JPH0230800A - スタンパーの洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この発明はスタンパ−の洗浄方法に関し、更に詳しくは
、スタンパ−を洗浄液中で、例えばアルカリ・界面活性
剤混合溶液中で電解脱脂により洗浄するスタンパ−の洗
浄方法に関する。

（ロ）従来の技術 スタンパ−１すなわちＬＰレコード、光ディスクなどの
情報記録用ディスクを復製するためのマスター盤は、一
般に次のような工程で製造される。

まずガラス原盤を研磨し、その研磨面に感光性樹脂膜を
塗布し、光学的エツチング処理を施して所望の微細パタ
ーンを刻設する。次いでその微細パターン面に金属薄膜
を設け、更にニッケル電気メツキにより所望の厚さまで
肉盛りした後、元のガラス原盤部分から分離してスタン
パ−とする。

しかしなかも、このスタンパ−の表面には、感光性樹脂
膜が残留しており、この膜の除去に、アルカリ・界面活
性剤の混合溶液（アルカリ濃度約１％）中でスタンパ−
を陰極とし対向電極板を陽極として電解脱脂を行う電解
脱脂洗浄法、有機溶媒中で超音波によって洗浄する超音
波洗浄法、又はこれらの併用洗浄法が採用されている。

特に電解脱脂洗浄法については、アルカリ・界面活性剤
の混合溶液中でスタンパ−にッケル製）を銅製又はステ
ンレス製の電極治具により吊下保持して陰極とし、一方
、対向電極板をステンレス製で陽極として、電解するこ
とにより、スタンパ−の表面に残留した感光性樹脂膜が
アルカリ可溶性であることを利用して、それを溶解し、
更に多看の水素ガスの発生による物理的作用を利用して
除去している（特開昭６２−２１４５３５号公報参照）
。

（ハ）発明が解決しようとする課題 ところで情報記録用ディスクは、従来からのＬＰレコー
ドとは異なり最近では光によって記録情報を取り出す光
ディスクが飛躍的に多方面に使用されるようになってき
た。これらの光ディスクは、情報を記録するための溝幅
が、ＬＰレコードの５０ｍμに対しその１／１００の０
．５ｍμである。

一方上述の各種洗浄法にて洗浄されたディスク複製用ス
タンパ−に残留している微粒子は１〜１０ｍμである。

またその後のスタンパ−の使用（ディスクの複製）によ
って付着する各種塵埃や微粒子もほぼ同様の大きさであ
る。

従って従来のＬＰレコード複製用（又はアナログ用）ス
タンパ−では、情報記録用の溝が上述のごとく５０ｍμ
程度であるから、製造時の洗浄だけで十分であった。

これに対して光デイスク複製用（又はデジタル用）スタ
ンパ−では、情報記録用の溝が０．５ｍμ程度であるか
ら、１ｍμの微粒子でも、情報記録に致命的な影響があ
る。特に光デイスク複製用スタンパ−は、その情報記録
用の溝が細かく、しかも接近しているので、製造が難し
く、高価であり、１つのスタンパ−で多数の光ディスク
を成形しなければならず、更に長期間の保存が要求され
る。

結局光デイスク複製用スタンパ−は、成形・複製作業中
に付着する塵埃や＠粒子、長期間保存による腐食などの
ために洗浄を必要とすることになる。

しかしながら、このような光デイスク複製用スタンパ−
に対する桁違いの洗浄を、一般のスタンパ−の製造工程
中で採用されている、上述の電解脱脂洗浄法又は／及び
超音波洗浄法で行なっても、洗浄度を従来の１７１００
に高めることは難しい。

（ニ）課題を解決するための手段及びその作用この発明
は洗浄能を有する水溶液中に、スタンパ−をそれと実質
的に同一の材料から作られた電極治具を用いて吊下保持
し、一方スタンパ−と実質的に同一の材料から作られた
対向電極板を前記スタンパ−と対向する位置に吊下保持
し、スタンパ−側が陽極に、対向電極板側が陰極にそれ
ぞれなるよう直流電力を供給して撹拌下に電解洗浄を行
うことを特徴とするスタンパ−の洗浄方法である。

すなわち、この発明は、スタンパ−の電極治具及び対向
電極板としてスタンパ−と実質的に同一の材料のものを
用い、且つスタンパ−の電解極性を陰極ではなく陽極と
し、対向電極板のそれを陰極とすることによって、洗浄
度を高めようとするものである。

この発明において、スタンパ−を、洗浄能を有する水溶
液中で、吊下保持するための電極治具及びスタンパ−に
対する対向電極板の材料について、スタンパ−と実質的
に同一の材料とは、ｉｔ電極治具スタンパ−を陽極とし
、対向電極板を陰極として電解した場合に、スタンパ−
に対し、電気化学的な特性により電位差が生じない（電
池作用がなイ）材料を意味し、スタンパ−と全く同一材
料のものがより好ましいものとして挙げられる。ここで
スタンパ−１電極治具、対向電極板の具体的材料として
は、ニッケルのほか、コバルト、白金、モリブデン、ク
ロム、タングステン、バナジウム、ニオブ、タンタル、
パラジウム、金等の金属群が好ましいものとして挙げら
れる。なお、ステンレス鋼や銅合金は高温（約５０℃以
上１通常は５０〜６０’Ｃ）のアルカ・り浴（アルカリ
：通常は苛性ソーダ水溶液濃度５％以上）の場合に浸食
されやすい。

また、ニッケル製スタンパ−と銅製の電極治具とのごと
く、材料が異なり、電気抵抗が変わる場合に、両者に電
位差が生じ接触部が酸化されて黒くなる（通称、“ヤケ
”が起こる）ことがある。

この発明においては、電極治具、つまりスタンパ−を陽
極に、対向Ｎ極板を陰極にそれぞれ極性付与されるが、
これはスタンパ−が、陰極ではなく、陽極になれば、細
かい微粉子を引きつけないので、その付着を防止できる
と考えられる。

この発明において、洗浄能を有する水溶液とは、スタン
パ−成形時にその表面に残留する感光性樹脂膜、更にス
タンパ−により光ディスクを複製する際に付着する塵埃
や微粒子、又は長期間の保存によって生じる腐食などの
よごれの洗浄を可能にする水溶液を意味し、具体的には
、これらのよごれを溶解できるアルカリ・界面活性剤混
合溶液が好ましいものとして挙げられる。例えば水酸化
ナトリウム３０〜５０ｇＩＱ、炭酸ナトリウム３０〜５
０ｇＩＱ、リン酸ナトＩＪウム５０〜８０ｇ／（！、ケ
イ酸ナトリウム３０〜５０ｇ／ｆ２及び、界面活性剤１
〜２ｍ（１／（ｌである。

（ホ）実施例 以下実施例に基づきこの発明を説明する。なお、これに
よってこの発明が限定を受けるものではない。

ｉ）スタンパ−洗浄装置 この発明に係るスタンパ−の洗浄方法を実施するための
装置の例をまず説明する。

第１図において、電解液としてアルカリ脱脂液４を充填
した電解槽５と、ニッケル金属製スタンパ−８を電解液
中に吊下保持できる、スタンパ−８と同一素材のニッケ
ル金属製洗浄治具（陽り６と、同じくスタンパ−８と同
一素材のニッケル金属製対向電極板（陰極）７と、電源
（図示省略）と、ヒータ８と、撹拌器にとから主として
なる。

ｉｉ　）スタンパ−洗浄装置の作動 洗浄対象のスタンパ−８を洗浄治具６に引掛けて電解液
中に吊下し、その洗浄治具（陽極）６と対向電極板（陰
極）７との間に電源を介して直流電圧を印加する。かく
して電解よって、激しく発生ずるガスとアルカリ脱脂液
とがもつケン化、浸透、分散、乳化、撹拌などの化学的
、物理的作用がスタンパ−８に作用しスタンパ−８が効
果的に洗浄される。なお、アルカリ脱脂液の交換は積算
通電時間が所定値に至ると行われる。

ｉｉｉ　）スタンパ−の洗浄後の処理 スタンパ−洗浄装置２で脱脂洗浄されたスタンパ−８を
電解槽５から取り出し、流し台（図示省略、以下同様）
上でシャワーにより超純水にさらす。洗い程度（表面に
残留する微粒子または塵埃の有無）は、照射器の導光体
によって、スタンパ−８の角度を調整しつつ照射し、そ
の反射光を見て判断し、不十分であれば再度超純水を当
て、十分であれば乾燥室に挿入してクリーン化され加温
（例：４０℃）されたエアに当て乾燥させる。

かくして所望の洗浄度（残留微粒子又は塵埃；０．１ｍ
μ以下）のスタンパ−が得られる。

ｉｖ）実施例１ 第１図に示すごとく、外径１３８ｍｍφ、内径３７．４
ｏｈｍφのコンパクトディスク複製用スタンパ−Ｓを、
複製後、材質としてニッケルを用いる洗浄治具（又は電
極治具）６にセットしてアルカリ・界面活性剤混合溶液
４中に吊下保持し、洗浄治具を陽極とし、つまりスタン
パ−を陽極（電極）とし、対向電極板７を陰極（−極）
として両極間に２分間通電して洗浄した。

洗浄後のスタンパ−は上記ｉｉｉ　）の後処理を受ける
ことによって所望の洗浄度に達した。洗浄前・後の欠陥
の大きさ分布を第２図にそれぞれ示す。

なお第２図におけるスタンパ−の欠陥の大きさ分布は、
光学顕微鏡（拡大写真１００〜１０００倍）を撮影し、
その洗浄前後の写真結果からゴミや傷の大きさとそれら
の変化（減少傾向や分布状況）をコンピュータで評価し
たものである。その他の条件は次のとおりである。

■アルカリ、・界面活性剤混合溶液組成水酸化ナトリウ
ム　　　３０ｇ＃！ 炭酸ナトリウム　　　　３０ｇ／ｆ２ リン酸ナトリウム　　　５０ｇ＃！ ケイ酸ナトリウム　　　３０ｇ＃ 界面活性剤　　　　　　ｌａＱ／Ｑ ■混合溶液温度　　　　　　６０℃ ■電流密度及び電圧　　　　５Ａ／ｄｍ’、２．５　Ｔ
Ｖ）実施例２ 外径２０８＋ｕ＋＋φ、内径６５１ＩｌｌφのＤＲＡＴ
　（直接書き込み読み出し型）ディスク複製用スタンパ
−８を実施例１の場合と同様の操作をしてほぼ同様の結
果を得た。洗浄前後の欠陥分を第３図に示す。なお、こ
の場合の欠陥分布の観察は、光輝度の照明手段（ハロゲ
ンランプ）を用いてスタンバ−の全面の表面状態を肉眼
で検査し、ゴミや傷の分布を確認した。

（へ）発明の効果 この発明によれば、スタンバ−の電極治具及び対向電極
板としてスタンバ−と実質的に同一の材料のものを用い
、且つスタンバ−の電解極性を陰極ではなく陽極とし、
対向電極板のそれを陰極とすることによって、洗浄度を
高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るスタンバ−の洗浄方法を実施す
るための装置を示す機能説明図、第２図は実施例Ｉで得
られたスタンバ−の洗浄結果を示す欠陥の大きさ分析図
、第３図は実施例２で得られたスタンバ−の洗浄結果を
示す欠陥の大きさ分布図である。 昭和６３年１１月２１日 １．事件の表示 昭和６３年特許願第１７９７７５号 発明の名称 スタンパ−の洗浄方法 ３、Ｍ１ｉ正をする者 事件との関係

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、洗浄能を有する水溶液中に、スタンパーをそれと実
   質的に同一の材料から作られた電極治具を用いて吊下保
   持し、一方スタンパーと実質的に同一の材料から作られ
   た対向電極板を前記スタンパーと対向する位置に吊下保
   持し、スタンパー側が陽極に、対向電極板側が陰極にそ
   れぞれなるよう直流電力を供給して撹拌下に電解洗浄を
   行うことを特徴とするスタンパーの洗浄方法。