JPH03122504A - ストレインゲージ - Google Patents
ストレインゲージInfo
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- JPH03122504A JPH03122504A JP25890689A JP25890689A JPH03122504A JP H03122504 A JPH03122504 A JP H03122504A JP 25890689 A JP25890689 A JP 25890689A JP 25890689 A JP25890689 A JP 25890689A JP H03122504 A JPH03122504 A JP H03122504A
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- Japan
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- film
- expansion coefficient
- dope
- temperature
- thermal expansion
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、改良されたストレインゲージに関するもので
あり、更に詳しくは、温度及び湿度に対する寸法安定性
に極めて優れ、かつ吸湿率が低く、裂けにくく、耐薬品
性・耐熱性に優れた実質的にパラ配向型芳香族ポリアミ
ドからなるフィルムを用いたストレインゲージに関する
ものである。
あり、更に詳しくは、温度及び湿度に対する寸法安定性
に極めて優れ、かつ吸湿率が低く、裂けにくく、耐薬品
性・耐熱性に優れた実質的にパラ配向型芳香族ポリアミ
ドからなるフィルムを用いたストレインゲージに関する
ものである。
(従来の技術)
ストレインゲージは、紙、フェルト或は樹脂製等のシー
ト(フィルム)上に抵抗線(抵抗体グリッド)を配して
ゲージパターンを形成した歪計であるが、このフィルム
材として樹脂を用いる際には多くの問題点がある。
ト(フィルム)上に抵抗線(抵抗体グリッド)を配して
ゲージパターンを形成した歪計であるが、このフィルム
材として樹脂を用いる際には多くの問題点がある。
先ず、従来ストレインゲージの電気抵抗体の抵抗温度係
数は、熱処理により構造材の熱膨張係数とストレインゲ
ージの熱膨張係数とを加味し、測定対象構造材の熱膨張
に対する見かけ上の歪が最小になるように調整していた
。このことは、大きさが限定されかつ高い電気抵抗値の
ストレインゲージの要求に対しては抵抗体のグリッド幅
を小さくして対応せざるを得ず、相対的に抵抗体に対す
るベース材(フィルム)の熱膨張の影響を増大せしめる
ことになる。従って構造物の温度変化に対する見かけ上
の歪を抵抗体の抵抗温度係数のコントロールによって最
小にすることを困難にする。
数は、熱処理により構造材の熱膨張係数とストレインゲ
ージの熱膨張係数とを加味し、測定対象構造材の熱膨張
に対する見かけ上の歪が最小になるように調整していた
。このことは、大きさが限定されかつ高い電気抵抗値の
ストレインゲージの要求に対しては抵抗体のグリッド幅
を小さくして対応せざるを得ず、相対的に抵抗体に対す
るベース材(フィルム)の熱膨張の影響を増大せしめる
ことになる。従って構造物の温度変化に対する見かけ上
の歪を抵抗体の抵抗温度係数のコントロールによって最
小にすることを困難にする。
また、測定対象構造材の厚さが薄い場合には従来のスト
レインゲージを熱硬化性の接着剤で加圧接着した場合、
薄い構造材がストレインゲージのベース材との熱膨張の
差によって曲げられる。
レインゲージを熱硬化性の接着剤で加圧接着した場合、
薄い構造材がストレインゲージのベース材との熱膨張の
差によって曲げられる。
スパッタリング法等でポリマーシート上に合金抵抗体を
形成する際に、基板となるフィルムの温度は100〜3
00℃の適当な温度に保持しシート上に形成される合金
膜の結晶粒の大きさを整えて合金膜の抵抗温度係数をコ
ントロールする必要があるが、従来のベース材は耐熱性
に劣るため、これに対処し得る策が知られていなかった
。
形成する際に、基板となるフィルムの温度は100〜3
00℃の適当な温度に保持しシート上に形成される合金
膜の結晶粒の大きさを整えて合金膜の抵抗温度係数をコ
ントロールする必要があるが、従来のベース材は耐熱性
に劣るため、これに対処し得る策が知られていなかった
。
更にストレインゲージにはそのクリープ性能の改善や接
着強度の経時変化の防止、耐薬品性の向上環が要求され
てきた。
着強度の経時変化の防止、耐薬品性の向上環が要求され
てきた。
これらの問題点を解決するためにポリイミド樹脂を用い
た例として特開昭61−176803号公報が挙げられ
るが、このポリイミド樹脂を用いた例をしても上記問題
点、特に耐薬品性(耐アルカリ性)、クリープ特性の改
善については十分ではない。またポリイミド樹脂は非常
に高価であるためにその使用は敬遠されてきた。
た例として特開昭61−176803号公報が挙げられ
るが、このポリイミド樹脂を用いた例をしても上記問題
点、特に耐薬品性(耐アルカリ性)、クリープ特性の改
善については十分ではない。またポリイミド樹脂は非常
に高価であるためにその使用は敬遠されてきた。
(発明が解決しようとする課B)
本発明の目的は、上記従来の欠点を解決した高信頼性の
ストレインゲージを、安価に供給することを目的とする
。
ストレインゲージを、安価に供給することを目的とする
。
(課題を解決するための手段)
本発明は、ポリアミド系樹脂材料で構成されたフィルム
上に合金性の抵抗体グリッドから成るゲージパターンが
形成され、該ゲージパターンの両端部にリード線が接続
されたストレインゲージにおいて、前記ポリアミド系樹
脂材料が、対数粘度3.5以上の実質的にパラ配同型芳
香族ポリアミドからなるフィルムであり、25〜250
℃での熱膨張係数が(0〜l 5 ) X I O−6
+nm/nu++/ ’C1250℃における熱収縮率
がo、 i%以下、25℃における吸湿膨張係数が30
X 10−hIIn/nun/%RH以下、かつ25
℃65%RHにおける吸湿率が2.5重量%以下のフィ
ルムであることを特徴とするストレインゲージ、である
。
上に合金性の抵抗体グリッドから成るゲージパターンが
形成され、該ゲージパターンの両端部にリード線が接続
されたストレインゲージにおいて、前記ポリアミド系樹
脂材料が、対数粘度3.5以上の実質的にパラ配同型芳
香族ポリアミドからなるフィルムであり、25〜250
℃での熱膨張係数が(0〜l 5 ) X I O−6
+nm/nu++/ ’C1250℃における熱収縮率
がo、 i%以下、25℃における吸湿膨張係数が30
X 10−hIIn/nun/%RH以下、かつ25
℃65%RHにおける吸湿率が2.5重量%以下のフィ
ルムであることを特徴とするストレインゲージ、である
。
本発明に用いられるバラ配同型芳香族ポリアミドは、次
の構成単位からなる群より選択された単位から実質的に
構成される。
の構成単位からなる群より選択された単位から実質的に
構成される。
NH−Ar+−NH−(1)
CO−八r t −G O−(2)
Nll−Ar+−CO−(3)
ここで、Arl、Arz、およびAr、は各々2価の芳
香族基であり、(1)と(2)はポリマー中に存在する
場合は実質的に等モルである。
香族基であり、(1)と(2)はポリマー中に存在する
場合は実質的に等モルである。
本発明において、良好な耐熱性を確保するためには、八
r2、Arz、およびAr3は各々、いわゆる、直線配
向性の基である必要がある。
r2、Arz、およびAr3は各々、いわゆる、直線配
向性の基である必要がある。
ここで、直線配向性とは、その分子鎖を成長させている
結合が芳香族の反対方向に同軸または平行的に位置して
いることを意味する。このような2価の芳香族基の具体
例としては、パラフェニレン、4.4′−ビフェニレン
、1,4−ナフチレン、1,5−ナフチレン、2.5−
ピリダジン等があげられる。それらはハロゲン、低級ア
ルキル、ニトロ、メトキシ、シアノ基などの非活性基で
1または2以上置換されていてもよい。またこれらの2
価の芳香族の特別なものとして、一般式%式% で表される形の2価の基があげられる。ここでXは、4
以下の偶数個の原子の連鎖により構成、かつ2価の基−
Ar、−X−Ar、−が全体として実質的に共役二重結
合性を持つものである。Xとしては具体的には、トラン
ス−C11=CH−、−!t、N−,−CH=N−。
結合が芳香族の反対方向に同軸または平行的に位置して
いることを意味する。このような2価の芳香族基の具体
例としては、パラフェニレン、4.4′−ビフェニレン
、1,4−ナフチレン、1,5−ナフチレン、2.5−
ピリダジン等があげられる。それらはハロゲン、低級ア
ルキル、ニトロ、メトキシ、シアノ基などの非活性基で
1または2以上置換されていてもよい。またこれらの2
価の芳香族の特別なものとして、一般式%式% で表される形の2価の基があげられる。ここでXは、4
以下の偶数個の原子の連鎖により構成、かつ2価の基−
Ar、−X−Ar、−が全体として実質的に共役二重結
合性を持つものである。Xとしては具体的には、トラン
ス−C11=CH−、−!t、N−,−CH=N−。
などがあげられる。Ar、、Ar2およびAr=はいず
れも2種以上であってもよく、また相互に同じであって
も異なっていてもよい。
れも2種以上であってもよく、また相互に同じであって
も異なっていてもよい。
本発明に用いられるポリマーは、これまでに知られた方
法により、各々の単位に対応するジアミン、ジカルボン
酸、アミノカルボン酸より製造することが出来る。具体
的には、カルボン酸基をまず酸ハライド、酸イミダブラ
イド、エステル等に誘導した後にアミノ基と反応させる
方法が用いられ、重合の形式もいわゆる低温溶液重合法
、界面重合法、溶融重合法、固相重合法等を用いること
が出来る。
法により、各々の単位に対応するジアミン、ジカルボン
酸、アミノカルボン酸より製造することが出来る。具体
的には、カルボン酸基をまず酸ハライド、酸イミダブラ
イド、エステル等に誘導した後にアミノ基と反応させる
方法が用いられ、重合の形式もいわゆる低温溶液重合法
、界面重合法、溶融重合法、固相重合法等を用いること
が出来る。
本発明に用いる芳香族ポリアミドには、上記した以外の
基が約lOモル%以下共重合されたり、他のポリマーが
ブレンドされたりしていてもよい。
基が約lOモル%以下共重合されたり、他のポリマーが
ブレンドされたりしていてもよい。
本発明の芳香族ポリアミドとして最も代表的なものは、
ポリ−p−フェニレンテレフタルアミド(以下PPTA
と略称する。)やポリーP−ベンズアミドである。
ポリ−p−フェニレンテレフタルアミド(以下PPTA
と略称する。)やポリーP−ベンズアミドである。
本発明のポリマーの重合度は、あまり低いと機械的性質
の良好なフィルムが得られなくなるため、3.5以上好
ましくは4.5以上の対数粘度η1nh(硫酸100
allにポリマー0.5gを溶解して30℃で測定した
値)を与える重合度のものが選ばれる。
の良好なフィルムが得られなくなるため、3.5以上好
ましくは4.5以上の対数粘度η1nh(硫酸100
allにポリマー0.5gを溶解して30℃で測定した
値)を与える重合度のものが選ばれる。
本発明に用いられるフィルムは以下に述べる用件を満た
すべきである。
すべきである。
先ず第一に、本発明に用いられるフィルムの熱膨張係数
が25〜250℃の範囲で測定して(0〜15)×1O
−611ITIl/IIl[117℃の範囲内にあるこ
とである。一般の有機ポリマーの熱膨張係数は30X
10−”+nm/mm/”C以上であり、金属のそれは
(10〜20) X 10−bmm/mm/’C、セラ
ミックスノソレは(1〜10) x 10−bmm/m
m/”C7’ある。
が25〜250℃の範囲で測定して(0〜15)×1O
−611ITIl/IIl[117℃の範囲内にあるこ
とである。一般の有機ポリマーの熱膨張係数は30X
10−”+nm/mm/”C以上であり、金属のそれは
(10〜20) X 10−bmm/mm/’C、セラ
ミックスノソレは(1〜10) x 10−bmm/m
m/”C7’ある。
このように−船釣な有機ポリマーの熱膨張係数は金属や
セラミックスなどに比べて大きいが、本発明に用いるフ
ィルムの熱膨張係数は、セラミックスのそれに近く、金
属のそれとほとんどかわらない。熱膨張係数が金属やセ
ラミックスなどの無機材料と同程度に小さいと、これら
の無機材料と有機材料を組み合わせた場合温度変化に対
して同様に寸法変化が起こるため熱応力や反りが起こら
ず、工業的には非常に有用である。このような熱に対す
る寸法安定性の非常にすぐれたフィルムは、乾燥時の収
縮を防止して分子鎖の面配向性を保つこと、350℃以
上での乾燥または熱処理によってはじめて達成された。
セラミックスなどに比べて大きいが、本発明に用いるフ
ィルムの熱膨張係数は、セラミックスのそれに近く、金
属のそれとほとんどかわらない。熱膨張係数が金属やセ
ラミックスなどの無機材料と同程度に小さいと、これら
の無機材料と有機材料を組み合わせた場合温度変化に対
して同様に寸法変化が起こるため熱応力や反りが起こら
ず、工業的には非常に有用である。このような熱に対す
る寸法安定性の非常にすぐれたフィルムは、乾燥時の収
縮を防止して分子鎖の面配向性を保つこと、350℃以
上での乾燥または熱処理によってはじめて達成された。
第二に、本発明に用いられるフィルムは、250℃にお
ける熱収縮率が0.2%以下であるべきである。このよ
うに本発明に用いられるフィルムの熱収縮率は極めて小
さく、現在耐熱性フィルムとして大きい地位を占めてい
るポリイミドよりも優れているのである。熱収縮率は好
ましくは0.05%以下である。熱収縮率の極めて小さ
い本発明に用いられるフィルムは、乾燥または熱処理に
よって高められた配向性及び結晶性を実質的に減少させ
ることなく乾燥または熱処理よりも少し低いが250℃
以上の温度で、無緊張下または低張力下にフィルムを熱
固定することによって始めて得られる。
ける熱収縮率が0.2%以下であるべきである。このよ
うに本発明に用いられるフィルムの熱収縮率は極めて小
さく、現在耐熱性フィルムとして大きい地位を占めてい
るポリイミドよりも優れているのである。熱収縮率は好
ましくは0.05%以下である。熱収縮率の極めて小さ
い本発明に用いられるフィルムは、乾燥または熱処理に
よって高められた配向性及び結晶性を実質的に減少させ
ることなく乾燥または熱処理よりも少し低いが250℃
以上の温度で、無緊張下または低張力下にフィルムを熱
固定することによって始めて得られる。
このように本発明において熱収縮率が小さいフィルムを
使用しているためにストレインゲージを使用する際に温
度変化がおきても反りや剥離、抵抗値の変化等が生じな
いのである。
使用しているためにストレインゲージを使用する際に温
度変化がおきても反りや剥離、抵抗値の変化等が生じな
いのである。
第三に、本発明に用いられるフィルムは、25℃におけ
る吸湿膨張係数が30 X 10−htmn/ mm/
%RH以下である。吸湿膨張係数は、好ましくは20X
10−’飾/rrm/%RH以下である。このように吸
湿による寸法変化が小さいという特徴は、高温多湿の夏
と低湿乾燥の冬との季節開蓋に関係なく、ストレインゲ
ージが一定の性能や機能を発揮する上で重要であり、高
温での乾燥または熱処理による高い結晶性と配向性の確
保によって達成される。
る吸湿膨張係数が30 X 10−htmn/ mm/
%RH以下である。吸湿膨張係数は、好ましくは20X
10−’飾/rrm/%RH以下である。このように吸
湿による寸法変化が小さいという特徴は、高温多湿の夏
と低湿乾燥の冬との季節開蓋に関係なく、ストレインゲ
ージが一定の性能や機能を発揮する上で重要であり、高
温での乾燥または熱処理による高い結晶性と配向性の確
保によって達成される。
第四に、本発明に用いられるフィルムは、高温乾燥また
は熱処理による独特の高結晶性をもち25゛C65%R
Hにおける吸湿率が2.5重量%以下である。吸湿率が
2.5重量%より大きいとストレインゲージの抵抗値が
大幅に変動したり、ゲージパターンとフィルムとの接着
が経時的に低下してしまうという欠点が生じる。
は熱処理による独特の高結晶性をもち25゛C65%R
Hにおける吸湿率が2.5重量%以下である。吸湿率が
2.5重量%より大きいとストレインゲージの抵抗値が
大幅に変動したり、ゲージパターンとフィルムとの接着
が経時的に低下してしまうという欠点が生じる。
更に、本発明に用いられるフィルムは、23℃65%R
Hにおいて、10kg/睡2の荷重をかけたときの10
0hr後の伸び率が3%以下であることが望ましい。現
在ベースフィルムとして用いられているポリイミドやP
ETフィルムが7%以上の伸び率を示すことと比較する
と、良好な耐クリープ特性を示すことがわかる。このよ
うにクリープ特性が良好なことは、ストレインゲージを
長時間使用しても常に正確な値が得られることを示す。
Hにおいて、10kg/睡2の荷重をかけたときの10
0hr後の伸び率が3%以下であることが望ましい。現
在ベースフィルムとして用いられているポリイミドやP
ETフィルムが7%以上の伸び率を示すことと比較する
と、良好な耐クリープ特性を示すことがわかる。このよ
うにクリープ特性が良好なことは、ストレインゲージを
長時間使用しても常に正確な値が得られることを示す。
このような本発明に用いられるフィルムを得るためには
まずパラ配向型芳香族ポリアミドの光学異方性ドープを
調整する必要がある。
まずパラ配向型芳香族ポリアミドの光学異方性ドープを
調整する必要がある。
フィルムの成形に用いるドープを調整するのに適した溶
媒は、95重量%以上の濃度の硫酸である。95%未満
の硫酸では溶解が困難であったり、溶解後のドープが以
上に高粘度になる、本発明のドープには、クロル硫酸、
フルオル硫酸、五酸化リン、トリハロゲン化酢酸などが
少し混入されていてもよい。硫酸は100重量%濃度以
上のものも可能であるが、ポリマーの安定性や溶解性な
どの問題から98〜100重量%濃度が好ましくは用い
られている。
媒は、95重量%以上の濃度の硫酸である。95%未満
の硫酸では溶解が困難であったり、溶解後のドープが以
上に高粘度になる、本発明のドープには、クロル硫酸、
フルオル硫酸、五酸化リン、トリハロゲン化酢酸などが
少し混入されていてもよい。硫酸は100重量%濃度以
上のものも可能であるが、ポリマーの安定性や溶解性な
どの問題から98〜100重量%濃度が好ましくは用い
られている。
ドープ中のポリマー濃度は、常温(約20〜30℃)ま
たはそれ以上の温度で光学異方性を示す濃度以上のもの
であり、具体的には約10重量%以上で用いられる。こ
れ以下のポリマー濃度、すなわち常温またはそれ以上の
温度で光学異方性を示さないポリマー濃度では、成形さ
れたフィルムが好ましい機械的性質をもたなくなること
が多い。ドープのポリマー濃度の上限は特に限定される
ものではないが、通常は20重量%以下、特に高いηi
nhのパラ配向型芳香族ポリアミドに対しては18重量
%以下が好ましく用いられ、更に好ましくは16重量%
以下である。
たはそれ以上の温度で光学異方性を示す濃度以上のもの
であり、具体的には約10重量%以上で用いられる。こ
れ以下のポリマー濃度、すなわち常温またはそれ以上の
温度で光学異方性を示さないポリマー濃度では、成形さ
れたフィルムが好ましい機械的性質をもたなくなること
が多い。ドープのポリマー濃度の上限は特に限定される
ものではないが、通常は20重量%以下、特に高いηi
nhのパラ配向型芳香族ポリアミドに対しては18重量
%以下が好ましく用いられ、更に好ましくは16重量%
以下である。
ドープには普通の添加剤、例えば増量剤、除光剤、紫外
線安定化剤、熱安定化剤、抗酸化剤、顔料、溶解助剤な
どを混入してもよい。
線安定化剤、熱安定化剤、抗酸化剤、顔料、溶解助剤な
どを混入してもよい。
ドープが光学異方性か光学等方性であるかは、公知の方
法、例えば特公昭50−8474号公報記載の方法で調
べることができるが、その臨界点は、溶媒の種類、温度
、ポリマー濃度、ポリマーの重合度、非溶媒の含有量等
に依存するので、これらの関係を予め調べることによっ
て、光学異方性ドープを作り、光学等方性ドープとなる
条件に変えることで、光学異方性から光学等方性に変え
ることができる。
法、例えば特公昭50−8474号公報記載の方法で調
べることができるが、その臨界点は、溶媒の種類、温度
、ポリマー濃度、ポリマーの重合度、非溶媒の含有量等
に依存するので、これらの関係を予め調べることによっ
て、光学異方性ドープを作り、光学等方性ドープとなる
条件に変えることで、光学異方性から光学等方性に変え
ることができる。
ドープは、成形・凝固に先立って可能な限り不溶性のゴ
ミ、異物等を濾過等によって取り除いておくこと、溶解
中に発生または巻き込まれる空気等の気体を取り除いて
おくことが好ましい。脱気は、−旦ドープを調製したあ
とに行うこともできるし、調製のための原料の仕込の段
階から一貫して真空(減圧)下に行うことによっても達
成しうる。ドープの調製は連続または回分て行うことが
できる。
ミ、異物等を濾過等によって取り除いておくこと、溶解
中に発生または巻き込まれる空気等の気体を取り除いて
おくことが好ましい。脱気は、−旦ドープを調製したあ
とに行うこともできるし、調製のための原料の仕込の段
階から一貫して真空(減圧)下に行うことによっても達
成しうる。ドープの調製は連続または回分て行うことが
できる。
このようにして調製されたドープは、光学異方性を保っ
たまま、ダイ例えばスリットダイから、移動している支
持面上に流延される。本発明において、流延及びそれに
続く光学等方性への転化、凝固、洗浄、延伸、乾燥など
の工程は、好ましくは連続的に行われるが、もし必要な
らば、これらの全部または一部を断続的に、つまり回分
式に行ってもよい。
たまま、ダイ例えばスリットダイから、移動している支
持面上に流延される。本発明において、流延及びそれに
続く光学等方性への転化、凝固、洗浄、延伸、乾燥など
の工程は、好ましくは連続的に行われるが、もし必要な
らば、これらの全部または一部を断続的に、つまり回分
式に行ってもよい。
本発明に用いられる透明フィルムを得る方法は、ドープ
を支持面上に流延した後、凝固に先立ってドープを光学
異方性から光学等方性に転化するものである。
を支持面上に流延した後、凝固に先立ってドープを光学
異方性から光学等方性に転化するものである。
光学異方性から光学等方性にするには、具体的には支持
面上に流延した光学異方性ドープを凝固に先立ち、吸湿
させてドープを形成する溶剤の濃度を下げ、溶剤の溶解
能力およびポリマー濃度の変化により光学等方性域に転
移させるか、または加熱することによりドープを昇温し
、ドープの相を光学等方性に転移させる或は、吸湿と加
熱とを同時または逐次的に併用することにより達成でき
る。
面上に流延した光学異方性ドープを凝固に先立ち、吸湿
させてドープを形成する溶剤の濃度を下げ、溶剤の溶解
能力およびポリマー濃度の変化により光学等方性域に転
移させるか、または加熱することによりドープを昇温し
、ドープの相を光学等方性に転移させる或は、吸湿と加
熱とを同時または逐次的に併用することにより達成でき
る。
特に、吸湿を利用する方法は、加熱を併用する方法を含
めて、光学異方性の光学等力比が効率よくかつポリマー
の分解をひきおこすことなく出来るので、有用である。
めて、光学異方性の光学等力比が効率よくかつポリマー
の分解をひきおこすことなく出来るので、有用である。
ドープを吸湿させるには、通常の温度・湿度の空気でも
よいが、好ましくは、加湿または加温加湿された空気を
用いる。加湿空気は飽和蒸気圧をこえて霧状の水分を含
んでいてもよく、いわゆる水蒸気であってもよい。ただ
し、約45℃以下の過飽和水蒸気は、大きい粒状の凝縮
水を含むことが多いので好ましくはない。吸湿は通−席
、室温〜約180℃2好ましくは50℃〜150”Cの
加湿空気によって行われる。
よいが、好ましくは、加湿または加温加湿された空気を
用いる。加湿空気は飽和蒸気圧をこえて霧状の水分を含
んでいてもよく、いわゆる水蒸気であってもよい。ただ
し、約45℃以下の過飽和水蒸気は、大きい粒状の凝縮
水を含むことが多いので好ましくはない。吸湿は通−席
、室温〜約180℃2好ましくは50℃〜150”Cの
加湿空気によって行われる。
加熱による方法の場合、加熱の手段は特に限定されず、
蒸気の如き加湿された空気を流延ドープに当てる方法、
赤外線ランプを照射する方法、誘電加熱による方法など
である。
蒸気の如き加湿された空気を流延ドープに当てる方法、
赤外線ランプを照射する方法、誘電加熱による方法など
である。
支持面上で光学等力比された流延ドープは、次に凝固を
うける。ドープの凝固液として使用できるのは、例えば
水、約70重量%以下の希硫酸、約20%以下の水酸化
ナトリウム水溶液およびアンモニウム水、約10重量%
以下の硫酸ナトリウム、塩化ナトリウム水溶液および塩
化カルシウム水溶液などである。凝固液の温度は、好ま
しくは15℃以下であり、更に好ましくは5℃以下であ
る。何故なら、一般に、凝固液温度を低くした方が、フ
ィルムに包含されるボイドが少なくなるという傾向が見
い出されたからである。
うける。ドープの凝固液として使用できるのは、例えば
水、約70重量%以下の希硫酸、約20%以下の水酸化
ナトリウム水溶液およびアンモニウム水、約10重量%
以下の硫酸ナトリウム、塩化ナトリウム水溶液および塩
化カルシウム水溶液などである。凝固液の温度は、好ま
しくは15℃以下であり、更に好ましくは5℃以下であ
る。何故なら、一般に、凝固液温度を低くした方が、フ
ィルムに包含されるボイドが少なくなるという傾向が見
い出されたからである。
凝固されたフィルムはそのままでは酸が含まれているた
め、加熱による機械物性の低下の少ないフィルムを製造
するには酸分の洗浄、除去をできるだけ行う必要がある
。酸分の除去は、具体的には約500ppm以下まで行
うことが望ましい。洗浄液としては水が通常用いられる
が、必要に応じて温水で行ったり、アルカリ水溶液で中
和洗浄した後、水などで洗浄してもよい。洗浄は、例え
ば洗浄液中でフィルムを走行させたり、洗浄液を霧射す
る等の方法により行われる。
め、加熱による機械物性の低下の少ないフィルムを製造
するには酸分の洗浄、除去をできるだけ行う必要がある
。酸分の除去は、具体的には約500ppm以下まで行
うことが望ましい。洗浄液としては水が通常用いられる
が、必要に応じて温水で行ったり、アルカリ水溶液で中
和洗浄した後、水などで洗浄してもよい。洗浄は、例え
ば洗浄液中でフィルムを走行させたり、洗浄液を霧射す
る等の方法により行われる。
洗浄されたフィルムは、次に乾燥を受ける。乾燥つまり
水分の減少に伴って、フィルムを無緊張下に置くと、一
般にフィルムが収縮を起こすが、本発明に用いられるフ
ィルムの取得に当たっては、乾燥工程でフィルムを収縮
させないことが肝要である。ここで、収縮をさせないと
いう表現は、定長のまま乾燥させることと延伸しつつ乾
燥させることの二つが含まれていると解すべきである。
水分の減少に伴って、フィルムを無緊張下に置くと、一
般にフィルムが収縮を起こすが、本発明に用いられるフ
ィルムの取得に当たっては、乾燥工程でフィルムを収縮
させないことが肝要である。ここで、収縮をさせないと
いう表現は、定長のまま乾燥させることと延伸しつつ乾
燥させることの二つが含まれていると解すべきである。
そして、たとえば、フィルムの一方向にのみ延伸し、他
方向は定長のままという態様も許される。乾燥温度の選
定も重要で、350℃以上の温度(TI”c >で実施
するか、または−旦任意の温度で乾燥を行ったのち35
0℃以上の温度(TloC)で収縮をさせずに熱処理を
することで実施される。ここで、乾燥とはフィルムから
の水分の除去を意味し、それ以降のフィルムの物理的構
造(例えば、結晶状態)の変化をさせるのを熱処理と称
する。
方向は定長のままという態様も許される。乾燥温度の選
定も重要で、350℃以上の温度(TI”c >で実施
するか、または−旦任意の温度で乾燥を行ったのち35
0℃以上の温度(TloC)で収縮をさせずに熱処理を
することで実施される。ここで、乾燥とはフィルムから
の水分の除去を意味し、それ以降のフィルムの物理的構
造(例えば、結晶状態)の変化をさせるのを熱処理と称
する。
いずれにせよ、350℃以上のTl(’C)で緊張下に
構造の固定を行う必要があり、これによって、吸湿膨張
係数を小さくし、吸湿を抑えることができる。
構造の固定を行う必要があり、これによって、吸湿膨張
係数を小さくし、吸湿を抑えることができる。
このように350℃以上の温度Tl(”C)で乾燥また
は熱処理をしたのち、次いで250<72<Tl−30
を満たすT2(”C)で0〜0.8kg/帥2の無緊張
下または低張力下に熱処理を行うことも肝要である。こ
れは実質的無緊張下にいわゆる熱固定を行うことを意味
し、この熱固定によって熱収縮率を小さくでき、また副
次的に耐引裂性を向上できる。
は熱処理をしたのち、次いで250<72<Tl−30
を満たすT2(”C)で0〜0.8kg/帥2の無緊張
下または低張力下に熱処理を行うことも肝要である。こ
れは実質的無緊張下にいわゆる熱固定を行うことを意味
し、この熱固定によって熱収縮率を小さくでき、また副
次的に耐引裂性を向上できる。
上記した収縮をさせずに乾燥や熱処理を行うには、例え
ばテンターや金属枠に挟んでオーブン中に入れるなどの
方法で、また、弛緩下または低張力下の乾燥は、自由端
の状態でオープン中に入れる方法やテンターを定長にし
て温度を約50″Cより大きく下げる(つまりTl−7
2>50 (”C))方法、テンターの把持間隔を少
しせばめるなどの方法で実施できる。乾燥や熱処理に係
る他の条件は特に制限されるものではなく、加熱気体(
空気、窒素、アルゴンなど)や常温気体による方法、電
気ヒーターや赤外線ランプなどの副射熱の利用法、誘電
加熱法などの手段から自由に選ぶことができる。本発明
の方法において、全工程を通して連続してフィルムを走
行させつつ製造することが好ましい実施態様の1つであ
るが、望むならば部分的に回分式に行ってもよい。また
任意の工程で油剤、識別用の染料などをフィルムに付与
してもさしつかえない。
ばテンターや金属枠に挟んでオーブン中に入れるなどの
方法で、また、弛緩下または低張力下の乾燥は、自由端
の状態でオープン中に入れる方法やテンターを定長にし
て温度を約50″Cより大きく下げる(つまりTl−7
2>50 (”C))方法、テンターの把持間隔を少
しせばめるなどの方法で実施できる。乾燥や熱処理に係
る他の条件は特に制限されるものではなく、加熱気体(
空気、窒素、アルゴンなど)や常温気体による方法、電
気ヒーターや赤外線ランプなどの副射熱の利用法、誘電
加熱法などの手段から自由に選ぶことができる。本発明
の方法において、全工程を通して連続してフィルムを走
行させつつ製造することが好ましい実施態様の1つであ
るが、望むならば部分的に回分式に行ってもよい。また
任意の工程で油剤、識別用の染料などをフィルムに付与
してもさしつかえない。
尚、透明性にすぐれた、即ち光線透過率の極めて大きい
フィルムを得るために、ドープは熱論のこと、吸湿用気
体、加熱用気体、支持面体、凝固液、洗浄液、乾燥気体
等のゴミやチリの含有量が可及的に少なくなるようにす
ることが好ましく、この点、いわゆるクリーンルームや
クリーン水でフィルムを製造するのも好ましい実施態様
の1つである。
フィルムを得るために、ドープは熱論のこと、吸湿用気
体、加熱用気体、支持面体、凝固液、洗浄液、乾燥気体
等のゴミやチリの含有量が可及的に少なくなるようにす
ることが好ましく、この点、いわゆるクリーンルームや
クリーン水でフィルムを製造するのも好ましい実施態様
の1つである。
本発明において、バラ配向型芳香族ポリアミドフィルム
と、抵抗体となる合金とを一体化する場合、接着性が重
要である。抵抗体グリッドとフィルムとを一体化する方
法は、熱硬化性の接着剤で接着しても、スパッタリング
法、蒸着法等によりフィルム上に合金膜を形成してもよ
い。この際接着力を更に高めるための6案として、抵抗
体材料の表面を粗化したり、シランカップリング剤、チ
タネートカップリング剤、アルミアルコレート、アルミ
ニウムキレート、ジルコニウムキレート、アルミニウム
アセチルアセトンなどにより表面処理したり、フィルム
の表面をコロナ放電などにより処理することが挙げられ
る。以上の方法により得られる、特別な特性をもったパ
ラ配向型芳香族ポリアミドフィルムを絶縁基板とするこ
とにより、初めて、本発明の目的とする、苛酷な環境に
おいても、変性や変質、反りなどの発生しない高信頼性
のストレインゲージが得られるのである。
と、抵抗体となる合金とを一体化する場合、接着性が重
要である。抵抗体グリッドとフィルムとを一体化する方
法は、熱硬化性の接着剤で接着しても、スパッタリング
法、蒸着法等によりフィルム上に合金膜を形成してもよ
い。この際接着力を更に高めるための6案として、抵抗
体材料の表面を粗化したり、シランカップリング剤、チ
タネートカップリング剤、アルミアルコレート、アルミ
ニウムキレート、ジルコニウムキレート、アルミニウム
アセチルアセトンなどにより表面処理したり、フィルム
の表面をコロナ放電などにより処理することが挙げられ
る。以上の方法により得られる、特別な特性をもったパ
ラ配向型芳香族ポリアミドフィルムを絶縁基板とするこ
とにより、初めて、本発明の目的とする、苛酷な環境に
おいても、変性や変質、反りなどの発生しない高信頼性
のストレインゲージが得られるのである。
(実施例)
以下に実施例を示すが、これらの実施例は本発明を説明
するものであって、本発明を限定するものではない。
するものであって、本発明を限定するものではない。
第1図は本発明の一実施例に係るストレインゲージの平
面図であり、第2図は第1図に係る実施測高のA−A’
断面図である。図中、符号1は本発明に係る特徴的なバ
ラ配向型芳香族ポリアミドフィルムである。フィルム1
面にはゲージパターン2が形成されている。尚、フィル
ム1は当該樹脂のみから構成されていても、ゲージパタ
ーンを挟むようにして同じ或は他のポリマー材を設けて
もよい。フィルム材(つまりベース材)の厚さは例えば
7.5〜25μm程度である。ゲージパターン2は断面
で見ると第2図のごとく抵抗体グリッド4で構成されて
いる。抵抗体グリッド4の厚さは例えば0.3〜1.0
μmである。尚、符号3はリード線を示す。この例のも
のは、例えばフィルム上にCuN iまたはNiCr合
金をスパッタリング法または蒸着法により膜形成を行い
その後ホトエツチング法によりストレインゲージパター
ンを製作しストレインゲージを製作する工程、及びリソ
グラフィ法とスパッタリング法または蒸着法によりフィ
ルム上にCuN iまたはNiCr合金製膜のゲージパ
ターンを製作しストレインゲージを製作する工程等によ
って得られる。次に本発明に用いるバラ配向型芳香族ポ
リアミドフィルムの作成法に関してより詳細に例示する
。なお、実施例中特に限定しない場合は重量部または重
量%を示す。対数粘度ηinhは98%硫酸100 m
lにポリマー 0.5gを溶解し、30℃で常法で測定
した。
面図であり、第2図は第1図に係る実施測高のA−A’
断面図である。図中、符号1は本発明に係る特徴的なバ
ラ配向型芳香族ポリアミドフィルムである。フィルム1
面にはゲージパターン2が形成されている。尚、フィル
ム1は当該樹脂のみから構成されていても、ゲージパタ
ーンを挟むようにして同じ或は他のポリマー材を設けて
もよい。フィルム材(つまりベース材)の厚さは例えば
7.5〜25μm程度である。ゲージパターン2は断面
で見ると第2図のごとく抵抗体グリッド4で構成されて
いる。抵抗体グリッド4の厚さは例えば0.3〜1.0
μmである。尚、符号3はリード線を示す。この例のも
のは、例えばフィルム上にCuN iまたはNiCr合
金をスパッタリング法または蒸着法により膜形成を行い
その後ホトエツチング法によりストレインゲージパター
ンを製作しストレインゲージを製作する工程、及びリソ
グラフィ法とスパッタリング法または蒸着法によりフィ
ルム上にCuN iまたはNiCr合金製膜のゲージパ
ターンを製作しストレインゲージを製作する工程等によ
って得られる。次に本発明に用いるバラ配向型芳香族ポ
リアミドフィルムの作成法に関してより詳細に例示する
。なお、実施例中特に限定しない場合は重量部または重
量%を示す。対数粘度ηinhは98%硫酸100 m
lにポリマー 0.5gを溶解し、30℃で常法で測定
した。
膨張係数の測定には、熱機械分析装置を用い、幅5an
把持部間長さ15I!1mの試料に0.05kg/m2
の荷重をかけて行った。熱膨張係数の場合、25〜25
0℃の間で試料の寸法変化を測定し25〜250℃間の
変化率を225で除して算出した。
把持部間長さ15I!1mの試料に0.05kg/m2
の荷重をかけて行った。熱膨張係数の場合、25〜25
0℃の間で試料の寸法変化を測定し25〜250℃間の
変化率を225で除して算出した。
一方、吸湿膨張係数の場合には、25℃において、まず
20%相対湿度雰囲気中に保持したのち、加湿機から8
0%相対湿度に上昇するまで加湿し、この間の寸法変化
率を60で除して算出した。吸湿率は、25℃65%相
対湿度に48時間フィルムを静置して測定した重量と、
それを次いで120℃真空乾燥機で恒量に達するまで乾
燥して得たフィルムの重量とから算出した。250℃に
おける熱収縮率は、0.05kg/mm”の張力を付与
して250℃のオーブン中に30分間放置し、このオー
ブン処理前後の室温(25℃)における寸法変化から計
算したものである。
20%相対湿度雰囲気中に保持したのち、加湿機から8
0%相対湿度に上昇するまで加湿し、この間の寸法変化
率を60で除して算出した。吸湿率は、25℃65%相
対湿度に48時間フィルムを静置して測定した重量と、
それを次いで120℃真空乾燥機で恒量に達するまで乾
燥して得たフィルムの重量とから算出した。250℃に
おける熱収縮率は、0.05kg/mm”の張力を付与
して250℃のオーブン中に30分間放置し、このオー
ブン処理前後の室温(25℃)における寸法変化から計
算したものである。
実施例1
ηinhが5.5のPPTAポリマーを99.7%の硫
酸にポリマー濃度11.5%で溶解し、60℃で光学異
方性のあるドープを得た。このドープの粘度を常温で測
定したところ、10,600ポイズだった。
酸にポリマー濃度11.5%で溶解し、60℃で光学異
方性のあるドープを得た。このドープの粘度を常温で測
定したところ、10,600ポイズだった。
製膜しやすくするために、このドープを70℃に保った
まま、真空下に脱気を行った。この場合も上記と同じく
光学異方性を有し粘度は4,400ボイズであった。タ
ンクからフィルターと通し、ギアポンプを経てダイにい
たる1.5mの曲管を70℃に保ち、0.lX300m
mのスリットを有するグイから、鏡面に磨いたタンタル
製のベルトにキャストし、相対湿度約12%の約105
℃の空気を吹き付けて、流延ドープを光学等方化し、ベ
ルトとともに、5℃の水の中に導いて凝固させた。次い
で凝固フィルムをベルトから引き剥し、約40℃の温水
中を走行させて洗浄した。洗浄の終了したフィルムを乾
燥させずにテンターで長さ方向及び幅方向に各々15%
ずつ延伸し、次いで第2のテンターを用いて定長下に3
70℃で熱風乾燥した。
まま、真空下に脱気を行った。この場合も上記と同じく
光学異方性を有し粘度は4,400ボイズであった。タ
ンクからフィルターと通し、ギアポンプを経てダイにい
たる1.5mの曲管を70℃に保ち、0.lX300m
mのスリットを有するグイから、鏡面に磨いたタンタル
製のベルトにキャストし、相対湿度約12%の約105
℃の空気を吹き付けて、流延ドープを光学等方化し、ベ
ルトとともに、5℃の水の中に導いて凝固させた。次い
で凝固フィルムをベルトから引き剥し、約40℃の温水
中を走行させて洗浄した。洗浄の終了したフィルムを乾
燥させずにテンターで長さ方向及び幅方向に各々15%
ずつ延伸し、次いで第2のテンターを用いて定長下に3
70℃で熱風乾燥した。
更に、フィルムを第3のテンターに導き、幅方向及び長
さ方向の把持長が5%ずつ小さくなるようにクリップ状
の把持部を調整して、340 ’Cで熱固定した。この
ときの第3のテンターでの張力は殆どOであった。
さ方向の把持長が5%ずつ小さくなるようにクリップ状
の把持部を調整して、340 ’Cで熱固定した。この
ときの第3のテンターでの張力は殆どOであった。
得られたフィルムは、厚み20μm、η1nh=5、1
、強度28kg/mm”、伸度23%、ヤング率760
kg/mn”、熱膨張係数11 X 10 mm−h
/mm/’C1熱収縮率0.01%未満、吸湿膨張係数
21×10 tmth−h/lrrm/%RH1吸湿率
1.5%であった。
、強度28kg/mm”、伸度23%、ヤング率760
kg/mn”、熱膨張係数11 X 10 mm−h
/mm/’C1熱収縮率0.01%未満、吸湿膨張係数
21×10 tmth−h/lrrm/%RH1吸湿率
1.5%であった。
また、23 ’C65%RHにおいて、10kg/11
1111”の荷重をかけたときの100hr後の伸び率
は2.4%であった。
1111”の荷重をかけたときの100hr後の伸び率
は2.4%であった。
実施例2
実施例1において、第3のテンター温度を320℃にし
た以外は、実施例1と同じ方法、条件でPPTAフィル
ムを製造した。得られたフィルムは、厚み20μm、7
71nh= 5.2、強度29kg/mm”、伸度25
%、ヤング率890kg/mm2、熱膨張係数10 X
10 mm−’/ mm/ ”C1熱収縮率0.01
%未満、吸湿膨張係数13 X 10 H−b/mn/
%RH1吸湿率1.6%であった。また、23℃65%
RHにおいて、10kg/w”の荷重をかけたときの1
00hr後の伸び率は2.2%であった。
た以外は、実施例1と同じ方法、条件でPPTAフィル
ムを製造した。得られたフィルムは、厚み20μm、7
71nh= 5.2、強度29kg/mm”、伸度25
%、ヤング率890kg/mm2、熱膨張係数10 X
10 mm−’/ mm/ ”C1熱収縮率0.01
%未満、吸湿膨張係数13 X 10 H−b/mn/
%RH1吸湿率1.6%であった。また、23℃65%
RHにおいて、10kg/w”の荷重をかけたときの1
00hr後の伸び率は2.2%であった。
実施例3
ηinhが4.8のPPTAポリマーを99.5%の硫
酸にポリマー濃度12%で溶解し、45℃で光学異方性
のある3、600ポイズのドープを得た。脱気、濾過し
たのち、0.08mm X 300 rrrmのスリッ
トを有するグイから、このドープをタンタル製のベルト
上に流延した。相対湿度80%の約75℃の空気を吹き
付けて流延ドープを光学等方性ドープに転化し、次いで
0℃の硫酸水溶液で凝固させた。
酸にポリマー濃度12%で溶解し、45℃で光学異方性
のある3、600ポイズのドープを得た。脱気、濾過し
たのち、0.08mm X 300 rrrmのスリッ
トを有するグイから、このドープをタンタル製のベルト
上に流延した。相対湿度80%の約75℃の空気を吹き
付けて流延ドープを光学等方性ドープに転化し、次いで
0℃の硫酸水溶液で凝固させた。
凝固したフィルムをベルトから剥したのち、常温の水、
2%カセイソーダ水溶液、約30〜40℃の水の順に洗
浄した。洗浄されて約250〜350%の水を含有する
湿潤フィルムを180℃の熱風の循環するテンター内で
、定長下に乾燥した。次いで、テンター出口には取り付
けた410℃の熱板で、フィルムの上下から定長熱処理
し、更に300℃に保持した第3テンターにて幅方向及
び長さ方向に約8%把持長さを減少させつつ熱固定した
。得られたフィルムは、厚み25μm、ηinh・4.
4、強度32kg/mm”、伸度19%、ヤング率80
0kg/mm”、熱膨張係数14X10肛−6/閣/’
C1熱収縮率0.01%未満、吸湿膨張係数10 X
10mm−’/mm/%RH1吸湿率0.9%の等方的
なフィルムであった。また、23℃65%RHにおいて
、10kg/mm”の荷重をかけたときの100hr後
の伸び率は2.5%であった。
2%カセイソーダ水溶液、約30〜40℃の水の順に洗
浄した。洗浄されて約250〜350%の水を含有する
湿潤フィルムを180℃の熱風の循環するテンター内で
、定長下に乾燥した。次いで、テンター出口には取り付
けた410℃の熱板で、フィルムの上下から定長熱処理
し、更に300℃に保持した第3テンターにて幅方向及
び長さ方向に約8%把持長さを減少させつつ熱固定した
。得られたフィルムは、厚み25μm、ηinh・4.
4、強度32kg/mm”、伸度19%、ヤング率80
0kg/mm”、熱膨張係数14X10肛−6/閣/’
C1熱収縮率0.01%未満、吸湿膨張係数10 X
10mm−’/mm/%RH1吸湿率0.9%の等方的
なフィルムであった。また、23℃65%RHにおいて
、10kg/mm”の荷重をかけたときの100hr後
の伸び率は2.5%であった。
実施例に示したフィルムを用いたストレインゲージは、
熱膨張係数が低いので温度変化に対して、その接着強度
は熱膨張係数が大きい場合に比べてより安定したものと
なった。
熱膨張係数が低いので温度変化に対して、その接着強度
は熱膨張係数が大きい場合に比べてより安定したものと
なった。
更にこのストレインゲージはクリープ性能が改善されて
いるため長期間の使用にたいしても正確な値が得られ続
けた。
いるため長期間の使用にたいしても正確な値が得られ続
けた。
(発明の効果)
本発明に用いたフィルムは、温度、湿度に対する寸法安
定性にきわめて優れている。また、吸湿率も小さく、耐
クリープ性にも優れている。また更に、バラ配同型芳香
族ポリアミドそのものがもつ優れた耐熱性、耐薬品性を
も有する。特に従来の耐熱性ベース材であるポリイミド
と比較した場合耐アルカリ性に優れている。
定性にきわめて優れている。また、吸湿率も小さく、耐
クリープ性にも優れている。また更に、バラ配同型芳香
族ポリアミドそのものがもつ優れた耐熱性、耐薬品性を
も有する。特に従来の耐熱性ベース材であるポリイミド
と比較した場合耐アルカリ性に優れている。
このため゛本発明のストレインゲージは、高温、高温高
温、寒冷などの苛酷な環境においても、変形、反り、剥
離等は無給のこと、故障も発生しなく信鎖性が高い。ま
た、耐熱性、耐薬品性などの多くの点で非常に優れた特
性を発揮する。
温、寒冷などの苛酷な環境においても、変形、反り、剥
離等は無給のこと、故障も発生しなく信鎖性が高い。ま
た、耐熱性、耐薬品性などの多くの点で非常に優れた特
性を発揮する。
更に、従来の耐熱性ベース材であるポリイミドよりもバ
ラ配同型芳香族ポリアミドフィルムが安価に供給できる
という利点もある。
ラ配同型芳香族ポリアミドフィルムが安価に供給できる
という利点もある。
第1図は、本発明の一実施例に係るストレインゲージの
平面図であり、第2図は第1図におけるA−A’断面図
である。 1・・・フィルム 2・・・ゲージパターン(抵抗体グリッドを含む)3・
・・リード線 4・・・抵抗体グリッド
平面図であり、第2図は第1図におけるA−A’断面図
である。 1・・・フィルム 2・・・ゲージパターン(抵抗体グリッドを含む)3・
・・リード線 4・・・抵抗体グリッド
Claims (1)
- ポリアミド系樹脂材料で構成されたフィルム上に合金製
抵抗体グリッドから成るゲージパターンが形成され、該
ゲージパターンの両端部にリード線が接続されたストレ
インゲージにおいて、前記ポリアミド系樹脂材料が、対
数粘度が3.5以上の実質的にパラ配向型芳香族ポリア
ミドからなるフィルムであり、25〜250℃での熱膨
張係数が(0〜15)×10^−^6mm/mm/℃、
250℃における熱収縮率が0.2%以下、25℃にお
ける吸湿膨張係数が30×10^−^6mm/mm/%
RH以下、かつ25℃65%RHにおける吸湿率が2.
5重量%以下のフィルムであることを特徴とするストレ
インゲージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25890689A JPH03122504A (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | ストレインゲージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25890689A JPH03122504A (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | ストレインゲージ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03122504A true JPH03122504A (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=17326676
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25890689A Pending JPH03122504A (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | ストレインゲージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03122504A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5508676A (en) * | 1992-07-15 | 1996-04-16 | Commissariat A L'energie Atomique | Strain gauge on a flexible support and transducer equipped with said gauge |
JP2010169616A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-08-05 | A & D Co Ltd | 歪ゲージとロードセル。 |
JP2019015534A (ja) * | 2017-07-04 | 2019-01-31 | 帝人株式会社 | ケーブル型伸長センサ |
WO2022092207A1 (ja) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 日東電工株式会社 | 積層フィルムおよび歪みセンサの製造方法 |
-
1989
- 1989-10-05 JP JP25890689A patent/JPH03122504A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5508676A (en) * | 1992-07-15 | 1996-04-16 | Commissariat A L'energie Atomique | Strain gauge on a flexible support and transducer equipped with said gauge |
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