JPH0294396U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0294396U JPH0294396U JP323389U JP323389U JPH0294396U JP H0294396 U JPH0294396 U JP H0294396U JP 323389 U JP323389 U JP 323389U JP 323389 U JP323389 U JP 323389U JP H0294396 U JPH0294396 U JP H0294396U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- rotating body
- turbo
- hydrodynamic bearing
- stator blades
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は第１図の軸受体の平面図、第３図は従来のタ
ーボ分子ポンプの断面図、第４図は第３図の軸受
１１の断面図、第５図は第４図の軸受体の平面図
、第６図は第３図の軸受１１において、球面部１
１ａに働く油膜力の説明図である。図において、
１１は球面動圧軸受、１１ａは球面部、１１ｂは
軸受体、１１ｃは従来装置のＯリング溝、１１ｄ
は本考案の装置のＯリング溝、１１ｅはそのＯリ
ング溝１１ｄの切欠き部である。なお、各図中同
一符号は同一又は相当部分を示す。
図は第１図の軸受体の平面図、第３図は従来のタ
ーボ分子ポンプの断面図、第４図は第３図の軸受
１１の断面図、第５図は第４図の軸受体の平面図
、第６図は第３図の軸受１１において、球面部１
１ａに働く油膜力の説明図である。図において、
１１は球面動圧軸受、１１ａは球面部、１１ｂは
軸受体、１１ｃは従来装置のＯリング溝、１１ｄ
は本考案の装置のＯリング溝、１１ｅはそのＯリ
ング溝１１ｄの切欠き部である。なお、各図中同
一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 上端に吸入口、下端に吐出口を備えたケーシン
グ、前記ケーシング内にその軸線方向に沿つて多
段に設けられた静翼、この静翼間に位置する動翼
を有し、前記ケーシングの軸中心に配置された回
転体、前記回転体を駆動する駆動機構、前記回転
体の下部を支承する球面動圧軸受を備えたターボ
分子において、前記球面動圧軸受において軸受体
の外周に形成されたＯリング溝を略楕円形状とし
たことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP323389U JPH0294396U (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP323389U JPH0294396U (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0294396U true JPH0294396U (ja) | 1990-07-26 |
Family
ID=31204687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP323389U Pending JPH0294396U (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0294396U (ja) |
-
1989
- 1989-01-13 JP JP323389U patent/JPH0294396U/ja active Pending