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JPH0295900A - Accessary and production thereof - Google Patents

Accessary and production thereof

Info

Publication number
JPH0295900A
JPH0295900A JP24781188A JP24781188A JPH0295900A JP H0295900 A JPH0295900 A JP H0295900A JP 24781188 A JP24781188 A JP 24781188A JP 24781188 A JP24781188 A JP 24781188A JP H0295900 A JPH0295900 A JP H0295900A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
diamond
accessary
crystal
phase synthesis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24781188A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Keiji Hirabayashi
敬二 平林
Yasushi Taniguchi
靖 谷口
Noriko Kurihara
栗原 紀子
Keiko Ikoma
生駒 圭子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP24781188A priority Critical patent/JPH0295900A/en
Publication of JPH0295900A publication Critical patent/JPH0295900A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain inexpensively an accessary having the feeling of a quality article by providing a crystal of diamond in the shape of a desired character or figure on a surface by vapor phase synthesis. CONSTITUTION:A surface of a substrate 1 capable of enduring a temperature at which a crystal of diamond is provided by vapor phase synthesis is provided with minute recesses and protrusions 2 by minutely scratching the surface by a diamond abrasive or the like. A desired character or figure is drawn on the surface by use of a masking agent 3 such as a coating material, a seal and a marker ink. Next, the surface of the substrate 1 is made flat by etching. In this case, it is necessary that the masking agent 3 is not removed completely. The masking agent 3 remaining on the surface after the etching is removed by an acid, an organic solvent or the like, and the substrate is cleaned with an organic solvent or the like. Then, a crystal of diamond is provided selectively on the unetched part of the surface of the substrate 1 by vapor phase synthesis. Thus, a crystal of diamond can be provided at a desired position on an inexpensive substrate to produce an accessary, whereby an accessary having an enhanced value as accessary and having the feeling of a quality article can be obtained inexpensively.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、表面に気相合成法によりダイヤモンド結晶が
形成された装飾品及びその作成方法に関するものである
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to an ornament whose surface has diamond crystals formed by vapor phase synthesis, and a method for producing the same.

(従来の技術〕 従来より、ダイヤモンドは宝石として用いられてきたが
、最近はダイヤモンドを気相合成法で形成する方法が知
られおり、例えは、特開昭58−91100号公報、特
開昭58−110494号公報、特公昭61−2632
号公報等に記載されている。
(Prior art) Diamonds have traditionally been used as gemstones, but recently a method of forming diamonds using a vapor phase synthesis method has become known. Publication No. 58-110494, Special Publication No. 61-2632
It is stated in the publication number etc.

又、この気相合成ダイヤモンドをエメラルト、ルビー等
のダイヤ以外の宝石表面上に形成して、宝石の保護膜と
して用いる方法も知られている(特開昭6l−3619
9)。
It is also known to form this vapor-phase synthetic diamond on the surface of gemstones other than diamonds, such as emeralds and rubies, and use it as a protective film for the gemstones (Japanese Patent Laid-Open No. 61-3619).
9).

更に、特開昭62−297298には、ダイヤモンドを
所望の位置に選択的に作成する選択堆積膜形成法が開示
されている。
Further, Japanese Patent Laid-Open No. 62-297298 discloses a selective deposition film forming method for selectively forming diamonds at desired positions.

(発明が解決しようとする課題) しかしながらこれら従来例は何れも装飾品の装飾に適用
されているものではなく、装飾品の所望の位置に所望の
形状の装飾をしようとしてもその適用に困難性があった
(Problem to be Solved by the Invention) However, none of these conventional examples have been applied to the decoration of decorative items, and even if it is attempted to decorate the desired shape at the desired position of the decorative item, it is difficult to apply it. was there.

本発明は上記の諸点に鑑みなされたものであり、その目
的とするところは従来例にない新規にして有用な装飾品
及びその作成方法を提供することである。
The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and its purpose is to provide a novel and useful ornament that has not been seen in the prior art, and a method for producing the same.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記目的を達成する本発明の装飾品は表面に気相合成法
により所望の文字又は図形の形状にダイヤモンド結晶を
設けたことを特徴とする。
The decorative article of the present invention which achieves the above object is characterized in that diamond crystals are provided on the surface in the shape of desired letters or figures by vapor phase synthesis.

又、上記目的を達成する本発明の装飾品の形成方法は、
装・飾品の表面に気相合成法により所望の文字又は図形
の形状にダイヤモンド結晶を選択的に設けることを特徴
とする。
Further, the method for forming a decorative article of the present invention that achieves the above object is as follows:
It is characterized by selectively providing diamond crystals in the shape of desired characters or figures on the surface of decorations and ornaments by vapor phase synthesis.

〔作用〕[Effect]

このように構成される本発明によれば、装飾品の表面に
ダイヤモンド結晶を所望の文字1図形の形状に形成する
ことにより、装飾品としての価値をより高める・ことが
出来るものであり、高級感のある装飾品を低コストで提
供出来るものである。
According to the present invention constructed in this way, by forming diamond crystals in the shape of a desired character on the surface of an ornament, the value as an ornament can be further increased, and the value of the ornament can be further increased. It is possible to provide decorative items with a sense of style at a low cost.

又、ダイヤモンド結晶の設けられる領域を細かいドツト
又はラインで構成し、該領域上に選択的にダイヤモンド
結晶を形成することにより、光の回折により美しい干渉
色を呈し装飾品として非常に美しくすぐれたものを得る
ことができる。
In addition, by configuring the area where diamond crystals are provided with fine dots or lines and selectively forming diamond crystals on the area, it exhibits beautiful interference colors due to light diffraction, making it extremely beautiful and excellent as an ornament. can be obtained.

以下、本発明を第1図に従って具体的に説明する。The present invention will be specifically explained below with reference to FIG.

第1図は装飾品を構成する所望の基体上にダイヤモンド
結晶を形成する本発明の好適な実施態様例の1つを説明
する為の模式的工程図である。
FIG. 1 is a schematic process diagram for explaining one of the preferred embodiments of the present invention for forming diamond crystals on a desired substrate constituting an ornament.

「工程(A)」 先ず、気相合成法によるダイヤモンド結晶形成時の温度
に耐えうる基体1(石英やアルミナ、シリコン、タング
ステン、タンタル等)を用意する。
"Step (A)" First, a substrate 1 (made of quartz, alumina, silicon, tungsten, tantalum, etc.) that can withstand the temperature during diamond crystal formation by vapor phase synthesis is prepared.

「工程(B)」 基体1の表面にダイヤモンド砥粒等を用いて微細な傷を
形成して微細な凹凸2を設ける。この微細な傷がダイヤ
モンド結晶に成長する核が発生する起点となる。
"Step (B)" Fine scratches are formed on the surface of the substrate 1 using diamond abrasive grains or the like to provide fine irregularities 2. These minute scratches serve as starting points for the generation of nuclei that grow into diamond crystals.

「工程(C)」 微細な傷が形成された基体1に塗料、シール。"Process (C)" Paint and seal on the substrate 1 on which minute scratches have been formed.

及びマジックインキ等のマスキング剤3を用いて、所望
の文字1図形を描く。
Then, using a masking agent 3 such as marker ink, a desired character 1 figure is drawn.

「工程(D)」 前記工程(C)までの処理が適用された基体1の表面を
1〜0.05μm程度の深さにエツチングして平坦化す
る。このエツチングされた領域においては、工程(B)
により形成された傷が除去されて表面が平坦化される為
 ダイヤモンド結晶に成長する核が発生しない。ここで
のエツチング方法はいかなるものでもかまわないが、該
エツチングにより工程(C)で基体1の表面に設けたマ
スキング剤3が完全に除去されてしまわないことが必要
である。具体的なエツチング方法は、基体が石英であれ
ばフッ酸を用いたり、金属であれば塩酸、硫酸等を用い
ることが出来る。又、イオンスパッタエツチング装置(
例えば、日本電子製JFC−1100)等を用いてエツ
チングすることも可能である。
"Step (D)" The surface of the substrate 1 to which the treatments up to step (C) have been applied is etched to a depth of about 1 to 0.05 μm to flatten it. In this etched area, step (B)
The scratches formed by this process are removed and the surface is flattened, so no nuclei that grow into diamond crystals are generated. Any etching method may be used here, but it is necessary that the masking agent 3 provided on the surface of the substrate 1 in step (C) is not completely removed by the etching. As a specific etching method, if the substrate is quartz, hydrofluoric acid can be used, and if the substrate is metal, hydrochloric acid, sulfuric acid, etc. can be used. In addition, ion sputter etching equipment (
For example, it is also possible to perform etching using JEOL JFC-1100) or the like.

「工程(E)J 基体1上に残っているマスキング剤3を酸、有機溶媒等
を用いて除去した後、有機溶媒等を用いて洗浄する。こ
のとき洗浄方法が不十分で、洗浄ムラがあるとダイヤモ
ンド結晶の析出が希望部位でない所にも発生しやすくな
るので?″i意が必要である。
``Step (E)J: After removing the masking agent 3 remaining on the substrate 1 using an acid, an organic solvent, etc., cleaning is performed using an organic solvent, etc. At this time, the cleaning method may be insufficient and uneven cleaning may occur. If there is, diamond crystals will tend to precipitate in undesired locations, so care must be taken.

「工程(F)」 次いで、基体1を、例えば、第2図に示されるような装
置を用いた熱フイラメントCVD法や第3図に示される
ような装置を用いたマイクロ波フラズマCVD法等の公
知の気相合成法を用いて工程(C)に於てエツチング処
理されなかった所に選択的にダイヤモンド結晶を形成す
る。
"Step (F)" Next, the substrate 1 is subjected to, for example, a hot filament CVD method using an apparatus as shown in FIG. 2, a microwave plasma CVD method using an apparatus as shown in FIG. Using a known vapor phase synthesis method, diamond crystals are selectively formed in the areas that were not etched in step (C).

このようにして廉価な基体上の所望の位置にダイヤモン
ド結晶を形成して装飾品とすることができる。更に上記
のように装飾処理された基体に外わくを付ける、鎖を付
ける、或は上記のように装飾処理された基体を所望の加
工品にはめ込む等の加工を加えることにより、所望の形
状にダイヤモンド結晶が設けられたバッジ、ペンダント
、置き物、ネクタイピン、指輪、メガネフレーム、イヤ
リング、ライター、時計等の高級感のある装飾品とする
ことができる。
In this way, diamond crystals can be formed at desired positions on inexpensive substrates to produce decorative items. Furthermore, by adding processing such as attaching an outer frame or chain to the decorated base as described above, or fitting the decorated base as described above into a desired workpiece, it can be shaped into a desired shape. It can be used as a badge, pendant, ornament, tie clip, ring, eyeglass frame, earring, lighter, watch, or other high-class ornaments provided with diamond crystals.

次に第2図及び第3図の装置を用いて所望の形状を有す
る基体の表面に本発明の方法によってダイヤモンド結晶
を所望の形状に設ける例を簡単に述べる。
Next, an example in which diamond crystals are provided in a desired shape by the method of the present invention on the surface of a substrate having a desired shape using the apparatus shown in FIGS. 2 and 3 will be briefly described.

第2図の熱フイラメントCVD装置を用いる場合、第1
図の工程(A)から工程(E)を経た基体8を反応管5
の所定の位置に配置し、排気口10より反応管5内を排
気し所望の圧力まで減圧する。ガス導入管よりメタン、
エタンなどの原料ガスを導入し、電気炉6により反応管
5内を所望の温度にした後タングステンン製熱フィラメ
ント8に通電し基体8上に所望の形状にダイヤモンド結
晶を形成させる。
When using the hot filament CVD apparatus shown in Fig. 2, the first
The substrate 8 that has undergone steps (A) to (E) in the figure is placed in a reaction tube 5.
The inside of the reaction tube 5 is evacuated from the exhaust port 10 to reduce the pressure to a desired pressure. Methane from the gas introduction pipe,
A raw material gas such as ethane is introduced and the inside of the reaction tube 5 is brought to a desired temperature using an electric furnace 6, and then electricity is applied to a tungsten hot filament 8 to form diamond crystals in a desired shape on the substrate 8.

第3図のマイクロ波プラズマCVD装置を用いる場合;
第1図の工程(A)から工程(E)を経た基体15を反
応管11内の基体ホルダー16上に載せ、排気口18よ
り反応管11内を排気し所望の圧力まで減圧する。次に
、ガス導入管17より原料ガスを導入する。マグネトロ
ン12でマイクロ波を発生させ導波管13を通して反応
管11内に導き定常波が得られるようプランジャー14
を調節し基体15上に所望の形状にダイヤモンド結晶を
形成させる。
When using the microwave plasma CVD apparatus shown in Fig. 3;
The substrate 15 that has undergone steps (A) to (E) in FIG. 1 is placed on the substrate holder 16 inside the reaction tube 11, and the inside of the reaction tube 11 is evacuated from the exhaust port 18 to reduce the pressure to a desired pressure. Next, raw material gas is introduced through the gas introduction pipe 17. A plunger 14 is used to generate microwaves with a magnetron 12 and guide them into the reaction tube 11 through a waveguide 13 to obtain a standing wave.
is adjusted to form diamond crystals in a desired shape on the substrate 15.

次に、ダイヤモンド結晶の設けられる領域を細かいドツ
ト又はラインで構成する本発明について以下、第4図に
従って具体的に説明する。
Next, the present invention, in which the area where diamond crystals are provided is formed of fine dots or lines, will be explained in detail with reference to FIG. 4.

第4図は本発明の好適な実施態様例の1つを説明する為
の模式的工程図である6 「工程(A)」 先ず、気相合成法によるダイヤモンド結晶形成時の温度
に耐えうる基体!9(石英やアルミナ。
FIG. 4 is a schematic process diagram for explaining one of the preferred embodiments of the present invention.6 "Step (A)" First, a substrate that can withstand the temperature during diamond crystal formation by vapor phase synthesis method is prepared. ! 9 (quartz and alumina.

シリコン、タングステン、タンタル等)を用意する。(silicon, tungsten, tantalum, etc.).

「工程(B)」 基体19の表面にダイヤモンド砥粒等を用いて微細な傷
を形成して微細な凹凸20を設ける。この微細な傷がダ
イヤモンド結晶に成長する核が発生する起点となる。
"Step (B)" Fine scratches are formed on the surface of the base 19 using diamond abrasive grains or the like to provide fine irregularities 20. These minute scratches serve as starting points for the generation of nuclei that grow into diamond crystals.

「工程(C)」 微細な傷が形成された基体19上に所望の文字1図形を
細かいドツト又はライン状に例えばPMMA等のレジス
ト21を配することにより描く。このレジスト21の形
成方法としては、基体20表面全面にレジストを塗付し
、フォトリソグラフィー法等の方法でドツト又はライン
状にする方法が挙げられる。このとき、ダイヤモンド結
晶が美しい干渉色を呈する為にはドツト又はラインを、
好ましくは200μmピッチ、より好ましくは100μ
mピッチ、最適には20μmピッチ以下で形成すること
が望ましい。
"Step (C)" A desired character 1 figure is drawn in the form of fine dots or lines on the substrate 19 in which minute scratches have been formed by disposing a resist 21 such as PMMA. A method for forming the resist 21 includes a method of applying the resist to the entire surface of the substrate 20 and forming it into dots or lines by a method such as photolithography. At this time, in order for the diamond crystal to exhibit beautiful interference colors, dots or lines should be
Preferably 200μm pitch, more preferably 100μm
It is desirable to form them at a pitch of m, most preferably a pitch of 20 μm or less.

又、ドツト径又はライン巾は好ましくは100μm径以
下又は100μm巾以下、より好事しくは50μm径以
下又は50μm巾以下が望ましい。
Further, the dot diameter or line width is preferably 100 μm or less or 100 μm or less, more preferably 50 μm or less or 50 μm or less.

「工程(D)」 前記工程(C)までの処理が適用された基体19の表面
を1〜0.05μm程度の深さにエツチングして平坦化
する。このエツチングされた領域においては、工程(B
)により形成された傷が除去されて表面が平坦化される
為 ダイヤモンド結晶に成長する核が発生しない。ここ
でのエツチング方法はいかなるものでもかまわないが、
該エツチングにより工程(C)で基体19の表面に設け
たレジスト21が完全に除去されてしまわないことが必
要である。
"Step (D)" The surface of the substrate 19 to which the treatments up to step (C) have been applied is etched to a depth of about 1 to 0.05 μm to flatten it. In this etched area, the process (B
) is removed and the surface is flattened, so no nuclei that grow into diamond crystals are generated. Any etching method may be used here, but
It is necessary that the resist 21 provided on the surface of the substrate 19 in step (C) is not completely removed by the etching.

上記エツチングは、ドライエツチング、ウェットエツチ
ングのどちらでも良い。ウェットエツチングを行う場合
は、例えばフッ酸、硝酸混液によるエツチングなどを挙
げることができる。またドライエツチングを行う場合は
、例えばプラズマエツチング、イオンビームエツチング
などを挙げることができる。
The above etching may be either dry etching or wet etching. When performing wet etching, for example, etching with a mixed solution of hydrofluoric acid and nitric acid can be used. Further, when dry etching is performed, for example, plasma etching, ion beam etching, etc. can be used.

「工程(E)」 基体19に残っているレジスト21を有機溶媒、又は硫
酸、過酸化水素水混合溶液等で除去し、合わせて基体の
洗浄を行う。
"Step (E)" The resist 21 remaining on the substrate 19 is removed using an organic solvent or a mixed solution of sulfuric acid and hydrogen peroxide, and the substrate is also cleaned.

「工程(F)」 基体19表面上に気相合成法により、レジスト21の塗
付によりエツチング処理されなかった所に選択的にダイ
ヤモンド結晶22を形成する。このときダイヤモンド結
晶は細かいドツト又はライン状に形成されている為、干
渉色を有する美しい色を呈し、装飾品として非常に美し
いすぐれたものとなる。
"Step (F)" Diamond crystals 22 are selectively formed on the surface of the substrate 19 by vapor phase synthesis in areas that were not etched by applying the resist 21. At this time, since the diamond crystals are formed in the form of fine dots or lines, they exhibit beautiful colors with interference colors, making them very beautiful and excellent ornaments.

本発明に用いられる気相合成法は、前記の熱フイラメン
トCVD法やマイクロ波プラズマCVD法を限定される
ものではなく、RFプラズマCVD法や、ECRプラズ
マCVD法、電子線アシストCVD法(EACVD法゛
)等、気相合成法であればよい。又、原料ガスとしては
、通常は水素とメタン混合ガスを用いるが、析出速度向
上のためにアルコール、アセトンなどの有機溶媒を、水
素ガスでバブリングさせて導入させてもよい。又、ハロ
ゲン化炭素や、COガスなどの炭素源と用いることがで
きるし、結晶性向上のため、02ガス、H20ガスも添
加ガスとして導入することも有効である。
The vapor phase synthesis method used in the present invention is not limited to the above-mentioned thermal filament CVD method and microwave plasma CVD method, but includes RF plasma CVD method, ECR plasma CVD method, and electron beam assisted CVD method (EACVD method). Any gas phase synthesis method such as 2) may be used. Further, as the raw material gas, a mixed gas of hydrogen and methane is usually used, but in order to improve the deposition rate, an organic solvent such as alcohol or acetone may be introduced by bubbling hydrogen gas. Further, it can be used as a carbon source such as halogenated carbon or CO gas, and it is also effective to introduce 02 gas or H20 gas as an additive gas to improve crystallinity.

〔実施例〕〔Example〕

〈実施例1〉 第5図に示したバッジを以下のように作成した。 <Example 1> The badge shown in Figure 5 was created as follows.

Si基体23(φ25mm、厚さO’、5mm)をダイ
ヤモンド砥粒(粒径〜20μm)を分散させたアルコー
ル溶液と共に超音波洗浄器に入れ、超音波処理を60分
間行うことにより、基体23表面に微細な傷を形成した
。次に、基体23の表面上にマジックインキで「ハート
」の絵を書いた。続いて基体23表面をイオンスパッタ
エツチング装置(日本電子製JFC−1100)で約5
00人エツチングした。、このとき、マジ゛ンクインキ
で書いた絵は残っていた。この基体23をアセトン溶液
で10分間超音波洗浄して、インキの除去と基体23の
洗浄をした後、第2図に示す熱フイラメントCVD装置
を用いて以下の形成条件で基体23上にダイヤモンド結
晶の形成を行った。
A Si substrate 23 (φ25 mm, thickness O', 5 mm) is placed in an ultrasonic cleaner with an alcohol solution in which diamond abrasive grains (particle size ~20 μm) are dispersed, and ultrasonic treatment is performed for 60 minutes to clean the surface of the substrate 23. microscopic scratches were formed on the surface. Next, a "heart" picture was drawn on the surface of the base 23 with marker ink. Subsequently, the surface of the substrate 23 is etched by an ion sputter etching device (JFC-1100 manufactured by JEOL Ltd.) for about 50 minutes.
I etched 00 people. At this time, the pictures drawn with magic ink remained. This substrate 23 is ultrasonically cleaned with an acetone solution for 10 minutes to remove the ink and clean the substrate 23. Then, diamond crystals are formed on the substrate 23 using the hot filament CVD apparatus shown in FIG. 2 under the following formation conditions. was formed.

(形成条件) H2ガス流量 :  200SCCM CH4ガス流量:    I SCCM圧力   ・ 
 50Torr 基体温度  ・    820℃ 4時間の成膜で、ハート形の多結晶ダイヤモンド結晶2
4が形成された。
(Formation conditions) H2 gas flow rate: 200SCCM CH4 gas flow rate: I SCCM pressure ・
50Torr Substrate temperature ・820℃ After 4 hours of film formation, heart-shaped polycrystalline diamond crystal 2
4 was formed.

この基板は、外わくをはぬることでバッジに用いられた
This board was used for badges by painting the outer frame.

〈実施例2〉 石英基体(φ20mm、厚さ1 mm)に実施例1と同
様の超音波処理を行った後、レジスト(東京応化製、O
MR)でr’I  Love  You」と書いた。
<Example 2> After performing the same ultrasonic treatment as in Example 1 on a quartz substrate (φ20 mm, thickness 1 mm), a resist (manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd., O
MR) wrote ``r'I Love You''.

この基体表面をフッ酸溶液(濃度5%)で約500人程
度エツチングした。この基体をアセトン溶液でレジスト
除去と洗浄を行った後に実施例1と同一の装置と形成条
件でダイヤモンドを形成したところ、rI  Love
  You」の形にダイヤモンド結晶が析出した。この
基体は外わくをはめることにより、ペンダントとして用
いられた。
The surface of this substrate was etched with a hydrofluoric acid solution (concentration 5%) by about 500 people. After removing the resist and cleaning this substrate with an acetone solution, diamond was formed using the same apparatus and forming conditions as in Example 1.
Diamond crystals were precipitated in the shape of "You". This base was used as a pendant by fitting an outer frame.

〈実施例3〉 Si基体(10x25mm、厚さ1.5mm)に実施例
1と同様の超音波処理を行なった後、レジスト(東京応
化製、OMR)を用いてSi基体表面上にrJAPAN
Jと書いた。
<Example 3> After performing the same ultrasonic treatment as in Example 1 on a Si substrate (10 x 25 mm, thickness 1.5 mm), rJAPAN was applied on the surface of the Si substrate using a resist (manufactured by Tokyo Ohka, OMR).
I wrote J.

この基体表面に実施例1と同様なエツチング処理を行っ
た後、アセトン溶液でレジスト除去と洗浄を10分間行
い、第3図に示すマイクロ波プラズマCVD装置でダイ
ヤモンド形成を以下の形成条件で行った。
After performing the same etching treatment as in Example 1 on the surface of this substrate, the resist was removed and washed with an acetone solution for 10 minutes, and diamond formation was performed using the microwave plasma CVD apparatus shown in FIG. 3 under the following formation conditions. .

(形成条件) (CHs )2 Co及び H2混合ガス流i  :  200SCCM圧力   
   60Torr 基体温度  ・    850℃ マイクロ波パワー、     450W(尚、アセトン
は水素ガスによるバブリングで導入、アセトン濃度1%
) 3時間の成膜でrJAPANJの形にダイヤモンド結晶
が形成され、この基体は外わくとピンを取り付けること
によりネクタイピンとして用いられた。
(Formation conditions) (CHs)2 Co and H2 mixed gas flow i: 200SCCM pressure
60Torr Substrate temperature ・850℃ Microwave power, 450W (Acetone was introduced by bubbling with hydrogen gas, acetone concentration 1%
) After 3 hours of film formation, diamond crystals were formed in the shape of rJAPANJ, and this substrate was used as a tie clip by attaching an outer frame and a pin.

〈実施例4〉 Si基体(10X25mm、厚さ1.5mm)を実施例
1と同様な超音波処理を行った後、スピンナーを用いて
基体表面にレジスト(東京応化製、0EBR−1000
)を塗付し、マスクアライナ−(キャノン製;PLA−
500)を用いてφ5μmのレジストパターンを、20
μmピッチの格子状に文字中1.5mmでrU、S、A
、Jの形状(約8X24mmのサイズ)に形成した。
<Example 4> After a Si substrate (10 x 25 mm, thickness 1.5 mm) was subjected to the same ultrasonic treatment as in Example 1, a resist (0EBR-1000 manufactured by Tokyo Ohka Co., Ltd.) was applied to the surface of the substrate using a spinner.
) and apply mask aligner (Canon; PLA-).
500) to form a resist pattern with a diameter of 5 μm.
rU, S, A at 1.5mm in the letter in a lattice shape with a μm pitch
, J shape (size of approximately 8 x 24 mm).

この基体に実施例3と同一のエツチング条件及び形成条
件でダイヤモンド結晶形成を行った。
Diamond crystal formation was performed on this substrate under the same etching and formation conditions as in Example 3.

このダイヤモンド結晶形成によっては細かなドツト状に
rU、S、A、Jの形でダイヤモンド結晶の形成がされ
た為、ダイヤモンド結晶形成部は、干渉色を有する美し
い色を呈しており、実施例3と同様にネクタイピンとし
て加工された。
Due to this diamond crystal formation, diamond crystals were formed in the form of fine dots rU, S, A, and J, so the diamond crystal forming area exhibited a beautiful color with interference color. It was also made into a tie pin.

〈実施例5〉 レジストパターンを10μm幅のライン状に10μm間
隔で形成した。これ以外の条件は実施例4と同一にして
ダイヤモンド結晶の形成を行った。 このダイヤモンド
結晶形成によっては細かなライン状にrU、S、A、」
の形でダイヤモンド形成が行われた為、ダイヤモンド形
成部は光の回折により干渉色を有する美しい色を呈し実
施例3と同様にネクタイピンとして加工された。
<Example 5> A resist pattern was formed in a line shape with a width of 10 μm at intervals of 10 μm. Diamond crystals were formed under the same conditions as in Example 4 except for these conditions. Depending on this diamond crystal formation, fine lines rU, S, A,
Because the diamond was formed in the form of , the diamond-formed part exhibited a beautiful color with interference color due to light diffraction, and was processed into a tie pin in the same manner as in Example 3.

(発明の効果) 本発明によれば、装飾品の表面にダイヤモンド結晶を所
望の文字1図形の形状に形成することにより、装飾品と
しての価値をより高めることが出来、高級感のある装飾
品を低コストで提供出来る。又、ダイヤモンド結晶の設
けられる領域を細かいドツト又はラインで構成し、該領
域上に選択的にダイヤモンド結晶を形成することにより
、光の回折により美しい干渉色を呈し装飾品として非常
に芙しくすぐれたものを得ることができる。
(Effects of the Invention) According to the present invention, by forming diamond crystals in the shape of a desired character on the surface of an ornament, the value as an ornament can be further increased, and the ornament has a high-class feel. can be provided at low cost. In addition, by configuring the area where diamond crystals are provided with fine dots or lines and selectively forming diamond crystals on the area, it exhibits beautiful interference colors due to light diffraction, making it extremely unique and excellent as an ornament. can get things.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明によるダイヤモンド結晶の形成方法の
1つの例を模式的に表わした工程図、第2図は熱フイラ
メントCVD装置の模式的構成図、 第3図はマイクロ波PCVD装置の模式的構成図、 第4図は本発明によるダイヤモンドの形成領域を細かい
ドツト状又はライン状とした場合のダイヤモンド結晶の
形成方法の1つの好適な例を模式的に表わした工程図、 第5図は実施例1で作成したバッジの模式的構成図であ
る。 l・・・基体 2・・・微小な傷のついた基体 3・・・インキ、塗料等マスキング剤 4・・・ダイヤモンド結晶 5・・・反応管 6・・・電気炉 7・・・タングステン製熱フィラメント8・・・基体 9・・・ガス導入口 0・・・排気口 1・・・反応管 2・・・マグネトロン 3・・・導波管 14・・・プランジャー 体 15・・・基板 イ岑 16・・・基板ホルダー 17・・・ガス導入口 18・・・排気口 19・・・基体 20・・・微細な傷を有する基体 21・・・レジストカ参電; 22・・・ダイヤモンド結晶 23・・・Si基体 24・・・ダイヤモンド結晶膜
Fig. 1 is a process diagram schematically representing one example of the method for forming diamond crystals according to the present invention, Fig. 2 is a schematic configuration diagram of a thermal filament CVD apparatus, and Fig. 3 is a schematic diagram of a microwave PCVD apparatus. Fig. 4 is a process diagram schematically representing one preferred example of a method for forming diamond crystals in which the diamond forming region is formed into a fine dot shape or a line shape according to the present invention; 1 is a schematic configuration diagram of a badge created in Example 1. FIG. l...Base 2...Base with minute scratches 3...Masking agent such as ink, paint, etc. 4...Diamond crystal 5...Reaction tube 6...Electric furnace 7...Made of tungsten Thermal filament 8...Base 9...Gas inlet 0...Exhaust port 1...Reaction tube 2...Magnetron 3...Waveguide 14...Plunger body 15...Substrate 16...Substrate holder 17...Gas inlet 18...Exhaust port 19...Substrate 20...Substrate 21 with minute scratches...Resist capacitor; 22...Diamond crystal 23...Si substrate 24...Diamond crystal film

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)表面に気相合成法により所望の文字又は図形の形
状にダイヤモンド結晶を設けたことを特徴とする装飾品
(1) An ornament characterized in that diamond crystals are provided on the surface in the shape of desired letters or figures by a vapor phase synthesis method.
(2)前記ダイヤモンド結晶はドット状又はライン状に
形成されている特許請求の範囲第1項に記載の装飾品。
(2) The ornament according to claim 1, wherein the diamond crystal is formed in a dot shape or a line shape.
(3)装飾品の表面に気相合成法により所望の文字又は
図形の形状にダイヤモンド結晶を選択的に設けることを
特徴とする装飾品の作成方法。
(3) A method for producing an ornament, which comprises selectively providing diamond crystals in the shape of desired letters or figures on the surface of the ornament by vapor phase synthesis.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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