ、Ｖの電圧をかけると振動子１が長さ方向に
伸びて絶縁体３を右に移動させる。
極Ａに＋Ｅ、Ｖの電圧をかけると振動子１が長さ方向に
伸びて絶縁体３を右に移動させる。
次に、第２図（ｃ）に示すようにすべり振動子２の電圧
を切ると絶縁体３は下に下がる。次に、第２図（ｄ）に
示すように、長さ方向振動子ｌの電圧を切ると絶縁体３
は左に移動し１サイグルを終える。このように電圧を切
り替えると絶縁体３の上面は長方形あるいは菱形の辺に
沿った動きをする。
を切ると絶縁体３は下に下がる。次に、第２図（ｄ）に
示すように、長さ方向振動子ｌの電圧を切ると絶縁体３
は左に移動し１サイグルを終える。このように電圧を切
り替えると絶縁体３の上面は長方形あるいは菱形の辺に
沿った動きをする。
従って、第１図に示したごとき駆動素子を並べ、その上
に移動子を圧接すると該振動子は移動する。
に移動子を圧接すると該振動子は移動する。
また、丸く並べれば回転型モーターにすることも可能で
ある。なお、以上にはパルス波的な跣動例を示したが、
電極Ａ、Ｃにサイン波を加え、ＡとＣの位相差を９０’
ずらせても同じような動きをする。この時、長さを調整
すれば共振状態での移動も可能であり、移動速度を大き
くすることができる。
ある。なお、以上にはパルス波的な跣動例を示したが、
電極Ａ、Ｃにサイン波を加え、ＡとＣの位相差を９０’
ずらせても同じような動きをする。この時、長さを調整
すれば共振状態での移動も可能であり、移動速度を大き
くすることができる。
層−一二呆
以上の説明から明らかなように、本発明によると同一平
面上に上下動用振動子と水平動用振動子を並べることが
できるので小型化（特に薄型）が容易となる。
面上に上下動用振動子と水平動用振動子を並べることが
できるので小型化（特に薄型）が容易となる。
第１図は１本発明の一実施例を説明するための要部構成
因、第２図は、本発明の動作原理を説明するための図で
ある。 １・・・長さ方向変位振動子、２・・・すベリ方向変位
振動子、３・・・絶縁体、４・・・剛体。 第１図 第２図
因、第２図は、本発明の動作原理を説明するための図で
ある。 １・・・長さ方向変位振動子、２・・・すベリ方向変位
振動子、３・・・絶縁体、４・・・剛体。 第１図 第２図
Claims (1)
- １、厚みすべり変位を起こす圧電振動子と厚み方向変位
又は長さ方向電位を起こする圧電振動子を直列に接続し
、両端を固定したことを特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1291492A JPH03155374A (ja) | 1989-11-09 | 1989-11-09 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1291492A JPH03155374A (ja) | 1989-11-09 | 1989-11-09 | 超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03155374A true JPH03155374A (ja) | 1991-07-03 |
Family
ID=17769571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1291492A Pending JPH03155374A (ja) | 1989-11-09 | 1989-11-09 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03155374A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5489812A (en) * | 1991-06-11 | 1996-02-06 | International Business Machines Corporation | Micro actuator |
| KR20160000566A (ko) * | 2014-06-24 | 2016-01-05 | 전자부품연구원 | 압전 액츄에이터 및 이를 포함하는 전자기기 |
-
1989
- 1989-11-09 JP JP1291492A patent/JPH03155374A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5489812A (en) * | 1991-06-11 | 1996-02-06 | International Business Machines Corporation | Micro actuator |
| KR20160000566A (ko) * | 2014-06-24 | 2016-01-05 | 전자부품연구원 | 압전 액츄에이터 및 이를 포함하는 전자기기 |
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