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JPH02290550A - 磁気圧式酸素分析計 - Google Patents

磁気圧式酸素分析計

Info

Publication number
JPH02290550A
JPH02290550A JP11128189A JP11128189A JPH02290550A JP H02290550 A JPH02290550 A JP H02290550A JP 11128189 A JP11128189 A JP 11128189A JP 11128189 A JP11128189 A JP 11128189A JP H02290550 A JPH02290550 A JP H02290550A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measurement
gases
gas
measuring
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11128189A
Other languages
English (en)
Inventor
Takao Imaki
隆雄 今木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Horiba Ltd filed Critical Horiba Ltd
Priority to JP11128189A priority Critical patent/JPH02290550A/ja
Publication of JPH02290550A publication Critical patent/JPH02290550A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気圧式酸素分析計、特に、界面圧力差方式
の磁気圧式酸素分析計の改良に関する。
〔従来の技術〕
この種の磁気圧式酸素分析計として、例えば実公昭59
−2522号公報に示されるものがあり、第3図に示す
ように構成されている. すなわち、第3図において、lは非磁性材料よりなる壁
に囲まれた測定室で、その内部には適宜の間隔をおいて
2組の測定極2,3が設けられている.これらの測定極
2.3はそれぞれ適宜の間隔をおいて対向配置された2
つの磁極片2A, 2B,3^, 3Bよりなる.そし
て、図示してないが、各組の測定極2,3における対向
する磁掻片2A, 2B、3A, 3Bは継鉄によって
磁気的閉ループを構成するようにしてあるとともに、前
記継鉄にはそれぞれコイルが巻設してあって、両コイル
を交互に通電することにより測定極2,3を交互に励磁
し、磁極片2^, 2B間、磁極片3A, 38間に磁
界が交互に生ずるようにしてある.また、前記測定極2
,3のそれぞれ一方の磁極片2B. 3Bには測定室1
に臨む開口4,5が形成してある. 6.7は互いに独立した圧力伝達路で、それぞれの一端
側は前記開口4.5に連なり、他端側はコンデンサマイ
クロフォン検出器8の可動隔M9にようて仕切られた検
出室10. 11と連通させてある.そして、検出室1
0. 11にはそれぞれ定流IIJR整装置12. 1
3を備えた比較ガス導入管14, tsが接続してあり
、さらに、これら比較ガス導入管14,l5には図外の
比較ガス源に接続された比較ガス供給管l6が接続して
あって、所定の比較ガスRGが検出室10. 11およ
び圧力伝達路6.7を介して開口4.5から測定室l内
に導入されるようにしてある. l7は前記可動隔膜9に対向するようにして一方の検出
室11内に設けられる固定橿、18はプリアンプ、l9
は狭帯域増幅器、20は表示部である.21. 22は
測定室lの左右両端に開設された測定ガス導入口で、こ
れら測定ガス導入口21. 22にはそれぞれ定流量調
整装置23. 24を備えた測定ガス導入管25. 2
6が接続してあり、さらに、これら測定ガス導入管25
. 26には図外の測定ガス源に接続された測定ガス供
給管27が接続してあって、所定の測定ガスSGを測定
室1内に導入するようにしてある。そして、測定室1の
ほぼ中央にはガス排出口28が開設してあって、室内の
ガス(測定ガスSGと比較ガスRGとが混ざりあったも
の)Gが排出されるようにしてある.29はこのガス排
出口28に連なるガス排出路である。
而して、前記測定F!7A2.3を交互に励磁している
状態において、測定ガス導入口21. 22から酸素を
含んだ測定ガスSGを測定室1内に導入するとともに、
開口4.5から純粋窒素などの比較ガスRGを導入する
と、磁極片2A, 28間,M1極片3A, 38間に
は、測定ガスSGおよび比較ガスRGのそれぞれの磁化
率の差に比例した界面圧力が交互に発生する.この界面
圧力は圧力伝達路6.7を経てコンデンサマイクロフォ
ン検出器8の検出室10. 11に伝達され、可動隔1
19を押圧しこれを変位させる.この結果、前記界面圧
力は可動隔膜9と固定極l7との間の静電容量の変化と
して固定極17から出力され、所定の増幅および変換処
理を経た後、表示部20において酸素濃度として表示さ
れるのである.〔発明が解決しようとする課題〕 ところで、各種反応の前後における酸素濃度の変化を調
べるなど、2つの測定ガスにおける酸素濃度を同時かつ
連続的に測定することにより、前記酸素濃度の経時的変
化を検証したり、これらを相互に比較したいような場合
がある. しかしながら、前記従来構成の磁気圧式酸素分析針によ
れば、測定室l内に導入される測定ガスは1つだけであ
り、相異なる2つの測定ガスを測定室l内に同時に導入
することができない。従って、2つの測定ガスにおける
酸素濃度を同時かつ連続的に測定することはできず、上
述のような場合、磁気圧式酸素分析計がどうしても2台
必要であり、このようにするとそれだけ設備費用が嵩む
といった問題点がある. 本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、2つの測定ガスにおける酸素濃度
を同時かつ連続的に測定することができる磁気圧式酸素
分析計を提供することにある. 〔課題を解決するための手段〕 上述の目的を達成するため、本発明に係る磁気圧弐酸素
分析計は、2&llの測定極の磁極片間に相異なる2つ
の測定ガスが同時に流れるようにするとともに、前記2
組の測定極を互いに独立しかつ互いに異なる周波数でオ
ンオフするようにして励磁し、前記コンデンサマイクロ
フォン検出器からの出力信号を、前記2mの測定極のw
IM1におけるオンオフ周波数と同じ周波数の信号成分
に分離することにより、前記2つの測定ガスにおける酸
素濃度を同時かつ連続的に測定できるようにしてあ〔作
用〕 上記構成によれば、コンデンサマイクロフォン検出器か
らは、相異なる2つの測定ガスそれぞれにおける酸素濃
度に対応した2つの信号成分が互いに重畳された状態の
出力信号が出力される.そして、これら両信号成分は各
測定極を励磁する際その励磁をオンオフする周波数で変
調されているので、前記コンデンサマイクロフォン検出
器からの出力信号を前記2組の測定極の励磁におけるオ
ンオフ周波数と同じ周波数の信号成分に分離することに
より、前記2つの測定ガスにおける酸素濃度にそれぞれ
対応した2つの信号成分を同時かつ連続的に得ることが
でき、従って、2つの測定ガスにおける酸素濃度を同時
かつ連続的に測定することができる. 〔実施例〕 以下、本発明の実施例を、第1図および第2図を参照し
ながら説明する. 第1図は本発明に係る磁気圧式酸素分析計の一例を示す
.この図において、第3図における符号と同一の符号は
同一物または相当物を示す.さて、この第1図において
、31. 32は測定ガス供給管(以下、第1の測定ガ
ス供給管31,第2の測定ガス供給管32と云う)で、
これらの測定ガス供給管31. 32は、第3図に示す
従来の磁気圧式酸素分析計における測定ガス供給管25
. 26と異なり、互いに独立しており、互いに異なる
2つの測定ガスSG, . sat  (以下、第1の
測定ガスSG.,第2の測定ガスSG,と云う)が流れ
るようにしてあって、それぞれ図外の互いに異なる2つ
の測定ガス源に接続してあり、第1の測定ガスSG.は
測定橿2(以下、第1の測定極2と云う)の磁極片2A
, 28間を、また、第2の測定ガスSG2は測定極3
(以下、第2の測定極3と云う)の磁極片3A, 3B
間をそれぞれ流れるようにしてある, 33. 34は
測定ガス供給管31.32にそれぞれ介装された定流量
調整装置である. そして、前記第1の測定極2,第2の測定極3の励磁は
互いに独立しかつ互いに異なる周波数でオンオフするよ
うにして行われる.例えば第1の測定極2の励磁はIO
HZで、また、第2の測定極3の励磁は5七でそれぞれ
オンオフされる(第2図(A)参照). 35. 36はプリアンプl8の出力側に互いに並列的
に設けられた狭帯域増幅器(以下、第lのBPA35,
第2のB P A36と云う)で、第1のBPA35の
周波数帯域は10七、第2のBPA36の周波数帯域は
5}tzに設定してある.つまり、第lのBPA35は
プリアンプ18の出力のうち10Hzの信号のみを増幅
して通過させ、第2のBPA36は5七の信号のみを増
幅して通過させるのである. 次に、このように構成された磁気圧式酸素分析計の動作
について、第2図をも参照しながら説明する. 測定室1内に、第1の測定ガスSG, ,第2の測定ガ
スSG.と比較ガスRGとを導入し、その状態において
、第1の測定極2および第2の測定極3を、それぞれ1
0Hz,  5Hzの周波数でオンオフしながら励磁す
る(第2図(A)参照)と、コンデンサマイクロフォン
検出器8からは、同図(B)に示すような出力信号S.
が出力される.この出力信号S0は、第1の測定ガスS
G.中に含まれる酸素の濃度に比例した信号成分S1と
第2の測定ガスSG!中に含まれる酸素の濃度に比例し
た信号成分S,とが互いに重畳されたものである. そして、前記出力信号S0をプリアンプ18で前段処理
した後、互いに並列的に接続され、互いに異なる周波数
帯域を有する第1のB P A35.第2のB P A
36にそれぞれ人力すると、前記励磁におけるオンオフ
周波数(10Hz,  5Hz)とそれぞれ等しい周波
数の成分のみが取り出され、第1のBPA35,第2の
BPA36からは、同図(C), (D)に示すような
信号成分S+ ,Szがそれぞれ出力される.これらの
信号成分S,,S.はそれぞれ表示部37. 38に送
られて、アナログ的あるいはディジタル的に表示され、
これによって、第1の測定ガスSG.,第2の測定ガス
SGtにおける酸素濃度を知ることができる. なお、上述の実施例では、コンデンサマイクロフォン検
出器8からの出力信号S0を電気回路によるハード的処
理を行うことにより、周波数分離して各信号成分S,,
S.に分離しているが、これをコンピュータを用いてソ
フト的に処理するようにしてもよい. 〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば、1台の磁気圧弐
酸素分析計によって、2つの測定ガスにおける酸素濃度
を同時にかつ連続的に測定することができるので、各種
反応などの前後における酸素濃度の変化を的確に知るこ
とができる。そして、従来のように、2台の磁気正式酸
素分析計を用いる必要がないから設備費用を低減するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る磁気圧式酸素分析針の一例を示す
構成図、第2図は動作説明図である.第3図は従来例を
示す磁気圧弐酸素分析計の構成図である. l・・・測定室、2.,3・・・測定極、2A, 2B
, 3A, 38・・・磁極片、6,7・・・圧力伝達
路、8・・・コンデンサマイクロフォン検出器、9・・
・可動隔膜、10. 11・・・検出室、l7・・・固
定電極、sc. , sc.・・・測定ガス、RG・・
・比較ガス、S0・・・出力信号、S.,S.・・・信
号成分.

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 測定室内にそれぞれ適宜の間隔をおいて対向配置された
    2つの磁極片からなる2組の測定極を適宜の間隔をおい
    て設け、前記磁極片間に測定ガスと比較ガスとを流し、
    前記測定極を励磁して測定極間に磁界を発生させたとき
    前記ガスにおける磁化率の差に基づいて発生する界面圧
    力を圧力伝達路を介してコンデンサマイクロフォン検出
    器の可動隔膜によって仕切られた2つの検出室に導入し
    て、前記可動隔膜と固定電極との間の静電容量の変化に
    基づいて測定ガスにおける酸素濃度を検出するようにし
    た磁気圧式酸素分析計において、前記2組の測定極の磁
    極片間に相異なる2つの測定ガスが同時に流れるように
    するとともに、前記2組の測定極を互いに独立しかつ互
    いに異なる周波数でオンオフするようにして励磁し、前
    記コンデンサマイクロフォン検出器からの出力信号を、
    前記2組の測定極の励磁におけるオンオフ周波数と同じ
    周波数の信号成分に分離することにより、前記2つの測
    定ガスにおける酸素濃度を同時かつ連続的に測定できる
    ようにしたことを特徴とする磁気圧式酸素分析計。
JP11128189A 1989-04-29 1989-04-29 磁気圧式酸素分析計 Pending JPH02290550A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007218736A (ja) * 2006-02-16 2007-08-30 Yokogawa Electric Corp 磁気式酸素計
EP1840563A1 (en) * 2006-03-29 2007-10-03 General Electric Company Measuring gas components together with a paramagnetic gas
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JP2011133374A (ja) * 2009-12-25 2011-07-07 Horiba Ltd 磁気圧力式酸素分析計

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