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JPH03134275A - Micro-dispensing device - Google Patents

Micro-dispensing device

Info

Publication number
JPH03134275A
JPH03134275A JP26950689A JP26950689A JPH03134275A JP H03134275 A JPH03134275 A JP H03134275A JP 26950689 A JP26950689 A JP 26950689A JP 26950689 A JP26950689 A JP 26950689A JP H03134275 A JPH03134275 A JP H03134275A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric element
micro
voltage
electrode
pump unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP26950689A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hajime Miyazaki
肇 宮崎
Tsukasa Muranaka
司 村中
Hirosuke Uehara
太介 上原
Masaaki Handa
半田 正明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP26950689A priority Critical patent/JPH03134275A/en
Priority to KR1019900016427A priority patent/KR910008284A/en
Priority to EP90311316A priority patent/EP0424087A1/en
Publication of JPH03134275A publication Critical patent/JPH03134275A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、所定時間連続あるいは間欠的に流体を微量吐
出する携帯型の装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a portable device that discharges a small amount of fluid continuously or intermittently for a predetermined period of time.

[従来の技術] 従来、微量吐出装置としては、第7図に示すように、電
磁アクチュエーター701を駆動力とし、これに大小の
歯車を組み合わせた伝動装置702を結合し、これによ
り注射筒をアーム704によって直接押すものが特開昭
54−12191および特公昭61−22599に提言
されている。
[Prior Art] Conventionally, as shown in FIG. 7, a small amount dispensing device uses an electromagnetic actuator 701 as a driving force, and a transmission device 702 which is a combination of large and small gears is coupled to this, thereby moving a syringe barrel into an arm. 704 is proposed in Japanese Patent Application Laid-open No. 54-12191 and Japanese Patent Publication No. 61-22599.

[発明が解決しようとする課題] ところが、これは電磁アクチュエーターを利用している
ため、電磁ノイズに対して弱く、消費電流も大きくなる
。また歯車を用いているため、バックラッシュによる、
吐出ユのばらつきが大きく、構造も複雑になる。さらに
注射筒を押しているため全体形状が大きくなり、携帯用
としては問題があった。本発明の目的は、電磁ノイズに
対して強く、携帯用として小さな電池が使えるよう消費
電流を少なく、かつ吐出精度のよい小型の携帯用微量吐
出装置を提供することにある。
[Problems to be Solved by the Invention] However, since this uses an electromagnetic actuator, it is vulnerable to electromagnetic noise and consumes a large amount of current. Also, since gears are used, backlash may occur,
The discharging unit has large variations and the structure is complicated. Furthermore, since the syringe barrel is pushed, the overall shape becomes large, which poses a problem for portable use. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a small portable micro-volume ejection device that is resistant to electromagnetic noise, consumes less current so that a small battery can be used for portable use, and has good ejection accuracy.

[課題を解決するための手段] 本発明の微量吐出装置は少なくとも、セラミック系また
は有機系の圧電素子を有するポンプユニットと前記ポン
プユニットを作動させるための集積回路、前記集積回路
を動かすための電源から構成されることを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] A micro-discharge device of the present invention includes at least a pump unit having a ceramic or organic piezoelectric element, an integrated circuit for operating the pump unit, and a power source for operating the integrated circuit. It is characterized by consisting of.

[作用コ 本発明の上記構成によれば、集積回路からの駆動信号に
より、圧電素子に駆動パルス電圧が印加され、圧電素子
はラジアル方向への伸縮を行う。
[Function] According to the above configuration of the present invention, a drive pulse voltage is applied to the piezoelectric element in response to a drive signal from the integrated circuit, and the piezoelectric element expands and contracts in the radial direction.

よって前記圧電素子が貼つけられている振動板は上下に
振動し、この運動によりタンク内の流体はポンプユニッ
ト内へ吸入され、そして吐出口より吐出されるよう作用
する。
Therefore, the diaphragm to which the piezoelectric element is attached vibrates up and down, and this movement causes the fluid in the tank to be sucked into the pump unit and discharged from the discharge port.

[実施例コ 次に本発明の詳細について図面を参照して説明する。第
1図は本発明による微量吐出装置の一実施例である。
[Embodiment] Next, details of the present invention will be explained with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of a micro-discharge device according to the present invention.

本発明による微量吐出装置は圧電素子、振動板、逆止弁
、および吸入口、吐出口、流路を有する本体などからな
るポンプユニット101、ポンプユニット101を作動
させるための集積回路102、前記集積回路102、昇
圧コイル、コンデンサーなどの電気素子類、基板などか
らなる回路ブロック103、電源としての電池104、
外部操作スイッチ105、タンク106、ケース107
および表示体108から構成される。
The micro-discharge device according to the present invention includes a pump unit 101 consisting of a piezoelectric element, a diaphragm, a check valve, and a main body having an inlet, an outlet, and a flow path, an integrated circuit 102 for operating the pump unit 101, and an integrated circuit 102 for operating the pump unit 101. A circuit 102, a circuit block 103 consisting of electrical elements such as a boost coil and a capacitor, a board, etc., a battery 104 as a power source,
External operation switch 105, tank 106, case 107
and a display body 108.

第2図は、前記ポンプユニット101の詳細図である。FIG. 2 is a detailed view of the pump unit 101.

圧電素子201、電極用金属板202、振動板203、
吸入逆止弁204、吐出逆止弁205、そして吸入口2
06、吐出口207、吸入弁室208、吐出弁室209
を有するA本体210、そして加圧室211、前記加圧
室と弁室との吸入孔212、吐出孔213を有するB本
体214より構成される。B本体214は逆止弁204
.205を組み込まれたA本体210及び、圧電素子2
01、電極用金属板202を貼りつけた振動板203と
超音波溶着または接着剤等により組み立てられる。
Piezoelectric element 201, electrode metal plate 202, diaphragm 203,
Suction check valve 204, discharge check valve 205, and suction port 2
06, discharge port 207, suction valve chamber 208, discharge valve chamber 209
The main body 210 includes a main body 210 having a pressurizing chamber 211, a suction hole 212 between the pressurizing chamber and the valve chamber, and a main body B 214 having a discharge hole 213. B main body 214 is check valve 204
.. A main body 210 incorporating 205 and piezoelectric element 2
01. The diaphragm 203 to which the electrode metal plate 202 is attached is assembled by ultrasonic welding or adhesive.

第3図は本発明の回路ブロック図の一実施例である。3
01はリチウム電池等の電源、302は昇圧回路、30
3はCPU、304は低電圧の信号を高電圧の信号に変
換するレベルシフタ。305は306の圧電素子を駆動
するドライバーである。307はポンプの流量等を表示
する表示装置308は流量等を選択するスイッチである
。前記308のスイッチにより流量を選択し、CPU3
03からポンプ駆動信号が出力される。CPUの信号は
一般的に3から5ボルトの電圧で動作しており、また圧
電素子は50ボルト等の高電圧で動作させる。そこで、
302の昇圧回路で3ボルトの電圧を50ボルトに昇圧
し、レベルシフタ304によってCPUからの信号を5
0ボルトの信号に変換する。
FIG. 3 is an embodiment of a circuit block diagram of the present invention. 3
01 is a power source such as a lithium battery, 302 is a booster circuit, 30
3 is a CPU, and 304 is a level shifter that converts a low voltage signal into a high voltage signal. 305 is a driver that drives the piezoelectric element 306. 307 is a display device 308 that displays the flow rate of the pump, and a switch that selects the flow rate and the like. The flow rate is selected by the switch 308, and the CPU 3
A pump drive signal is output from 03. CPU signals are generally operated at a voltage of 3 to 5 volts, and piezoelectric elements are operated at a high voltage such as 50 volts. Therefore,
A booster circuit 302 boosts the voltage from 3 volts to 50 volts, and a level shifter 304 converts the signal from the CPU to 50 volts.
Convert to 0 volt signal.

第4図(a)は−射的なチョッパ型昇圧回路の一実施例
である。401.402が入力端子、403.404が
出力端子である。端子401.403は共通電極Vdd
となっている。402は一3ボルト等の低電圧Vssl
、404は一50ボルト等の高電圧Vsshである。4
05は昇圧コイル、406は第一のスイッチング素子、
407は第一のスイッチング素子406のオン・オフの
制御をする制御回路、408は帰還回路で抵抗409と
410で構成されている。411は出力を平滑する平滑
コンデンサ、415は逆流防止ダイオード、412は直
流入力、413は直流出力、414はスイッチング素子
406を制御する制御信号である。制御信号414によ
りスイッチング素子406がオンすると、直流人力41
2から供給された電流は昇圧コイル405とスイッチン
グ素子406を通して流れはじめ、時間と共に増加して
いき、流れる電流値の2乗に比例するエネルギーが昇圧
コイル405に蓄積される。次にスイッチング素子40
6がオフすると、昇圧コイル405に蓄積されたエネル
ギーは、逆流防止ダイオード415を通じて、平滑コン
デンサ411に蓄積される。ここで逆流防止ダイオード
415は、スイッチング素子406がオンした時に、平
滑コンデンサ411に蓄積された電荷が、スイッチング
素子406を通じて逃げるのを防止している。
FIG. 4(a) shows an embodiment of a directional chopper type booster circuit. 401.402 are input terminals, and 403.404 are output terminals. Terminals 401 and 403 are common electrode Vdd
It becomes. 402 is a low voltage Vssl such as 13 volts
, 404 is a high voltage Vssh such as 150 volts. 4
05 is a boost coil, 406 is a first switching element,
407 is a control circuit that controls on/off of the first switching element 406; 408 is a feedback circuit made up of resistors 409 and 410; 411 is a smoothing capacitor for smoothing the output, 415 is a reverse current prevention diode, 412 is a DC input, 413 is a DC output, and 414 is a control signal for controlling the switching element 406. When the switching element 406 is turned on by the control signal 414, the direct current human power 41
The current supplied from No. 2 begins to flow through the boost coil 405 and the switching element 406, increases with time, and energy proportional to the square of the flowing current value is stored in the boost coil 405. Next, the switching element 40
6 is turned off, the energy stored in the boost coil 405 is stored in the smoothing capacitor 411 through the backflow prevention diode 415. Here, the backflow prevention diode 415 prevents the charge accumulated in the smoothing capacitor 411 from escaping through the switching element 406 when the switching element 406 is turned on.

直流出力413は、抵抗409.410で構成される帰
還回路408で分圧されて制御回路407に送られ、そ
の値は制御回路407の内部の基準電圧と比較される。
The DC output 413 is voltage-divided by a feedback circuit 408 composed of resistors 409 and 410 and sent to the control circuit 407, and its value is compared with a reference voltage inside the control circuit 407.

制御回路407が比較結果を元に制御信号414を切り
替えてスイッチング素子406のオン・オフを制御して
直流出力413が一定値となるようにしている。
A control circuit 407 switches a control signal 414 based on the comparison result to control ON/OFF of the switching element 406 so that the DC output 413 becomes a constant value.

第4図(b)はレベルシフタ回路の一例である。FIG. 4(b) is an example of a level shifter circuit.

421は信号人力VinでありVdd、Vsslレベル
の信号が入力され、422は信号出力VOであり、Vd
d、Vsshレベルの信号が出力される。423はイン
バーター 424)tVdd、425はVssh、42
6.427はPチャンネルのFET、428.429は
NチャンネルのFETである。421にVddレベルの
信号が入力された場合、トランジスタ427.428は
オンし、トランジスタ426.429はオフする。よっ
て出力422にはVddが出力される。またVin42
1にVsslレベルの信号が加えられたときには、トラ
ンジスタ426.429がオンし、トランジスタ427
.428はオフし、出力422にはVsshレベルの信
号が出力される。
421 is a signal input Vin, into which signals of Vdd and Vssl levels are input, and 422 is a signal output VO, which is input with Vdd and Vssl level signals.
d, a Vssh level signal is output. 423 is an inverter 424) tVdd, 425 is Vssh, 42
6.427 is a P-channel FET, and 428.429 is an N-channel FET. When a Vdd level signal is input to 421, transistors 427 and 428 are turned on and transistors 426 and 429 are turned off. Therefore, Vdd is output to the output 422. Also Vin42
When a Vssl level signal is applied to 1, transistors 426 and 429 turn on, and transistor 427
.. 428 is turned off, and a Vssh level signal is output to the output 422.

第4図くC)はドライバ回路の一例である。440は入
力信号Vin、441はインバータ、442.443は
レベルシフタ、444.446はPチャンネルのトラン
ジスタ、445.447はNチャンネルのトランジスタ
、449は圧電素子であり、450.451は圧電素子
449の電極である。440にVddレベルの信号が印
加されたときには、トランジスタ444.447がオフ
し、トランジスタ445.446がオンするので、電極
450にはVssh、電極451tはVddの電圧が印
加される。また440にVsslの信号が印加されたと
きには、同様に電極450にはVdd、電極451には
Vsshの電圧が印加され、圧電素子を駆動する。
Figure 4C) is an example of a driver circuit. 440 is an input signal Vin, 441 is an inverter, 442.443 is a level shifter, 444.446 is a P-channel transistor, 445.447 is an N-channel transistor, 449 is a piezoelectric element, and 450.451 is an electrode of the piezoelectric element 449 It is. When a Vdd level signal is applied to the electrode 440, the transistors 444 and 447 are turned off and the transistors 445 and 446 are turned on, so that the voltage of Vssh and the voltage of Vdd are applied to the electrode 450 and the electrode 451t, respectively. Further, when a signal of Vssl is applied to the electrode 440, a voltage of Vdd is similarly applied to the electrode 450, and a voltage of Vssh is applied to the electrode 451, thereby driving the piezoelectric element.

第5図は、ポンプユニットの動作について示す。FIG. 5 shows the operation of the pump unit.

第5図(a)にポンプユニットを示す。501は圧電素
子、502は電極用金属板、振動板516、吸入逆止弁
503、吐出逆止弁504、そして、吸入口505、吐
出口506、吸入弁室507、吐出弁室508を有する
A本体509、そして加圧室510、前記加圧室と弁室
との吸入孔511、吐出孔512を有するB本体513
より構成され、加圧室510、弁室507.508には
液体が充填されている。圧電素子501の上面の電極が
514、下面の電極が515であり電極514にVdd
、515にVsshの電圧が印加されたときにはラジア
ル方向に収縮するとする。また、それぞれ第4図(c)
の端子451.450に対応する。第6図に第5図のポ
ンプユニットの駆動波形を示す、第6図(a)は第3図
のCPU 303から出力される駆動波形であり、第6
図(b)、(C)はそれぞれ第5図の端子514.51
5に対応する。第6図の601の期間には514にVd
d、515にVsshの電圧が印加され、圧電素子50
1はラジアル方向に収縮するので、振動板516は第5
図(b)のように下に凸に変位する。
FIG. 5(a) shows the pump unit. 501 is a piezoelectric element, 502 is a metal plate for an electrode, a diaphragm 516, a suction check valve 503, a discharge check valve 504, and an A having a suction port 505, a discharge port 506, a suction valve chamber 507, and a discharge valve chamber 508. A main body 513 having a main body 509, a pressurizing chamber 510, a suction hole 511 between the pressurizing chamber and the valve chamber, and a discharge hole 512.
The pressure chamber 510 and valve chambers 507 and 508 are filled with liquid. The electrode on the top surface of the piezoelectric element 501 is 514, the electrode on the bottom surface is 515, and Vdd is applied to the electrode 514.
, 515 contract in the radial direction when a voltage of Vssh is applied to them. Also, Fig. 4(c)
corresponds to terminal 451.450 of . FIG. 6 shows the drive waveform of the pump unit in FIG. 5. FIG. 6(a) is the drive waveform output from the CPU 303 in FIG.
Figures (b) and (C) are terminals 514 and 51 of Figure 5, respectively.
Corresponds to 5. In the period 601 in FIG. 6, Vd is 514.
d, 515 is applied with a voltage of Vssh, and the piezoelectric element 50
1 contracts in the radial direction, the diaphragm 516
It is displaced convexly downward as shown in Figure (b).

すると加圧室510に充填されている液体は、加圧され
吐出逆止弁504を押し下げ、吐出口506へ液体を移
動させ、また吸入逆止弁503があるため、加圧室51
0から吸入口505への液体の逆流はない。次に、第6
図の602の期間には電極514にVssh、電極51
5にVddが印加され、 圧電素子501はラジアル方向に伸張するので、振動板
516は第5図(C)のように上に凸に変位する。する
と加圧室510に充填されている液体は、減圧され吸入
逆止弁503を押し上げ、吸入口505から加圧室51
0へと液体を移動させる。また吐出逆止弁504がある
ため、加圧室510から吐出口506への液体の移動は
ない。以上第5図(b)、(c)の動作を繰り返すこと
により、吸入口505から吐出口506へと液体を移動
させることが可能となる。
Then, the liquid filled in the pressurizing chamber 510 is pressurized and pushes down the discharge check valve 504, moving the liquid to the discharge port 506. Also, since the suction check valve 503 is present, the liquid filled in the pressurizing chamber 51
There is no backflow of liquid from 0 to inlet 505. Next, the sixth
During the period 602 in the figure, Vssh is applied to the electrode 514, and the electrode 51
5 is applied, and the piezoelectric element 501 expands in the radial direction, so that the diaphragm 516 is displaced in an upwardly convex manner as shown in FIG. 5(C). Then, the liquid filled in the pressurized chamber 510 is depressurized, pushes up the suction check valve 503, and flows from the suction port 505 into the pressurized chamber 51.
Move the liquid to 0. Further, since the discharge check valve 504 is provided, there is no movement of liquid from the pressurizing chamber 510 to the discharge port 506. By repeating the operations shown in FIGS. 5(b) and 5(c) above, it becomes possible to move the liquid from the suction port 505 to the discharge port 506.

[発明の効果コ 以上説明したように、微量吐出装置として、圧電素子を
用いたポンプを使用するため、電磁型アクチュエーター
を用いた吐出装置と比べ構成部品を少なくでき、小型化
が可能でありコストが低減でき、またタンクの形状が制
限されないため、吐出装置の形状の自由度が多くなる。
[Effects of the invention] As explained above, since a pump using a piezoelectric element is used as a micro-volume dispensing device, the number of components can be reduced compared to a dispensing device using an electromagnetic actuator, making it possible to reduce the size and cost. can be reduced, and the shape of the tank is not limited, so there is more freedom in the shape of the discharge device.

また圧電素子は、電圧駆動によるアクチュエーターのた
め消費電流はμAのオーダーであるため消費電流を少な
くでき、リチウム電池等の電源においても電池寿命のな
がい携帯用微量吐出装置が可能となる。また電磁アクチ
ュエーターをもちいた微量吐出装置においては、1ステ
ツプ毎の流量は調整できないが、本微量吐出装置は圧電
素子を用いているため、電圧によって変位量つまり吐出
量が制御できるので、吐出量の周波数による制御と共に
、1ステツプ毎の流量の電圧制御ができ、吐出量の微量
調整が可能となる。そして、圧電素子は変位量が1μm
以下での制御も可能であり電磁アクチュエーターを用い
た吐出装置と違い歯車によるバックラッシュが無いので
、例えば径が10mmの加圧室を用いるとすると体積に
換算して0.02μリツトルという非常に微小な量での
正確な制御が可能となる。また圧電素子は、磁界の影響
を受けないため、磁場が存在する状態においても電磁型
アクチュエーターのように誤動作することがなく安全性
の高い、微量吐出装置を提供できる。
In addition, since the piezoelectric element is a voltage-driven actuator, the current consumption is on the order of μA, so the current consumption can be reduced, and even with a power source such as a lithium battery, a portable micro-dispensing device can be used over the life of the battery. Furthermore, in a micro-dispensing device using an electromagnetic actuator, the flow rate cannot be adjusted for each step, but since this micro-dispensing device uses a piezoelectric element, the amount of displacement, that is, the dispensing amount, can be controlled by voltage. In addition to frequency control, the flow rate can be controlled by voltage for each step, making it possible to finely adjust the discharge amount. The piezoelectric element has a displacement of 1 μm.
It is also possible to control the amount below, and unlike a dispensing device using an electromagnetic actuator, there is no backlash caused by gears, so if a pressurized chamber with a diameter of 10 mm is used, the volume is very small at 0.02 μl in terms of volume. Accurate control over large quantities is possible. Furthermore, since piezoelectric elements are not affected by magnetic fields, they do not malfunction like electromagnetic actuators even in the presence of a magnetic field, making it possible to provide a highly safe micro-discharge device.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図(a)、(b)は、本発明の微量吐出装置の一実
施例を示す図。 第2図は、ポンプユニットを示す図。 第3図は、本発明の微量吐出装置の回路ブロック図。 第4図(a)は、昇圧回路図、第4図(b)はレベルシ
フタ図、第4図(C)は、ドライバーの一例を示す図。 第5図(a)〜(C)は、ポンプユニットの動作説明図
。 第6図は、ポンプユニットの駆動信号図。 第7図は、従来例を示す図。 以 上 出願内 セイコーエプソン株式会社
FIGS. 1(a) and 1(b) are diagrams showing an embodiment of a minute amount discharging device of the present invention. FIG. 2 is a diagram showing the pump unit. FIG. 3 is a circuit block diagram of the micro-discharge device of the present invention. FIG. 4(a) is a booster circuit diagram, FIG. 4(b) is a level shifter diagram, and FIG. 4(C) is a diagram showing an example of a driver. FIGS. 5(a) to 5(C) are explanatory views of the operation of the pump unit. FIG. 6 is a drive signal diagram of the pump unit. FIG. 7 is a diagram showing a conventional example. Seiko Epson Corporation

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 少なくとも、セラミック系または有機系の圧電素子を有
するポンプユニットと前記ポンプユニットを作動させる
ための集積回路、前記集積回路を動かすための電源から
構成されることを特徴とする微量吐出装置。
A micro-volume dispensing device comprising at least a pump unit having a ceramic or organic piezoelectric element, an integrated circuit for operating the pump unit, and a power source for operating the integrated circuit.
JP26950689A 1989-10-17 1989-10-17 Micro-dispensing device Pending JPH03134275A (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26950689A JPH03134275A (en) 1989-10-17 1989-10-17 Micro-dispensing device
KR1019900016427A KR910008284A (en) 1989-10-17 1990-10-16 Micro pump
EP90311316A EP0424087A1 (en) 1989-10-17 1990-10-16 Micro-pump or micro-discharge device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26950689A JPH03134275A (en) 1989-10-17 1989-10-17 Micro-dispensing device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03134275A true JPH03134275A (en) 1991-06-07

Family

ID=17473369

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JP26950689A Pending JPH03134275A (en) 1989-10-17 1989-10-17 Micro-dispensing device

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JP (1) JPH03134275A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010019238A (en) * 2008-07-14 2010-01-28 Alps Electric Co Ltd Piezoelectric pump with built-in driver

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JP2010019238A (en) * 2008-07-14 2010-01-28 Alps Electric Co Ltd Piezoelectric pump with built-in driver

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