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JPH03153904A - Straight-rotary drive device - Google Patents

Straight-rotary drive device

Info

Publication number
JPH03153904A
JPH03153904A JP29165489A JP29165489A JPH03153904A JP H03153904 A JPH03153904 A JP H03153904A JP 29165489 A JP29165489 A JP 29165489A JP 29165489 A JP29165489 A JP 29165489A JP H03153904 A JPH03153904 A JP H03153904A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cylinder tube
guide rail
cylinder
supported
piston
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP29165489A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2533661B2 (en
Inventor
Shigehiro Toyoda
豊田 重廣
Yuji Mori
裕治 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CKD Corp
Original Assignee
CKD Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CKD Corp filed Critical CKD Corp
Priority to JP1291654A priority Critical patent/JP2533661B2/en
Publication of JPH03153904A publication Critical patent/JPH03153904A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2533661B2 publication Critical patent/JP2533661B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To connect an operating fluid supply tube to a cylinder side without using a rotary joint by moving a guide rail slidably supporting a follow-up unit together with a cylinder tube around the cylinder tube by a rotary actuator. CONSTITUTION:A table 20 is slidably installed and supported between a cylinder tube 1 and a guide rail 19. The table 20 consists of a block body 21 and holding plates 22 joined and fixed on its both ends, and a follow-up body 23 exists between the block body 21 and the cylinder tube 1. The follow-up body 23 is composed of permanent magnets 25 and yokes 26 juxtaposed between a pair of bearings 24 and both the bearings 24, and turnably fixed and supported on the cylinder tube 1. The table 20 installed and supported between the guide rail 19 and the cylinder tube 1 is turnable with respect to the cylinder tube 1. The guide rail 19 is thus moved around the cylinder tube 1 centered on a center-axis line l2 of the cylinder tube 1.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は非磁性体製のシリンダチューブ内のロッドのな
いピストンの移動に磁気吸引作用を利用してシリンダチ
ューブ外の追従ユニットを追従させるロッドレス式シリ
ンダを用いた直線一回転駆動装置に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is a rodless system that uses magnetic attraction to move a rodless piston inside a cylinder tube made of a non-magnetic material to follow a tracking unit outside the cylinder tube. This invention relates to a linear one-rotation drive device using a type cylinder.

[従来の技術] この種の駆動装置が特開昭60−62478号公報及び
実開昭61−77402号公報に開示されている。これ
ら各従来装置ではロッドレス式シリンダ全体がその軸線
回りに回転駆動可能となっており、ロッドレス式シリン
ダ本来のピストンの往復直線運動による追従ユニットの
直線運動以外にもシリンダの回転による追従ユニットの
回転が可能である。このような2形態の運動の組合せに
よって追従ユニットの運動形態の自由度が高くなる。
[Prior Art] This type of drive device is disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 60-62478 and Japanese Utility Model Application No. 61-77402. In each of these conventional devices, the entire rodless cylinder can be rotated around its axis, and in addition to the linear movement of the follower unit due to the reciprocating linear movement of the piston, which is inherent in rodless cylinders, the rotation of the follower unit due to the rotation of the cylinder is also possible. It is possible. The combination of these two types of movement increases the degree of freedom in the movement form of the follow-up unit.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、ロッドレス式シリンダ全体を回転させる
構成では慣性の大きさのために回転停止時の衝撃が大き
く、追従ユニットに装着されるワークあるいはチャック
といった装着部材への衝撃波及による悪影響を無視でき
ない。又、シリンダ全体を回転させるためには流体供給
管とシリンダとの接続部にロークリジヨイントを介在す
る必要かあり、配管接続構成の複雑化が避けられない。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in a configuration in which the entire rodless cylinder rotates, the impact when the rotation stops is large due to the large inertia, and a shock wave is generated to the mounting member such as the workpiece or chuck mounted on the follow-up unit. We cannot ignore the negative effects of Furthermore, in order to rotate the entire cylinder, it is necessary to provide a rotor joint at the connection between the fluid supply pipe and the cylinder, which inevitably complicates the piping connection configuration.

本発明はロッドレス式シリンダを用いた直線一回転駆動
装置における上記のような問題を解消し得る駆動装置を
提供することを目的とするものである。
An object of the present invention is to provide a drive device that can solve the above-mentioned problems in a linear one-rotation drive device using a rodless cylinder.

口課題を解決するための手段] そのために本発明では、ロッドレス式シリンダにロータ
リアクチュエータを組み付けると共に、シリンダチュー
ブ内のピストンに追随する追従ユニットをシリンダチュ
ーブに回動可能に嵌合支持し、追従ユニットのガイドレ
ールをシリンダチューブと平行かつシリンダチューブの
周囲を公転可能に並設すると共に、ガイドレールの公転
中心をシリンダチューブの中心軸線上に設定し、ロータ
リアクチュエータの出力軸にガイドレールを作動連結し
た。
[Means for Solving the Problems] To achieve this, in the present invention, a rotary actuator is assembled to a rodless cylinder, and a follower unit that follows a piston in a cylinder tube is rotatably fitted and supported on the cylinder tube. The guide rails are arranged parallel to the cylinder tube so that they can revolve around the cylinder tube, the center of revolution of the guide rail is set on the central axis of the cylinder tube, and the guide rail is operatively connected to the output shaft of the rotary actuator. .

[作用] ロータリアクチュエータの出力軸の回転によってガイド
レールがシリンダチューブの中心軸線を中心にシリンダ
チューブの周囲を公転する。従って、シリンダチューブ
に回動可能かつシリンダチューブとガイドレールとの間
にスライド可能に架設支持されている追従ユニットがシ
リンダチューブの回転軸線を中心に回転する。
[Operation] As the output shaft of the rotary actuator rotates, the guide rail revolves around the cylinder tube around the central axis of the cylinder tube. Therefore, the follower unit, which is rotatably supported on the cylinder tube and slidably supported between the cylinder tube and the guide rail, rotates around the rotation axis of the cylinder tube.

[実施例] 以下、本発明を具体化した一実施例を第1,2図に基づ
いて説明する。
[Example] Hereinafter, an example embodying the present invention will be described based on FIGS. 1 and 2.

lは非磁性体製のシリンダチューブであり、その両端に
はエンドブロック2,3が嵌入固定されている。エンド
ブロック2はエンドカバー4に嵌合固定されており、エ
ンドブロック3はエンドカバー5に嵌合固定されている
。′両エンドカバー4゜5は図示しない固定部に取り付
は固定されており、シリンダチューブ1は不動である。
1 is a cylinder tube made of a non-magnetic material, and end blocks 2 and 3 are fitted and fixed at both ends of the cylinder tube. The end block 2 is fitted and fixed to an end cover 4, and the end block 3 is fitted and fixed to an end cover 5. 'Both end covers 4.5 are fixedly attached to a fixed part (not shown), and the cylinder tube 1 is immovable.

シリンダチューブ1内にはピストン6が収容されており
、ピストン6によってシリンダチューブ1内が室S、と
室S、とに区画される。ピストン6は、基軸7と、基軸
7に嵌合された複数の環状の永久磁石8と、各磁石8の
両側に並列支持された複数の環状のヨーク9と、基軸7
の両端部に螺合された締め付は部材10とからなり、両
締め付は部材10の締め付けによって永久磁石8及びヨ
ーク9が基軸7に締め付は固定される。両締め付は部材
IOの外端には緩衝リング11が止着されており、周面
にはピストンリング12及びシールリング13が嵌合さ
れている。
A piston 6 is housed in the cylinder tube 1, and the piston 6 divides the inside of the cylinder tube 1 into a chamber S and a chamber S. The piston 6 includes a base shaft 7, a plurality of annular permanent magnets 8 fitted to the base shaft 7, a plurality of annular yokes 9 supported in parallel on both sides of each magnet 8, and the base shaft 7.
The permanent magnet 8 and the yoke 9 are fixed to the base shaft 7 by tightening the members 10 screwed onto both ends of the clamping member 10 . A buffer ring 11 is fixed to the outer end of the member IO, and a piston ring 12 and a seal ring 13 are fitted to the circumferential surface of the member IO.

両エンドブロック2,3には通路2a、3aが設けられ
ており、エンドカバー4,5には給排気ポート4a、5
aが通路2a、3aに連通ずるように設けられている。
Both end blocks 2, 3 are provided with passages 2a, 3a, and end covers 4, 5 are provided with air supply/exhaust ports 4a, 5.
a is provided so as to communicate with the passages 2a and 3a.

一方のエンドカバー4にはエアモータ、電動モータ等の
ロータリアクチュエータ14が装着固定されており、そ
の出力軸14aの回転軸線β1がシリンダチューブlの
中心軸線12と一致するように配置設定されている。他
方のエンドカバー5には軸受部材15が装着固定されて
おり、軸受部材15には支軸16が回転可能に支持され
ている。
A rotary actuator 14 such as an air motor or an electric motor is mounted and fixed on one end cover 4, and is arranged so that the rotational axis β1 of its output shaft 14a coincides with the central axis 12 of the cylinder tube l. A bearing member 15 is attached and fixed to the other end cover 5, and a support shaft 16 is rotatably supported by the bearing member 15.

支軸16の回転軸線l、は中心軸線12と一致するよう
に設定しである。
The rotational axis l of the support shaft 16 is set to coincide with the central axis 12.

出力軸14a及び支軸16には同長の支持アーム17.
18がラジアル方向に取り付は固定されており、両支持
アーム17.18はシリンダチューブlの軸線12方向
に見て重合一致している。
The output shaft 14a and the support shaft 16 are provided with support arms 17. of the same length.
18 is fixed in the radial direction, and both support arms 17, 18 overlap each other when viewed in the direction of the axis 12 of the cylinder tube l.

両支持アーム17.18の先端部間にはガイドレール1
9が架設固定されており、ガイドレール19とシリンダ
チューブlとの配置は平行関係に設定されている。
A guide rail 1 is installed between the tips of both support arms 17 and 18.
9 is installed and fixed, and the guide rail 19 and cylinder tube l are arranged in a parallel relationship.

シリンダチューブ1とガイドレール19との間にはテー
ブル20がスライド可能に架設支持されている。テーブ
ル20はブロック体21とその両端に接合固定された保
持板22とからなり、ブロック体21とシリンダチュー
ブ1との間には追従体23が介在されている。追従体2
3は、一対の軸受24と、両軸受24間に並設された永
久磁石25及びヨーク26とからなり、シリンダチュー
ブ1上にスライド可能かつ回動可能に嵌合支持されてい
る。永久磁石25はピストン6上の永久磁石8と吸引関
係にあり、両者の厚みは同一、かつヨーク9,26の厚
みも同一である。従って、ピストン6側の永久磁石8と
追従体23側の永久磁石25とは図示のようにl対lで
重合対応する。
A table 20 is slidably supported between the cylinder tube 1 and the guide rail 19. The table 20 is made up of a block body 21 and holding plates 22 joined and fixed to both ends of the block body 21, and a follower body 23 is interposed between the block body 21 and the cylinder tube 1. Follower 2
3 consists of a pair of bearings 24, a permanent magnet 25 and a yoke 26 arranged in parallel between both bearings 24, and is slidably and rotatably fitted and supported on the cylinder tube 1. The permanent magnet 25 is in an attractive relationship with the permanent magnet 8 on the piston 6, and both have the same thickness, and the yokes 9 and 26 have the same thickness. Therefore, the permanent magnet 8 on the side of the piston 6 and the permanent magnet 25 on the side of the follower 23 overlap in a ratio of 1 to 1 as shown in the figure.

なお、追従体23と共に追従ユニットを構成するテーブ
ル20上のねじ孔20aはテーブル20にワークあるい
はチャック等を装着するためのものである。
Note that the screw hole 20a on the table 20, which together with the follower 23 constitutes a follower unit, is for mounting a workpiece, a chuck, or the like on the table 20.

ガイドレール19とブロック体21との間には一対の軸
受27が介在されており、テーブル20は軸受24,2
7によってシリンダチューブlとガイドレール19との
間にスライド可能に架設支持されている。
A pair of bearings 27 is interposed between the guide rail 19 and the block body 21, and the table 20 is supported by the bearings 24, 2.
7, it is slidably supported between the cylinder tube l and the guide rail 19.

第1図のようにピストン6がストロークエンドにある場
合、テーブル20及び追従体23からなる追従ユニット
は磁石8,25の吸引力によってストロークエンド上の
ピストン6に重合対応する。
When the piston 6 is at the stroke end as shown in FIG. 1, the following unit consisting of the table 20 and the follower 23 overlaps with the piston 6 at the stroke end due to the attractive force of the magnets 8 and 25.

この状態で給排気ポート4aから室S、に作動流体を供
給すると、ピストン6がエンドブロック3側へ移動し、
追従体23がピストン6の移動に追従する。従って、追
従ユニットがシリンダチューブl及びガイドレール19
上をエンドカバー5側へスライドする。
When working fluid is supplied to the chamber S from the supply/exhaust port 4a in this state, the piston 6 moves toward the end block 3,
The follower 23 follows the movement of the piston 6. Therefore, the following unit is connected to the cylinder tube l and the guide rail 19.
Slide the top toward the end cover 5 side.

ロータリアクチュエータ14の出力軸14aが回転する
と、この回転力が支持アーム17を介してガイドレール
19に伝達する。ガイドレール19はシリンダチューブ
1の中心軸線12に平行であり、ガイドレール19を支
持する支持アーム17.18の回動中心はシリンダチュ
ーブ1の中心軸線12に一致している。又、ガイドレー
ル19とシリンダチューブ1との間に架設支持されたテ
ーブル20はシリンダチューブ1に対して回動可能であ
る。従って、ガイドレール19はシリンダチューブlの
中心軸線12を中心にシリンダチューブlの周囲を公転
する。
When the output shaft 14a of the rotary actuator 14 rotates, this rotational force is transmitted to the guide rail 19 via the support arm 17. The guide rail 19 is parallel to the central axis 12 of the cylinder tube 1 , and the pivot centers of the support arms 17 , 18 supporting the guide rail 19 coincide with the central axis 12 of the cylinder tube 1 . Further, a table 20 installed and supported between the guide rail 19 and the cylinder tube 1 is rotatable with respect to the cylinder tube 1. Therefore, the guide rail 19 revolves around the cylinder tube l, centering on the central axis 12 of the cylinder tube l.

第2図は第1図の状態の斜視図であり、この状態からピ
ストン6をエンドカバー5側へ移動すると共に、ガイド
レール19を90°公転させた状態が第3図である。即
ち、ピストン6の移動とロータリアクチュエータ14の
作動とを同時に行えばテーブル20は螺旋状の経路を描
く。勿論、直線運動と回転運動とを別々に行なうことも
できる。
FIG. 2 is a perspective view of the state shown in FIG. 1, and FIG. 3 shows a state in which the piston 6 has been moved toward the end cover 5 and the guide rail 19 has been rotated 90 degrees from this state. That is, if the movement of the piston 6 and the operation of the rotary actuator 14 are performed simultaneously, the table 20 will draw a spiral path. Of course, linear motion and rotational motion can also be performed separately.

このように複合駆動されるテーブル20の回転運動はガ
イドレール19の公転によって得られ、エンドカバー4
,5、エンドブロック2,3、シリンダチューブl及び
ピストン6からなるロッドレス式シリンダ全体を回転さ
せる従来方式に比して公転される部材の慣性は大幅に低
減する。従って、テーブル20の回転を止める際の衝撃
は小さく、テーブル20上に装着されるワーク、チャッ
クといった部材に対する衝撃波及の影響は殆ど無(なる
。又、シリンダ側を回動しないためにシリンダに作動流
体を供給するためのパイプとシリンダとの接続部にロー
クリジヨイントを介在する必要がなく、配管接続構成の
簡素化が得られる。
The rotational movement of the table 20 that is driven in this manner is obtained by the revolution of the guide rail 19, and
, 5. The inertia of the revolved members is significantly reduced compared to the conventional method in which the entire rodless cylinder consisting of the end blocks 2 and 3, the cylinder tube 1, and the piston 6 is rotated. Therefore, the impact when stopping the rotation of the table 20 is small, and there is almost no influence of impact on members such as the workpiece and chuck mounted on the table 20. Also, since the cylinder side does not rotate, the impact on the cylinder is small. There is no need to provide a lock joint at the connection between the pipe and cylinder for supplying fluid, and the piping connection configuration can be simplified.

本発明は勿論前記実施例にのみ限定されるものではなく
、例えば前記実施例の支持アーム18に代えてシリンダ
チューブl上で回動する支持アームによってガイドレー
ルを支持するようにしたり、ガイドレールを2本用いた
実施例も可能である。
Of course, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment. For example, the guide rail may be supported by a support arm that rotates on the cylinder tube l instead of the support arm 18 of the above-mentioned embodiment, or the guide rail may be supported by a support arm that rotates on the cylinder tube l. An embodiment using two is also possible.

[発明の効果] 以上詳述したように本発明は、シリンダチューブと共に
追従ユニットをスライド可能に支持するガイドレールを
ロータリアクチュエータによってシリンダチューブの周
囲で公転させるようにしたので、追従ユニットがシリン
ダ側の回動を伴うことなく回転かつスライドでき、これ
により回転を止める際の衝撃を抑制することができると
共に、ロータリジヨイントを用いることな(シリンダ側
に作動流体供給管を接続し得るという優れた効果を奏す
る。
[Effects of the Invention] As described in detail above, in the present invention, the guide rail that slidably supports the follower unit together with the cylinder tube is made to revolve around the cylinder tube by the rotary actuator, so that the follower unit moves toward the cylinder side. It can rotate and slide without rotation, which suppresses the impact when stopping rotation, and it also has the excellent effect of being able to connect the working fluid supply pipe to the cylinder side without using a rotary joint. play.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面は本発明を具体化した一実施例を示し、第1図は縦
断面図、第2図は一方のストロークエンド側に追従ユニ
ットが配置された状態を示す斜視図、第3図は追従ユニ
ットが複合駆動によって他方のストロークエンド側に配
置された状態を示す斜視図である。 シリンダチューブ1、ピストン6、ロータリアクチュエ
ータ14、ガイドレール19、追従ユニットを構成する
テーブル20及び追従体23、公転中心としての回転軸
線(lr、13、 中心軸線12゜
The drawings show an embodiment embodying the present invention; FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view, FIG. 2 is a perspective view showing a follow-up unit disposed on one stroke end side, and FIG. 3 is a follow-up unit. FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the stroke end is placed on the other stroke end side by compound driving. Cylinder tube 1, piston 6, rotary actuator 14, guide rail 19, table 20 and follower 23 that constitute the follower unit, rotation axis as the center of revolution (lr, 13, center axis 12°)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 非磁性体製のシリンダチューブ(1)内のピストン
(6)とシリンダチューブ(1)外の追従ユニット(2
0、23)との間で磁気吸引力に基づく追従動作を引き
起こすロッドレス式シリンダにロータリアクチュエータ
(14)を組み付け、シリンダチューブ(1)内のピス
トン(6)に追従する追従ユニット(20、23)をシ
リンダチューブ(1)に回動可能に嵌合支持すると共に
、シリンダチューブ(1)とガイドレール(19)との
間にスライド可能に架設支持し、ガイドレール(19)
をシリンダチューブ(1)と平行かつシリンダチューブ
(1)の周囲を公転可能に並設すると共に、ガイドレー
ル(19)の公転中心(l_1、l_2)をシリンダチ
ューブ(1)の中心軸線(l_2)上に設定し、ロータ
リアクチュエータ(14)の出力軸(14a)にガイド
レール(19)を作動連結したことを特徴とする直線−
回転駆動装置。
1 Piston (6) inside the cylinder tube (1) made of non-magnetic material and follower unit (2) outside the cylinder tube (1)
A rotary actuator (14) is assembled to a rodless cylinder that causes a follow-up operation based on magnetic attraction between the following unit (20, 23) and the piston (6) in the cylinder tube (1). is rotatably fitted and supported on the cylinder tube (1), and is slidably supported between the cylinder tube (1) and the guide rail (19), and the guide rail (19)
are arranged parallel to the cylinder tube (1) so as to be able to revolve around the cylinder tube (1), and the revolution center (l_1, l_2) of the guide rail (19) is aligned with the central axis (l_2) of the cylinder tube (1). A straight line characterized in that the guide rail (19) is set at the top and the guide rail (19) is operatively connected to the output shaft (14a) of the rotary actuator (14).
Rotary drive device.
JP1291654A 1989-11-09 1989-11-09 Linear-rotary drive Expired - Lifetime JP2533661B2 (en)

Priority Applications (1)

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JPH03153904A true JPH03153904A (en) 1991-07-01
JP2533661B2 JP2533661B2 (en) 1996-09-11

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ID=17771742

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JP1291654A Expired - Lifetime JP2533661B2 (en) 1989-11-09 1989-11-09 Linear-rotary drive

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0979215A (en) * 1995-09-08 1997-03-25 Ckd Corp Cylinder with guide
US8783452B2 (en) 2011-02-16 2014-07-22 Coswell S.P.A. Bottle with dispensing device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6062478A (en) * 1983-09-16 1985-04-10 本田技研工業株式会社 Drive for rectilinear and rotary motion
JPS6487903A (en) * 1987-09-29 1989-04-03 Koganei Ltd Air cylinder

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6062478A (en) * 1983-09-16 1985-04-10 本田技研工業株式会社 Drive for rectilinear and rotary motion
JPS6487903A (en) * 1987-09-29 1989-04-03 Koganei Ltd Air cylinder

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0979215A (en) * 1995-09-08 1997-03-25 Ckd Corp Cylinder with guide
US8783452B2 (en) 2011-02-16 2014-07-22 Coswell S.P.A. Bottle with dispensing device

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JP2533661B2 (en) 1996-09-11

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