JPH02236128A - 熱画像作成装置 - Google Patents
熱画像作成装置Info
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- JPH02236128A JPH02236128A JP1137600A JP13760089A JPH02236128A JP H02236128 A JPH02236128 A JP H02236128A JP 1137600 A JP1137600 A JP 1137600A JP 13760089 A JP13760089 A JP 13760089A JP H02236128 A JPH02236128 A JP H02236128A
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- Japan
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/34—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N15/00—Thermoelectric devices without a junction of dissimilar materials; Thermomagnetic devices, e.g. using the Nernst-Ettingshausen effect
- H10N15/10—Thermoelectric devices using thermal change of the dielectric constant, e.g. working above and below the Curie point
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- Radiation Pyrometers (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は熱画像作成装置に関し、特に赤外線に応答する
パイロ電気性検知要素のアレイを具備した熱画像作成装
置に関する。
パイロ電気性検知要素のアレイを具備した熱画像作成装
置に関する。
既存の熱画像作成装置の性能を制限する主な要因は隣接
検知要素間および各検知要素と支持および呼びかけ構造
との間の熱伝導である。
検知要素間および各検知要素と支持および呼びかけ構造
との間の熱伝導である。
英国特許出願第２１６３５９６Ａ号には、一方の主表面
上に共通電極を、そして他方の主表面上に信号電極構造
を担持した強誘電体スラブよりなる熱画像作成装置が開
示されている。その信号電極構造は電気的導体によって
信号処理手段の電極に接続されている。隣接導体間の横
方向の熱伝導は、熱的絶縁材よりなる各ビラーの穴に各
導体を入れ込むことによって軽減される。それらのピラ
ーは強誘電体スラブを支持する。
上に共通電極を、そして他方の主表面上に信号電極構造
を担持した強誘電体スラブよりなる熱画像作成装置が開
示されている。その信号電極構造は電気的導体によって
信号処理手段の電極に接続されている。隣接導体間の横
方向の熱伝導は、熱的絶縁材よりなる各ビラーの穴に各
導体を入れ込むことによって軽減される。それらのピラ
ーは強誘電体スラブを支持する。
本発明のひとつの目的はこのようなピラーの使用を回避
した熱画像作成装置を提供することである。
した熱画像作成装置を提供することである。
本発明によれば、パイロ電気性物質よりなる層と、この
層の一方の主表面上に担持された個別電極のアレイと、
前記層および個別電極とともにパイロ電気性検知要素の
アレイを画成するように前記層の他方の主表面上に担持
されて相互接続された電極のアレイと、前記層の前記一
方の主表面上に担持された導電性接点のアレイを具備し
、各接点が細長い導電性ストリップによって該当する個
別電極に接続され、少なくとも１つの接点をそれぞれ担
持した前記層の部分とそれに関連した導電性ストリップ
の一部分が舌片となされ、その舌片が前記層の主要部分
にそれの周囲の一部分だけに沿って付着され、前記舌片
の自由端部が前記層の平面から引出され、各接点が信号
処理手段の該当する入力に電気的に接続されている熱画
像作成装置が提供される。
層の一方の主表面上に担持された個別電極のアレイと、
前記層および個別電極とともにパイロ電気性検知要素の
アレイを画成するように前記層の他方の主表面上に担持
されて相互接続された電極のアレイと、前記層の前記一
方の主表面上に担持された導電性接点のアレイを具備し
、各接点が細長い導電性ストリップによって該当する個
別電極に接続され、少なくとも１つの接点をそれぞれ担
持した前記層の部分とそれに関連した導電性ストリップ
の一部分が舌片となされ、その舌片が前記層の主要部分
にそれの周囲の一部分だけに沿って付着され、前記舌片
の自由端部が前記層の平面から引出され、各接点が信号
処理手段の該当する入力に電気的に接続されている熱画
像作成装置が提供される。
このようにして、検知要素と信号処理手段との間には個
別ののビラーを用いることなしに電気的接続が行なわれ
る。
別ののビラーを用いることなしに電気的接続が行なわれ
る。
この装置におけるパイロ電気性物質は、本質的にパイロ
電気性の物質、あるいは（例えば強誘電体物質の適当な
ポーリング（ｐｏｌｉｎｇ）により）パイロ電気特性が
誘起される物質よりなりうる。適当な本質的にパイロ電
気性物質はフッ化ポリビニリデン（ＰＶＤＦ） 、ある
いはフッ化ビニリデンと例えばトリフルオロエチレンと
の共重合体である。あるいは、可撓性の基板上に沈積さ
れたパイロ電気性ラングミュア・プロジェット （Ｌａｎｇｍｕｉｒ−Ｂｌｏｄｇｅｔｔ）膜が用いられ
得る。
電気性の物質、あるいは（例えば強誘電体物質の適当な
ポーリング（ｐｏｌｉｎｇ）により）パイロ電気特性が
誘起される物質よりなりうる。適当な本質的にパイロ電
気性物質はフッ化ポリビニリデン（ＰＶＤＦ） 、ある
いはフッ化ビニリデンと例えばトリフルオロエチレンと
の共重合体である。あるいは、可撓性の基板上に沈積さ
れたパイロ電気性ラングミュア・プロジェット （Ｌａｎｇｍｕｉｒ−Ｂｌｏｄｇｅｔｔ）膜が用いられ
得る。
その層は適当に可撓性の膜である。
導電性ストリップの長さと幅の比は少なくとも５である
ことが好ましい。
ことが好ましい。
個別の電極と接点のアレイが互に間に入れられることが
好ましい。
好ましい。
各舌片は２つの接点を担持している。
他の舌片が層に形成されるこができ、この他の舌片は接
点を担持した舌片とは反対の方向に層の平面から切り出
され、２つの組の舌片がパイロ電気性検知器アレイをハ
ウジング内に位置づけるために用いられる。
点を担持した舌片とは反対の方向に層の平面から切り出
され、２つの組の舌片がパイロ電気性検知器アレイをハ
ウジング内に位置づけるために用いられる。
個別の電極を集積回路に接続するために薄いパイロ電気
性膜と長くて狭い導体を用いることにより、各ピクセル
から集積回路上の該当する入力パッドへの熱伝導が小さ
くなされる。
性膜と長くて狭い導体を用いることにより、各ピクセル
から集積回路上の該当する入力パッドへの熱伝導が小さ
くなされる。
以下本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第１図および第２図に示された第１の装置では、例えば
ＰＶＤＦのパイロ電気性膜２ｌが一方の表面上に形成さ
れた相互に接続された金電極２２のパターンと、他方の
表面上に形成された個別電極２３のパターンを有する。
ＰＶＤＦのパイロ電気性膜２ｌが一方の表面上に形成さ
れた相互に接続された金電極２２のパターンと、他方の
表面上に形成された個別電極２３のパターンを有する。
膜２１、相互接続された電極２２および個別電極２３は
バイロ電気性検知要素のアレイを画成する。個別電極２
３間の膜２１の表面上には、導電性パッチ２４の間に入
れ込まれたパターンが形成されている。各個別電極２３
は長くて狭い導電体２５によってそれぞれのパッチ２４
に接続され、導体２５は隣接した個別電極２３の間を通
っている。各パッチ２４のまわりには該当導電体２５の
両側にそって膜２ｌにスリット２６が切込まれており、
それによって膜の平面から引出された膜の舌片またはス
トリッブ２７を形成している。それぞれの舌片２７の端
部における各パッチ２４は集積回路２９の入力パッド２
８に接合され、その集積回路は装置の使用時にパイロ電
気性検知要素によって発生された電気信号の処理を行な
う。必要に応じて、スリット２６には、３０で示されて
いるように、ストリップを広げるために端部にフレアを
つけられ、それによりそのフレアをつけられた領域３０
の両側における隣接したパイロ電気性要素間の熱伝導を
減少させるようにすることができる。膜２１と集積回路
２９は適当なスベーサ（図示せず）によって離間されて
いる。
バイロ電気性検知要素のアレイを画成する。個別電極２
３間の膜２１の表面上には、導電性パッチ２４の間に入
れ込まれたパターンが形成されている。各個別電極２３
は長くて狭い導電体２５によってそれぞれのパッチ２４
に接続され、導体２５は隣接した個別電極２３の間を通
っている。各パッチ２４のまわりには該当導電体２５の
両側にそって膜２ｌにスリット２６が切込まれており、
それによって膜の平面から引出された膜の舌片またはス
トリッブ２７を形成している。それぞれの舌片２７の端
部における各パッチ２４は集積回路２９の入力パッド２
８に接合され、その集積回路は装置の使用時にパイロ電
気性検知要素によって発生された電気信号の処理を行な
う。必要に応じて、スリット２６には、３０で示されて
いるように、ストリップを広げるために端部にフレアを
つけられ、それによりそのフレアをつけられた領域３０
の両側における隣接したパイロ電気性要素間の熱伝導を
減少させるようにすることができる。膜２１と集積回路
２９は適当なスベーサ（図示せず）によって離間されて
いる。
第３図および第４図に示された第２の装置では、前記第
１の装置に対応する部分は同一符号で示されている。パ
イロ電気性膜２１は一側に形成された相互に接続された
電極２２のパターンと、他側に形成された複数の対の個
別電極２３ａ，２３ｂと導電性パッチ２４ａ，２４ｂの
パターンを有している。各個別電極２３ａまたは２３ｂ
は、隣接した電極２３ａまたは２３ｂの間を通るそれぞ
れの導電体２５ａまたは２５ｂによってそれぞれのパッ
チ２４ａまたは２４ｂに接続されている。しかし、第２
の装置は、各対のパッチ２４ａ，２４ｂのまわりにおい
て該当する対の導体２５ａ，２５ｂの両側に沿って膜に
スリット２６が切込まれ、それによって膜の平面から引
出されたストリップ２７を形成している点で第１の装置
と異なる。各パッチ２４ａまたは２４ｂは集積回路２９
のそれぞれの入力パッド２８ａまたは２８ｂに接着され
ている。隣接した対の個別電極の間で膜に他のスリッ｝
４１が形成されてもよく、それらのスリットは集積回路
２９から遠隔の膜の側において膜の平面から引出されか
つ透明のカバープレート４３に付着されたストリップ４
２を形成するようにＵ字状をなしている。これらのスリ
ット４ｌは、３０で示されているように、ストリップを
広げるように個別電極２３ａまたは２３ｂに隣接した端
部においてフレアをつけられており、それによってその
フレアをつけられた領域３０の両側における隣接したパ
イロ電気性検知要素間の熱伝導を減少させるようになさ
れている。膜２ｌは適当なスペーサ（図示せず）によっ
て集積回路２９からおよびカバーガラス４３から離間さ
れている。ストリップ２７およびストリップ４２の組合
せはカバープレート４３からと各パイロ電気性検知要素
の集積回路２９から等しい間隔を維持するように作用す
る。
１の装置に対応する部分は同一符号で示されている。パ
イロ電気性膜２１は一側に形成された相互に接続された
電極２２のパターンと、他側に形成された複数の対の個
別電極２３ａ，２３ｂと導電性パッチ２４ａ，２４ｂの
パターンを有している。各個別電極２３ａまたは２３ｂ
は、隣接した電極２３ａまたは２３ｂの間を通るそれぞ
れの導電体２５ａまたは２５ｂによってそれぞれのパッ
チ２４ａまたは２４ｂに接続されている。しかし、第２
の装置は、各対のパッチ２４ａ，２４ｂのまわりにおい
て該当する対の導体２５ａ，２５ｂの両側に沿って膜に
スリット２６が切込まれ、それによって膜の平面から引
出されたストリップ２７を形成している点で第１の装置
と異なる。各パッチ２４ａまたは２４ｂは集積回路２９
のそれぞれの入力パッド２８ａまたは２８ｂに接着され
ている。隣接した対の個別電極の間で膜に他のスリッ｝
４１が形成されてもよく、それらのスリットは集積回路
２９から遠隔の膜の側において膜の平面から引出されか
つ透明のカバープレート４３に付着されたストリップ４
２を形成するようにＵ字状をなしている。これらのスリ
ット４ｌは、３０で示されているように、ストリップを
広げるように個別電極２３ａまたは２３ｂに隣接した端
部においてフレアをつけられており、それによってその
フレアをつけられた領域３０の両側における隣接したパ
イロ電気性検知要素間の熱伝導を減少させるようになさ
れている。膜２ｌは適当なスペーサ（図示せず）によっ
て集積回路２９からおよびカバーガラス４３から離間さ
れている。ストリップ２７およびストリップ４２の組合
せはカバープレート４３からと各パイロ電気性検知要素
の集積回路２９から等しい間隔を維持するように作用す
る。
相互に接続された電極２２は例えばブラックゴールドの
層のような赤外線吸収層（図示せず）によって覆われて
いる。これらの電極間の相互接続は狭くて細くなければ
ならず、それらの長さを増大させるために蛇行状（ｍｅ
ａｎｄｅｒｅｄ）になされることが好ましい。それらは
接地されなければならない。
層のような赤外線吸収層（図示せず）によって覆われて
いる。これらの電極間の相互接続は狭くて細くなければ
ならず、それらの長さを増大させるために蛇行状（ｍｅ
ａｎｄｅｒｅｄ）になされることが好ましい。それらは
接地されなければならない。
本発明の実施例は図示されかつ説明された電極の特定の
形状に限定されるものではない。従って、それらの電極
は複雑な形状を有し得るものであり、有益な形態では、
電極の形状は装置の等温抵抗輪郭に合致し、接地に対す
る熱抵抗が比較的高い値（それの最高値であることが好
ましい）を有する領域内に電極が位置決めされるように
なされる。
形状に限定されるものではない。従って、それらの電極
は複雑な形状を有し得るものであり、有益な形態では、
電極の形状は装置の等温抵抗輪郭に合致し、接地に対す
る熱抵抗が比較的高い値（それの最高値であることが好
ましい）を有する領域内に電極が位置決めされるように
なされる。
例えばパイロ電気性重合体のようなパイロ電気性物質の
可撓性膜でパイロ電気性層を形成するのが特に好都合で
あるが、本発明はパイロ電気性物質の層がたとえばポリ
ミドよりなる可撓性基板上に出持されたパイロ電気性物
質の個別領域のアレイよりなる複合層である装置にも適
用されうる。
可撓性膜でパイロ電気性層を形成するのが特に好都合で
あるが、本発明はパイロ電気性物質の層がたとえばポリ
ミドよりなる可撓性基板上に出持されたパイロ電気性物
質の個別領域のアレイよりなる複合層である装置にも適
用されうる。
舌片は可撓性基板の領域で形成されるか、それは必ずし
もパイロ電気性領域を担持しない。
もパイロ電気性領域を担持しない。
第１図は個別電極を担持したパイロ電気性層の表面を示
す第１の装置の一部分の概略断面図、第２図は第１図の
ＡＡ’における部分の正面図、第３図は個別電極を担持
したパイロ電気性層の表面を示す第２の装置の一部分の
概略断面図、第４図は第３図のＡＡにおける部分の正面
図である。 図面において、２１はパイロ電気性膜、２２は相互接続
された電極、２３は個別電極、２４はバッチ、２５は導
体、２６はスリット、２７は舌片またはストリップ、２
８は入力パッド、２９は集積回路をそれぞれ示す。
す第１の装置の一部分の概略断面図、第２図は第１図の
ＡＡ’における部分の正面図、第３図は個別電極を担持
したパイロ電気性層の表面を示す第２の装置の一部分の
概略断面図、第４図は第３図のＡＡにおける部分の正面
図である。 図面において、２１はパイロ電気性膜、２２は相互接続
された電極、２３は個別電極、２４はバッチ、２５は導
体、２６はスリット、２７は舌片またはストリップ、２
８は入力パッド、２９は集積回路をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、パイロ電気性物質よりなる層と、この層の一方の主
表面上に担持された個別電極のアレイと、前記層および
個別電極とともにパイロ電気性検知要素のアレイを画成
するように前記層の他方の主表面上に担持されて相互接
続された電極のアレイと、前記層の前記一方の主表面上
に担持された導電性接点のアレイを具備し、各接点が細
長い導電性ストリップによって該当する個別電極に接続
され、少なくとも１つの接点をそれぞれ担持した前記層
の部分とそれに関連した導電性ストリップの一部分が舌
片となされ、その舌片が前記層の主要部分にそれの周囲
の一部分だけに沿って付着され、前記舌片の自由端部が
前記層の平面から引出され、各接点が信号処理手段の該
当する入力に電気的に接続されている熱画像作成装置。 ２、前記個別電極および接点のアレイが互に入れ込まれ
ている請求項１の装置。 ３、各舌片が２箇の接点を担持している請求項１〜２の
装置。 ４、前記層に他の舌片が形成され、その他の舌片が接点
を担持した前記舌片とは反対の方向に前記層の平面から
引出され、２つの組の舌片がパイロ電気性検知器アレイ
をハウジング内に位置決めする請求項１〜３の装置。 ５、前記舌片または前記他の舌片には前記層の主要部分
に付着された端部に拡大部分が形成されている請求項１
〜４の装置。 ６、前記層が可撓性膜である請求項１〜５の装置。 ７、前記パイロ電気性物質がフッ化ポリビニリデンまた
はビニリデンの共重合体である請求項６の装置。 ８、前記層が可撓性基板上に担持されたパイロ電気性物
質よりなる層である請求項１〜７の装置。 ９、前記舌片の少なくとも一部分がパイロ電気性物質を
担持していない請求項８の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB8812958.0 | 1988-06-01 | ||
| GB888812958A GB8812958D0 (en) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | Thermal imaging |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02236128A true JPH02236128A (ja) | 1990-09-19 |
Family
ID=10637884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1137600A Pending JPH02236128A (ja) | 1988-06-01 | 1989-06-01 | 熱画像作成装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4942301A (ja) |
| EP (1) | EP0345050B1 (ja) |
| JP (1) | JPH02236128A (ja) |
| AT (1) | ATE104472T1 (ja) |
| CA (1) | CA1323902C (ja) |
| DE (1) | DE68914507T2 (ja) |
| GB (1) | GB8812958D0 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5485010A (en) * | 1994-01-13 | 1996-01-16 | Texas Instruments Incorporated | Thermal isolation structure for hybrid thermal imaging system |
| US5602391A (en) * | 1995-02-23 | 1997-02-11 | Hughes Electronics | Quincunx sampling grid for staring array |
| US5744801A (en) * | 1995-11-03 | 1998-04-28 | Servo Corporation Of America | Earth horizon sensor with staggered array of sensors |
| TW346688B (en) * | 1996-04-15 | 1998-12-01 | Matsushita Electric Works Ltd | Pyroelectric-type IR receiving element and IR sensor using the same |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4060729A (en) * | 1976-12-10 | 1977-11-29 | Martin Marietta Corporation | Pyroelectric detector with decreased susceptibility to vibrational noise |
| US4214165A (en) * | 1979-02-21 | 1980-07-22 | Hughes Aircraft Company | Pyroelectric IR detector with signal capacitively coupled to an output circuit |
| GB2100058B (en) * | 1981-06-05 | 1985-03-20 | Philips Electronic Associated | Pyroelectric detector |
| US4660066A (en) * | 1982-09-08 | 1987-04-21 | Texas Instruments Incorporated | Structure for packaging focal plane imagers and signal processing circuits |
| US4532424A (en) * | 1983-04-25 | 1985-07-30 | Rockwell International Corporation | Pyroelectric thermal detector array |
| GB2163596B (en) * | 1984-08-24 | 1988-02-03 | Philips Electronic Associated | A thermal imaging device and a method of manufacturing a thermal imaging device |
| US4732717A (en) * | 1985-10-11 | 1988-03-22 | Sumitomo Bakelite Company Limited | Process for producing piezo-electric or pyro-electric composite sheet |
| US4754139A (en) * | 1986-04-10 | 1988-06-28 | Aerojet-General Corporation | Uncooled high resolution infrared imaging plane |
-
1988
- 1988-06-01 GB GB888812958A patent/GB8812958D0/en active Pending
-
1989
- 1989-05-31 DE DE68914507T patent/DE68914507T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-05-31 EP EP89305499A patent/EP0345050B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-05-31 CA CA000601286A patent/CA1323902C/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-05-31 AT AT89305499T patent/ATE104472T1/de not_active IP Right Cessation
- 1989-06-01 JP JP1137600A patent/JPH02236128A/ja active Pending
- 1989-06-01 US US07/359,882 patent/US4942301A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE68914507T2 (de) | 1994-10-20 |
| GB8812958D0 (en) | 1988-10-05 |
| EP0345050A3 (en) | 1990-10-03 |
| DE68914507D1 (de) | 1994-05-19 |
| US4942301A (en) | 1990-07-17 |
| ATE104472T1 (de) | 1994-04-15 |
| EP0345050B1 (en) | 1994-04-13 |
| CA1323902C (en) | 1993-11-02 |
| EP0345050A2 (en) | 1989-12-06 |
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