JPH0225725A - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、差圧測定装置に関するものである。

更に詳述すれば、差圧測定装置の入力回路に関するもの
である。

〈従来の技術〉 第５図は従来より一般に使用されているオリフィスによ
る流量測定システムの従来例の構成説明図である。

図において、Ａは測定流体の流れる管路である。

Ｂは管路Ａに設けられたオリフィスである。

ＣはオリフィスＢの上流、あるいは、下流の管ｍＡに取
付けられた導管である。Ｃ１は導管を開閉する元弁であ
る。

Ｄは導管Ｃに接続された三方弁である。Ｄｌは三方弁り
に設けられたストップ弁、Ｄ２は均圧弁である。

Ｅは、三方弁りに接続された差圧測定装置である。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、この様な装置においては、三方弁りと差
圧測定装置Ｅとは別体であり、相互の配管が必要となる
。また、装置が複雑となり、装置の小型軽量化、コスト
ダウンが図れない。

本発明は、この問題点を解決するものである。

本発明の目的は、小型軽量化、配管等の部品の不要化等
により、コストダウンが図れ、入力回路の切り換えの容
易で、安価で、ゼロ点調節が安定かつ正確に調節出来る
差圧測定装置を提供するにある。

〈課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本発明は、過大圧保護機構
を具備する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端がそ
れぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の
他端がそれぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロ
ックの外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と
連通ずるシール室を構成するシールダイアフラムと、前
記受圧ブロックが取付けられ該シールダイアフラムと受
圧室を構成する凹部を有するベースブロックと、該ベー
スブロックに設けられ前記受圧室に一端が連通され他端
が外部に受圧接続口として開口する２個の接続孔と、前
記ベースブロックに設けられピストン本体の周面に設け
られた２個の連通溝の各々により通常は該接続孔の各々
を連通しゼロ点調節時には前記連通溝を前記ピストンの
軸方向に摺動して該２個の接続孔のそれぞれの連通を切
り一方の連通溝により該一方の接続孔の前記受圧室側と
該他方の接続孔の前記受圧室側とを連通し他方の連通溝
により該一方の接続孔の前記受圧接続口側と該他方の接
続孔の前記受圧接続口側とを連通ずるピストンシリンダ
弁とを具備してなる差圧測定装置を構成したものである
。

く作用〉 以上の構成において、通常は、接続孔はそれぞれ連通♂
にているので、本体の左右から、測定圧力が加わり、測
定ダイアフラムは測定圧力の差圧によって変位する。測
定ダイアフラムの変位によって、固定電極と測定ダイア
フラムとの静電容量が差動的に変化し、差圧に対応した
電気信号出力が得られる。

装置の再測定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、ピストンの周面に設けられた２個の連通溝を摺動
して、２個の接続孔のそれぞれの連通を切り、一方の連
通溝により一方の接続孔の受圧室側と他方の接続孔の受
圧室側とを連通し、他方の連通溝により一方の接続孔の
受圧接続口側と他方の接続孔の受圧接続口側とを連通し
てから装置のゼロ点を＃整する 以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉 第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図でである。

図において、１は差圧センサ部である。

１１は第２図に示すごとく、金属よりなるブロック状の
本体である。

１２は本体１１に設けられた内部室である。

１３は内部室１２を二つの測定室１４．１５に分は移動
電極として機能する測定ダイアフラムである。

１３１．１３２は内部室１２の壁面に設けられセラミッ
クスのプラズマ溶射膜よりなる絶縁膜である。この場合
は、０．２〜０．５ｍｍの厚さをなす。

１３３．１３４は絶縁Ｍ１３１．１３２の表面上に、測
定ダイアフラム１３に対向して内部室１２の壁にそれぞ
れ設けられた固定電極である。

２は差圧センサ部１に一端かそれぞれ接続され測定圧を
導圧する導圧管である。

３は導圧管２の他端がそれぞれ固定される受圧ブロック
である。

３１は受圧ブロック３の外側面に設けられ受圧ブロック
３と導圧管２と連通するシール室３２を構成するシール
ダイアフラムである。

４は受圧ブロック３が取付けられシールダイアフラム３
１と受圧室４１を構成する四部４２を有するベースブロ
ックである。

４３．４４はベースブロック４に設けられ受圧室４１に
一端が連通され他端が外部に受圧接続口として開口する
２個の接続孔である。

この場合は、接続孔４３は測定流体の高圧側に、接続孔
４４は低圧側に接続されている。

５はピストンシリンダ弁で、第３図に示すごとく、ベー
スブロック４に設けらなシリンダー５１の穴と、シリン
ダー５１内に設けられたピストン５２と、ピストン５２
の周面に設けられた０リング５３とよりなる。

しかして、シリンダー５１．ピストン５２と０リング５
３とにより第１．第２連通溝５４，５５が構成される。

第１連通湧５４は、通常は接続孔４３を連通し、第２連
通溝５５は、通常は接続孔４４を連通ずる。

ゼロ点調節時には、第１．第２連通溝５４，５５はピス
トン５２の軸方向に摺動され２個の接続孔４３．４４の
それぞれの連通を切り、第１の連通溝５４により接続孔
４３の受圧室４１１１１！！Ｉと接続孔４４の受圧室４
１（Ｆｌとを連通し、第２の連通溝５５により接続孔４
３の受圧接続口４５側と接続孔４４の受圧接続口４５１
１！ｌとを連通するピストンシリンダ弁である。

６は第１図に示すごとく、差圧センサ部１を覆って、ベ
ースブロック４に取付けれたカバーである。

６１はカバー６に取付けられ、電子部品の取付けられた
グリント板ユニットである。

１０１．１０２は、測定室１４．１５、導圧管２、シー
ル室３２とで構成される２個の室に封入される封入液で
ある。この場合はシリコンオイルが用いられている。

以上の構成において、通常は、接続孔４３．４４はそれ
ぞれ連通されているので、本体１１の左右から、測定圧
力が加わり、測定ダイアフラム１３は測定圧力の差圧に
よって変位する。測定ダイアフラム１３の変位によって
、固定型［ｘ１３３゜１３４と測定ダイアフラム１３と
の静電容量が差動的に変化し、差圧に対応した電気信号
出力が得られる。

装置の両側定入力を均圧にし、装置のゼロ点を調整する
には、第４図に示すごとく、第１．第２連通清５４．５
５はピストン５２の軸方向に摺動し、２個の接続孔４３
．４４のそれぞれの連通を切り、第１の連通溝５４によ
り接続孔４３の受圧室４１ｆｆｌＩと接続孔４４の受圧
室４１（１！Ｉとを連通し、第２の連通溝５５により接
続孔４３の受圧接続口４５１１１１と接続孔４４の受圧
接続口４５側とを連通してから装置のゼロ点を調整する この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と切換弁を一体に構成でき
たので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と切換弁間の配管か不要に
なる。

（３）差圧センサ部１は、導圧管２によりベースブロッ
ク４から離されて空気中に支持されているので、測定流
体が高温であっても、測定流体の温度の影響を受けに＜
＜、測定可能温度範囲の広い装置が得られる。

（４）入力回路の切換えは、ピストン５２を、摺動すれ
ばよいので、フンタッチで出来る。

（５）ピストンシリンダー弁５は、円柱状のシリンダー
５１の穴と、円柱状のピストン５１とＯリング５３とで
構成されるので、安価に作ることが出来る。

（６）装置のゼロ点を調節時には、第１の連通溝５４に
より接続孔４３の受圧室４１（Ｉｌと接続孔４４の受圧
室４１側とを連通し、第２の連通溝５５により接続孔４
３の受圧接続口４５１Ｆｌと接続孔４４の受圧接続口４
５側とを連通してから装置のゼロ点を調節するので、測
定圧の変動の影響を受けず、ゼロ点の調節を容易に、か
つ、正確に行うことが出来る。

（７）絶縁膜１．３１，１３２として、セラミックスの
溶射膜を用いているので、極めて薄くできるのに、本体
１１を大きく挾る必要はなく、本体１１の強度を上げる
ことが出来るので、本体１１を小形化でき、装置全体を
小形化できる。

なお、前述の実施例においては、ピストンシリンダー弁
は、マニアル操作のものについて説明したが、電磁弁等
を使用したリモート式の弁でも良いことは勿論である。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明は、過大圧保護機構を具備
する差圧センサ部と、該差圧センサ部に一端がそれぞれ
接続され測定圧を導圧する導圧管と、該導圧管の他端が
それぞれ固定される受圧ブロックと、該受圧ブロックの
外側面に設けられ該受圧ブロックと前記導圧管と連通す
るシール室を構成するシールダイアフラムと、前記受圧
ブロックが取付けられ該シールダイアフラムと受圧室を
構成する凹部を有するベースブロックと、該ベースブロ
ックに設けられ前記受圧室に一端が連通され他端が外部
に受圧接続口として開口する２個の接続孔と、前記ベー
スブロックに設けられピストン本体の周面に設けられた
２個の連通溝の各々により通常は該接続孔の各々を連通
しゼロ点調節時には前記連通溝を前記ピストンの軸方向
に摺動して該２個の接続孔のそれぞれの連通を切り一方
の連通溝により該一方の接続孔の前記受圧室側と該他方
の接続孔の前記受圧室側とを達通し他方の連通溝により
該一方の接続孔の前記受圧接続口側と該他方の接続孔の
前記受圧接続口側とを連通するストンシリンダ弁とを具
備してなる差圧測定装置を構成しな。

この結果、 （１）差圧測定装置本体部分と切換弁を一体に構成でき
なので、ボルト、本体フランジ、取付はブラケット等が
不要となり、小型、軽量、コストダウンが図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と切換弁間の配管が不要に
なる。

（３）差圧センサ部は、等圧管によりベースブロックか
ら離されて空気中に支持されているので、測定流体が高
温であっても、測定流体の温度の影響を受けにくく測定
可能温度範囲の広い装置が得られる。

（４）入力回路の切換えは、ピストンを、摺動すればよ
いので、ワンタッチで出来る。

〈５）ピストンシリンダー弁は、円柱状のシリンダーの
穴と、円柱状のピストンとＯリングとで構成されるので
、安価に作ることが出来る。

（６）装置のゼロ点の調節時には、２個の連通溝を摺動
して、２個の接続孔のそれぞれの連通を切り、一方の連
通溝により一方の接続孔の受圧室側と他方の接続孔の受
圧室側とを連通し、他方の連通溝により一方の接続孔の
受圧接続口側と他方の接続孔の受圧接続口側とを連通し
てから装置のゼロ点を調節するので、測定圧の変動の影
響を受けず、ゼロ点の調節を容易に、かつ、正確に行う
ことが出来る。

従って、本発明によれば、小型軽量化、配管等の部品の
不要化等によりコストダウンが図れ、入力回路の切り換
えの容易で安価で、ゼロ点調節が安定かつ正確に調節出
来る差圧測定装置を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図、第２図、
第３図、第４図は第１図の要部構成説明図、第５図は従
来より一般に使用されている従来例の構成説明図である
。 １・・・差圧センサ部、１０１，１０２．・・・封入液
、１１・・・本体、１２・・・内部室、１３・・・測定
ダイアフラム、１３１．１３２・・・絶縁膜、１３３．
１３４・・・固定電極、１４．１５・・・測定室、２・
・・導圧管、３・・・受圧ブロック、３１・・・シール
ダイアフラム、３２・・・シール室、４・・・ベースブ
ロック、４１・・・受圧室、４２・・・凹部、４３．４
４・・・接続孔、４５・・・受圧接続口、５・・・ピス
トンシリンダー弁、５１・・・シリンダー　５２・・・
ピストン、５３・・・０リング、５４・・・第１連通溝
、５５・・・第２連通溝、６・・・カバ、６１・・・プ
リント板ユニット。 第 図 １１二本体 第 図 ５４゛連通４ 弔　ｉ　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 過大圧保護機構を具備する差圧センサ部と、該差圧セン
   サ部に一端がそれぞれ接続され測定圧を導圧する導圧管
   と、該導圧管の他端がそれぞれ固定される受圧ブロック
   と、該受圧ブロックの外側面に設けられ該受圧ブロック
   と前記導圧管と連通するシール室を構成するシールダイ
   アフラムと、前記受圧ブロックが取付けられ該シールダ
   イアフラムと受圧室を構成する凹部を有するベースブロ
   ックと、該ベースブロックに設けられ前記受圧室に一端
   が連通され他端が外部に受圧接続口として開口する２個
   の接続孔と、前記ベースブロックに設けられピストン本
   体の周面に設けられた２個の連通溝の各々により通常は
   該接続孔の各々を連通しゼロ点調節時には前記連通溝を
   前記ピストンの軸方向に摺動して該２個の接続孔のそれ
   ぞれの連通を切り一方の連通溝により該一方の接続孔の
   前記受圧室側と該他方の接続孔の前記受圧室側とを連通
   し他方の連通溝により該一方の接続孔の前記受圧接続口
   側と該他方の接続孔の前記受圧接続口側とを連通するピ
   ストンシリンダ弁とを具備してなる差圧測定装置。