JPH02306706A - 弾性表面波発振器 - Google Patents
弾性表面波発振器Info
- Publication number
- JPH02306706A JPH02306706A JP12851589A JP12851589A JPH02306706A JP H02306706 A JPH02306706 A JP H02306706A JP 12851589 A JP12851589 A JP 12851589A JP 12851589 A JP12851589 A JP 12851589A JP H02306706 A JPH02306706 A JP H02306706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- impedance
- acoustic wave
- surface acoustic
- loop
- test terminals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、弾性表面波デバイスを用いた弾性表面波発
振器に関する。
振器に関する。
〔従来の技術]
この種の弾性表面波発振器の典型的な従来例を第4図に
示す。
示す。
即ちこの発振器においては、増幅器2と弾性表面波デバ
イス3と移相器4とをループ状に接続して発振ループを
構成している。出力の取り出しには、コンデンサ5や方
向性結合器等が使われる。
イス3と移相器4とをループ状に接続して発振ループを
構成している。出力の取り出しには、コンデンサ5や方
向性結合器等が使われる。
弾性表面波デバイス3としては、例えば2ボート型の弾
性表面波共振器や弾性表面波遅延線が用いられる。
性表面波共振器や弾性表面波遅延線が用いられる。
移相器4は、発振ループの位相を調整して発振条件を成
立させるためのものであるが、例えば可変容量ダイオー
ドを含む電圧制御型にして、これをこの例のように、制
御電圧Vtによって当該発振器の発振周波数を変化させ
る、即ち当該発振器を電圧制御発振器(VCO)とする
場合もある。
立させるためのものであるが、例えば可変容量ダイオー
ドを含む電圧制御型にして、これをこの例のように、制
御電圧Vtによって当該発振器の発振周波数を変化させ
る、即ち当該発振器を電圧制御発振器(VCO)とする
場合もある。
上記のような従来の弾性表面波発振器においてては、そ
の開ループ特性を調べたい場合は、図中のA−C点の何
れかをカットして、その両端にネットワークアナライザ
等の測定器を接続しなければならない。
の開ループ特性を調べたい場合は、図中のA−C点の何
れかをカットして、その両端にネットワークアナライザ
等の測定器を接続しなければならない。
しかしながら、カットする場所のインピーダンスは一般
的に測定器のインピーダンス(通常は50Ωまたは75
Ω)に適合しておらず、そのためミスマツチングの状態
で開ループ特性を評価することになる。
的に測定器のインピーダンス(通常は50Ωまたは75
Ω)に適合しておらず、そのためミスマツチングの状態
で開ループ特性を評価することになる。
このミスマツチングの状態では、本来の開ループ特性と
はかけ離れた特性(例えばゲインや位相)を表す可能性
が高く、従って特性を正確に測定することができないと
いう問題がある。
はかけ離れた特性(例えばゲインや位相)を表す可能性
が高く、従って特性を正確に測定することができないと
いう問題がある。
その結果例えば、弾性表面波発振器の量産時に、その製
造途中あるいは製造後に製品の開ループ特性をチェック
する必要がある場合、インピーダンスミスマツチングに
起因する誤った測定データから不良要因の発見等が遅れ
、製品の歩留りを悪化させる場合がある。
造途中あるいは製造後に製品の開ループ特性をチェック
する必要がある場合、インピーダンスミスマツチングに
起因する誤った測定データから不良要因の発見等が遅れ
、製品の歩留りを悪化させる場合がある。
そこでこの発明、間ループ特性をインピーダンスを整合
した状態で正確に測定することができるようにした弾性
表面波発振器を提供することを主たる目的とする。
した状態で正確に測定することができるようにした弾性
表面波発振器を提供することを主たる目的とする。
上記目的を達成するため、この発明の弾性表面波発振器
は、前記発振ループを分断してその分断個所の両側にテ
スト端子をそれぞれ設け、かつ各テスト端子と発振ルー
プ間にインピーダンス整合回路をそれぞれ設け、そして
両テスト端子間をジャンパーで接続していることを特徴
とする。
は、前記発振ループを分断してその分断個所の両側にテ
スト端子をそれぞれ設け、かつ各テスト端子と発振ルー
プ間にインピーダンス整合回路をそれぞれ設け、そして
両テスト端子間をジャンパーで接続していることを特徴
とする。
通常時は、上記のようにジャンパーを接続しておけば、
発振ループが構成されるので発振が可能である。
発振ループが構成されるので発振が可能である。
開ループを測定する必要がある時は、ジャンパーをはず
してテスト端子に測定器を接続すればよい。その場合、
各インピーダンス整合回路によって各テスト端子でのイ
ンピーダンスを使用する測定器に合わせておくことがで
きるので、それによって開ループ特性をインピーダンス
を整合した状態で正確に測定することができる。
してテスト端子に測定器を接続すればよい。その場合、
各インピーダンス整合回路によって各テスト端子でのイ
ンピーダンスを使用する測定器に合わせておくことがで
きるので、それによって開ループ特性をインピーダンス
を整合した状態で正確に測定することができる。
第1図は、この発明の一実施例に係る弾性表面波発振器
を示すブロック図である。第4図の例と同等部分には同
一符号を付し、以下においては従来例との相違点を主に
説明する。
を示すブロック図である。第4図の例と同等部分には同
一符号を付し、以下においては従来例との相違点を主に
説明する。
この実施例においては、発振ループの一個所(第4図の
B点に相当する個所)を分断してその分断個所の両側に
テスト端子6a、6bをそれぞれ設け、かつ各テスト端
子6a、6bと発振ループ間に、テスト端子6a、6b
に接続される測定器のインピーダンスに整合させるため
のインピーダンス整合回路7a、7bをそれぞれ設け、
そして両テスト端子6a、6b間をジャンパー8で接続
している。
B点に相当する個所)を分断してその分断個所の両側に
テスト端子6a、6bをそれぞれ設け、かつ各テスト端
子6a、6bと発振ループ間に、テスト端子6a、6b
に接続される測定器のインピーダンスに整合させるため
のインピーダンス整合回路7a、7bをそれぞれ設け、
そして両テスト端子6a、6b間をジャンパー8で接続
している。
各インピーダンス整合回路7a、7bとしては、例えば
πマツチ回路を使用することができる。これはインピー
ダンスの高い方から低い方への変換、またその逆も可能
なマツチング回路であり、その具体例を第2図に示す。
πマツチ回路を使用することができる。これはインピー
ダンスの高い方から低い方への変換、またその逆も可能
なマツチング回路であり、その具体例を第2図に示す。
この例において、テスト端子6a及び6bに接続するネ
ットワークアナライザ等の測定器の特性インピーダンス
が例えば50Ωの場合(75Ωの場合でも考え方は同じ
である)、移相器4の出力インピーダンスが例えば50
Ωより高い場合は、インピーダンス整合回路7aにおい
てCIm<CzAに選定すればインピーダンスは高い方
から低い方に変換されてテスト端子6a側におけるイン
ピーダンス整合回路がとれる。また、弾性表面波デバイ
ス3が50Ωより高いインピーダンスを持つ場合は、イ
ンピーダンス整合回路7bにおいてCIm<Czmに選
定すればテスト端子6b側におけるインピーダンス整合
がとれる。この実施例ではそのようにして、テスト端子
6a及び6bでのインピーダンスを測定器のインピーダ
ンスと合わせている。
ットワークアナライザ等の測定器の特性インピーダンス
が例えば50Ωの場合(75Ωの場合でも考え方は同じ
である)、移相器4の出力インピーダンスが例えば50
Ωより高い場合は、インピーダンス整合回路7aにおい
てCIm<CzAに選定すればインピーダンスは高い方
から低い方に変換されてテスト端子6a側におけるイン
ピーダンス整合回路がとれる。また、弾性表面波デバイ
ス3が50Ωより高いインピーダンスを持つ場合は、イ
ンピーダンス整合回路7bにおいてCIm<Czmに選
定すればテスト端子6b側におけるインピーダンス整合
がとれる。この実施例ではそのようにして、テスト端子
6a及び6bでのインピーダンスを測定器のインピーダ
ンスと合わせている。
このような弾性表面波発振器においては、通常時はジャ
ンパー8をテスト端子6a、6b間に接続しておけば、
発振ループが構成されるので発振が可能である。
ンパー8をテスト端子6a、6b間に接続しておけば、
発振ループが構成されるので発振が可能である。
開ループ特性を測定する必要がある時は、ジャンパー8
をはずしてテスト端子6a、6bに所定のインピーダン
スの測定器を接続すればよい、第3図はネットワークア
ナライザ9を接続した例を示す。この場合のチェックポ
イントは例えば、■ゲインが発振希望の周波数で1以上
あるか、■位相が発振希望の周波数で360°の整数倍
になっているか、である。
をはずしてテスト端子6a、6bに所定のインピーダン
スの測定器を接続すればよい、第3図はネットワークア
ナライザ9を接続した例を示す。この場合のチェックポ
イントは例えば、■ゲインが発振希望の周波数で1以上
あるか、■位相が発振希望の周波数で360°の整数倍
になっているか、である。
上記のようにすれば、開ループ特性をインピーダンスを
整合した状態で測定することができるので、測定を正確
に行うことができる。
整合した状態で測定することができるので、測定を正確
に行うことができる。
その結果、例えば弾性表面波発振器を量産する場合、■
発振しない、あるいは発振はするが異常な発振をする弾
性表面波発振器の開ループ特性を調べることによって不
良要因を早く見つけることができ早く対応策が打てる、
しかも測定後はジャンパー8を元どおり接続すれば発振
可能になるので言わば非破壊で特性を測定することがで
きる、■製造の中間段階(発振ループ形成後)で特性の
チェックができ、しかもそれを正確に行なえるので、増
幅器2、弾性表面波デバイス3、移相器4等の不良が容
易にわかる(測定データによっては、−目でどのブo7
りが異常なのかわかる場合もある)、■開ループ特性の
チェックにより、ループが最適な位相関係(ループ内で
360°の整数倍)になるように移相器4内部の調整を
すべてのブロックを考慮して行うことができる、等によ
り、製品の歩留りを向上させることができる。
発振しない、あるいは発振はするが異常な発振をする弾
性表面波発振器の開ループ特性を調べることによって不
良要因を早く見つけることができ早く対応策が打てる、
しかも測定後はジャンパー8を元どおり接続すれば発振
可能になるので言わば非破壊で特性を測定することがで
きる、■製造の中間段階(発振ループ形成後)で特性の
チェックができ、しかもそれを正確に行なえるので、増
幅器2、弾性表面波デバイス3、移相器4等の不良が容
易にわかる(測定データによっては、−目でどのブo7
りが異常なのかわかる場合もある)、■開ループ特性の
チェックにより、ループが最適な位相関係(ループ内で
360°の整数倍)になるように移相器4内部の調整を
すべてのブロックを考慮して行うことができる、等によ
り、製品の歩留りを向上させることができる。
なお、上記のようなテスト端子6a、6bやインピーダ
ンス整合回路7a、7b等は第1図に示した場所以外に
、第4図のA点や0点に相当する場所に設けてもよい。
ンス整合回路7a、7b等は第1図に示した場所以外に
、第4図のA点や0点に相当する場所に設けてもよい。
以上のようにこの発明の弾性表面波発振器によれば、そ
の開ループ特性をインピーダンスを整合した状態で正確
に測定することができるようになる。
の開ループ特性をインピーダンスを整合した状態で正確
に測定することができるようになる。
その結果例えば、弾性表面波発振器の量産時に、製造後
の製品の調整、修正あるいは製造途中での中間チェック
を容易にかつ正確に行うことができるようになり、これ
によって製品の歩留りを向上させることができる。
の製品の調整、修正あるいは製造途中での中間チェック
を容易にかつ正確に行うことができるようになり、これ
によって製品の歩留りを向上させることができる。
第1図は、この発明の一実施例に係る弾性表面波発振器
を示すブロック図である。第2図は、第1図中のインピ
ーダンス整合回路の具体例を示す回路図である。第3図
は、第1図の弾性表面波発振器にネットワークアナライ
ザを接続して開ループ特性を測定をする状態を示す図で
ある。第4図は、従来の弾性表面波発振器の一例を示す
ブロック図である。 2・・・増幅器、3・・・弾性表面波デバイス、4、・
・移相器、6a、6b・・・テスト端子、7a。 7b・・・インピーダンス整合回路、801.ジャンパ
ー。
を示すブロック図である。第2図は、第1図中のインピ
ーダンス整合回路の具体例を示す回路図である。第3図
は、第1図の弾性表面波発振器にネットワークアナライ
ザを接続して開ループ特性を測定をする状態を示す図で
ある。第4図は、従来の弾性表面波発振器の一例を示す
ブロック図である。 2・・・増幅器、3・・・弾性表面波デバイス、4、・
・移相器、6a、6b・・・テスト端子、7a。 7b・・・インピーダンス整合回路、801.ジャンパ
ー。
Claims (1)
- (1)少なくとも増幅器と弾性表面波デバイスと移相器
とをループ状態に接続して発振ループを構成した弾性表
面波発振器において、前記発振ループを分断してその分
断個所の両側にテスト端子をそれぞれ設け、かつ各テス
ト端子と発振ループ間にインピーダンス整合回路をそれ
ぞれ設け、そして両テスト端子間をジャンパーで接続し
ていることを特徴とする弾性表面波発振器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12851589A JPH02306706A (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | 弾性表面波発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12851589A JPH02306706A (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | 弾性表面波発振器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02306706A true JPH02306706A (ja) | 1990-12-20 |
Family
ID=14986649
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12851589A Pending JPH02306706A (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | 弾性表面波発振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02306706A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005043150A1 (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波センサー内蔵発振回路及びバイオセンサー装置 |
-
1989
- 1989-05-22 JP JP12851589A patent/JPH02306706A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005043150A1 (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波センサー内蔵発振回路及びバイオセンサー装置 |
KR100706520B1 (ko) * | 2003-10-31 | 2007-04-13 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성 표면파 센서 내장 발진회로 및 바이오센서 장치 |
US7394180B2 (en) | 2003-10-31 | 2008-07-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Oscillator circuit including surface acoustic wave sensor and biosensor apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4379244A (en) | Method of detection of the asymmetry of piezo-electric crystal resonators in the form of tuning forks and resonators for carrying it out | |
PT634066E (pt) | Oscilador para uma frequencia de 1,6 a 3 ghz | |
JPH02306706A (ja) | 弾性表面波発振器 | |
SE507698C2 (sv) | Förfarande och system för avstämning resonansmoduler | |
US7616009B2 (en) | Method for microwave measurement, measuring device and oscillator | |
CN113552794A (zh) | 一种电力芯片内时钟信号的自动校准装置及其方法 | |
US7012353B2 (en) | Piezoelectric resonator and the method for making the same | |
JP3612487B2 (ja) | 方向性結合器の特性測定方法及びその方法を用いた方向性結合器及びこの方向性結合器を備えたプラズマ処理装置 | |
US5587663A (en) | Method for measuring the inductance of each resonator of a coupled-dual resonator crystal | |
US5049828A (en) | Method and apparatus for parameter measurement of coupled-dual resonator crystals | |
JP2518170B2 (ja) | 静電センサ装置 | |
US5594354A (en) | Method for measuring selected frequencies of a coupled-dual resonator crystal | |
KR0168437B1 (ko) | 이중결합된 공진자 크리스탈에 대한 4개의 주파수 측정 공정 | |
JP2001274623A (ja) | 発振器、通信装置および発振器の製造方法 | |
Roberts | The four-frequency process for coupled-duals using error-corrected S-parameter measurements | |
JPH09113563A (ja) | 発振器の負荷安定度測定方法及び測定装置 | |
KR100476382B1 (ko) | 더미 공동을 이용한 공동필터의 동조 방법 | |
JPS6288402A (ja) | モノリシツクマイクロ波発振器 | |
JP2624237B2 (ja) | 集積回路装置の測定方法 | |
US6772491B2 (en) | Manufacturing method for ceramic oscillator | |
EP1346430B1 (en) | Method for tuning a radio filter and a system for tuning a radio filter | |
JPS5994077A (ja) | 負荷インピ−ダンス測定装置 | |
JPH06100628B2 (ja) | モノリシツク水晶フイルタの特性周波数の計測方法及び計測装置 | |
JPH02199904A (ja) | 共振器 | |
SU415604A1 (ja) |