JPH02295150A - Cassette for substrate - Google Patents
Cassette for substrateInfo
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- JPH02295150A JPH02295150A JP1115695A JP11569589A JPH02295150A JP H02295150 A JPH02295150 A JP H02295150A JP 1115695 A JP1115695 A JP 1115695A JP 11569589 A JP11569589 A JP 11569589A JP H02295150 A JPH02295150 A JP H02295150A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ガラス基板、その他各種の基板を互いに接触
しないように分離して支持するための基板用カセットの
改良に関するものである．従来の技術
液晶表示用ガラス基板やプラズマ表示体用ガラス基板、
ハイブリッドＩＣ用セラミックス基板、サーマルヘッド
用ガラス基板など各種の基板の製造工程においては、基
板を加工、処理、洗浄、輸送，保管するために、各基板
を互いに接触しないようにカセットに出入、収容するこ
とが必要となる．
この目的の基板用カセットとして、枠体の１対の相対向
する側面を溝付き側板で形成し、両側板の対応する溝間
に基板を出入、収容しうるようにしたカセットが用いら
れている．
カセットの材質としては，たとえば，ガラス繊維入りポ
リフェニレンサルファイド、パーフルオロアルコキシ置
換ポリテトラフルオロエチレンなどが用いられている．
そのほか、ポリエーテル工一テルケトンを用いるとの提
案もなされている（特開昭６２−２４７３２３号公報，
特開昭６２−２７６８４９号公報参照）．
溝付き側板の形状、デザインには種々のものがあるが，
いずれも基本的には、側板基体から多数のリブ状の棚片
が張り出した形状を有している．隣接するリブ状の棚片
間の空隙が溝となり、ここに基板が出入、収容されるわ
けである．第１４図は．基板用カセットの代表的な全体
形状の一例を示した斜視図である．（１）は枠体であり
、（１１）は底面側フレーム、（ｌ２）は天井側フレー
ム、（ｌ３）は基板を受けとめるストッパーとしての受
け側フレームである． （２）． （２）は１対の相対
向する側面を構成する溝付き側板である．基板用カセッ
トは、基板の出入時には開口側が横を向くようにして使
用し、基板の運搬時には開口側が上を向くようにして使
用するのが通常であるが、本明細書においては、基板用
カセットについては，開口側が横を向くようにして使用
する場合を基本とし、その開口部側から見た図を正面図
と定めることにする．また溝付き側板については，カセ
ット内部側から見た場合を正面図と定めることにする．
第１４図においては、１対の相対向する側面を各３枚の
溝付き側板（２）で形成しているが、１対の相対向する
側面を各１枚の溝付き側板（２）で形成したり、１対の
相対向する側面を２枚とか４枚の溝付き側板（２）で形
成することもある．上記構造のカセットに対する基板の
出入は、底面側フレーム（１ｌ）の隙間から持ち上げた
コンベアベルトの走行，開口側からのシャトル７−ムの
操作、背後側からのプッシャーによる突き出し等の手段
により自動的に行うが、作業員が手で行う場合もある．
第１５図は、従来の溝付き側板（２）の側面図、第１６
図はその正面図であり、（２１）は背肉部，（２２）は
その背肉部（２１）から張り出したリブ状の棚片である
．第１５図に２点鎖線で示した（Ｂ）は基板である．
リブ状の棚片（２２）は，木来相対向する溝付き側板（
２）． （２）の対向側にだけ背肉部（２１）から張り
出すように設ければ足りるはずであるが、背肉部（２１
）から一方向のみにリブ状の棚片（２２）を張り出すよ
うにすると、成形時あるいは高温条件下での使用時に歪
みや変形を生ずるおそれがある．そこで、本出願人にお
いては、バランスを取るために、第１５図のように背肉
部（２１）から両方向にリブ状の棚片（２２）を張り出
すようにする工夫を行っている．
発明が解決しようとする課題
しかしながら、従来の基板用カセットにあっては、溝付
き側板（２）． （２）の溝に基板（Ｂ）を出入または
収容すると、リブ状の棚片（２２）の棚面で基板（Ｂ）
のエッジを受けとめるため、基板（Ｂ）のエッジとの摩
擦により棚面が削り取られて切削屑を生じ、その切削屑
が基板（Ｂ）に付着して悪影響を与えることがあった．
また、取り扱い中、隣接するリブ状の棚片（２２），
（２２）間、つまり溝の所で基板（Ｂ）の二一７ジが背
肉部（２１）に当接することがあるため、この部分にお
いても切削屑を生ずることがあった．
基板（Ｂ）のエッジによるリブ状の棚片（２２）の棚面
の削り取りを防１｝＝するため、基板（Ｂ）のエッジを
面取り加工したリアールに加工する工夫もなされている
が、このような加工を基板（Ｂ）の全てに施すことは製
造コストを著しく高くするものであり、一般的には採用
しうるものではなかった．またこのような工夫によって
も、基板（Ｂ）のエッジが背肉部（２１）に当接するこ
とによる削り取りは充分には防市できないという限界が
あった．本発明は、このような状況に鑑み、溝付き側板
（２）自体の改良によりＬ記のような問題点を一挙に解
決することを目的になされたものである．
課題を解決するための手段
本発明の基板用カセットは、枠体（１）の１対の相対向
する側面を溝付き側板（２）． （２）で形成し，これ
ら相対向する溝付き側板（２）． （２）の対応する溝
間に基板（Ｂ）を出入，収容しうるようにしたカセット
において、前記溝付き側板（２）の形状を、背肉部（２
１）の両面に多数のリブ状の棚片（２２）が張り出した
形状となすと共に、前記棚片（２２）のうちカセット内
部側に張り出した棚片（２２Ｘ）の棚面ないし遊端部に
突出部（２３）を形成し、該突出部（２３）に基板（Ｂ
）の板面の部分が接触するように構成したことを特徴と
するものである，
この場合、さらに次のいずれかの工夫を採用することが
ψましい，
■ 溝付き側板（２）の背肉部（２１）に、棚片（２２
Ｘ）の棚面方向とは直角方向に向かう突条（２０を設け
，該突条（２４）に基板（Ｂ）の端部が接触するように
構成する．
Ｃ２） 溝付き側板（２）ノ背肉部（２１）を、棚片
（２２Ｘ）の棚面方向の切断断面視で、その中央ないし
中央部寄りの部分が他の部分に比し厚肉部（２５）とな
るテーパー状またはアール状に形成する．■ 溝付き側
板（２）の背肉部（２１）を、隣接する棚片（２２Ｘ）
． （２２Ｘ）間において傾斜状に形成する．以下本発
明を詳細に説明する．
カセットは，フレームを枠状に組んだ枠体（１）で構成
する．枠体（１）は、底面側フレーム（１１）、天井側
フレーム（１２）、および、基板を受けとめるストッパ
ーとしての受け側フレーム（１３）で構成される．受け
側フレーム（１３）は「受け棒」と称することも多い．
そして枠体（１）の１対の相対向する側面を溝付き側板
（２）， （２）で形成する．これらの溝付き側板（２
）， （２）の対応する溝間に基板（Ｂ）が出入または
収容されることになる．
それぞれの側面を片面につき各１枚の溝付き側板（２）
で形成することも可走であるが、この場合は大型の溝付
き側板（２）を成形することになるので成形金型が大き
くなり、成形時にも歪みを生じやすいし、カセットの重
量が大となる．また基板（Ｂ）を手で挿入する場合には
、自動挿入の場合とは異なりぶれを生じやすいので、基
板（Ｂ）の挿入が行いにくいという不利もある．そこで
、それぞれの側面につき片面当り各複数枚（たとえば各
２〜５枚）の溝付き側板（２）を間隔をあけて設置する
方が有利である．
上記溝付き側板（２）としては、背肉部（２１）から所
定数のリブ状の棚片（２２）が両方向に張り出した形状
のものが用いられる．背肉部（２１）から一方向のみに
棚片（２２）を張り出すようにすると，成形時あるいは
高温条件下での使用時に歪みヤ変形を生ずるおそれがあ
るからである．
各棚片（２２）は、１枚の溝付き側板（２）の巾全体に
非分割で設けてもよく、分割して設けてもよい。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to an improvement in a substrate cassette for separating and supporting glass substrates and various other substrates so that they do not come into contact with each other. Conventional technologyGlass substrates for liquid crystal displays, glass substrates for plasma displays,
In the manufacturing process of various substrates such as ceramic substrates for hybrid ICs and glass substrates for thermal heads, in order to process, process, clean, transport, and store the substrates, each substrate is placed in and out of cassettes so that they do not come into contact with each other. This is necessary. As a substrate cassette for this purpose, a cassette is used in which a pair of opposing side surfaces of a frame body are formed with grooved side plates so that substrates can be inserted into and stored in the corresponding grooves of both side plates. ．． Examples of materials used for the cassette include glass fiber-filled polyphenylene sulfide and perfluoroalkoxy-substituted polytetrafluoroethylene.
In addition, it has also been proposed to use polyether ether ketone (Japanese Patent Laid-Open No. 62-247323,
(Refer to Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-276849). There are various shapes and designs of grooved side plates.
All of them basically have a shape in which a large number of rib-like shelf pieces protrude from the side plate base. The gaps between adjacent rib-shaped shelf pieces become grooves, and substrates are moved in and out of these grooves. Figure 14 is. FIG. 2 is a perspective view showing an example of a typical overall shape of a substrate cassette. (1) is a frame, (11) is a bottom frame, (l2) is a ceiling frame, and (l3) is a receiving frame as a stopper for receiving a board. (2). (2) is a grooved side plate that constitutes a pair of opposing sides. A substrate cassette is normally used with the opening side facing sideways when loading and unloading the substrate, and with the opening side facing upward when transporting the substrate, but in this specification, the substrate cassette As a general rule, it is assumed that the device is used with the opening side facing sideways, and the view seen from the opening side will be defined as the front view. Regarding the grooved side plate, the front view is defined as the view from inside the cassette. In Fig. 14, a pair of opposing side surfaces are each formed by three grooved side plates (2), but a pair of opposing side surfaces are each formed by one grooved side plate (2). Alternatively, a pair of opposing sides may be formed by two or four grooved side plates (2). Boards can be moved in and out of the cassette with the above structure automatically by means such as running a conveyor belt lifted up from the gap in the bottom frame (1l), operating the shuttle 7-me from the opening side, or ejecting it with a pusher from the rear side. This is done manually, but there are also cases where workers do it by hand. Fig. 15 is a side view of a conventional grooved side plate (2);
The figure is a front view of the same. (21) is the back meat part, and (22) is the rib-like shelf piece projecting from the back meat part (21). (B) indicated by the two-dot chain line in Fig. 15 is the substrate. The rib-shaped shelf piece (22) has a grooved side plate (
2). It should be sufficient to provide it so as to protrude from the back meat part (21) only on the opposite side of the back meat part (21).
) If the rib-shaped shelf piece (22) is made to protrude only in one direction, there is a risk of distortion or deformation during molding or use under high temperature conditions. Therefore, in order to maintain balance, the present applicant has devised a device in which rib-shaped shelf pieces (22) are extended in both directions from the back meat part (21) as shown in FIG. 15. Problems to be Solved by the Invention However, in the conventional substrate cassette, the grooved side plate (2). When the board (B) is put in and taken out or stored in the groove of (2), the board (B) is placed on the shelf surface of the rib-shaped shelf piece (22).
In order to receive the edge of the board (B), the shelf surface is scraped off due to friction with the edge of the board (B), producing cutting chips, which sometimes adhere to the board (B) and have an adverse effect.
Also, during handling, the adjacent rib-shaped shelf pieces (22),
(22), that is, at the groove, the 2-7 ji of the board (B) may come into contact with the back wall part (21), so cutting waste may also be generated in this part. In order to prevent the shelf surface of the rib-shaped shelf piece (22) from being scraped off by the edge of the board (B), an idea has been taken to process the edge of the board (B) into a real shape with a chamfered surface. Applying such processing to the entire substrate (B) would significantly increase manufacturing costs, and could not generally be adopted. Moreover, even with such a device, there is a limit in that the edge of the board (B) cannot be sufficiently prevented from being scraped due to contact with the back wall part (21). In view of this situation, the present invention was made with the aim of solving the problems listed in L at once by improving the grooved side plate (2) itself. Means for Solving the Problems In the substrate cassette of the present invention, a pair of opposing side surfaces of a frame body (1) are formed with grooved side plates (2). (2), and these opposing grooved side plates (2). In the cassette in which the substrate (B) can be inserted into and stored between the corresponding grooves of (2), the shape of the grooved side plate (2) is adjusted so that the back wall portion (2)
1) has a shape in which a large number of rib-like shelf pieces (22) protrude from both sides, and the shelf face or free end of the shelf piece (22X) that protrudes toward the inside of the cassette among the shelf pieces (22). A protrusion (23) is formed, and a substrate (B) is attached to the protrusion (23).
) is characterized by a structure in which the plate surfaces of the grooved side plate (2) are in contact with each other. In this case, it is preferable to further adopt one of the following measures. The shelf piece (22) is attached to the meat part (21).
A protrusion (20) extending perpendicularly to the shelf surface direction of The back wall portion (21) has a tapered or rounded shape in which the center or a portion near the center is a thicker wall portion (25) than other portions when viewed in cross section in the direction of the shelf surface of the shelf piece (22X). Form into a shape. ■ Connect the back part (21) of the grooved side plate (2) to the adjacent shelf piece (22X).
．． (22X) to form an inclined shape. The present invention will be explained in detail below. A cassette consists of a frame (1) made up of frames. The frame (1) is composed of a bottom frame (11), a ceiling frame (12), and a receiving frame (13) as a stopper for receiving a board. The receiving frame (13) is often called the "receiving rod". A pair of opposing side surfaces of the frame (1) are formed by grooved side plates (2), (2). These grooved side plates (2
) and (2), the substrate (B) will be inserted into and removed from or accommodated in the corresponding grooves. One grooved side plate on each side (2)
It is also possible to form the cassette with a mold, but in this case, the large grooved side plate (2) is molded, so the mold becomes large, distortion is likely to occur during molding, and the weight of the cassette is large. becomes. Furthermore, when inserting the board (B) by hand, there is a disadvantage that it is difficult to insert the board (B) because it is likely to cause blurring, unlike when inserting the board automatically. Therefore, it is advantageous to install a plurality of (for example, 2 to 5) grooved side plates (2) on each side at intervals. The grooved side plate (2) used has a shape in which a predetermined number of rib-shaped shelf pieces (22) protrude in both directions from the back wall part (21). This is because if the shelf piece (22) is made to protrude only in one direction from the back wall part (21), there is a risk of distortion and deformation during molding or use under high temperature conditions. Each shelf piece (22) may be provided undivided over the entire width of one grooved side plate (2), or may be provided separately.
本発明においては，前記リブ状の棚片（２２）のうちカ
セット内部側に張り出した棚片（２２Ｘ）の棚面ないし
遊端部に突出部（２３）を形成し、該突出部（２３）に
基板（Ｂ）の板面の部分（エッジの部分ではなく）が接
触するように構成する．
突出部（２３）の形状は、円形ロッド状、三角形ロッド
状、円錐状，半球状，連設半球状などとすることができ
る．第７〜ｌＯ図は溝付き側板（２）の例を示した部分
図であり、いずれも（イ）は縦断面図、（口）は横断面
図である．第７図は突出部（２３）を円形ロッド状に、
第８図は突出部（２３）を三角形ロッド状に、第９図は
突出部（２３）を半球状に、第１０図は突出部（２３）
を円錐状に形成した場合を示してある．
カセット外側の棚片（２２Ｙ）は，カセット内部側の棚
片（２２Ｘ）と同様に突出部（２３）を形成しても差し
支えはないが、金型がそれだけ複雑となるので、通常は
突出部（２３）を設けない形状に形成する．
突出部（２３）は，全ての棚片（２２Ｘ）に設ける必要
はなく、挿入した基板（Ｂ）の表裏両面に、離れた個所
で少なくとも２個所（カセットの片側面当り）接触する
ように設ければよい．
そして本発明においては、さらに溝付き側板（２）の背
肉部（２１）に、棚片（２２Ｘ）の棚面方向とは直角方
向に向かう突条（２４）を設けることが望ましい．
突条（２４）は、溝付き側板（２）と同質の材料で形成
しても、異質の材料で形成してもよい．異質の材料で形
成する場合は、摺動性、耐摩耗性または耐熱性を有する
材料，たとえば、フッ素系樹脂，フッ素系ゴム，シリコ
ーン系ゴム，超高分子量ポリエチレンなどが用いられる
．突条（２４）の形成は、溝付き側板（２）の成形と同
時に行ってもよく、溝付き側板（２）の成形後に取り付
けるようにしてもよい．
溝付き側板（２）の背肉部（２１）を、棚片（２２Ｘ）
の棚面方向の切断断面視で，その両端側の一定領域のみ
外側が薄肉に移行するテーパー状またはアール状に形成
することができ、このようにすると基板（Ｂ）の出入操
作が行いやすくなる．（たとえば第４図参照）
また、上で述べた背肉部（２１）に突条（２０を設ける
方式に代え、溝付き側板（２）の背肉部（２１）を，棚
片（２２Ｘ）の棚面方向の切断断面視で、その中央ない
し中央部寄りの部分が他の部分に比し厚肉部（２５）と
なるテーパー状またはアール状に形成することも好まし
い．（第１１図および第１２図参照）
あるいはまた，上で述べた背肉部（２１）に突条（２４
）を設ける方式に代え、上記溝付き側板（２）の背肉部
（２１）を、隣接する棚片（２２Ｘ）． （２２Ｘ）間
において傾斜状に形成することも可能である．（第１３
図参照）
そのほか、棚片（２２）のうち少なくともカセット内部
側に張り出した棚片（２２Ｘ）を遊端に向かうほど基端
側よりも狭巾にかつ薄肉となるようにテーパー状または
アール状に形成すると、基板（Ｂ）の挿入操作が容易に
なる．
溝付き側板（２）に，枠体（１）への取り付け用の２種
の締結孔（３１）． （３２）を互いに直角方向となる
ように設けると、単に同方向から溝付き側板（２）を枠
体（１）へ取り付けた場合に比し、組み立てたカセット
の強度が格段に向上する．
枠体（１）および溝付き側板（２）を構成する樹脂とし
ては，使用目的に応じて必要な強度、耐熱性、耐溶剤性
、酎酸●耐アルカリ性等を有する溶融成形可能な樹詣が
選択され、たとえば、ポリイミド、ポリエーテルイミド
、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン，ポ
リフェニレンサルファイド、パーフルオロアルコキシ置
換ポリテトラフルオロエチレン，ポリアリレート、ポリ
スルホン、ポリアリルスルホン、ポリエーテルスルホン
，変性ポリフェニレンオキサイド、ボリエーテルアミド
、栄リプロピレンなど、あるいはこれらにガラスｍ維、
カーボン繊維、アラミド繊維，セラミックス繊維，金属
繊維等を配合した繊維強化熱可塑性樹脂が用いられる．
溶融成形法としては、射出成形法，押出成形法、トラン
スファー成形法などが採用される。溶融成形にあたって
は、充填剤、安定剤、滑剤、その他の添加剤を配合する
こともできる。In the present invention, a protrusion (23) is formed on the shelf surface or free end of the shelf piece (22X) that protrudes toward the inside of the cassette among the rib-shaped shelf pieces (22), and the protrusion (23) The board is configured so that the surface part (not the edge part) of the board (B) comes into contact with the board (B). The shape of the protrusion (23) may be a circular rod, a triangular rod, a cone, a hemisphere, a continuous hemisphere, or the like. Figures 7 to 10 are partial views showing examples of the grooved side plate (2), in which (A) is a longitudinal cross-sectional view and (B) is a cross-sectional view. FIG. 7 shows the protrusion (23) in the shape of a circular rod,
Figure 8 shows the protrusion (23) in a triangular rod shape, Figure 9 shows the protrusion (23) in a hemispherical shape, and Figure 10 shows the protrusion (23) in the shape of a hemisphere.
The figure shows the case where it is formed into a conical shape. The shelf piece (22Y) on the outside of the cassette may have a protrusion (23) in the same way as the shelf piece (22X) on the inside of the cassette, but since the mold becomes more complicated, usually the protrusion is (23) is formed into a shape that does not include. The protrusions (23) do not need to be provided on all the shelf pieces (22X), but should be provided in at least two separate locations (per one side of the cassette) in contact with both the front and back surfaces of the inserted board (B). That's fine. In the present invention, it is further desirable to provide the back wall portion (21) of the grooved side plate (2) with a protrusion (24) extending perpendicularly to the shelf surface direction of the shelf piece (22X). The protrusion (24) may be made of the same material as the grooved side plate (2), or may be made of a different material. If it is made of a different material, a material with sliding properties, abrasion resistance, or heat resistance, such as fluororesin, fluororubber, silicone rubber, ultra-high molecular weight polyethylene, etc., is used. The protrusions (24) may be formed at the same time as the grooved side plate (2) is formed, or may be attached after the grooved side plate (2) is formed. Place the back part (21) of the grooved side plate (2) on the shelf piece (22X).
When viewed cross-sectionally in the direction of the shelf surface, it can be formed into a tapered or rounded shape in which the outside becomes thinner only in certain areas on both ends, and this makes it easier to insert and remove the board (B). ．． (For example, see Fig. 4) In addition, instead of providing the protrusion (20) on the back wall portion (21) described above, the back wall portion (21) of the grooved side plate (2) can be attached to the shelf piece (22X). It is also preferable to form it into a tapered or rounded shape in which the central or central portion is thicker than the other portions (25) in a cross-sectional view taken in the direction of the shelf surface. (Fig. 11 and (See Figure 12) Alternatively, the dorsal flesh (21) mentioned above may have a protrusion (24).
), the back wall portion (21) of the grooved side plate (2) is attached to the adjacent shelf piece (22X). It is also possible to form an inclined shape between (22X). (13th
(See figure) In addition, at least the shelf piece (22X) that protrudes toward the inside of the cassette among the shelf pieces (22) is tapered or rounded so that it becomes narrower and thinner toward the free end than the proximal end. Once formed, the insertion operation of the board (B) becomes easier. Two types of fastening holes (31) for attachment to the frame (1) are provided on the grooved side plate (2). (32) are provided in directions perpendicular to each other, the strength of the assembled cassette is significantly improved compared to when the grooved side plates (2) are simply attached to the frame (1) from the same direction. The resin constituting the frame body (1) and the grooved side plate (2) is a melt-formable resin that has the necessary strength, heat resistance, solvent resistance, chuic acid/alkali resistance, etc. depending on the purpose of use. For example, polyimide, polyetherimide, polyamideimide, polyetheretherketone, polyphenylene sulfide, perfluoroalkoxy-substituted polytetrafluoroethylene, polyarylate, polysulfone, polyallylsulfone, polyethersulfone, modified polyphenylene oxide, polyether Amide, Sakae lipropylene, etc., or these with glass m fiber,
Fiber-reinforced thermoplastic resins containing carbon fibers, aramid fibers, ceramic fibers, metal fibers, etc. are used.
As the melt molding method, injection molding method, extrusion molding method, transfer molding method, etc. are adopted. During melt molding, fillers, stabilizers, lubricants, and other additives may also be added.
七記構造のカセットに収容する基板（Ｂ）としては、ガ
ラス基板、セラミックス基板、金属芯基板、コンボジッ
ト基板、シリコン基板をはじめ各種の基板があげられる
．
作用および発明の効果
基板の製造工程においては、各処理段階の基板（原板を
含む）を、加工、処理、洗浄、輸送、保管のために互い
に接触しないようにカセット内に保持することが必要で
ある．
本発明の基板用カセットの両側面を構成する溝付き側板
（２）． （２）間に基板（Ｂ）を出入または収容する
と、基板（Ｂ）の表面または裏面が棚片（２２）のうち
カセット内部側に張り出した棚片（２２Ｋ）の棚面ない
し遊端部に形成した突出部（２３）に点接触状態または
線接触状態で接触するので、基板（Ｂ）のエッジによる
棚片（２２Ｘ）の棚面の削り取りは皆無となる．基板（
Ｂ）の表面または裏面と突出部（２３）との摩擦による
両者の接触面の損傷も著しく小さい。Examples of the substrate (B) to be accommodated in the cassette having the structure listed above include glass substrates, ceramic substrates, metal core substrates, composite substrates, silicon substrates, and various other substrates. Operation and Effects of the Invention In the manufacturing process of substrates, it is necessary to hold the substrates (including original substrates) at each processing stage in a cassette so that they do not come into contact with each other for processing, processing, cleaning, transportation, and storage. be. Grooved side plates (2) constituting both sides of the substrate cassette of the present invention. (2) When the board (B) is put in and taken out or stored between them, the front or back side of the board (B) will be on the shelf surface or free end of the shelf piece (22K) that protrudes inside the cassette among the shelf pieces (22). Since it contacts the formed protrusion (23) in a point or line contact state, there is no scraping of the shelf surface of the shelf piece (22X) by the edge of the board (B). substrate(
Damage to the contact surface between the front or rear surface of B) and the protrusion (23) due to friction is also extremely small.
さらに、■溝付き側板（２）の背肉部（２１）に、棚片
（２２Ｋ）の棚面方向とは直角方向に向かう突条（２４
）を設けるか、■溝付き側板（２）の背肉部（２１）を
、棚片（２２Ｘ）の棚面方向の切断断面視で、その中央
ないし中央部寄りの部分が他の部分に比し厚肉部（２５
）となるテーパー状またはアール状に形成するか、■溝
付き側板（２）の背肉部（２１）を、隣接する棚片（２
２Ｘ）． （２２Ｘ）間において傾斜状に形成するか、
の工夫を採用すると、隣接する棚片（２２Ｘ）間への基
板（Ｂ）の出入または収容に際し基板（Ｂ）のエッジが
背肉部（２１）にぶつかる方向の動作をしても、基板（
Ｂ）のエッジは前記突条（２４）あるいは厚肉部（２５
）に接触するか、傾斜面で緩和されるため、背肉部（２
１）における摩擦または衝撃が効果的に低減または緩和
され、切削屑が生ずるおそれが著しく少なくなる．
このように本発明の基板用カセットにあっては、溝付き
側板（２）と基板（Ｂ）との接触による切削屑の発生が
従来の溝付き側板（２）を用いたカセー２トに比し大幅
に減少するので、基板（Ｂ）に切削屑が付着して悪影響
を与えるおそれが解消される．
実 施 例
次に実施例をあげて本発明をさらに説明する．実施例ｌ
第１図は本発明の基板用カセットにおける溝付き側板（
２）の一例を示した左側面図、第２図はその正面図、第
３図はその平面図，第４図は第２図のＡ−Ａ断面図であ
る．
第５図は−Ｌ記溝付き側板（２）を組み込んだ本発明の
基板用カセットの一例を示した平面図、第６図はその部
分正面図である．
基板用カセットの全体図は，多少形状が異なるが、従来
の技術の説明の項で述べた第１４図と同様になる．
酎熱性樹脂（たとえばポリエーテルイミド）を射出成形
することにより、カセットを構成する各部材を得た．
（１）は枠体であり、第５〜６図あるいはｔ５１４図の
ように，底面側フレーム（１１）、天井側フレー・ム（
１２）、およびストッパーとしての受け側フレーム（ｌ
３）からなる．
（２）は溝付き側板であり、枠体（１）の１対の相対向
する側面を構成している．なお枠体（１）の両側面は、
それぞれ３枚の溝付き側板（２）を間隔をあけて組み込
むことにより構成されている．各溝付き側板（２）のＬ
下の端部には、枠体（１）への取り付け用の２種の締結
孔（３１）， （３２）を互いに直角方向となるように
設けてあり、これらの締結孔（３１）， （３２）にボ
ルトまたはネジを挿通することにより，枠体（１）との
係合が図られている。Furthermore, on the back wall part (21) of the grooved side plate (2), a protrusion (24
), or ■ The back wall part (21) of the grooved side plate (2) is cut in the direction of the shelf surface of the shelf piece (22X), and the center or near-center part is compared to other parts. Thick part (25
), or ■ form the back wall part (21) of the grooved side plate (2) into an adjacent shelf piece (2
2X). (22X), or
If the device (22
The edge of B) is the protrusion (24) or the thick part (25).
) or is relieved by the slope, the back flesh (2
The friction or impact in step 1) is effectively reduced or alleviated, and the risk of cutting chips is significantly reduced. As described above, in the substrate cassette of the present invention, the generation of cutting waste due to the contact between the grooved side plate (2) and the substrate (B) is reduced compared to the conventional cassette 2 using the grooved side plate (2). This greatly reduces the risk of adhesion of cutting debris to the substrate (B) and adverse effects. EXAMPLES Next, the present invention will be further explained with reference to examples. Example 1 Figure 1 shows the grooved side plate (
2) is a left side view, FIG. 2 is a front view thereof, FIG. 3 is a plan view thereof, and FIG. 4 is a sectional view taken along line AA in FIG. 2. FIG. 5 is a plan view showing an example of the substrate cassette of the present invention incorporating the -L grooved side plate (2), and FIG. 6 is a partial front view thereof. The overall view of the substrate cassette is similar to FIG. 14 described in the description of the prior art, although the shape is slightly different. Each member constituting the cassette was obtained by injection molding a thermoplastic resin (eg, polyetherimide). (1) is a frame body, as shown in Figures 5 and 6 or Figure t514, the bottom side frame (11), the ceiling side frame (
12), and the receiving frame (l
3). (2) is a grooved side plate, which constitutes a pair of opposing side surfaces of the frame (1). Both sides of the frame (1) are
Each is constructed by incorporating three grooved side plates (2) at intervals. L of each grooved side plate (2)
At the lower end, two types of fastening holes (31), (32) for attachment to the frame (1) are provided so as to be perpendicular to each other, and these fastening holes (31), ( The engagement with the frame (1) is achieved by inserting a bolt or screw into the frame (1).
２点鎖線で示した（Ｂ）は基板であり、上記溝付き側板
（２）． （２）の対応する溝間に挿入される．上記溝
付き側板（２）としては、背肉部（２１）から所定数の
リブ状の棚片（２２）が両方向に張り出したものを用い
ている．各棚片（２２）は、１枚の溝付き側板（２）の
巾全体に表裏共３つに分割して設けてある． （２２Ｘ
）はカセット内部側に張り出した棚片、（２２Ｙ）はカ
セット外部側に張り出した棚片である．
溝付き側板（２）の背肉部（２１）は、棚片（２２Ｘ）
の棚面方向の切断断面視で、その両端側の各１／８の領
域のみ外側が薄肉に移行するテーパー状に形成してある
．（第４図参照）
１枚の溝付き側板（２）の巾全体に３つに分割して設け
たカセット内部側の棚片（２２Ｘ）のうち左右の棚片は
、遊端に向かうほど基端側よりも狭巾にかつ薄肉となる
ようにテーパー状に形成してあるが、その遊端部は円形
ロツド状の突出部（２３）に形成し、突出部（２３）が
前記棚面から盛り上がるようにしてある．この突出部（
２３）に、基板（Ｂ）の板面の部分が接触することにな
る．なお突出部（２３）の形状は、第８図のような三角
形ロツド状、第９図のような半球状、第１０図のような
円錐状にすることもできる．
一方、カセット内部側の棚片（２２Ｘ）のうち中央の棚
片は、道端に向かうほど基端側よりも狭巾にかつ薄肉と
なるようにテーパー状に形成してある．
１枚の溝付き側板（２）の巾全体に３つに分割して設け
たコンテナ外側の棚片（２２Ｙ）は、いずれも遊端に向
かうほど基端側よりも狭巾にかつ薄肉となるようにテー
パー状に形成してある．（２４）は突条であり，溝付き
側板（２）の背肉部（２１）に、前記棚片（２２Ｘ）の
棚面方向とは直角方向に向けて設けてある．なおこの突
条（２４）は，溝付き側板（２）の射出成形時に金型内
にインサートすることにより一体成形してある．突条（
２４）の材質としては、摺動性、耐摩耗性または耐熱性
を有する材料（たとえばフッ素系ゴム）が用いられる．
（ただし、突条（２０は溝付き側板（２）と同質の材料
で形成してもよく、また別個に作製しておいて後に設置
するようにしてもよい．）
上記構造のカセットを基板（Ｂ）の一例としての液晶表
示用ガラス基板を収容するカセ７トとして用いたところ
，切削屑の発生は皆無と言って差し支えないほど減少し
た．
実施例２
第１１図および第１２図は、溝付き側板（２）の他の例
を示した棚面方向の切断断面図である．溝付き側板（２
）の背肉部（２１）を、棚片（２２Ｘ）の棚面方向の切
断断面視で，その中央部分が他の部分に比し厚肉部（２
５）となるテーパー状（第１１図）またはアール状（第
１２図）に形成すると、実施例ｌにおける突条（２０を
省略することができる．
実施例３
第１３図は、溝付き側板（２）のさらに他の例を示した
棚面方向の切断断面図である．
溝付き側板（２）の背肉部（２１）を、隣接する棚片（
２２Ｘ）． （２２Ｘ）間において第１３図のように傾
斜状に形成すると，実施例１における突条（２０を省略
することができる．(B) indicated by the two-dot chain line is the substrate, which is the grooved side plate (2). It is inserted between the corresponding grooves in (2). As the grooved side plate (2), a predetermined number of rib-shaped shelf pieces (22) protrude in both directions from the back wall part (21). Each shelf piece (22) is divided into three pieces on the front and back sides over the entire width of one grooved side plate (2). (22X
) is a shelf piece projecting to the inside of the cassette, and (22Y) is a shelf piece projecting to the outside of the cassette. The back part (21) of the grooved side plate (2) is a shelf piece (22X)
In a cross-sectional view taken in the direction of the shelf surface, only 1/8 of the area on each end side is tapered so that the outside becomes thinner. (Refer to Figure 4) Of the shelf pieces (22X) on the inside of the cassette, which are divided into three parts and provided across the width of one grooved side plate (2), the left and right shelf pieces become closer to each other toward the free end. It is tapered to be narrower and thinner than the end side, and the free end is formed into a circular rod-shaped protrusion (23) that extends from the shelf surface. It's designed to be exciting. This protrusion (
23) comes into contact with the plate surface of the substrate (B). The shape of the protrusion (23) can also be a triangular rod shape as shown in FIG. 8, a hemispherical shape as shown in FIG. 9, or a conical shape as shown in FIG. 10. On the other hand, among the shelf pieces (22X) on the inside of the cassette, the central shelf piece is tapered so that it becomes narrower and thinner toward the roadside than the base end side. The shelf pieces (22Y) on the outside of the container, which are divided into three parts across the entire width of one grooved side plate (2), become narrower and thinner toward the free end than the proximal end. It is formed into a tapered shape. (24) is a protrusion, which is provided on the back wall (21) of the grooved side plate (2) in a direction perpendicular to the shelf surface direction of the shelf piece (22X). Note that this protrusion (24) is integrally formed by inserting it into a mold during injection molding of the grooved side plate (2). Projection (
As the material of 24), a material having sliding properties, wear resistance, or heat resistance (for example, fluororubber) is used.
(However, the protrusions (20) may be formed of the same material as the grooved side plate (2), or may be manufactured separately and installed later.) The cassette with the above structure is attached to the substrate ( When used as a case 7 for storing a glass substrate for a liquid crystal display as an example of B), the generation of cutting debris was reduced to the extent that it can be said that there was no generation.Example 2 Figures 11 and 12 show the grooves. It is a cross-sectional view taken in the direction of the shelf showing another example of the grooved side plate (2).
), the center part is thicker than the other parts in a cross-sectional view of the back part (21) of the shelf piece (22
5), the protrusion (20) in Example 1 can be omitted. Example 3 FIG. 2) is a cutaway sectional view in the direction of the shelf surface showing still another example of 2).
22X). (22
第１図は本発明の基板用カセットにおける溝付き側板（
２）の一例を示した左側面図、第２図はその正面図、第
３図はその平面図、第４図は第２図のＡ−Ａ断面図であ
る．
第５図は上記溝付き側板（２）を組み込んだ本発明の基
板用カセットの一例を示した平面図、第６図はその部分
正面図である．
第７〜ｌＯ図は溝付き側板（２）の例を示した部分図で
あり、いずれも（イ）は縦断面図、（口）は横断面図で
ある．
第１１図および第１２図は、溝付き側板（２）の他の例
を示した棚面方向の切断断面図である．第１３図は、溝
付き側板（２）のさらに他の例を示した棚面方向の切断
断面図である．
第１４図は、基板用カセットの代表的な全体形状の一例
を示した斜視図である．
第１５図は、従来の溝付き側板（２）の側面図、第１６
図はその正面図である．
（１）・・・枠体、
（１１）・・・底面側フレーム， （１２）・・・天井
側フレーム、（１３）・・・受け側フレーム、
（２）・・・溝付き側板、
（２１）・・・背肉部， （２２）・・・リブ状の棚片
、（２２Ｘ）・・・カセット内部側に張り出した棚片、
（２２Ｙ）・・・カセッ
ト外部側に張り出した棚片、
（２３）・・・
突出部、
（２４）・・・突条、
（２５）・・・厚肉部、
（３１），
（３２）・・・締結孔、
（Ｂ）
・・・基板、Figure 1 shows the grooved side plate (
2) is a left side view, FIG. 2 is a front view thereof, FIG. 3 is a plan view thereof, and FIG. 4 is a sectional view taken along line AA in FIG. 2. FIG. 5 is a plan view showing an example of the substrate cassette of the present invention incorporating the grooved side plate (2), and FIG. 6 is a partial front view thereof. Figures 7 to 10 are partial views showing examples of the grooved side plate (2), in which (A) is a longitudinal cross-sectional view and (B) is a cross-sectional view. FIGS. 11 and 12 are cross-sectional views taken in the shelf direction showing other examples of the grooved side plate (2). FIG. 13 is a cross-sectional view taken in the shelf direction showing still another example of the grooved side plate (2). FIG. 14 is a perspective view showing an example of a typical overall shape of a substrate cassette. Fig. 15 is a side view of a conventional grooved side plate (2);
The figure is its front view. (1)... Frame body, (11)... Bottom side frame, (12)... Ceiling side frame, (13)... Receiving side frame, (2)... Grooved side plate, ( 21)...back meat part, (22)...rib-shaped shelf piece, (22X)...shelf piece projecting to the inside of the cassette,
(22Y)...Shelf piece projecting to the outside of the cassette, (23)...Protrusion, (24)...Protrusion, (25)...Thick walled part, (31), (32) ... Fastening hole, (B) ... Board,
Claims (1)
２）、（２）で形成し、これら相対向する溝付き側板（
２）、（２）の対応する溝間に基板（Ｂ）を出入、収容
しうるようにしたカセットにおいて、前記溝付き側板（
２）の形状を、背肉部（２１）の両面に多数のリブ状の
棚片（２２）が張り出した形状となすと共に、前記棚片
（２２）のうちカセット内部側に張り出した棚片（２２
Ｘ）の棚面ないし遊端部に突出部（２３）を形成し、該
突出部（２３）に基板（Ｂ）の板面の部分が接触するよ
うに構成したことを特徴とする基板用カセット。 ２、請求項１のカセットにおいて、さらに溝付き側板（
２）の背肉部（２１）に、棚片（２２Ｘ）の棚面方向と
は直角方向に向かう突条（２４）を設けたことを特徴と
する基板用カセット。 ３、請求項２における突条（２４）が、溝付き側板（２
）と同質または異質の材料で形成されている基板用カセ
ット。 ４、請求項３における異質の材料が、摺動性、耐摩耗性
または耐熱性を有する材料である基板用カセット。 ５、請求項１または２のカセットにおいて、溝付き側板
（２）の背肉部（２１）を、棚片（２２Ｘ）の棚面方向
の切断断面視で、その両端側の一定領域のみ外側が薄肉
に移行するテーパー状またはアール状に形成してなる基
板用カセット。 ６、請求項１のカセットにおいて、溝付き側板（２）の
背肉部（２１）を、棚片（２２Ｘ）の棚面方向の切断断
面視で、その中央ないし中央部寄りの部分が他の部分に
比し厚肉部（２５）となるテーパー状またはアール状に
形成したことを特徴とする基板用カセット。 ７、請求項１のカセットにおいて、溝付き側板（２）の
背肉部（２１）を、隣接する棚片（２２Ｘ）、（２２Ｘ
）間において傾斜状に形成したことを特徴とする基板用
カセット。 ８、請求項１、２、５、６または７のカセットにおいて
、棚片（２２）のうち少なくともカセット内部側に張り
出した棚片（２２Ｘ）を遊端に向かうほど基端側よりも
狭巾にかつ薄肉となるようにテーパー状またはアール状
に形成してなる基板用カセット。 ９、請求項１、２、５、６、７または８のカセットにお
いて、溝付き側板（２）に、枠体（１）への取り付け用
の２種の締結孔（３１）、（３２）を互いに直角方向と
なるように設けてなる請求項１記載の基板用カセット。[Claims] 1. A pair of opposing side surfaces of the frame (1) are provided with grooved side plates (
2) and (2), and these opposing grooved side plates (
2) In the cassette in which the substrate (B) can be taken in and out and stored between the corresponding grooves of (2), the grooved side plate (
The shape of 2) is such that a large number of rib-like shelf pieces (22) protrude from both sides of the back wall part (21), and among the shelf pieces (22), the shelf pieces (2) protrude toward the inside of the cassette. 22
A cassette for a substrate, characterized in that a protrusion (23) is formed on the shelf surface or free end of the substrate (X), and the plate surface of the substrate (B) is configured to come into contact with the protrusion (23). . 2. The cassette according to claim 1, further comprising a grooved side plate (
2) A substrate cassette characterized in that a protrusion (24) is provided on the back wall portion (21) of the shelf piece (22X) in a direction perpendicular to the shelf surface direction of the shelf piece (22X). 3. The protrusion (24) in claim 2 is a grooved side plate (2
) A substrate cassette made of the same or different material. 4. A cassette for a substrate, wherein the foreign material according to claim 3 is a material having slidability, wear resistance, or heat resistance. 5. In the cassette according to claim 1 or 2, the back wall portion (21) of the grooved side plate (2) is cut in a cross-sectional view in the direction of the shelf surface of the shelf piece (22X), and only certain areas on both end sides thereof have an outer side. A cassette for substrates formed into a tapered or rounded shape that transitions to a thinner wall. 6. In the cassette according to claim 1, when the back wall portion (21) of the grooved side plate (2) is viewed in cross-section in the direction of the shelf surface of the shelf piece (22X), the center or near-center portion thereof is A cassette for a substrate, characterized in that it is formed in a tapered or rounded shape with a thicker part (25) than the other parts. 7. In the cassette of claim 1, the back wall portion (21) of the grooved side plate (2) is connected to the adjacent shelf pieces (22X), (22X
) A cassette for a substrate, characterized in that the space between the substrates is formed in an inclined shape. 8. In the cassette of claim 1, 2, 5, 6, or 7, at least the shelf piece (22X) that protrudes toward the inside of the cassette among the shelf pieces (22) is made narrower toward the free end than toward the proximal end. A cassette for substrates formed into a tapered or rounded shape so as to have a thin wall. 9. In the cassette of claim 1, 2, 5, 6, 7 or 8, the grooved side plate (2) is provided with two types of fastening holes (31) and (32) for attachment to the frame (1). 2. The substrate cassette according to claim 1, wherein the substrate cassettes are provided so as to be perpendicular to each other.
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