JPH03149131A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［利用分野及び発明の概要］ 本発明は、研磨方法及びこれを実施する装置、特に、内
周面の研磨方法及びこれを実施する装置に関するもので
あり、研磨用工具を被研磨部の粗加工（研磨前の孔部ま
たは凹陥部の形成加工）に用いた放電加工用電極を研磨
用工具として使用して、これを高周波振動させることに
よ、す、被研磨部を研磨するようにしたものであり、研
磨作業の能率向上を図るものである。

［従来技術及びその課題］ 最近では、部品や金型の高精度化の要求が強く、これら
製品表面の高精度な研磨が必要になっている。製品の外
周表面の研磨には種々の装置又は方法が提案されて現場
の要求を満たすようになフてぎでいるが、透孔部分や凹
陥部の内周面の研磨方法及び装置については満足な方法
や装置が提案されていなり、高周波振動装置と汎用工具
を組合せたものが提案されているものの、＝ｎｍ装置も
、汎用工具を往復移動させるだけの装置で、被研磨面上
で前記工具を移動させる労力を軽減させるに過ぎず、汎
用工具を被研磨域全域に亙って均一に対応させる作業は
作業者によって行われており、これら作業には熟練を要
していた。

これは、被研磨部の研磨に際して汎用工具を使用する方
法を採用するからであり、汎用工具を使用する場合には
、被研磨部の形状に合わせて当該工具を対接する必要が
あって、これは人手に頼らざるを得ないからである。

かかる不都合を解消する為には、被研磨部の形状に合わ
せた研磨用工具を特別に製作することも考えられるが、
研磨精度を確保するには、この研磨用工具自体に高精度
が要求され、これの製作に要する時間が長くなる。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、「被研
磨面が凹陥部又は貫通孔部等の内周面である場合の研磨
Ｊにおいて、研磨作業の効率化を図ることを課題とし、
この課題を解決するために被研磨部の形状に合せた研磨
工具を用いて研磨する方法または装置であって、この被
研磨工具を別途用意する必要がないようにすることを具
体的な課題とするものである。

＊請求項１の発　について ［技術的手段１ 上記課題を解決するために講じた請求項１の木−発明の
技術的手段はｒ被研磨部を放電加工によって製作した被
研磨面（１０）とし、前記放電加工用の電極を研磨用工
具（２０）とし、この研磨用工具（２０）の胴部と被研
磨面（１Ｇ）との間に研磨剤（Ｋ）を介在させて前記研
磨用工具（２０）と被研磨面（１０）とを相対的に軸線
方向に高周波振動させ、前記研磨用工具（２０）の胴部
の一部と被研磨面（！０）とを所定の圧力で対面させる
とともに、この対面部分を被研磨面（１０）の全周に沿
って順次変化させるようにしたｊことである。

［作用］ 本発明の上記技術的手段は次のように作用する。

被研磨部分は、放電加工によって粗加工されており、こ
の被研磨部の研磨に使用する研磨用工具（２０）として
は、前記放電加工に用いた放電加工用電極がそのまま研
磨用工具（２０）として採用される。従って、特別に研
磨用工具（２０）を製作する必要がない。

特に、放電加工（よって製作される孔部又は凹陥部の内
周面と放電加工用電極の胴部との間隙は通常（ＬＯ２ｍ
ｍ〜０．１ｍ　ｍ程度であり、この研磨用工具（２０）
の胴部の一部を研磨剤（Ｋ）を介在させて被研磨面（１
０）に一定の圧力で対面させた状態では、この対面部分
相互の圧接力はほぼ均一になる。そして、この状態で被
研磨面（１０）と研磨用工具（２０）との相対的軸線方
向振動によって前記対面部分の研磨が行われ、前記対面
部を被研磨面（１０）の全周にわたって順次移動させる
ことにより被加工面の全周が同様の研磨度合に仕上げら
れる。研磨精度に応じて研磨用工具（２０）の前記周回
回数を増せばよい。

［効果］ 本発明は上記構成であるから次の特有の効果を有する。

研磨用工具（２０）を特別に製作する必要がないから、
研磨用工具（２０）の製作に多大の時間を要するような
不都合がない。

研磨用工具（２０）を被研磨面（１０）に沿って周回さ
せることにより被加工面の全域が研磨できるから、従来
の手作業による研磨に比べて研磨作業の所要時間が短縮
できる。

研磨用工具（２０）と被加工面と間隙が予め所定の間隙
に設定されるから、研磨精度が高いものとなる。

＊請求　２の発明について この請求項２の発明は、上記請求項１の発明の方法を実
施するための装置であり、上記請求項の発明と同様の課
題を解決するものである。

この課題を解決するための請求項２の発明の技術的手段
は、ｒ研磨用工具（２０）を保持するチャック（２）　
と、被研磨面（１０）を具備するワーク（Ｗ）を保持す
るベッド（１）　と、前記チャック（２）　とベッド（
１）とを被研磨面（１０）の軸線方向に相対的に高周波
振動させる振動発生器（３）　と、前記チャック（２）
をベッド（１）に対して研磨用工具（２０）の軸線方向
に進退自在に保持する支持体（２１）と、この支持体（
２１）とチャック（２）　との間又は支持体（２１）と
ベッド（１）との間に介装され且研磨用工具（２０）の
軸線に対して直角ｅｘ軸方向に一定範囲往復駆動させる
第１駆動手段（４１）及びＹ軸方向に一定範囲往復駆動
させる第２駆動手段（４２）と、前記第１駆動手段（４
１）の往復移動距離及び往復移動周期を制御する′ｆＳ
１制御手段（５１）と、前記第２駆動手段（４２）の往
復移動距離及び往復移動周期を制御する第２　Ｉす御手
段（５２）と、前記各制御手段からの出力信号に一周期
未満の位相ズレな設けた１ことである。（第１図参照） 　　［作用］ 本発明の上記技術的手段は次のように作用する。

ワーク（Ｗ）をベッド（１）にセットして、このワーク
（Ｗ）の被研磨面（１０）に対応させてチャック（２）
に取付けた研磨用工具（２０）を前記被研磨面（１０）
で囲まれる穴に挿入する。

このとき、前記被研磨面（１０）を放電加工によりて形
成されたものとし、しかも、前記研磨用工具（２０）を
前記被研磨面（１０）を放電加工したときの放電加工用
の電極とする。これによって、研磨用工具（２０）の外
周面と被研磨面（１０）との間には所定の間隙が生じ、
この間隙に研磨剤（Ｋ）を介在させて振動発生器（３）
　を動作状態とする。これで、研磨用工具（２０）が被
研磨面（１０）に対して往復穆勤することとなる。尚、
前記放電加工用電極としては、通富銅素材が用いられて
いるが、振動発生器（３）の周波数は、この振動が前記
素材からなる研磨用工具（２）　に吸収されない程度に
設定することは言うまでもない。

このとき、第１制御手段（５１）及び第２制御手段（５
２）からの出力が予め前記被研磨面（１０）の形状に合
わせて第１駆動手段（４１）′ＥＬび第２ｆｆｉ動手段
（４２）に各別に人力されるが、☆≠ｈト者；−第１制
御手段（５１）の出力信号と第２制御手段（５２）の出
力信号との間には前記被研磨面（１０）の形状に合わせ
て所定の位相ズレ（一周期未満の位相ズレ）があること
から、この位相ズレに応じて被研磨面（１０）の形状に
適合、した軌跡で前記第１駆動手段（４１）及び第２駆
動手段（４２）の出力部が経時的に変化し、研磨用工具
（２０）と被研磨面（１０）との対面部が部分的に加圧
状態となるとともに、この加圧部が前記軌跡で経時的に
変化する。

従って、研磨用工具（２０）が被研磨面（１０）に対し
て相対的に軸線方向に往復移動しつつ、研磨用工具（２
０）と被研磨面（１０）との加圧対面部が被研磨面（１
θ）の全周にわたって経時的に変化して、被研磨面（１
０）の全周に亙る研磨作業が行われる。

［効果］ 本考案は上記構成であるから、請求項１の発明の効果と
同様の効果を有すると共に、次の特有の効果を有する。

第１駆動手段（４１）及び第２駆動手段（４２）の出力
条件を所定の条件に設定すると、被研磨面（１０）の内
周面全域の加工が自動的に進行することとなり、上記請
求項１の方法が自動的に実施される。

したがって、熟練を要することなく、凹陥部又は透孔部
の内周面の研磨が可能となる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を第１図から第１３図に基いて説
明する。

０、全体構造について 図面に示す実施例は、上記請求項１の発明を実施するた
めの装置であり、請求項２の発明の実施例に相当する。

この実施例では、第２図に示すように、研磨用工具（２
０）を具備するチャック（２）内に振動発生器（３）を
内蔵させ、この振動発生器（３）を第１駆動手段（４１
）及び第２駆動手段（４２）を介して支持体（２１）の
先端に具備させるであり、この支持体（２１）はベッド
（１）又はベッド支持部に固着され、前記チャック（２
）はベッド（１）の上方に位置する。尚、ここで、前記
ベッド（１）　Ｇｆ、　Ｎ３図に示すように、器体の上
面において前後左右方向に微調整可能に支持されている
。従って、ベッド（１）に支持させたワーク（Ｗ）　と
研磨用工具（２０）との位置合わせは、このベッドの位
置合わせによって行うこととなる。

０、工具駆動機構について 前記振動発生器（３）としては、第４図〜第６図に示す
ように、高周波振動発生器を採用し、先端に工具保持部
（２２）を具備させたチャック（２）を大略逆円錐台形
状とし、その内部に上方に開放する中空部（２３）を形
成してこの中空部内に振動発生器（３）を収容固定して
いる。従って、この振動発生器（３）の振動方向と同期
してチャック（２）及びこれの工具保持部（２２）に具
備させた研磨用工具（２０）が振動することとなる。こ
こで、前記振動発生器（３）の振動方向は、チャック（
２）の軸線の方向に設定されている。

次に、前記チャック（２）は、オルダム継手構造と同様
の構成とした継手（Ｊ）を介して支持体（２１）の先端
に装備させた保持具（Ｈ）に保持されており、この継手
（Ｊ）内に第１駆動手段（４１）及び第２駆動手段（４
２）を具備させである。

前記継手（Ｊ）は、両端に位置する一対のホルダ（Ｊｌ
）（Ｊ３）とこれらの間に介装される中間体（，ｈ）と
から構成されるが、一方のホルダ（Ｊ、）はチャック（
２）の上端において上方に突出する一対の突出片から構
成され、この突出辺の対向内面がＸ軸及びＺ軸に平行な
第１平面（２４）　（２４）となっている。他方のホル
ダ（Ｊ３）は、下方に垂下する一対の垂下舌片から構成
され、この垂下舌片の対向内面がＸ軸及びＺ軸に平行な
第２平面（２５）　（２５）となっており、前記一対の
垂下舌片からなるホルダ（Ｊ３）は保持具（Ｈ）に保持
される円板部（２Ｂ）から垂下する。

従って、中間体（Ｊ２）はホルダ（Ｊ３）の第２平面（
２５）（２５）に沿ってＹ軸方向に水平移動可能であり
、且、ホルダ（Ｊｌ）の第１平面（２４）　（２４）に
沿ってＸ軸方向に水平移動可能となる。ここで、中間体
（Ｊ２）と各ホルダとの対接部には多数の鋼球を介装し
て移動抵抗を軽減しているので、中間体（Ｊｚ）ｊｆ各
ホルダに対して軽い駆動力でＸ軸Ｙ軸方向に相対移動可
能である。（零吋口答Ｉ？医） そしてホルダ（Ｊ３）と、中間体（Ｊ、）のこれに対向
する部分との間を第１駆動手段（４１）を介して連結し
、ホルダ（Ｊｌ）と、中間体（Ｊ２）のこれに対向する
部分との間をＮ２駆動手段（４２）を介して連結しであ
る。前記第１・第２駆動手段（４１）　（４２）は共に
、第４図及び第６図に示すように、板状の一対の圧電素
子（Ｐｌ）　（Ｐｌ）からなり、これら圧電素子が弾性
金属板（４０）の両面にその極性が反対向きとなるよう
に添看され、前記弾性金属板（４０）を基準電圧として
各素子の反対側には相互に逆方向の電圧が印加されるよ
うになっている。前記圧電素子ＣＰ、）（Ｐｌ）として
は、印加電圧大きさ及び方向に応じて長さ方向の歪が生
じる形式のものとしてあり、圧電素子（ＰＩ）（Ｐｌ）
にはそれぞれ逆方向の電圧が印加されることから、印加
電圧に応じて弾性金属板（４０）の先端部が正逆方向（
Ｘ軸方向又はＹ軸方向）に湾曲することとなり、この結
果、中間体（Ｊ２）はホルダ（Ｊ３）との関係でＹ軸方
向に往復移動し、ホルダ（Ｊｔ）は中間体（Ｊ２）との
関係でＸ軸方向に往復移動することとなる。

従って、この実施例のもので番よ、第１駆動手段（４１
）を構成する圧電素子によってＸ軸方向の移動力が付与
され、第２駆動手段（４２）を構成する圧電素子によっ
てＹ軸方向の移動力が付与されることとなる。

尚、この研磨用工具（２０）の駆動機構は、チャック（
２）内に振動発生器（３）を収容し、このチャック（２
）と支持体（２１）に保持された保持具（Ｈ）とを継手
（Ｊ）によって結合し、この継手（Ｊ）の中間体（Ｊ２
］とホルダ（Ｊ３）との間に弾性金属板（４０）と圧電
素子ＣＰ□）　（Ｐｌ）からなる第１駆動手段（４１）
を介装し、ホルダ（Ｊｌ）と中間体（Ｊ２）との間に同
様な構成の第２駆動手段（４２）を介装して、研磨用工
具（２０）を軸線方向に高周波振動させると共に、研磨
用工具（２０）を自転させることなく水平面上において
所定の軌跡で周回移動させるようにしたものであるから
、軸線方向の高速度の往復移動と水平面上での周回移動
とを実現するための機構が小型化できる点で、特に有益
である。

尚、保持具（Ｈ）を支持体（２１）の上端部に昇降自在
に装着するための構成としては、通常のボール盤と同様
なラック−ビニオン機構が採用されており、ビニオン駆
動軸に連設したレバーの操作によって保持具（Ｈ）に装
備させた研磨用工具（２０）が一定ストローク昇降駆動
できる。従って、このレバー操作によって研磨用工具（
２０）をベッド（１）にセットしたワーク（Ｗ）の被研
磨面（１０）内に挿入できるものであり、この後で、ベ
ッド（１）を微調整して研磨用工具（２０）の挿入位置
を偏心させることも可能である。

■、角穴内周面等のように、被研磨面（１Ｇ）となる内
周面が四つの平面からなる場合 前記第１・第２駆動手段（４１）　（４２）の振動を制
御するための制御装置としては、￥Ｓフ図のような構成
のものが採用できる。

このものでは、第１・第２駆動手段（４１）　（４２）
の圧電素子（Ｐｉ）　（Ｐｌ）には方形波電圧が印加さ
れるようになっており、このためモノマルチバイブレー
タ（ＭＭＩ）　（ＭＭ２）を直列に接続して第一段のモ
ノマルチバイブレータ（ＭＬ）の逆出力端子（Ｘ）から
の出力を第二段のモノマルチバイブレータ（ＭＭ２）に
入力せ、このモノマルチバイブレータ（ＭＭ２）の逆出
力端子（Ｘ）からの出力をＡＮＤ回路（５３）を介して
モノマルチバイブレータ（ＭＨＩ）の入力端に帰還させ
ており、前記八ＮＯ回路（５３）の他方の入力端子に押
しボタンスイッチ（５４）からの出力が入力されている
。

そして、モノマルチバイブレータ（ＭＬ）の正出力端子
（Ｑ）からの出力が駆動回路を介して第１駆動手段（４
１〕に印加されている。他方のモノマルチバイブレータ
（ＭＬ）の逆出力端子（Ｘ）からの出力は遅延回路（５
５）を介して駆動回路からＮ２駆動手段（４２）に人力
されており、この実施例では、前記遅延回路（５５）に
よる遅延周期を３７４周期に設定しである。

尚、前記駆動回路は、極性を逆方向に設定した圧電素子
（ＰＩ）　（Ｐｉ）の並列回路に基準電圧に対して正逆
の二方向の電圧が印加されるようにしたものであり、こ
のために、一方の増幅用トランジスタ（Ｔ１）及び電源
（Ｅ、）とからなる回路と、他方の増幅用トランジスタ
（Ｔ２）及び電源（Ｅ２）とからなる回路とが共に、前
記圧電素子（ＰＩ）　（Ｐｌ）の並列回路に接続されて
いる。そして、前記増幅用トランジスタ（Ｔ、）のベー
スにはモノマルチバイブレータ（ＭＬ）の正出力端子（
Ｑ）からの出力が印加され、他方の増幅用トランジスタ
（Ｔ、）には正出力端子（Ｑ）からの反転出力が入力さ
れるようになっている。

これにより、モノマルチバイブレータ（ＭＬ）の正出力
端子（Ｑ）からは第８図（Ａ）のような方形波が出力さ
れ、遅延回路（５５）からは同図の（Ｃ）のような方形
波が出力される。そして、上記駆動回路を組合せたこと
から、圧電素子（Ｐｌ）　（Ｐｌ）からなる第１駆動手
段（４１）には、基準電圧を・「０」とした場合におい
て、第８図の（Ｂ）に示すように、正逆方向の電圧が交
互に印加されることとな乞。　他方の第２駆動手段（４
２）の駆動回路も上記第１駆動手段（４１）の駆動回路
と同様であり、第２駆動手段（４２）には基準電圧を「
０」とした場合において正逆方向の電圧が交互に印加さ
れることとなるが、逆出力端子（Ｘ）からの出力が遅延
回路（５５）によって３７４周期ズラされていることか
ら、これに応じて、同図の（Ｄ）に示すように、第２駆
動手段（４２）への印加電圧は正出力端子（ｑ）、の出
力に対しての３７４周期の位相ズレが生じたものとなる
。

この結果、研磨用工具（２０）の移動距離のＸ軸方向成
分の経時的変化が同図（Ｅ）のようになり、逆に研磨用
工具（２０）の移動距離のＹ軸方向成分の経時的変化が
同図（Ｆ）のようになる。同図に示す区間（Ｌｌ）では
、第８図に示す正方形開口の第１辺（ＪＬ、）に沿フて
研磨用工具（２０）が被研磨面（１０）に加圧された状
態で穆勤し、その後、同様の状態で区間（Ｅ２）では第
２辺（ｆＬｚ）に沿って研磨用工具（２０）が移動し、
区間（Ｅ３）では第３辺（１，）に沿って研磨用工具（
２０）が移動し、区間（Ｅ４）では第４辺（１４）に沿
って研磨用工具（２０）が被研磨面（１０）に加圧され
た状態で移動する。

従って、この実施例のものでは、被研磨面（１０）と研
磨用工具（２０）との間の四つの対向平面のうちの圧接
平面の組が順次変化すると共に、前記圧接平面相互が被
研磨面（１０）の周回方向にｆｇ勤する。

つまり、ワーク（Ｗ）に形成した被研磨面（１０）に対
して研磨用工具（２０）が、第９図に示すように、研磨
用工具（２０）の中心（Ｇ）が同図に示す矢印の軌跡で
Ｂ勤することとなり、第１辺（ｆＬｔ）〜第４辺（１４
）に沿う各平面が、これに対向する研磨用工具（２０）
の平面によって水平方向に摺擦され、この摺擦平面が順
次変化する。尚、摺擦時における研磨用工具（２０）と
被研磨面（１０）との対面部の圧接力を確保するため、
自由状態における研磨用工具（２０）のＸ軸方向及びＹ
軸方向の移動ストローク（１゜）辻、研磨用工具（２０
）と被研磨面（１０）との間隙より大きく設定されてい
る。

以上のことから、この実施例のものでは、研磨用工具（
２０）と被研磨面（１０）との間隙に形を介在させ、振
動発生器（３）を動作状態として第１・第２駆動手段（
４１）　（４２）を以上に詳述した過程で動作を繰り返
すと、各大の内周面が自動的に研磨されることとなる。

■、穴や円形の凹陥部の内周面を研磨する場合この場合
には第１０図に示す第１制御手段（５１）及び第２制御
手段（５２）が採用できる。この第２実施例のものでは
、発信回路（５６）からの正弦波出力を非反転の第１増
幅回路（５８）を介して第１Ｗ！Ａ勅手段（４１）に印
加されると共に、前記発信回路（５６）からの出力を遅
延回路（５７）を介して非反転の第２増幅回路（５９）
から第２駆動手段（４２）に印加されている。ここで、
前記遅延回路（５））は、発信回路（５６］からの正弦
波出力を１７４周期ずらせて出力させるようにしたもの
で、この実施例では、前記発信回路（５６）が第１制御
手段（５１）として機能し、この発信回路と遅延回路（
５６）との組合せが第２制御手段（５２）となる。

このものでは、第１増幅回路（５８）からの出力波形は
、第１１図の（Ａ）のようになり、第２増幅回路（５９
）からの出力波形は同図の（Ｂ）のようになる。

従って、被研磨面（１０）の中心は、これら二つの波形
が合成された軌跡で移動できることとなり、被研磨面（
０１）の中心は水平面上で円運動をすることとなる。

そして、このものでは、自由状態における前記被研磨面
（１０）の中心（Ｇ）の軌跡の半径を研磨用工具（２０
）と被研磨面（１０）との間隙よりも大きく設定して、
上記過程で第１・第２駆動手段（４１）　（４２）を駆
動させるが、このとぎ、ワーク（Ｗ）の研磨用工具（２
０）の中心と被研磨面（１０）の中心とを偏心させて、
第１１図のようにセットし、この初期セット状態におい
て被研磨面（１０）の胴部が研磨用工具（２０）に一定
の圧接力で圧接されるようにする。尚、このセット位置
では、中心（Ｇ）の運動軌跡の始点と対向する研磨用工
具（２０）の母線と被研磨面（１０）の母線とが対接す
るようにする。つまり、研磨用工具（２０）及び被研磨
面（１０）の母線でＸ軸°の正方向の母線相互が対接す
るようにする。

ワーク（Ｗ）を上記のようにセットできるようにするた
め、この実施例では、ワーク（Ｗ）を載置するベッド（
１）を左右方向に微調整可能に構成している。

従って、予め設定された自由状態における中心（Ｇ）の
移動軌跡半径を「Ｒ」とし、被研磨面（１０）と研磨用
工具（２０）とを同心とした場合の間隙をｒ、］とする
と、研磨用工具（２０）を被研磨面（１０）に挿入しな
い状態における研磨用工具（２０）の中心と中心（Ｇ）
の偏心量をｒＲ−ｒＪに設定する。この場合には、研磨
用工具（２０）を被研磨面（１０）に嵌大した状態にお
いて、上記の経過で第１・第２駆動手段（４１）　（４
２）を駆動させると、中心（Ｇ）の円運動軌跡の半径は
「ｒ」に一致し、前記偏心量に相当する圧接力が研磨用
工具（２０）の移動軌跡全域において研磨用工具（２０
）から被研磨面（１０）に作用することとなる。

なお、この場合においても、研磨剤（Ｋ）を被研磨面（
１０）と研磨用工具（２０）との間に介在させ、しかも
、チャック（２）　に具備させた振動発生器（３）を動
作状態とすることは言うまでもなく、研磨用工具（２０
）は軸線方向に高周波振動しながら、前記軌跡で移動す
ることとなって、丸穴や円形の凹陥部の内周面が自動的
に研磨される。

この実施例のものは、被研磨面（１０）の端部の平面形
状が円形のものに対応させるようにしたが、これを被研
磨面（１０）の端部の平面形状が楕円や第１３図に示す
ような非円形のものにも対応させ得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理説明図、Ｎ２図は請求項１の発明
を実施する装置で請求項２の発明の実施例となる装置外
観側面図、第３図はその正面図。 第４図はチャック（２）の要部断面図（ｒ−ｌ断面図）
、第５図はＩＩ　−ＩＩ断面図、第６図は要部の分解斜
視図、第７図は第１・第２駆動手段（４１）　（４２）
の第１実施例の説明図、第８図はこの実施例の各部の出
力状態を示すタイムチャート、第９図はこの実施例の被
研磨面（１０）と研磨用工具（２０）との関係及び移動
経路説明図、第１０図は第１・第２駆動手段（４１）　
（４２）の第２実施例の説明図、第１１図はこの実施例
の各部の出力状態を示すタイムチャート、第１２図はこ
の実施例の被研磨面（１０）と研磨用工具（２０）との
関係及び移動経路の説明図、第１３図は被研磨面（１０
）と研磨用工具（２０）の他の形態の関係図であり、図
中、。 （１０）・・・被研磨面 （２０）・・・研磨用工具 （Ｋ）　　・・・研磨剤 【２》　　・・・チャック （Ｗ）　　・・・ワーク （１》　　・・・ベッド （３１・・・振動発生器 （２１）・・・支持体 （４１》・・・第１駆動手段 （４２）・・・第２駆動手段 （５１）・・・第１制御手段 （５２》・・・第２制御手段

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ［１］、被研磨部を放電加工によって製作した被研磨面
   （１０）とし、前記放電加工用の電極を研磨用工具（２
   ０）とし、この研磨用工具（２０）の胴部と被研磨面（
   １０）との間に研磨剤（Ｋ）を介在させて前記研磨用工
   具（２０）と被研磨面（１０）とを相対的に軸線方向に
   高周波振動させ、前記研磨用工具（２０）の胴部の一部
   と被研磨面（１０）とを所定の圧力で対面させるととも
   に、この対面部分を被研磨面（１０）の全周に沿って順
   次変化させるようにした研磨方法。 ［２］、研磨用工具（２０）を保持するチャック（２）
   と、被研磨面（１０）を具備するワーク（Ｗ）を保持す
   るベッド（１）と、前記チャック（２）とベッド（１）
   とを被研磨面（１０）の軸線方向に相対的に高周波振動
   させる振動発生器（３）と、前記チャック（２）をベッ
   ド（１）に対して研磨用工具（２０）の軸線方向に進退
   自在に保持する支持体（２１）と、この支持体（２１）
   とチャック（２）との間又は支持体（２１）とベッド（
   １）との間に介装され且研磨用工具（２０）の軸線に対
   して直角にＸ軸方向に一定範囲往復駆動させる第１駆動
   手段（４１）及びＹ軸方向に一定範囲往復駆動させる第
   ２駆動手段（４２）と、前記第１駆動手段（４１）の往
   復移動距離及び往復移動周期を制御する第１制御手段（
   ５１）と、前記第２駆動手段（４２）の往復移動距離及
   び往復移動周期を制御する第２制御手段（５２）と、前
   記各制御手段からの出力信号に一周期未満の位相ズレを
   設けた研磨装置。