JPH03154680A - 除塵方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば半導体装置の製造工場において塵埃
を有効に除去するための方法に関するものである。

〔従来の技術〕

例えば、半導体の製造工場においては、異物を除去する
ため、必要な組立工程には、クリーンベンチ等の装置を
用いて、異物、塵埃が付着しないようにし、さらに異物
が付着している場合は、エアーガン又は吹付装置を用い
て、異物、塵埃の除去を行っている。

第２図は従来のクリーンベンチ装置の一例を示す概略断
面図であり、２Ｉはクリーンベンチ、２２はその中に内
蔵された吹付装置である。このようなものにおいて、半
導体装置や組立用部品等に異物、塵埃が付着している場
合は、吹付装置２２の吹付は口に品物を持って行き、乾
燥空気又は圧縮空気等を吹き付けて除去していた。なお
この吹付装置はクリーンベンチ内に入れる場合のほか、
クリーンベンチの横に置く場合もある。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のこの簡易な除塵方法においては、軽い塵埃が再付
着したり、また重たい塵埃はクリーンベンチの作業台上
に堆積して、品物に再付着するという問題があり、又周
りの環境が悪いと、そこに付着、堆積していた塵埃が舞
い上がって品物に再付着する場合があるなどの問題点が
あった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、異物、塵埃の再付着を防止することが出来る
有効な除塵方法を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る除塵方法は、処理室内で吹付ノズルを用
いて被処理的に吹付けを行って、それに付着している塵
埃を吹き飛ばすとともに、その比較的軽い浮遊塵埃に対
してはファンの空気吸引作用によってフィルターなどの
吸引手段を通して放散し、一方比較的重い塵埃に対して
は処理室内に配置された粘着マットで捕捉するようにし
たものである。

〔作用〕

この発明における除塵方法は、除塵処理室内で浮遊して
いる塵埃で比較的小さいものはファンにより吸い込まれ
てフィルターにより捕捉し、比較的重いものは除塵捕捉
用粘着マットに付着することにより、すべての塵埃が確
実に捕捉されるため、再び浮遊することはなく、被処理
物に再付着することが解消される。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例を示すもので、図において
、１は除塵装置本体、２はその上部に配置されこの中に
半導体素子又は部品などの被処理物３を入れて処理する
除塵処理室、４は吹付ノズルであり、この先端より被処
理物３の表裏に乾燥空気などを吹付けるようになされて
いる。なおこの吹付ノズル４には例えば０．０１戸のフ
ィルターが接続されている。５はそのガス供給ホースで
ある。

６は吸込パンチング板で、ファンにより矢印Ａのように
吸込まれた空気、又は吹付ノズル４により吹付されたガ
スが吸引される。７は処理室２の周囲に配置された塵埃
捕捉用粘着マットで、引出しの中に設置され、捕捉マッ
トの交換が容易に出来るようになされている。８．９は
装置の下部に収納されたファンとフィルターであり、こ
のフィルターで塵埃を除去し、矢印Ｂのように室内に排
気される。なおこのフィルターは０．３ｕＩＩ＋粒子才
で捕捉できるようにしている。なおＩＯはファンスイッ
チであり、このスイッチを入れることにより、室内の空
気が除塵装置１内に吸い込まれる。なおその風量（約１
０ｒｎ”　／ｌｌ１ｉｎで吸引している）の調整はスピ
ードコントロール１１で調整可能で、インジケータ１２
で表示出来るようになっている。

次に動作について説明する。被処理物３をビンセットで
つかみ、吹付ノズル口４に送ると、乾燥空気が噴出し、
被処理物に付着している塵埃を吹き飛ばす、このように
して被処理物から吹き飛ばされた塵埃は、処理室２内で
浮遊するが、ファン８の排気力により吹込パンチング板
６を通じフィルター９に捕捉される。

又、被処理物３が金属、磁器、プラスチック等により形
成されている場合、カエリ、カケ、切粉等は脱落しやす
く、比較的重たいため、ファンの排気力によっては浮遊
せず落下するようになるが、落下した場合は、除塵捕捉
マツドアに付着して固定される。なおこのマットは通常
フィルム状の樹脂に粘着剤が塗布されて幾重にも積み重
ねられており、一番上のフィルムに多量の異物、塵埃が
付着すると、そのフィルムを外すことにより、次の表面
が粘着面となるようにすれば、交換の手間が省ける。

このようにして小さな軽い異物、塵埃、Ｘ型たい異物、
塵埃が、被処理物に再付着することなく除去することが
出来、且つ除塵装置から外に拡散することなく除去する
ことが出来、かつ除塵装置から外に拡散することなく装
宜内で完全に処理出来るので、周りの環境を再汚染させ
ることもない。

なお、上記除塵捕捉マットは上下面のみに配置してもよ
い、また被処理物をピンセットではさんで吹付ノズル口
に運ぶものとしたが、ワークテーブル等を設置して運ん
でもよく、また軽い塵埃の捕捉手段にフィルターを使用
したが、静電気によって吸着させる手段を用いてもよい
。

なお被処理物として半導体素子又は半導体組立部品とし
たが、他の電子部品、機器等の製品であっても同様の効
果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、軽い塵埃、重たい塵埃
共成処理物への再付着を防止するとが出来、高価な排気
ダクトも必要がないので、安価に出来るとともに、精度
の高いものが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２図は従
来の除塵方法を示す概略断面図である。 図中、２は処理室、３は被処理物、４は吹付ノズル、７
は塵埃捕捉用粘着マット、８はファン、９はフィルター
である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　吹付ノズルが設置されている処理室内に、ファンによ
   り空気を吸引し、この吹付ノズル口で被処理物にガスを
   吹付けて塵埃を吹き飛ばし、軽い塵埃は上記ファン風量
   により吸引して、装置内の吸引手段で捕捉し、一方重た
   い塵埃は処理室の少なくとも底部に配置された塵埃捕捉
   用粘着マットで捕捉するようにしたことを特徴とする除
   塵方法。