JPH03102256A - Oxygen sensor - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、水中に溶存する酸素の濃度を測定すること
が可能な限界電流式酸素センサに関する技術である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION "Field of Industrial Application" The present invention relates to a limiting current type oxygen sensor capable of measuring the concentration of oxygen dissolved in water.
「従来の技術とその課題」
従来、溶存酸素を測定できるセンサとして、ガルバニ電
池式、ポーラ口グラフ式の酸素センサが知られている。"Prior Art and its Problems" Conventionally, galvanic cell type and polar graph type oxygen sensors have been known as sensors capable of measuring dissolved oxygen.
これらの方式の酸素センサは共に電解液を用いた電気化
学センサであって、該酸素センサの試料ガス取り込み口
には、FEP (テトラ・フルオロ・エチレンーへ牛サ
・フルオロ・ブロビレン共重き体)等の隔膜が設けられ
ている。Both of these types of oxygen sensors are electrochemical sensors that use an electrolyte, and the sample gas inlet of the oxygen sensor is equipped with FEP (tetrafluoroethylene copolymer of bovine fluoropropylene), etc. A diaphragm is provided.
ところで、上記酸素センサは電気化学センサであるため
電解質の消耗と共に寿命となり、長期の連続使用に耐え
られず、ある時点でセンサとしての機能が停止するとい
う問題がある。また、上記酸素センサは隔膜の能力に依
存するところが大であり、このため隔膜を形戊する素材
の劣化が激しく、この点においても長期連続使用に耐え
られないという不具合があった。By the way, since the oxygen sensor is an electrochemical sensor, it has a problem that its lifespan ends as the electrolyte is consumed, and it cannot withstand continuous use over a long period of time, and its function as a sensor stops at a certain point. In addition, the above-mentioned oxygen sensor is highly dependent on the performance of the diaphragm, and as a result, the material forming the diaphragm is subject to severe deterioration, which also poses the problem of not being able to withstand long-term continuous use.
この発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって
、長期に亙って水中の溶存酸素を安定的に測定できる限
界電流式の酸素センサの提供を目的とするものである。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a limiting current type oxygen sensor that can stably measure dissolved oxygen in water over a long period of time.
「課題を解決するための手段」
上記目的を達成するために、
第1の発明では、薄厚に形戊された固体電解質から成る
酸素イオン導電体、及びこの酸素イオン導電体の各面に
積層されて所定電圧が印加される一対の電極を有するセ
ンサ素子と、このセンサ素子を覆うように設けられて、
溶液の侵入を防止しかつ通気性を有する多孔質隔壁とを
具備するようにしている。"Means for Solving the Problems" In order to achieve the above object, the first invention provides an oxygen ion conductor made of a thin solid electrolyte, and an oxygen ion conductor laminated on each surface of the oxygen ion conductor. a sensor element having a pair of electrodes to which a predetermined voltage is applied;
It is provided with a porous partition wall that prevents solution from entering and has air permeability.
第2の発明では、前記多孔質隔壁を、前記センサ素子を
覆うように設けられた第1通気性隔壁と、この第1通気
性隔壁の内側に配設された第2通気性隔壁とから構成す
るようにしている。In a second aspect of the invention, the porous partition wall includes a first breathable partition wall provided to cover the sensor element, and a second breathable partition wall provided inside the first breathable partition wall. I try to do that.
「作用」
これら発明によれば、センサ素子を全体的に覆うように
設けられた多孔質隔壁により、溶液の侵入を防止しかつ
気体のみを通すことができ、水中に溶存する酸素の濃度
を有効に測定することができる。また、前記多孔質隔壁
は、従来のガルバニ電池式のように酸素を選択的に透過
させるものでロピレン等のフィルム、その多孔質フィル
ム(例えば、電子線照射等により微細孔を穿けたもの)
多孔質セラミックなど、素材劣化の極めて小さい耐久性
の高い材料を選択することができる。"Operation" According to these inventions, the porous partition wall provided to completely cover the sensor element prevents solution from entering and allows only gas to pass through, effectively controlling the concentration of oxygen dissolved in water. can be measured. In addition, the porous partition wall is one that selectively allows oxygen to pass through, like a conventional galvanic cell type, and is a film made of lopyrene, etc., or a porous film thereof (for example, one in which fine pores have been made by electron beam irradiation, etc.).
It is possible to select a highly durable material with extremely low material deterioration, such as porous ceramic.
「実施例」
本発明の一実施例を第1図(A)〜第3図を参照して説
明する。"Embodiment" An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1(A) to 3.
まず、第3図を参照してセンサ素子Mの概略構戊を説明
すると、このセンサ素子Mは、薄厚に形成された安定化
ジルコニア(例えば、Z ro t−8Y ,O .)
から戊る酸素イオン導電体1と、酸素イオン導電体lの
両面にそれぞれ積層されて、所定電圧が印加される多孔
質な電極2A・2Bと、前記酸素イオン導電体1の一方
側の面にガラス3により接合されて、前記電極2Bとの
間に微小空間4Aを形成するセラミソクキャノブ4と、
このセラミックキャノブ4の内面に設けられて、前記酸
素イオン導電体lに対して直接的に熱を付与し、該酸素
イオン導電体1の応答性を向上させるヒータ5とから構
成されたものであって、前記酸素イオン導電体1の中央
部には、前記微小空間4Aに連通ずるように設けられて
、拡散律速を生ヒさせる気体拡散孔IAが形成されてい
る。First, the general structure of the sensor element M will be explained with reference to FIG. 3. This sensor element M is made of thin stabilized zirconia (for example, Z rot-8Y, O.
porous electrodes 2A and 2B which are laminated on both sides of the oxygen ion conductor 1 and to which a predetermined voltage is applied, and an oxygen ion conductor 1 which is formed from the oxygen ion conductor 1; a ceramic canopy 4 that is joined by a glass 3 and forms a microspace 4A between it and the electrode 2B;
The heater 5 is provided on the inner surface of the ceramic cannob 4 and directly applies heat to the oxygen ion conductor 1 to improve the responsiveness of the oxygen ion conductor 1. At the center of the oxygen ion conductor 1, a gas diffusion hole IA is formed so as to communicate with the microspace 4A, thereby controlling the rate of diffusion.
そして、上記のように構成された酸素センサの酸素イオ
ン導電体1内では、ヒータ5に一定の電圧を印加し、か
つ電極2A・2Bに一定のセンサ監視電圧を印加した状
態にしておくと、酸素ポンビング作用により酸素イオン
をキャリアとするイオン電流が流れ、このイオン電流の
電流値から周囲の酸素濃度が測定されるようになってい
る。In the oxygen ion conductor 1 of the oxygen sensor configured as described above, when a constant voltage is applied to the heater 5 and a constant sensor monitoring voltage is applied to the electrodes 2A and 2B, An ion current using oxygen ions as carriers flows due to the oxygen pumping action, and the surrounding oxygen concentration is measured from the current value of this ion current.
なお、上記センサ素子Mでは、酸素イオン導電体1の中
央部に気体拡散孔IAを形成したが、セラミックキャッ
プ4の側に気体拡散孔を形威しても良い。In the sensor element M, the gas diffusion hole IA is formed in the center of the oxygen ion conductor 1, but the gas diffusion hole may be formed on the ceramic cap 4 side.
次に、上記のように構成されたセンサ素子Mを組み込ん
だ酸素センサの防水構造について、第1図(A)を参照
して説明する。Next, a waterproof structure of an oxygen sensor incorporating the sensor element M configured as described above will be explained with reference to FIG. 1(A).
この図において符号10で示すものは基台であるステム
であって、このステム10には、導体により形成された
端子11が支持されている。また、これら端子11の上
端部には、ステム10の上而から一定の高さを以て、セ
ンサ素子Mが取り付けられ、かつ、これら端子11とセ
ンサ素子Mのヒータ5、電極2A・2Bとの間には、該
センサ素子Mを支持し、かつ互いを導通状態で接続する
ワイヤIIAが設けられている。In this figure, the reference numeral 10 indicates a stem serving as a base, and a terminal 11 formed of a conductor is supported on the stem 10. Further, a sensor element M is attached to the upper end of these terminals 11 at a certain height from the stem 10, and between these terminals 11 and the heater 5 and electrodes 2A and 2B of the sensor element M. is provided with a wire IIA that supports the sensor element M and connects each other in a conductive state.
また、前記ステム10のセンサ素子Mが配置されている
側には、該センサ素子Mを全体的に覆い、ごみなどの不
純物を除去するメッシュカバー12(第1通気性隔壁)
が取り付けられ、更に、このメッシネカバー12の内面
には、溶液の侵入を防止しかつ該溶液に溶けている気体
(酸素ガス)を通過させる通気性を有するテフロン膜1
3(第2通気性隔壁)が取り付けられている。Further, on the side of the stem 10 where the sensor element M is arranged, a mesh cover 12 (first breathable partition) that completely covers the sensor element M and removes impurities such as dust.
Further, on the inner surface of this messine cover 12, there is a Teflon membrane 1 having air permeability that prevents solution from entering and allows gas (oxygen gas) dissolved in the solution to pass through.
3 (second breathable partition wall) is attached.
なお、このテフロン膜13としては厚さが0.Ol〜1
. 0[mm)程度、孔径が0.1〜10(μ幽〕程度
に形成された多孔質フィルムが使用されているが、フィ
ルムが薄膜の場合は用途によっては孔の無いものも用い
られる。また、前記多孔質フィルムとしては、例えば、
電子線照射等により微細孔を穿けたものが使用される。Note that this Teflon film 13 has a thickness of 0. Ol~1
.. A porous film with a pore size of about 0 [mm] and a pore diameter of about 0.1 to 10 (μ) is used, but if the film is thin, a film without pores may also be used depending on the purpose. , as the porous film, for example,
Those with fine holes drilled by electron beam irradiation or the like are used.
また、本実施例では、多孔質フィルムとして、耐熱性、
耐久性の優れたテフロン膜13を使用したが、FEP膜
、安価なポリブロビレン膜、多孔質セラミックなどを使
用しても良い。In addition, in this example, the porous film has heat resistance,
Although the highly durable Teflon membrane 13 is used, an FEP membrane, an inexpensive polypropylene membrane, a porous ceramic, or the like may also be used.
また、前記メッシュカバー12とテフロン膜13とによ
り、請求項に示す多孔質隔壁l4が構成されるが、この
多孔質隔壁14は、メッシュカバー12とテフロン膜1
3とを別体とするのではなく、互いに融着して一体化さ
せるようにしても良い。Further, the mesh cover 12 and the Teflon film 13 constitute a porous partition wall l4 shown in the claims.
3 and 3 may be fused together and integrated instead of being separated.
以上のように構成された防水タイプの限界電流式酸素セ
ンサを用いて、水中に溶存する酸素ガスの濃度測定を行
なった。The concentration of oxygen gas dissolved in water was measured using the waterproof limiting current type oxygen sensor configured as described above.
その結果、実際に水中にこの酸素センサを入れて測定を
行なうと、時間の経過とともに、センサ素子M内の酸素
と水中の溶存酸素とが気液平衡の状態となって、特定の
溶存酸素量では特定のセンサ出力となる。つまり、溶存
酸素量とセンサ出力とが相関関係を持つようになり、か
つ、溶存酸素量が変化するとそれに伴ないセンサ出力も
変化することが確認された。また更に、溶存酸素濃度と
センサ出力との関係を調べたところ、非常に良好な直線
関係が得られることも確認された。As a result, when this oxygen sensor is actually placed in water and measurements are taken, as time passes, the oxygen in the sensor element M and the dissolved oxygen in the water reach a state of vapor-liquid equilibrium, resulting in a specific amount of dissolved oxygen. Then, it becomes a specific sensor output. In other words, it was confirmed that there is a correlation between the amount of dissolved oxygen and the sensor output, and that when the amount of dissolved oxygen changes, the sensor output also changes accordingly. Furthermore, when the relationship between dissolved oxygen concentration and sensor output was investigated, it was confirmed that a very good linear relationship was obtained.
一方、この酸素センサは安定化ジルコニアの酸素イオン
電導性を利用したものであり、ガルバニセンサの様な電
気化学センサと異なり、電解液の消耗等により寿命に達
することがなく、基本的に、半永久的に使用可能である
という利点がある、また、50゜C以上の高温溶液中で
も作動することも確認されている。On the other hand, this oxygen sensor utilizes the oxygen ion conductivity of stabilized zirconia, and unlike electrochemical sensors such as galvanic sensors, it does not reach the end of its life due to consumption of the electrolyte, and is basically semi-permanent. It has the advantage that it can be used at high temperatures, and it has also been confirmed that it can operate even in high temperature solutions of 50°C or higher.
(実験例)
上述した溶存酸素濃度とセンサ出力の関係を調べるため
に、以下のような実験を行った。(Experimental Example) In order to investigate the relationship between the dissolved oxygen concentration and sensor output described above, the following experiment was conducted.
まず、2gフラスコに水を入れ、純窒素を20〔III
UIlin〕のスピードでパブリングし、飽和状態を確
認した後(このときの溶存酸素濃度はO ppm)、前
記防水タイプの限界電流式酸素センサを投入して、セン
サ出力の変化を測定した。First, fill a 2g flask with water and add 20 [III] of pure nitrogen.
After confirming the saturation state (dissolved oxygen concentration at this time was 0 ppm), the waterproof type limiting current type oxygen sensor was put in and the change in sensor output was measured.
その結果、大気中では、約0.209V を示していた
センサ出力が、時間と共に低下し、最終的にOQ399
Vで安定した。As a result, the sensor output, which was approximately 0.209V in the atmosphere, decreased over time and eventually reached OQ399.
Stable at V.
以下、同様に、酸素濃度が12.5%、20.9%、2
9.9%のガスをパブリングして、飽和状態に達した状
態の試料液(このときの溶存酸素濃度はそれぞれ5pp
+a, 8 ppm、1 3 ppm)に、前記防水タ
イプの限界電流式酸素センサを投入し、安定時のセンサ
出力をそれぞれ測定した。Similarly, the oxygen concentration is 12.5%, 20.9%, 2
The sample solution was bubbled with 9.9% gas to reach a saturated state (at this time, the dissolved oxygen concentration was 5pp).
+a, 8 ppm, and 13 ppm), the above-mentioned waterproof type limiting current type oxygen sensor was introduced, and the sensor output when stable was measured.
その結果を以下の表の「安定時のセンサ出力」の項にま
とめると、
となり、これをグラフにすると第2図のようになる(第
2図に「○」で示す)。The results can be summarized in the "Sensor output when stable" section of the table below, and if this is graphed, it will look like Figure 2 (indicated by "○" in Figure 2).
そして、このグラフを参照して判るように、溶存酸素濃
度[ppm)とセンサ出力〔V〕との間には非常に良好
な直線関係のあることが確認された。As can be seen from this graph, it was confirmed that there was a very good linear relationship between the dissolved oxygen concentration [ppm] and the sensor output [V].
また、上記のように設定した試料液を、ポーラログラフ
タイプの溶存酸素センサ(ハンナ.ポータブル酸素メー
ター HI8543)を用いて創定したが、その結果は
、本実施例で示した防水タイプの酸素センサのセンサ出
力と全く同じとなった(測定結果を第2図に「×」で示
す)。In addition, the sample solution set as above was created using a polarographic type dissolved oxygen sensor (Hanna Portable Oxygen Meter HI8543), and the results were similar to those of the waterproof type oxygen sensor shown in this example. The output was exactly the same as the sensor output (the measurement results are indicated by "x" in FIG. 2).
これにより、本実施例に示す防水タイプの限界電流式酸
素センサを、水中の溶存酸素測定用の酸素センサとして
十分に活用できることが確認された。This confirmed that the waterproof limiting current type oxygen sensor shown in this example can be fully utilized as an oxygen sensor for measuring dissolved oxygen in water.
なお、本実験例では、センサ素子Mの外側に、メソシュ
カバー12とテフロン膜l3とからなる多孔質隔壁14
を設けたが、更に、第1図(B)に示すようにこの多孔
質隔壁l4の外側に、液体を通過させる程度の多孔質体
により形戊された金属焼結体、あるいはセラミック焼結
体l5を設けても良い。なお、多孔質隔壁14の外側に
、このような焼結体15を設けるのは、この防水型の酸
素センサを試料液に浸した場合に、該試料液が直接的に
多孔質隔壁14内に入り込みその水圧で、例えばテフロ
ン膜13に過度の負担が掛かる、また、該テフロン膜l
3が破れることを防止するためである。つまり、前記焼
結体15により、多孔質隔壁l4に対して緩やかに試料
液を接触させ、一定の時間を掛けて試料液を多孔質隔壁
14内に導き、これにより、該試料液の水圧がテフロン
膜13に急激に作用することを防止している。In addition, in this experimental example, a porous partition wall 14 made of a mesh cover 12 and a Teflon film l3 is placed on the outside of the sensor element M.
However, as shown in FIG. 1(B), a metal sintered body or a ceramic sintered body formed of a porous material that is porous enough to allow liquid to pass is placed outside the porous partition wall l4. l5 may be provided. The reason why such a sintered body 15 is provided outside the porous partition wall 14 is to prevent the sample liquid from directly entering the porous partition wall 14 when this waterproof oxygen sensor is immersed in a sample liquid. For example, the water pressure that enters the Teflon membrane 13 may put an excessive burden on it, or the Teflon membrane l
This is to prevent 3 from being torn. That is, the sample liquid is brought into gentle contact with the porous partition wall l4 using the sintered body 15, and the sample liquid is guided into the porous partition wall 14 over a certain period of time, thereby increasing the water pressure of the sample liquid. This prevents sudden action on the Teflon film 13.
また、本実施例では、テフロン膜13により溶液の侵入
を防止しかつ気体のみを通過させるようにしたが、この
テフロン膜I3に代えて、孔径を調整して気体のみを通
過させる、第1図(B)に示すような焼結体15を設け
るようにしても良い。Further, in this embodiment, the Teflon membrane 13 was used to prevent the solution from entering and to allow only gas to pass through, but instead of this Teflon membrane I3, the pore size was adjusted to allow only gas to pass through. A sintered body 15 as shown in (B) may be provided.
なお、第1図(B)において、符号l6で示すものは第
1図(A)に示す酸素センサを全体的に収納するケー/
ングであり、符号I7で示すものは、端子11をその内
部に収納するケーブルである。In addition, in FIG. 1(B), what is indicated by the symbol l6 is a case/case that entirely houses the oxygen sensor shown in FIG. 1(A).
The cable shown by reference numeral I7 is a cable in which the terminal 11 is housed.
「発明の効果」
以上詳細に説明したように、この発明によれば、センサ
素子を全体的に覆うように設けられた多孔質隔壁により
、溶液の侵入を防止しかつ気体のみを通すことができ、
水中に溶存する酸素の濃度を有効に測定することができ
る。"Effects of the Invention" As explained in detail above, according to the present invention, the porous partition wall provided to completely cover the sensor element prevents solution from entering and allows only gas to pass through. ,
The concentration of oxygen dissolved in water can be effectively measured.
また、前記多孔質隔壁は、従来のガルバニ電池式のよう
に酸素を選択的に透過させるものも適用できるが、気体
は通すが液体は通さないレベルものでも良い、具体的に
は、テフロン等のフィルム及びその多孔質フィルム、多
孔質セラミックなど、素材劣化の極めて小さい耐久性の
高い材料を選択することでき、長期に亙って安定的に水
中に溶存する酸素の濃度を有効に測定できるという効果
が得られる。In addition, the porous partition wall may be one that selectively allows oxygen to pass through, such as a conventional galvanic cell type, but it may also be one that allows gas to pass through but not liquid. It is possible to select highly durable materials with extremely low material deterioration, such as films, porous films, porous ceramics, etc., and the effect is that the concentration of oxygen dissolved in water can be measured stably and effectively over a long period of time. is obtained.
第1図(A)〜第3図は本発明の第1実施例を示す図で
あって、第1図(A)はその全体概略構成を示す外観図
、第1図(B)は第1図に示す酸素センサの他の態様を
示す外観図、第2図は酸素センサの溶存酸素測定結果を
示すグラフ、第3図は第1図(A.)及び第1図(B)
の酸素センサに使用されたセンサ素子Mを示す概略構成
図である。
1・・・・・酸素イオン2#電体、2A・2B・・・・
・・電極、10・・・ステム、l4・・・多孔質隔壁(
12・・・・・.71 ノンユカハー(第1通気性隔壁
)、I3・・・・テフロン膜(第2通気性隔壁))、1
5・・・・・・焼結体(多孔質隔壁)、M・・・・・セ
ンサ素子。1(A) to 3 are diagrams showing a first embodiment of the present invention, in which FIG. 1(A) is an external view showing the overall schematic configuration, and FIG. Fig. 2 is a graph showing the dissolved oxygen measurement results of the oxygen sensor; Fig. 3 is Fig. 1 (A.) and Fig. 1 (B).
FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a sensor element M used in an oxygen sensor. 1...Oxygen ion 2# electric body, 2A/2B...
... Electrode, 10 ... Stem, l4 ... Porous partition wall (
12... 71 Non-Yukahar (first breathable partition wall), I3...Teflon membrane (second breathable partition wall)), 1
5...Sintered body (porous partition wall), M...Sensor element.
Claims (2)
酸素イオン導電体の各面に積層されて所定電圧が印加さ
れる一対の電極を有するセンサ素子と、このセンサ素子
を覆うように設けられて、溶液の侵入を防止しかつ通気
性を有する多孔質隔壁とから成ることを特徴とする酸素
センサ。(1) A sensor element having an oxygen ion conductor made of a solid electrolyte, a pair of electrodes laminated on each surface of the oxygen ion conductor to which a predetermined voltage is applied, and a sensor element provided to cover the sensor element. An oxygen sensor comprising: a porous partition wall that prevents solution from entering and has air permeability.
設けられた第1通気性隔壁と、この第1通気性隔壁の内
側に配設された第2通気性隔壁とから構成されているこ
とを特徴とする請求項1記載の酸素センサ。(2) The porous partition wall is composed of a first breathable partition wall provided to cover the sensor element, and a second breathable partition wall provided inside the first breathable partition wall. The oxygen sensor according to claim 1, characterized in that:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1239478A JPH03102256A (en) | 1989-09-14 | 1989-09-14 | Oxygen sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1239478A JPH03102256A (en) | 1989-09-14 | 1989-09-14 | Oxygen sensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03102256A true JPH03102256A (en) | 1991-04-26 |
Family
ID=17045372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1239478A Pending JPH03102256A (en) | 1989-09-14 | 1989-09-14 | Oxygen sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03102256A (en) |
-
1989
- 1989-09-14 JP JP1239478A patent/JPH03102256A/en active Pending
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