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JPH0312081A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

薄膜磁気ヘッド

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Publication number
JPH0312081A
JPH0312081A JP1145820A JP14582089A JPH0312081A JP H0312081 A JPH0312081 A JP H0312081A JP 1145820 A JP1145820 A JP 1145820A JP 14582089 A JP14582089 A JP 14582089A JP H0312081 A JPH0312081 A JP H0312081A
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JP
Japan
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groove
depth
slider
rail
thin film
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JP1145820A
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Mikio Matsuzaki
幹男 松崎
Shunichi Katase
駿一 片瀬
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TDK Corp
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TDK Corp
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Publication date
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    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/1871—Shaping or contouring of the transducing or guiding surface
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、スライダの空気流出方向の端面に読み書き素
子を付着させた浮上型の薄膜磁気ヘッドに関し、レール
部間のスライダ面は、レール部の内面に沿って形成され
た第１の凹溝及び第２の凹溝と、凹溝間に形成された平
面部とを含み、レール部の表面から平面部までの深さを
α、平面部から第１の凹溝及び第２の凹溝の底面までの
深さをβとしたとき、 α〉〉β β≧０ を満足することにより、切粉やスラッジ等を確実に除去
でき、しかも、取出電極形成面積を拡大し、設計の自由
度を上げた薄膜磁気ヘッドを提供できるようにしたもの
である。
〈従来の技術〉 浮上型薄膜磁気ヘッドは、磁気ディスクに対して相対的
に高速移動する時に空気の粘性によって発生する動圧を
利用して、磁気ディスク面との間に微小な浮上量を発生
させるようにしたもので、第４図に従来の一般的な構造
を示す。図において、１はスライダ、２は読み書き素子
、３は保護膜、４は読み書き素子２の取出電極である。
スライダ１は、磁気ディスクとの対向面側に、空気流出
方向ａに沿って、間隔をおいて突設した２つのレール部
１０２．１０３を有し、レール部１０２．１０３の表面
１０４．１０５を浮上面として利用すると共に、表面１
０４．１０５の空気流入方向の端部に、揚力発生部とな
るテーバ面１０４ａ、１０５ａを設けである。
レール部１０２−１０３間のスライダ面は、第５図にも
示すように、レール部１０２．１０３の内面に沿って形
成された第１の凹溝１０６及び第２の凹溝１０７と、両
凹溝１０６−１０７間に形成された平面部１０８とを含
んでいる。第１の凹溝１０６及び第２の凹溝１０７は、
レール部１０２．１０３を機械加工によって形成する際
のチッピングを防止するために設けられたものである。
両凹溝１０６．１０７及び平面部１０８は、レール部１
０２．１０３の表面１０４．１０５から平面部１０８ま
での深さをα、平面部１０８から第１の凹溝１０６及び
第２の凹溝１０７の底面までの深さをβとしたとき、α
が約１００μｍ、βが約１５０μｍとなるように形成し
てあった。
更に、レール部１０２．１０３の外面にも、第１の凹溝
１０６及び第２の凹溝１０７と同様の深さを有する第３
の凹溝１０９及び第４の凹溝１１０を設けである。第３
の凹溝１０９及び第４の凹溝１１０も、レール部１０２
．１０３を機械加工によって形成する際のチッピングを
防止するために設けられたものである。
第６図（ａ）、（ｂ）は、凹溝加工工程を示す図である
。多数の薄膜磁気ヘッドを整列して形成したウェハーよ
り、多数の薄膜磁気ヘッドＡ１、Ａ２、Ａ３．、、有す
る列単位の薄膜磁気ヘッド集合体を切出した後、第６図
（ａ）に示すように、各薄膜磁気ヘッドＡ１、Ａ２、Ａ
、毎に、斜線領域で示す溝加工を施し、第１の凹溝１０
６〜第４の凹溝１１０を形成する。第１の凹溝１０６〜
第４の凹溝１１０は、レール部１０２．１０３の表面１
０４．１０５からの深さδが、約２５０μｍ程度となる
ように形成する。第１の凹溝１０６〜第４の凹溝１１０
の幅ｄ１〜ｄ４は、レール部１０２−１０３間の間隔よ
りも著しく小さい微小間隔であって、幅ｄ、と幅ｄ２、
幅ｄ３と幅ｄ４がほぼ等しくなるように形成する。
次に、第６図（ｂ）に示すように、第１の凹溝１０６と
第２の凹溝１０７との間のスライダ面の斜線領域を機械
加工によって研磨する。このときの深さは、１００μｍ
程度である。これにより、レール部１０２．１０３の表
面１０４．１０５から平面部１０８までの深さαが約１
００μｍ１平面部１０８から第１の凹溝１０６及び第２
の凹溝１０７の底面までの深さβが約１５０μｍの薄膜
磁気ヘッドとなる。
そして、切断線Ｘ−Ｘで切断して、薄膜磁気ヘッドの単
体を取り出す。
読み書き素子２は、ＩＣ製造テクノロジと同様のプロセ
スにしたがって形成された薄膜素子である。読み書き素
子２は、通常、２個備えられ、レール部１０２．１０３
の略中間部において、スライダ１の空気流出方向の端面
１０１に付着させ、アルミナ等でなる保護膜３により覆
っである。
取出電極４は、読み書き素子２のそれぞれに対備えられ
ており、読み書き素子２を構成する導体コイル膜（図示
しない）に電気的に導通している。この取出電極４には
、図示しない磁気ディスク装置から導かれたリード線が
接続される。
〈発明が解決しようとする課題〉 上述した溝加工及び薄膜磁気ヘッド端体を切出すときの
切断工程において、第１の凹溝１０６〜第４の凹溝１１
０内に切粉やスラッジ等が残る。
これらの切粉やスラッジ等は、磁気記録媒体表面の損傷
や、ヘッドクラッシュ等の原因になるので、従来は、自
動刷毛洗浄装置を使用して排除していた。
第３の凹溝１０９及び第４の凹溝１１０は、側部が外部
に開いているので、切粉やスラッジ等は上述の自動刷毛
洗浄工程により除去できる。
ところが、第１の凹溝１０６及び第２の凹溝１０７は、
両側がレール部１０２．１０３の内面及び平面部の内面
によって閉じられていて、平面部１０８の表面からの深
さβが約１５０μｍと、かなり深いため、両凹溝１０６
．１０７内に入った切粉やスラッジ等が除去しにくく、
凹溝１０６．１０７内の残存した切粉やスラッジ等によ
り、磁気記録媒体表面の損傷や、ヘッドクラッシュ等を
招くことがあった。
また、第１の凹溝１０６及び第２の凹溝１０７が深いた
め、取出電極４を形成する面積がその分小さくなり、取
出電極４の設計の余裕度が小さくなるという問題点もあ
った。
そこで、本発明の課題は、上述する従来の問題点を解決
し、切粉やスラッジ等を確実に除去でき、しかも、取出
電極形成面積を拡大し、設計の自由度を上げた薄膜磁気
ヘッドを提供することである。
く課題を解決するための手段〉 上述する課題を解決するため、本発明は、スライダの端
面に読み書き素子を備えた薄膜磁気ヘッドであって、 前記スライダは、磁気記録媒体と対向する面側に、空気
流出方向に沿う２つのレール部が間隔を隔てて突設され
ており、 前記レール部間のスライダ面は、前記レール部の内面に
沿りて形成された第１の凹溝及び第２の凹溝と、前記第
１の凹溝と前記第２の凹溝の間に形成された平面部とを
含み、 前記レール部の表面から前記平面部までの深さをα、前
記平面部から前記第１の凹溝及び第２の凹溝の底面まで
の深さをβとしたとき、α〉〉β β≧０ を満足すること を特徴とする。
〈作用〉 レール部の表面から前記平面部までの深さをα、前記平
面部から前記第１の凹溝及び第２の凹溝の底面までの深
さをβとしたとき、 α〉〉β β≧０ を満足することにより、第１の凹溝及び第２の凹溝カ月
曵くなり、或いは第１の凹溝及び第２の凹溝がなくなる
ので、切粉やスラッジ等を確実に除去できる。
また、第１の凹溝及び第２の凹溝が浅くなることから、
取出電極を形成するための面積が増大し、設計の自由度
が上がる。
〈実施例〉 第１図は本発明に係る浮上型薄膜磁気ヘッドの斜視図で
ある。図において、第４図と同一の参照符号は同一性あ
る構成部分を示している。本発明においても、レール部
１０２−１０３間のスライダ面が、レール部１０２．１
０３の内面に沿って形成された第１の凹溝１０６及び第
２の凹溝１０７と、第１の凹溝１０６と第２の凹溝１０
７の間に形成された平面部１０８とを含むことは、従来
と同様である。従来と著しく異なる点は、第２図にも示
すように、レール部１０２．１０３の表面１０４．１０
５から平面部１０８までの深さをα、平面部１０８から
第１の凹溝１０６及び第２の凹溝１０７の底面までの深
さをβとしたとき、 α〉〉β β≧Ｏ を満足することである。深さα、βの具体的な数値関係
は、 α＝　１００　μｍ としたとき、 β＝　１０μｍ となるように設定する。従って、深さαが深さβよりも
著しく大きくなる。深さαは、通常の薄膜磁気ヘッドで
は、３０μｍ以上あれば、安定した浮上特性が得られる
ことが知られている。
上述のように、第１の凹溝１０６及び第２の凹溝１０７
が浅くなるので、溝加工等において凹溝１０６．１０７
に入った切粉やスラッジ等を簡単、かつ、確実に除去で
きる。
また、第１の凹溝１０６及び第２の凹溝１０６．１０７
が浅くなることから、取出電極４を形成するための面積
が増大し、その設計の自由度が上がる。第３の凹溝１０
９及び第４の凹溝１１０も、第１の凹溝１０６及び第２
の凹溝１０７と同様の深さにする。
第３図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの更に別の実施例
を示している。この実施例は、β＝０とした例を示して
いる。ただし、この実施例の場合も、第６図（ａ）に示
す製造工程を経るので、レール部１０２．１０３のチッ
ピング防止は可能である。
〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明は、スライダの端面に読み書
き素子を備えた薄膜磁気ヘッドであって、スライダは、
磁気記録媒体と対向する面側に、空気流出方向に沿う２
つのレール部が間隔を隔てて突設されており、レール部
間のスライダ面は、レール部の内面に沿って形成された
第１の凹溝及び第２の凹溝と、第１の凹溝と第２の凹溝
の間に形成された平面部とを含み、レール部の表面から
平面部までの深さをα、平面部から第１の凹溝及び第２
の凹溝の底面までの深さをβとしたとき、 α〉〉β β≧Ｏ を満足しているから、切粉やスラッジ等を簡単、かつ、
確実に除去し、磁気記録媒体表面の損傷や、ヘッドクラ
ッシュ等を防止すると共に、取出電極を形成するための
面積を拡大し、その設計の自由度及びリード線接続作業
性を向上させた薄膜磁気ヘッドを提供できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る浮上型薄膜磁気ヘッドの斜視図、
第２図は同じく空気流出端側から見た側面図、第３図は
本発明に係る浮上型薄膜磁気ヘッドの別の実施例におい
て空気流出端側から見た側面図、第４図は従来の薄膜磁
気ヘッドの斜視図、第５図は同じく空気流出端側から見
た側面図、第６図はスライダ溝加工工程を示す図である
。 １・・・スライダ　　　２・・・読み書き素子１０１・
・・端面 １０２．１０３・・・レール部 １０４．１０５・・・レール部の表面 １０６・・・第１の凹溝 １０７・・・第２の凹溝 １０８・・・平面部 第４図 ＋０１ 第５図 ８ 手 続 ネ甫 正 ｆｆｆｆ１ 第６図 （０） 平成　２年　３月　６日 Ｎ）・ ３

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 スライダの端面に読み書き素子を備えた薄膜磁気ヘッド
    であって、 前記スライダは、磁気記録媒体と対向する面側に、空気
    流出方向に沿う２つのレール部が間隔を隔てて突設され
    ており、 前記レール部間のスライダ面は、前記レール部の内面に
    沿って形成された第１の凹溝及び第２の凹溝と、前記第
    １の凹溝と前記第２の凹溝の間に形成された平面部とを
    含み、 前記レール部の表面から前記平面部までの深さをα、前
    記平面部から前記第１の凹溝及び第２の凹溝の底面まで
    の深さをβとしたとき、 α＞＞β β≧０ を満足すること を特徴とする薄膜磁気ヘッド。
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