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JPH02262023A - Optical spectrum analyzer - Google Patents

Optical spectrum analyzer

Info

Publication number
JPH02262023A
JPH02262023A JP8363689A JP8363689A JPH02262023A JP H02262023 A JPH02262023 A JP H02262023A JP 8363689 A JP8363689 A JP 8363689A JP 8363689 A JP8363689 A JP 8363689A JP H02262023 A JPH02262023 A JP H02262023A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
fabry
intensity
light intensity
wavelength
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8363689A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoji Sonobe
園部 洋治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anritsu Corp
Original Assignee
Anritsu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anritsu Corp filed Critical Anritsu Corp
Priority to JP8363689A priority Critical patent/JPH02262023A/en
Publication of JPH02262023A publication Critical patent/JPH02262023A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To improve measuring accuracy of the intensity of light to a large extent in addition to accuracy in wavelength by adjusting the gain so that the intensity of light from a measuring photodetector which is changed to reference light agrees with the intensity of light from a calibrating photodetector. CONSTITUTION:The intensity of reference light (d) having a reference wavelength is detected with a calibrating photodetector 16. Then an optical switch 11 is switched, and the reference light (d) is split into a Fabry-Perot type spectroscope 1. The intensity of the split light is detected with a measuring photodetector 2. A gain-adjustment control means 15a which is provided in a data processing part 15 is adjusted so that the intensity of the light from the calibrating photodetector 16 agrees with the intensity of the split reference light (d). Thereafter, the optical switch 11 is switched so as to select light to be measured (a). The light to be measured is split in the Fabry-Perot type spectroscope 1. The light is converted into the optical intensity in the measuring photodetector 2. The gain is adjusted, and the intensity is automatically corrected to the correct optical intensity.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はファブリペロ−型分光器を用いた光スペクトラ
ムアナライザに係わり、特にファブリペロー共振器にお
ける取付は精度等の機械的誤差の測定結果への影響を除
去した光スペクトラムアナライザに関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an optical spectrum analyzer using a Fabry-Perot type spectrometer, and in particular, the installation in a Fabry-Perot resonator is important because mechanical errors such as accuracy may affect measurement results. This invention relates to an optical spectrum analyzer that removes effects.

[従来の技術] 例えば光通信に用いるレーザ光線等の比較的波長帯域幅
が狭い光の波長特性を正確にハj定する光スペクトラム
アナライザとして、ファブリペロー共振器が組込まれた
ファブリペロ−型分光器を用いた光スペクトラムアナラ
イザが開発されている。
[Prior Art] A Fabry-Perot spectrometer incorporating a Fabry-Perot resonator is used as an optical spectrum analyzer to accurately determine the wavelength characteristics of light with a relatively narrow wavelength bandwidth, such as a laser beam used in optical communications. An optical spectrum analyzer using

このような光スペクトラムアナライザは例えば第3図に
示すように構成されている。ナなイつち、外部から人力
した被1111定光aはファブリペロ−型分光器1へ入
射される。ファブリペロー型分光器1は入射した被測定
光aを各波長λにおける光強度(スペクトラム)に分光
する。ファブリペロー型分光器1にて分光された光はフ
ォトダイオード等にて形成された測定用受光器2にて光
強度信号すに変換される。M1定用受光蓋2から出力さ
れた光強度信号すは増幅器3で増幅されたのちA/D変
換器4でデジタル値に変換され、データ処理部5へ人力
される。
Such an optical spectrum analyzer is configured as shown in FIG. 3, for example. Meanwhile, the constant light a of the subject 1111 manually applied from the outside is incident on the Fabry-Perot spectrometer 1. The Fabry-Perot spectrometer 1 separates the incident light a to be measured into light intensities (spectrums) at each wavelength λ. The light separated by the Fabry-Perot spectrometer 1 is converted into a light intensity signal by a measurement light receiver 2 formed of a photodiode or the like. The light intensity signal outputted from the M1 constant light receiving lid 2 is amplified by an amplifier 3, then converted to a digital value by an A/D converter 4, and inputted to a data processing section 5.

データ処理部5は一種のマイクロコンピュータで構成さ
れており、A/D変換器4から入力された各波長λにお
ける光強度I (λ)を編集して表示器6へ送出する。
The data processing unit 5 is composed of a type of microcomputer, and edits the light intensity I (λ) at each wavelength λ inputted from the A/D converter 4 and sends it to the display 6.

表示器6は入力された各光強度! (λ)を波長λを横
軸にして表示する。
The display 6 shows each input light intensity! (λ) is displayed with the wavelength λ on the horizontal axis.

また、前記データ処理部5は前記ファブリペロ−型分光
器1へD/A変換器7を介してal定波長λを制御する
電圧信号Cを送出する。
Further, the data processing unit 5 sends a voltage signal C to the Fabry-Perot spectrometer 1 via the D/A converter 7 to control the al constant wavelength λ.

ファブリペロ−型分光器1は周知のように第4図(a)
の構成を有する。すなわち、反射率の高い一対の平行板
8a、8bを対向配置してなるファブリペロ−共振器に
おける一方の平行板8b裏面の複数箇所に圧電素子9a
、9bの一方面を取付け、各圧電素子9a、9bの他方
面を図示しないフレームに固定したものである。他方の
平行板8aはやはりフレームに固定されている。そして
、各圧電素子9a、9bに前記データ処理部5からD/
A変換器7で直流値に変換された電圧信号Cが印加され
る。
As is well known, the Fabry-Perot spectrometer 1 is shown in Fig. 4(a).
It has the following configuration. That is, in a Fabry-Perot resonator formed by a pair of parallel plates 8a and 8b with high reflectivity arranged opposite to each other, piezoelectric elements 9a are placed at multiple locations on the back surface of one parallel plate 8b.
, 9b are mounted on one side, and the other side of each piezoelectric element 9a, 9b is fixed to a frame (not shown). The other parallel plate 8a is also fixed to the frame. Then, each piezoelectric element 9a, 9b receives D/
A voltage signal C converted into a DC value by an A converter 7 is applied.

このような構成のファブリペロー型分光器1において、
平行板8aの裏面からこの平行板8aに垂直に光gが入
射されると、図示するように、この先gは2枚の平行板
8a、8bの間で反射を繰返し、一種の共振状態が形成
される。そして、入射した光gの波長λの1/2が前記
平行板8a。
In the Fabry-Perot spectrometer 1 having such a configuration,
When light g enters the parallel plate 8a perpendicularly from the back surface of the parallel plate 8a, as shown in the figure, the light g is repeatedly reflected between the two parallel plates 8a and 8b, forming a kind of resonance state. be done. 1/2 of the wavelength λ of the incident light g is the parallel plate 8a.

8bの間隔りの整数倍になると、入射した光は反対側の
平行板8bを透過して出力される。よって、間隔りを固
定して、入力する光の波長λを変化させていった場合、
反対側の平行板8bから出力される光を波長分析すると
、第4図(b)に示すように、前記間隔りにて定まるF
 S R(FreeSpectral Range)と
呼ばれる波長Δλ毎にピーク10が生じる。
8b, the incident light passes through the parallel plate 8b on the opposite side and is output. Therefore, if the interval is fixed and the wavelength λ of the input light is changed,
When the wavelength of the light output from the parallel plate 8b on the opposite side is analyzed, as shown in FIG.
A peak 10 occurs at each wavelength Δλ called S R (Free Spectral Range).

したがって、その間隔りを図示する圧電素子9a、9b
に電圧信号Cを印加することによって変化させると、共
振波長を連続的に変えることができる。つまり、掃引型
フィルタとなり、ピーク10の位置が変化する。よって
、被測定光の含む波長範囲を前記FSRより狭い範囲に
限定すると、前記間隔りに対してその間隔りにおける平
行板8bから出力される光の波長λが一義的に定まる。
Therefore, the piezoelectric elements 9a, 9b illustrating the spacing
The resonant wavelength can be changed continuously by changing it by applying a voltage signal C to . In other words, it becomes a sweep type filter, and the position of the peak 10 changes. Therefore, when the wavelength range included in the light to be measured is limited to a range narrower than the FSR, the wavelength λ of the light output from the parallel plate 8b at the interval is uniquely determined.

第4図(b)のピーク10は非常に鋭いピーク波形を有
する。したがって、データ処理部5からファブリブロー
型分光器1へ印加する電圧信号Cを制御することによっ
て、ファブリペロ−型分光器1から出力される光の波長
λを非常に高い精度で制御することが可能となる。
Peak 10 in FIG. 4(b) has a very sharp peak waveform. Therefore, by controlling the voltage signal C applied from the data processing unit 5 to the Fabry-Perot spectrometer 1, it is possible to control the wavelength λ of the light output from the Fabry-Perot spectrometer 1 with very high precision. becomes.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、第3図に示す光スペクトラムアナライザ
においてもまだ次のような問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the optical spectrum analyzer shown in FIG. 3 still has the following problems.

すなわち、このファブリペロー型分光器1において、所
望の波長分解能および所望の光強度(スペクトラム)4
−1定積度を得るために、第4図(a)に示すファブリ
ペロー共振器を構成する一対の平行板8a、8bは、光
学的に非常に高い位置決め精度を必要とする。すなわち
、入射光gが平行板8aに対して多少傾斜して入射した
場合や、平行板8a、8bの平行度が低下したり、また
、入射光gが完全に平行光線でなく、広がりを持ってい
た場合においては、たとえ第5図(a)に示すようなき
れいな波長特性を有する光が入射したとしても、このフ
ァブリペロ−型分光器1にて分光された光の波長特性は
前記各ファブリペロー共振器の位置決め不完全状態に応
じて第5図(b)(c)(d)に示すように同図(a)
の波長特性と大きく異なる。したがって、この光スペク
トラムアナライザにおいては各波長λにおける光強度(
スペクトラムレベル)の測定精度が大幅に低下する問題
があった。
That is, in this Fabry-Perot spectrometer 1, a desired wavelength resolution and a desired light intensity (spectrum) 4
In order to obtain a -1 constant volume, the pair of parallel plates 8a and 8b constituting the Fabry-Perot resonator shown in FIG. 4(a) require very high optical positioning accuracy. That is, when the incident light g enters the parallel plate 8a at a slight angle, when the parallelism of the parallel plates 8a and 8b decreases, or when the incident light g is not completely parallel, but has a spread. In this case, even if light having a beautiful wavelength characteristic as shown in FIG. 5(a) as shown in FIG. 5(b),(c),(d) depending on the incomplete positioning of the resonator.
The wavelength characteristics are significantly different from those of . Therefore, in this optical spectrum analyzer, the light intensity (
There was a problem in which the measurement accuracy of spectrum level) was significantly reduced.

しかし、前述したようにファブリペロ−分光器1内の各
平行板8a、8bを精度良く光学的位置決めする作業は
非常に煩雑であり、多大の労力と時間を必要とした。
However, as described above, the task of accurately optically positioning each of the parallel plates 8a and 8b within the Fabry-Perot spectrometer 1 is very complicated and requires a great deal of effort and time.

また、たとえ据付は時に精度良く位置決めしたとしても
、長期間に亘って使用すると、取付は位置が狂ってきて
初期の精度が低下する問題もある。
Further, even if the installation is performed with high accuracy, there is a problem that the installation position may become incorrect after long-term use, resulting in a decrease in the initial accuracy.

さらに、温度上昇によって光学構成部材が熱膨張して寸
法精度が低下する懸念もある。
Furthermore, there is also a concern that the optical component may thermally expand due to temperature rise, resulting in a decrease in dimensional accuracy.

よって、各波長における光強度(スペクトラムレベル)
に対して常に高い測定精度を維持することは困難であっ
た。
Therefore, the light intensity (spectrum level) at each wavelength
It has been difficult to maintain high measurement accuracy at all times.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、
校正用の2!準光をファブリペロ−型分光器を通過させ
た状態と通過させない状態とで比較して、実際のA#j
定にて得られる各波長における光強度を補正することに
より、波長l1llJ定精度に加えて各波長における光
強度の測定精度をも大幅に向上でき、たとえ煩雑な光学
構成部材の位置決め調整を行なわなかったとしても常に
高い測定精度を維持できる光スベクトラムアラナイザを
提供することを目1白とする。
The present invention was made in view of these circumstances, and
2 for proofreading! By comparing the state where the quasi-light passes through the Fabry-Perot spectrometer and the state where it does not pass, the actual A
By correcting the light intensity at each wavelength obtained at the same wavelength, it is possible to significantly improve the measurement accuracy of the light intensity at each wavelength in addition to the wavelength l1llJ constant accuracy, even without the need for complicated positioning adjustments of optical components. Our primary objective is to provide an optical spectrum analyzer that can always maintain high measurement accuracy.

[課頴を解決するための手段] 上記課題を解消するために本発明の光スペクトラムアナ
ライザにおいては、ファブリペロ−共振器を用いたファ
ブリペロ−型分光器と、このファブリペロ−型分光器で
分光された光の光強度を検出する73)J走用受光器と
、基準光の光強度を検出する校正用受光器と、ファブリ
ペロ−型分光器へ入射される光を基準光または被測定光
に切換選択する光切換器と、この光切換器が基準光を切
換選択したときに測定用受光器から出力される光強度を
校正用受光器にて検出された光強度に一致するようにゲ
イン調整するゲイン調整制御手段と、このゲイン2j整
制御手段にてゲイン調整された光強度を表示する表示器
とを備えたものである。
[Means for solving the problem] In order to solve the above problems, the optical spectrum analyzer of the present invention includes a Fabry-Perot spectrometer using a Fabry-Perot resonator, and a 73) Switch the light incident on the J-travel receiver that detects the light intensity of the light, the calibration receiver that detects the light intensity of the reference light, and the Fabry-Perot spectrometer to either the reference light or the measured light. and a gain that adjusts the light intensity output from the measurement receiver when the light switch selects the reference light so that it matches the light intensity detected by the calibration receiver. The device is equipped with an adjustment control means and a display that displays the light intensity whose gain has been adjusted by the gain 2j adjustment control means.

[作用コ このように構成された光スペクトラムアナライザにおい
て、例えば基準波長を有した基準光の光強度を校正用受
光器で検出する。次に光切換器を切換えて前記基準光を
ファブリペロ−型分光器で分光する。そして、分光され
た基準波長における光強度を測定用受光器で検出して読
取る。ここで、基準光は基準波長の波長成分しか有さな
いので、校正用受光器から出力された光強度は理想的な
ファブリペロー型分光器にて分光された前記基■波長に
おける光強度と一致するはずである。したがって、前記
校正用受光器で検出された光強度がこの分光された基準
光の光強度と一致するようにゲイン調整すればよい。
[Function] In the optical spectrum analyzer configured in this way, the light intensity of the reference light having the reference wavelength, for example, is detected by the calibration light receiver. Next, the optical switch is switched and the reference light is separated into spectra using a Fabry-Perot spectrometer. Then, the light intensity at the separated reference wavelength is detected and read by a measuring light receiver. Here, since the reference light has only the wavelength component of the reference wavelength, the light intensity output from the calibration receiver matches the light intensity at the base wavelength spectrographed by an ideal Fabry-Perot spectrometer. It should be done. Therefore, the gain may be adjusted so that the light intensity detected by the calibration light receiver matches the light intensity of the separated reference light.

しかして、光切換器にて被測定光を切換選択すれば、披
ΔP1定光がファブリペロ−型分光器で分光されて、測
定用受光器で光強度に変換されゲイン調整されて正しい
光強度に自動的に補正される。
When the light to be measured is selected using the optical switch, the ΔP1 constant light is separated by the Fabry-Perot spectrometer, converted to light intensity by the measurement receiver, and gain adjusted to automatically produce the correct light intensity. is corrected accordingly.

[実施例] 以下本発明の一実施例を図面を用いて説明する。[Example] An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明の光スペクトラムアナライザの概略(1
η成を示す模式図である。第3図と同一部分には同一符
号が付しである。
Figure 1 shows an outline of the optical spectrum analyzer of the present invention (1
FIG. 3 is a schematic diagram showing η formation. The same parts as in FIG. 3 are given the same reference numerals.

外部から入力した被測定光aは光切換器11を介してフ
ァブリペロ−型分光器1へ入射される。
Measured light a input from the outside is input to the Fabry-Perot spectrometer 1 via the optical switch 11.

また図中12はDFB (分布帰還形)レーザ発振器等
からなる基準波長λ0を有する基準光dを出力する基準
光源12であり、この基準光源12がら出力される基準
光dはもう一つの光切換器13を介して前記光切換器1
1へ入射される。光切換器11は次のファブリペロ−形
骨光器1へ入射する光を前記被a定光aか基準光dかに
切換選択する。
Reference numeral 12 in the figure is a reference light source 12 that outputs a reference light d having a reference wavelength λ0, which is composed of a DFB (distributed feedback) laser oscillator or the like, and the reference light d output from this reference light source 12 is connected to another optical switch. The optical switching device 1 via the device 13
1. The optical switch 11 switches and selects the light to be incident on the next Fabry-Perot bone optical device 1 between the constant light a and the reference light d.

ファブリペロー型分光器1は第4図に示した(^i造を
有しており、光切換器11を介して入射した披Al定光
a又は基準光dを各波長λにおける光強度(スペクトラ
ム)に分光する。ファブリペロ−型分光器1にて分光さ
れた光はフォトダイオード等にて形成されたβ1定用受
光器2にて光強度信号すに変換される。ハ1定用受光器
2から出力された光強度信号すはゲイン調整器14にて
ゲイン調整されたのちA/D変換器4でデジタルの光強
度値に変換され、例えばマイクロコンピュータで構成さ
れたデータ処理部15へ入力される。このデータ処理部
15は前記ファブリペロー型分光器1へD/A変換器7
を介して測定波長λを制御する電圧信号Cを送出する。
The Fabry-Perot spectrometer 1 has a structure shown in FIG. The light separated by the Fabry-Perot spectrometer 1 is converted into a light intensity signal by the β1 constant light receiver 2 formed by a photodiode or the like. The output light intensity signal is gain adjusted by a gain adjuster 14, then converted to a digital light intensity value by an A/D converter 4, and inputted to a data processing unit 15 composed of, for example, a microcomputer. This data processing section 15 connects the Fabry-Perot spectrometer 1 to the D/A converter 7.
A voltage signal C that controls the measurement wavelength λ is sent out via the wavelength λ.

一方、基準光源12から出力された基準光dは光切換器
13を介して同じくフォトダイオードで形成された校正
用受光器16へ入射されて光強度信号に変換されたのち
増幅器17で増幅され、A/D変換器18でデジタルの
光強度値へ変換される。そして、この基準光dの光強度
値Aoは前記データ処理部15へ入力される。
On the other hand, the reference light d output from the reference light source 12 is incident on the calibration light receiver 16 also formed by a photodiode via the optical switch 13, converted into a light intensity signal, and then amplified by the amplifier 17. The A/D converter 18 converts it into a digital light intensity value. The light intensity value Ao of this reference light d is input to the data processing section 15.

そして、このデータ処理部15には測定結果を表示する
例えばCRT表示装置等からなる表示器6が接続されて
いる。表示器6はデータ処理部15から入力された補正
済の各波長λにおける各光強度!(λ)を波長λを横軸
にして表示する。
A display 6 made of, for example, a CRT display device or the like is connected to this data processing section 15 for displaying measurement results. The display 6 shows each corrected light intensity at each wavelength λ input from the data processing unit 15! (λ) is displayed with the wavelength λ on the horizontal axis.

なお、前記各光切換器11.13はデータ処理部15に
おける操作者の切換操作によって切換制御される。また
、ゲイン調整器14のゲインはデータ処理部15からの
制御指令にて制御される(ゲイン調整制御手段15a)
Note that each of the optical switches 11 and 13 is switched and controlled by a switching operation by an operator in the data processing section 15. Further, the gain of the gain adjuster 14 is controlled by a control command from the data processing section 15 (gain adjustment control means 15a).
.

次に第1図のように構成された光スペクトラムアナライ
ザの操作手順を説明する。
Next, the operating procedure of the optical spectrum analyzer configured as shown in FIG. 1 will be explained.

まず、基準光源12を駆動して第2図(a)に示す波長
特性を有した基準光dを出力させ、光切換器13を校正
用受光器16側へ切換える。すると、基準波長λ0のみ
を有する基準光dが校正用受光器16へ入射される。す
ると、増幅器17から第2図(b)に示す波形の光強度
信号eが出力され、A/D変換器18から光強度信号e
の信号レベルに対応する光強度値AOがデータ処理部1
5へ入力される。データ処理部15はその基準光dに対
応する光強度Aoを記憶する。
First, the reference light source 12 is driven to output the reference light d having the wavelength characteristics shown in FIG. 2(a), and the optical switch 13 is switched to the calibration light receiver 16 side. Then, the reference light d having only the reference wavelength λ0 is incident on the calibration light receiver 16. Then, the amplifier 17 outputs a light intensity signal e having the waveform shown in FIG. 2(b), and the A/D converter 18 outputs a light intensity signal e.
The optical intensity value AO corresponding to the signal level of
5. The data processing unit 15 stores the light intensity Ao corresponding to the reference light d.

次に、光切換器13をファブリペロ−型分光器1側に切
換え、かつ光切換器11を基準光d側に切換える。する
と、基準光源12から出力された基準波長λ0のみを有
する第2図(a)の波長特性を有する基準光dは各光切
換器13.11を介してファブリペロ−型分光器1へ入
射される。ファブリペロ−型分光器1は入射した基準光
dを各波長λに分光する。ファブリペロ−型分光器1に
て分光された光は測定用受光器2で光強度信号すに変換
され、ゲイン調整器14で第2図(C)に示すピークレ
ベルAの光強度信号fに変換されてA/D変換器4へ入
力される。このA/D変換器4は入力された光強度信号
fを各波長λに対応した所定サンプリング周期でA/D
変換して、各波長λにおける光強度値をデータ処理部1
5へ送出する。
Next, the optical switch 13 is switched to the Fabry-Perot spectrometer 1 side, and the optical switch 11 is switched to the reference light d side. Then, the reference light d outputted from the reference light source 12 and having only the reference wavelength λ0 and having the wavelength characteristics shown in FIG. . The Fabry-Perot spectrometer 1 separates the incident reference light d into wavelengths λ. The light separated by the Fabry-Perot spectrometer 1 is converted into a light intensity signal f by the measurement receiver 2, and then converted by the gain adjuster 14 into a light intensity signal f at the peak level A shown in FIG. 2(C). and input to the A/D converter 4. This A/D converter 4 converts the input optical intensity signal f into an A/D converter at a predetermined sampling period corresponding to each wavelength λ.
The data processing unit 1 converts the light intensity values at each wavelength λ.
Send to 5.

データ処理部15は入力された各波長λにおける各光強
度値のうち基準波長λ0に対応するピークの光強度Aを
読取る。次に、データ処理部15は先に記憶したファブ
リペロ−型分光器1を通さない基準光dの光強度Aoと
今回読取った光強度Aとを比較して、光強度Aが光強度
Aoに等しくなければ、光強度Aが光強度Aoに接近す
る方向に変化するように、ゲイン調整器14のゲインを
変化させる。そして、再度基準光dをファブリペロ−型
分光器1で分光測定し、得られた光強度値Aと先の光強
度Aoとを比較する。そして、ap1定された光強度A
が基準となる光強度Aoに一致すると、ゲイン調整器1
4のゲイン調整が終了する。
The data processing unit 15 reads the peak light intensity A corresponding to the reference wavelength λ0 from among the light intensity values at each input wavelength λ. Next, the data processing unit 15 compares the light intensity Ao of the previously stored reference light d that does not pass through the Fabry-Perot spectrometer 1 with the light intensity A read this time, so that the light intensity A is equal to the light intensity Ao. If not, the gain of the gain adjuster 14 is changed so that the light intensity A changes in a direction closer to the light intensity Ao. Then, the reference light d is spectrally measured again using the Fabry-Perot spectrometer 1, and the obtained light intensity value A is compared with the previous light intensity Ao. Then, ap1 determined light intensity A
When the light intensity matches the reference light intensity Ao, the gain adjuster 1
4 gain adjustment is completed.

なお、このゲイン調整器14のゲイン調整処理は制御プ
ログラムに従って自動的に実施される。また、前述した
ように、基準光dは基準波長λ。の波長成分しか有さな
いので、校正用受光器16からA/D変換器18を介し
て出力された光強度Aoは理想的なファブリペロ−型分
光器1にて分光された基準光dの前記基準波長λ0にお
ける光強度Aと一致するとしている。
Note that the gain adjustment process of the gain adjuster 14 is automatically performed according to a control program. Further, as described above, the reference light d has the reference wavelength λ. Therefore, the light intensity Ao outputted from the calibration light receiver 16 via the A/D converter 18 is equal to the wavelength component of the reference light d separated by the ideal Fabry-Perot spectrometer 1. It is assumed that the light intensity matches the light intensity A at the reference wavelength λ0.

ゲイン調整器14のゲイン調整が終了すると、基準光[
12の電源を遮断して、光切換器11を披11#1定光
a側に切換える。
When the gain adjustment of the gain adjuster 14 is completed, the reference light [
12 is cut off, and the optical switch 11 is switched to the constant light a side of 11#1.

以上でこの光スペクトラムアナライザにおけるファブリ
ペロー型分光器1の調整操作が終了する。
This completes the adjustment operation of the Fabry-Perot spectrometer 1 in this optical spectrum analyzer.

調整操作が終了すると、被11111定光aに対する通
常の分光+111定を開始することが可能となる。
When the adjustment operation is completed, it becomes possible to start the normal spectral +111 constant for the 11111 constant light a.

このような光スペクトラムアナライザによれば、実際の
披ハ1定光aの分光測定を開始する前に、基準光dのフ
ァブリペロ−型分光器1を通した光強度Aを、ファブリ
ペロ−型分光器1を通さない基県となる光強度Aoに一
致すようにゲイン調整器14のゲインを調整している。
According to such an optical spectrum analyzer, before starting the actual spectroscopic measurement of the constant light a, the light intensity A of the reference light d that has passed through the Fabry-Perot spectrometer 1 is measured by the Fabry-Perot spectrometer 1. The gain of the gain adjuster 14 is adjusted to match the light intensity Ao, which is the base light intensity that does not pass through.

したがって、ファブリペロ−型分光器1を構成するファ
ブリペロ−共振器における各平行板8a。
Therefore, each parallel plate 8a in the Fabry-Perot resonator constituting the Fabry-Perot spectrometer 1.

8bの平行度等の取付は位置精度がある一定の水準以上
に維持されていれば、前記取付は位置精度を厳密に調整
していなかったとしても、被測定光aの各波長λにおけ
る光強度(スペトラムレベル)を正確に測定することが
可能となる。
As long as the positional accuracy of the parallelism etc. of 8b is maintained above a certain level, the light intensity at each wavelength λ of the light to be measured a can be adjusted even if the positional accuracy is not strictly adjusted. (spectrum level) can be measured accurately.

また、上記基準光dを利用した調整作業は簡単に実施で
きるので、一定周期毎又は測定開始毎に実施すれば、光
スペクトラムアナライザにおける経時変化や温度変化に
起因する測定精度低下に対しても十分対処することが可
能となる。よって、常に最良の測定精度を維持できる。
In addition, since the adjustment work using the reference light d can be easily performed, if it is performed at regular intervals or every time a measurement is started, it is sufficient to prevent the measurement accuracy from decreasing due to changes in the optical spectrum analyzer over time or temperature changes. It becomes possible to deal with it. Therefore, the best measurement accuracy can always be maintained.

以上、ここでは基準光dを用いた場合を説明したが、無
変調である被測定光aを基準光の代りとして用いても同
様なn1定精度を維持できる。
Although the case where the reference light d is used has been described above, the same n1 constant accuracy can be maintained even if the unmodulated measured light a is used instead of the reference light.

また、実施例においては、ゲイン調整器14をA/D変
換器4の前段に設けて、n1定用受光器2から出力され
るアナログの光強度信号すのゲインを調整したが、この
ゲイン調整器14の機能をデータ処理部15内に持たせ
て、光強度信号すをA/D変換器4でデジタル値に変換
したのち、データ処理部15内で制御プログラムに従っ
て、ソフト的にゲイン調整することも可能である。
In addition, in the embodiment, the gain adjuster 14 was provided upstream of the A/D converter 4 to adjust the gain of the analog light intensity signal output from the n1 constant light receiver 2, but this gain adjustment After the light intensity signal is converted into a digital value by the A/D converter 4, the gain is adjusted by software in the data processing unit 15 according to a control program. It is also possible.

[発明の効果] 以上説明したように本発明の光スペクトラムアナライザ
によれは、基準波長を有した校正用の基準光をファブリ
ペロー型分光器を通過させた状態と通過させない状態と
における各光強度が一致するように、測定用受光器の信
号路に介挿されたゲイン調整器を調整している。したが
って、波長測定精度に加えて各波長における光強度のA
ll定精度をも大幅に向上でき、たとえ煩雑な光学構成
部材の位置決め調整を行なわなかったとしても常に高い
Δllj定精度を維持できる利点がある。
[Effects of the Invention] As explained above, the optical spectrum analyzer of the present invention is capable of measuring the respective light intensities in a state in which a reference light for calibration having a reference wavelength passes through a Fabry-Perot spectrometer and in a state in which it does not pass through the Fabry-Perot spectrometer. A gain adjuster inserted in the signal path of the measurement photodetector is adjusted so that the values match. Therefore, in addition to the wavelength measurement accuracy, the A of the light intensity at each wavelength is
It is also possible to greatly improve the accuracy of determining Δallj, and there is an advantage that a high accuracy of determining Δallj can always be maintained even without complicated positioning adjustments of optical components.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例に係わる光スペクトラムアナ
ライザの概略構成を示すブロック図、第2図は同実施例
の動作を説明するための波形図、第3図は従来の光スペ
クトラムアナライザを示すブロック図、第4図は一般的
なファブリペロ−型分光器の動作を説明するための図、
第5図は従来の光スペクトラムアナライザの問題点を説
明するための波形図である。 1・・・フてブリペロー型分光器、2・・・i’lPj
定用受光器用受光器・表示器、11・・・光切換器、1
2・・・基準光源、14・・・ゲイン調整器、15・・
・データ処理部、16・・・校正用受光器。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 (a) (b) (c) (d) 第5図
Fig. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of an optical spectrum analyzer according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a waveform diagram for explaining the operation of the embodiment, and Fig. 3 is a diagram showing a conventional optical spectrum analyzer. The block diagram shown in FIG. 4 is a diagram for explaining the operation of a general Fabry-Perot spectrometer.
FIG. 5 is a waveform diagram for explaining the problems of the conventional optical spectrum analyzer. 1... Futebriperot spectrometer, 2... i'lPj
Light receiver/indicator for regular light receiver, 11... Optical switch, 1
2... Reference light source, 14... Gain adjuster, 15...
- Data processing section, 16... Calibration light receiver. Applicant's agent Patent attorney Takehiko Suzue (a) (b) (c) (d) Figure 5

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  ファブリペロー共振器を用いたファブリペロー型分光
器(1)と、このファブリペロー型分光器で分光された
光の光強度を検出する測定用受光器(2)と、基準光の
光強度を検出する校正用受光器(16)と、前記ファブ
リペロー型分光器へ入射される光を前記基準光または被
測定光に切換選択する光切換器(11)と、この光切換
器が前記基準光を切換選択したときに前記測定用受光器
から出力される光強度を前記校正用受光器にて検出され
た光強度に一致するようにゲイン調整するゲイン調整制
御手段(15a)と、このゲイン調整制御手段にてゲイ
ン調整された光強度を表示する表示器(6)とを備えた
光スペクトラムアナライザ。
A Fabry-Perot spectrometer (1) using a Fabry-Perot resonator, a measurement receiver (2) that detects the light intensity of the light separated by the Fabry-Perot spectrometer, and a measurement receiver (2) that detects the light intensity of the reference light. an optical receiver (16) for switching between the reference light and the measured light the light incident on the Fabry-Perot spectrometer; gain adjustment control means (15a) for adjusting the gain so that the light intensity output from the measurement light receiver matches the light intensity detected by the calibration light receiver when switching is selected; and the gain adjustment control means An optical spectrum analyzer comprising: a display (6) for displaying the light intensity whose gain has been adjusted by the means;
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