JPH03117964A - 走査露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、走査露光装置に関し、更に詳細には、露光ビ
ームに対し変調用信号に基づき強度変調を行なう際に、
変調用信号パターンと露光パターンを近似させ得る走査
露光装置に関するものである６［従米扶術］ 従来、出力強度変調を行なう走査露光装置においては、
露光ビームの強度分布型状が線状でないために、出力強
度変調を行なう変調用信号のパターンと露光ビームによ
る露光量のパターンを近似させるには、露光ビームの強
度分布型状のｖＷを低減する必要があり、この手段とし
で、露光ビームの走査方向に対して短径となる超柘円の
露光ビームを用いたり、出力強度変調を行なうための変
調用信号に対して、前もって露光ビームの強度分布型状
の影響を除去するために、変調信号発生手段を駆動する
だめのクロック信号を高周波化し、変調信号発生手段に
て処理していた。

［発明が解決しようとする課厘１ しかしながら、ＭｉＰ８円型状全型状露光ビームを用い
ることは、走査露光装置の光学系の高精度化を要し、コ
スト高になる欠、αがあり、かつ露光ビームの強度分布
の影響を低減しきれない。また、変調Ｊ１］（′３号に
対して前もつで露光ビームの強度分布の影響を除去する
処理を施すことは、変調信号発生手段の高精度化および
高精度化に伴い、変調信号発生手段を駆動するためのク
ロックを高周波化する必要があり、変調信号発生手段を
構成するｔ導体素子の高速化が必要となり、実現の困難
化およびコスト高となる欠点がある。

本発明は、上述した問題入χを解決するためになされた
ものであり、露光の時間補正手段を使用することにより
、変調用信号パターンと、露光ビームによる露光量のパ
ターンとを安価で且つ簡易な構成により近ｌ１１させる
ことのできる走査露光装置を提供することを目的としで
いる。

［課題を解決するための手段］ この目的を達成するために本発明の走査露光装置は、デ
ィジタル型式の変調用信号の時系列の隣接した信号の値
の大きさ及び差を検出する検出手段と変調用信号の時間
幅を調整する手段を備えている。

［作用］ 上記の構成を有する本発明の走査露光装置では、萌記検
出手段により、ディジタル型式の変調用信号のＩＯ系列
の隣接した信号の値の大きさ及び差を検出し、上記結果
を基に露光時間補正手段によりディジタル型式の変調用
信号の時系列の各々の時間幅の調整を行なうことにより
、変調用信号のパターンと露光ビームによる露光量のパ
ターンとを近似することができる。

［実施例１ 以下、本発明を具体化した一実施例を図面を参照して説
明する。

第１図は、本発明の一実施例の回路構成図である。第１
図を参照して構成を説明する。クロ・／り発生手段１は
、変調信号発生手段２を駆動するためのクロック信号９
を発生し出力する。変調信号発生手段２は、光源手段６
より出力されるＭ光ビーム１６に対して強度変調を施す
ためのディノタル系式の変調用信号１０を発生し出力す
る。かつ変調用信号１０の有効を示すストローブ信号１
１を発生し出力する。検出手段３は、入力される変調用
信号１０の時系列の隣接した信号の値の大きさ及び差１
こ対応した補正量選択信号１２を出力する。また、検出
手段３は、時系列の一単位時間つまりストローブ信号１
１の一周期分遅らせた補正変調用信号１３を出力する。

時間補正手段４は、ストローブ信号１１を入力し、この
信号を補正量選択信号１２により補正時間幅を選択し、
補正ストローブ信号１４を出力する。変調駆動手段５は
、補正′Ｉｉ調用信用信号と補正ストローブ信号１４と
を入力し光源手段６の出力に強度変調を施し、露光ビー
ム１６を発生する。走査手段７は、光源手段６より出力
される露光ビーム１６を感光材８に対して走査露光を行
なうように、走査ビーム１７へ′ｆｉ換する。

次に第１図と第２図を参照して本叉施例の作用動作を説
明する。

変調信号発生手段２より出力される第２図（、）に示す
変調用信号１０と第２図（ｂ）に示すストローブ信号１
１を検出手段３へ入力する。検出手段３にて変調用信号
１０を時系列の一単位時間つまりストローブ信号１１の
一周期分を遅らせた第２図（ｃ）に示す補正変調用信号
１３を出力し、変調駆動手段５へ入力させる。且つ、検
出手段３内部にて、変調用信号１３の時系列の隣接した
信号の値の大きさ及び差より時間補正量を求め、補正量
選択信号１２を時間補正手段４へ出力する。詳細には、
上記補正量選択信号１２は、補正変調用信号１３の値と
検出手段３内部で一時記ＰＬされている時系列の一単位
時間前の補正変調用信号の値とを比較し、前者が大きい
場合には、正の時間値を出力し、後者が大きい場合には
、負の時間値を出力する。これらの時間値は、補正変調
用信号１３と一単位時間前の補正′ｆｉ調用信用信号の
差分と補正変調用信号１３の値の大きさとにより検出手
段３内にある記憶￥ｃｒ１１から出力される。時間補正
手段４は、変調信号発生手段２より出力されるストロー
ブ信号１１を入力され、かつ同じく入力される上記補正
量選択信号１２に基づき時間補正手段４内にある遅延線
と遅延量切換器によりクロック発生手段１より出力され
るクロック信号９より短い周期にてストローブ信号１１
の時間間隔の調整を行ない第２図（ｅ）で示す補正スト
ローブ信号を出力する。

変調駆動手段５は、補正変調用信号１３と補正ストロー
ブ信号１４が入力され、光源手段６を強度変調駆動する
ための駆動信号１５を出力する。

尤ｉａ手段６より出力された露光ビーム１６が走査手段
７により走査ビーム１７へ変換され感光材８を露光する
。この時の走査ビーム１７が感光材８へ露光する露光量
は、第２図（ｆ）となる５本発明を用いると第２図（ａ
）に示す変調用信号パターンと第２図（ｆ）に示す露光
量パターンは、極めて近似している。しかしながら、在
米方式では、変調信号発生手段２より出力される変調用
信号１０とストローブ信号１１を直接変調駆動手段５へ
入力しているため、感光材８へ露光する露光量は＠３図
（ｉ）のようになり、第３図（ｇ）に示す変調用信号パ
ターンと異なった型状となる。

本発明は、以上詳述した実施例に限定されるものでな（
、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加え
ることができる。

例えば、補正量選択信号１２を出力する要因を補正変調
用信号１３の値の大きさと差だけでなく、感光材８の特
性およびトナー特性を加味し補正時間値を検出手段３内
にある記憶素子へ記憶させておくことも可能である。ま
た、補正用の時間値の選択が容易な場合は、検出手段３
内の記憶手段でなく演算回路への置き換えも可能である
。

［発明の効果〕 以上詳述したことから明らかなように、本発明によれば
、露光ビームに強度変調を施すために光源手段へ入力さ
せる変調用信号とストローブ信号とを時系列の隣接した
変調用信号の値の大きさと差を検出する検出手段と、変
調用信号の時間幅を′ｖ４整する時間補正手段とへ入力
し、露光ビームの強度分布型状の影響を低減させ、変調
用信号の値のパターンと露光量パターンを近似させるこ
とが可能となり、またコストを低く抑えることができる
ものである。

【図面の簡単な説明】

ｆｐＪ１図から第２図までは本発明を具体化した実施例
を示すもので、ｆｊＳ１図は本発明の走査露光装置の実
施例を示す回路猜成図であり、！ｌ′に２図は本発明の
走査露光装置による作用を示す説明図あり、ＰｔｒＪ３
図は従来の走査露光装置による露光量の説明図である。 １・・・クロック発生手段、２・・・変Ｉ！４信号発生
手段、３・・・検出手段、４・・・時間補正手段、５・
・・変調駆動手段、６・・・光源手段、７・・・走査手
段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、露光ビームを発生する光源手段と、上記光源の出力
   を外部より入力されるディジタル型式の変調用信号によ
   り強度変調を行う変調駆動手段と、ディジタル型式の変
   調用信号を発生する変調信号発生手段と、変調信号発生
   手段を駆動するためのクロックを発生するクロック発生
   手段と、上記露光ビームを走査するための走査手段を備
   えた走査露光装置において、 上記変調駆動手段へ入力されるディジタル型式の変調用
   信号の時系列の隣接した信号の値の大きさおよび差を検
   出する検出手段と、上記検出手段より検出された結果に
   より変調用信号の時間幅を上記クロック発生手段より発
   生するクロックの周期より短かい時間幅で調整を行なう
   時間補正手段を備えることを特徴とする走査露光装置。