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JPH02123359A - Photosensitive resin composition and photosensitive element - Google Patents

Photosensitive resin composition and photosensitive element

Info

Publication number
JPH02123359A
JPH02123359A JP27689888A JP27689888A JPH02123359A JP H02123359 A JPH02123359 A JP H02123359A JP 27689888 A JP27689888 A JP 27689888A JP 27689888 A JP27689888 A JP 27689888A JP H02123359 A JPH02123359 A JP H02123359A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive resin
resin composition
parts
equivalent
photosensitive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP27689888A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsunori Tsuchiya
勝則 土屋
Tadashi Fujii
正 藤井
Katsushige Tsukada
塚田 勝重
Nobuyuki Hayashi
信行 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP27689888A priority Critical patent/JPH02123359A/en
Publication of JPH02123359A publication Critical patent/JPH02123359A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)

Abstract

PURPOSE:To form a solder mask having high resolution, high heat resistance and high flexibility by using a specified photosensitive resin compsn. and developing with a flame retardant developer consisting primarily of 1,1,1-trichloroethane. CONSTITUTION:A specified photosensitive resin compsn. is constituted of an unsatd. compd. obtd. by allowing 0.01-0.5 equiv. isocyanate ethyl methacrylate to react with 1 equiv. of OH group of a bisphenol A type epoxy resin, an unsatd. compd. obtd. by allowing a novolak type epoxy resin to react with an unsatd. carboxylic acid in a range of 0.01-0.7 ratio of acid equiv./epoxy equiv., and a sensitizer and/or a sensitizing system which generates free radicals by the effect of active rays. Thus, formation of a thick film picture image has become possible, and a solder mask having high reliability of high resolution, high heat resistance and high blanking workability is formed using a developer consisting primarily of a flame retardant solvent such as 1,1,1- trichloroethane, etc.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、印刷配線板製造、金属精密加工等に使用され
る保護膜形成用の感光性樹脂組成物に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a photosensitive resin composition for forming a protective film used in printed wiring board manufacturing, metal precision processing, and the like.

(従来の技術) 従来、印刷配線板業界において、ソルダマスク。(Conventional technology) Traditionally, solder masks have been used in the printed wiring board industry.

化学めっき用レジスト等に使用可能な優れた特性を有す
る感光性樹脂組成物が知られている。
Photosensitive resin compositions having excellent properties that can be used as resists for chemical plating and the like are known.

ソルダマスクの主な目的は、ハンダ付は時のノ\ンダ付
は領域を限定し、ハンダブリッジ等を防ぐこと、裸の銅
導体の腐蝕を防止することおよび長期にわたって導体間
の電気絶縁性を保持することである。
The main purpose of a solder mask is to limit the area during soldering, prevent solder bridging, etc., prevent corrosion of bare copper conductors, and maintain electrical insulation between conductors over a long period of time. It is to be.

ところで、通常ソルダマスクとしては、エポキシ樹脂、
アミノプラスト樹脂等の熱硬化性樹脂を主成分とする印
刷マスクが用いられている。
By the way, solder masks are usually made of epoxy resin,
Printed masks whose main component is a thermosetting resin such as aminoplast resin are used.

しかしながら、近年、印刷配線板の配線密度が高まると
ともに導体間の電気絶縁性の要求も激しくなり、それに
用いるソルダマスクも厚膜で寸法精度の優れたものが要
求され、スクリーン印刷方式のものでは対処できなくな
っている。
However, in recent years, as the wiring density of printed wiring boards has increased, the requirements for electrical insulation between conductors have also become more severe, and the solder masks used therein are also required to be thick and have excellent dimensional accuracy, which screen printing methods cannot meet. It's gone.

そこで、写真法(像的露光に続く現像により画像を形成
する方法)で厚膜(通當導体上25μmか望まれている
)、かつ・J法精度の優れた胃信頼性のソルダマスクを
形成することのできる感光性樹脂組成物の出現が望まれ
ている。
Therefore, we used a photographic method (a method in which an image is formed by imagewise exposure followed by development) to form a solder mask that is thick (desirably 25 μm thick on the conductor) and has excellent J-method accuracy and reliability. It is desired that a photosensitive resin composition that can be used as a photosensitive resin composition.

また、ソルダマスクが形成された印刷配線板は、打ち抜
き機によって最終的に必要とされる寸法に打ち抜かれる
。このため、打ち抜き時の衝撃に耐性を有する、可撓性
のあるソルダマスクを形成できる感光性樹脂組成物であ
ることが望まれている。
Further, the printed wiring board on which the solder mask has been formed is punched out to the final required size by a punching machine. Therefore, a photosensitive resin composition that can form a flexible solder mask that is resistant to impact during punching is desired.

ところで、従来、ソルダマスク形成用感光性樹脂組成物
としては、例えば、 (1)アクリル系ポリマーおよび光重合性モノマーを主
成分とする感光性樹脂組成物(特開昭53−56018
号公報、特開昭54−1018号公報等)、 (2)主鎖にカルコン基を何する感光性エポキシ樹脂お
よびエポキシ樹脂硬化剤を主成分とする耐熱性の良好な
感光性樹脂組成物(特開昭54−82073号公報、特
開昭58−62636号公報等)、 (3)、エポキシ基を含有するノボラック型エポキシア
クリレ−1・および光重合開始剤を主成分とする厚膜硬
化可能なソルダマスク形成用感光性樹脂組成物(特開昭
61−272号公報等)が知られている。
By the way, conventionally, as a photosensitive resin composition for forming a solder mask, for example, (1) a photosensitive resin composition containing an acrylic polymer and a photopolymerizable monomer as main components (JP-A-53-56018
(2) A photosensitive resin composition with good heat resistance containing as main components a photosensitive epoxy resin having a chalcone group in its main chain and an epoxy resin curing agent ( JP-A No. 54-82073, JP-A No. 58-62636, etc.), (3) Thick film curing whose main components are novolac type epoxy acrylate-1 containing epoxy groups and a photopolymerization initiator. A possible photosensitive resin composition for forming a solder mask (Japanese Patent Application Laid-open No. 61-272, etc.) is known.

(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上記(1)の感光性樹脂組成物によって
は、フィルム性付与のためアクリル系ポリマーを多量に
使用しているため、硬化被膜の耐熱性が十分でなく、ま
た打ち抜き加工時に硬化被膜にクラックが発生するとい
う問題点があった。
(Problem to be Solved by the Invention) However, depending on the photosensitive resin composition of (1) above, a large amount of acrylic polymer is used to impart film properties, so the heat resistance of the cured film may not be sufficient. Additionally, there was a problem in that cracks occurred in the hardened film during punching.

また上記(2)の耐熱性の良好な感光性樹脂組成物にあ
っては、打ち抜き加工性には優れているが、光二量化型
感光性樹脂組成物は感度が低いため、厚膜のレジスト形
成が困難であり、さらに現像液としてシクロヘキサノン
等の可燃性有機溶剤を使用する必要があるため安全上も
好ましくないという問題点があった。
In addition, although the above photosensitive resin composition (2) with good heat resistance has excellent punching processability, the photodimerizable photosensitive resin composition has low sensitivity, so it is difficult to form a thick resist film. Furthermore, since it is necessary to use a flammable organic solvent such as cyclohexanone as a developer, it is not desirable from a safety standpoint.

さらに、上記(3)の感光性樹脂組成物にあっては、耐
熱製には優れているが、打ち抜き時に硬化被膜にクラッ
クが発生し易く、電気絶縁性の低下を招くという問題点
かあった。
Furthermore, although the photosensitive resin composition of (3) above has excellent heat resistance, it has the problem that cracks tend to occur in the cured film during punching, leading to a decrease in electrical insulation properties. .

本発明は、」1記問題点に鑑み、1. 1. 11−リ
クロルエタン等の難燃性現像液により現像でき、解像度
および耐熱性にも優れ、さらに打ち抜き加工時の衝撃に
も耐性を有する可撓性のある高信頼性ソルダマスクを形
成することのできる感光製樹脂組成物およびこれを用い
た感光性エレメントを提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the problems mentioned in section 1.1. 1. A photosensitive material that can be developed with a flame-retardant developer such as 11-lychloroethane, has excellent resolution and heat resistance, and can form a flexible and highly reliable solder mask that is resistant to impact during punching. The present invention aims to provide a resin composition and a photosensitive element using the same.

(課題を解決するための手段) 本発明は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂のヒドロキ
シル基1当量に対して0.01〜0. 5当量のイソシ
アナートエチルメタクリレートを反応させて得られる不
飽和化合物(A)、ノボラック型エポキシ樹脂と不飽和
カルボン酸とを酸当量/エポキシ当量比が0.01〜0
. 7の範囲で反応させて得られる不飽和化合物(B)
ならびに活性光により遊離ラジカルを生成する増感剤お
よび(または)増感剤系(C)を含有してなる感光性樹
脂組成物およびこれを用いた感光性エレメントに関する
(Means for Solving the Problems) The present invention provides 0.01 to 0.0. An unsaturated compound (A) obtained by reacting 5 equivalents of isocyanatoethyl methacrylate, a novolac type epoxy resin, and an unsaturated carboxylic acid with an acid equivalent/epoxy equivalent ratio of 0.01 to 0.
.. Unsaturated compound (B) obtained by reacting in the range of 7
The present invention also relates to a photosensitive resin composition containing a sensitizer and/or a sensitizer system (C) that generates free radicals by actinic light, and a photosensitive element using the same.

本発明になる感光製樹脂組成物は、必須成分として、ビ
スフェノールA型エポキシ樹脂のヒドロキシル基1当量
に対して0.01〜0.5当量のイソシアナートエチル
メタクリレートを反応させて得られる不飽和加工物(A
)を含有する。
The photosensitive resin composition of the present invention has an unsaturated finish obtained by reacting 0.01 to 0.5 equivalents of isocyanate ethyl methacrylate to 1 equivalent of hydroxyl group of bisphenol A type epoxy resin as an essential component. Things (A
).

ビスフェノールA型エポキシ樹脂はビスフェノールAと
エピクロルヒドリンとの縮合反応により得ることができ
る。
Bisphenol A type epoxy resin can be obtained by a condensation reaction between bisphenol A and epichlorohydrin.

ビスフェノールA型エポキシ樹脂としては、例えば油化
シェルエポキシ(株)製、エピコート1001(軟化点
64℃、ポキン当量450〜500、分子量約900)
1.エピコート1002(軟化点78℃、エポキシ当量
600〜7001分子量約1060)、エピコート10
55 (軟化点93℃、エポキシ当量800〜9001
分子量1350)、エピコート1007 (軟化点12
8℃。
As the bisphenol A type epoxy resin, for example, Epicoat 1001 manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd. (softening point 64°C, poquin equivalent 450-500, molecular weight about 900)
1. Epicote 1002 (softening point 78°C, epoxy equivalent 600-7001 molecular weight approximately 1060), Epicote 10
55 (softening point 93℃, epoxy equivalent 800-9001
molecular weight 1350), Epicote 1007 (softening point 12
8℃.

エポキシ当量1750〜2200.分子量約2900)
、エピコート1009 (軟化点144℃。
Epoxy equivalent: 1750-2200. molecular weight approximately 2900)
, Epicote 1009 (softening point 144°C.

エポキシ当量2400〜3300.分子量約3750)
、エピコート1010 (軟化点〜、エポキン当量30
00〜5000.分丁量約550CI)等が挙げられる
(なお、前記の軟化点、−エポキシ当量および分子量の
値は油化シェルエポキシ(株)樹脂硬化剤エビキュア[
F]、エポメート[F](ls/87.6)に載せられ
ているものを示した)。これらのビスフェノールA型エ
ポキシ樹脂は、重合度が20未満のものであって、常温
で固体のものが好ましい。
Epoxy equivalent: 2400-3300. molecular weight approximately 3750)
, Epicote 1010 (softening point ~, Epoquine equivalent 30
00-5000. (The above softening point, -epoxy equivalent and molecular weight values are from Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.'s resin curing agent Ebicure [
F], Epomate [F] (ls/87.6) shown). These bisphenol A type epoxy resins preferably have a degree of polymerization of less than 20 and are solid at room temperature.

イソシアナートエチルメタクリレートは、次式で示され
る構造を持ち、昭和ロープイア社等から市販(商品名M
OI)されている。
Isocyanatoethyl methacrylate has the structure shown by the following formula and is commercially available from Showa Ropeia Co., Ltd. (trade name M
OI).

CH3 CH2=C−C0O−CH2−CH2−NCOイソシア
ナートエチルメタクリレートは、ビスフェノールA型エ
ポキシ樹脂のヒドロキシル基1当量に対して0.01〜
0.5当量の範囲で使用される。
CH3 CH2=C-C0O-CH2-CH2-NCO isocyanatoethyl methacrylate is 0.01 to 1 equivalent of hydroxyl group of bisphenol A epoxy resin.
It is used in an amount of 0.5 equivalent.

イソシアナートエチルメタクリレ−1・の使用量かC1
,(、)1当量末八では、硬化被膜の物性、例えは耐熱
製、耐溶剤性が十分てない。
Usage amount of isocyanate ethyl methacrylate-1 or C1
, (,) When the equivalent is less than 8, the physical properties of the cured film, such as heat resistance and solvent resistance, are insufficient.

一方、イソシアナートエチルメタクリレートの使用量が
0.5当量を越えると、硬化被膜に可撓製が付与されず
、打ち抜き加工時にクラックが発生する。
On the other hand, if the amount of isocyanate ethyl methacrylate used exceeds 0.5 equivalent, flexibility will not be imparted to the cured film and cracks will occur during punching.

なお、ビスフェノールA型エポキシ樹脂とイソシアナー
トエチルメタクリレートの反応の際、3級アミン、有機
スズ化合物のような反応促進剤を用いると合成時間を短
縮できる。
In addition, when the bisphenol A type epoxy resin and isocyanate ethyl methacrylate are reacted, the synthesis time can be shortened by using a reaction accelerator such as a tertiary amine or an organic tin compound.

また、ゲル化防止のため、重合禁止剤を用いる必要があ
る。
Furthermore, it is necessary to use a polymerization inhibitor to prevent gelation.

次に、本発明になる感光性樹脂組成物は、必須成分とし
てノボラック型エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸とを酸
当量/エポキシ当量比が、0.01〜0.7の範囲で反
応させて得られる不飽和化合物(B)を含有する。
Next, the photosensitive resin composition of the present invention is obtained by reacting a novolac type epoxy resin and an unsaturated carboxylic acid as essential components at an acid equivalent/epoxy equivalent ratio in the range of 0.01 to 0.7. Contains an unsaturated compound (B).

本発明に用いられるノボラック型エポキシ樹脂は、例え
ばオルソクレゾール、フェノール、ハロゲン化フェノー
ル等とアルデヒドを酸触媒の存在下に反応させて1wら
れるノボラック型樹脂のフェノール性水酸基に、アルカ
リの存在下にエピクロルヒドリンを反応させて得られる
もので、商業的にも入手可能である。
The novolak-type epoxy resin used in the present invention is produced by reacting aldehyde with orthocresol, phenol, halogenated phenol, etc. in the presence of an acid catalyst, and adding epichlorohydrin to the phenolic hydroxyl group of the novolak-type resin in the presence of an alkali. It is obtained by reacting and is commercially available.

オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては、
例えばチバ・ガイギー社製、アラルダイトECN129
9 (軟化点99℃、エポキシ当量230) 、ECN
1280 (軟化点80’C、エポキシ当1230) 
、ECN1273 (軟化点73℃、エポキシ当量23
0)、日本化薬(株)製、EOCN104 (軟化点9
0〜1oo℃、エポキシ当ff1225〜245) 、
ECN123 (軟化点80〜90℃、エポキシ当量2
15〜235)、ECN127 当量215〜235)、EOCNlol (軟化点65
〜69°c1エポキシ当量205〜225)等が挙げら
れる。
Orthocresol novolac type epoxy resins include:
For example, Araldite ECN129 manufactured by Ciba Geigy.
9 (softening point 99°C, epoxy equivalent 230), ECN
1280 (softening point 80'C, epoxy 1230)
, ECN1273 (softening point 73°C, epoxy equivalent 23
0), manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., EOCN104 (softening point 9
0~100℃, epoxy ff1225~245),
ECN123 (softening point 80-90℃, epoxy equivalent 2
15-235), ECN127 equivalent weight 215-235), EOCNlol (softening point 65
-69°c1 epoxy equivalent 205-225).

フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば
シェル社製、エピコート154(エポキシ当量176〜
181)、ダウケミカル社製、DEN431  (エポ
キシ当量172〜179)、DEN438(エポキシ当
量175〜182)、東部化成(株)製、YDPN−6
38(エポキシ当量170〜190) 、YDPN−6
01(エポキシ当量180〜220) 、YDPN−6
02(エポキシ当量180〜220)、等が挙げられる
As the phenol novolak type epoxy resin, for example, Epikote 154 (epoxy equivalent: 176 to
181), manufactured by Dow Chemical Company, DEN431 (epoxy equivalent: 172-179), DEN438 (epoxy equivalent: 175-182), manufactured by Tobu Kasei Co., Ltd., YDPN-6
38 (epoxy equivalent 170-190), YDPN-6
01 (epoxy equivalent 180-220), YDPN-6
02 (epoxy equivalent: 180 to 220), and the like.

ハロゲン化フェノールノボラック型エポキシ樹脂として
は、例えば日本化薬(株)製、BREN(エポキシ当量
270〜300、臭素含有m35〜37%、軟化点80
〜90℃)等の臭素化フェノールノボラック型エポキシ
樹脂等が挙げられる。
Examples of the halogenated phenol novolac type epoxy resin include BREN (epoxy equivalent: 270-300, bromine content: 35-37%, softening point: 80%, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.).
Examples include brominated phenol novolak type epoxy resins such as 90°C).

ノボラック型エポキシ樹脂の分子量は5000以下であ
ることが好ましい。
The molecular weight of the novolak epoxy resin is preferably 5,000 or less.

不飽和カルボン酸としては、アクリル酸、メタクリル酸
、β−フリルアクリル酸、β−スチリルアクリル酸、α
−シアノケイ皮酸、ケイ皮酸等か挙げられる。
Examples of unsaturated carboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, β-furylacrylic acid, β-styrylacrylic acid, α
- Examples include cyanocinnamic acid and cinnamic acid.

本発明において、これらのノボラック型エポキシ樹脂と
不飽和カルボン酸との付加反応は、酸当量/エポキシ当
量比が0.01〜0. 7の範囲で7+’; を去によ
り行われる。
In the present invention, the addition reaction between these novolac type epoxy resins and unsaturated carboxylic acids is carried out at an acid equivalent/epoxy equivalent ratio of 0.01 to 0. This is done by leaving 7+'; in the range of 7.

酸当量/エポキシ当量比が0.01未満ては、イメージ
露光後の現像処理により光硬化被膜が膨潤しやすい。
When the acid equivalent/epoxy equivalent ratio is less than 0.01, the photocured film is likely to swell during development treatment after image exposure.

また、酸当量/エポキシ当量比が0. 7を越える場合
には、硬化被膜に可撓性がなく、打抜き時にクラックが
発生する。
Further, the acid equivalent/epoxy equivalent ratio is 0. If it exceeds 7, the cured film will not have flexibility and cracks will occur during punching.

ノボラック型エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との付加
反応物は、例えば上記ノボラック型エポキシ樹脂をメチ
ルエチルケトン、メチルセロソルブアセテート、エチル
セロソルブアセテート、シクロヘキサノン等の不活性有
機溶剤に溶解し、触媒としてl・ジエチルアミノ、トリ
ーn−ブチルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミン等
の3級アミン、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム、
塩化ベンジルトリエチルアンモニウム等の4級アンモニ
ウム塩なとを、また重合禁止剤としてハイドロキノン、
p−メトキシフェノール等を用い、70〜110℃で上
記不飽和カルホン酸と上記の当量比の範囲で撹拌反応さ
せることにより得られる。
The addition reaction product of a novolac type epoxy resin and an unsaturated carboxylic acid can be obtained, for example, by dissolving the above novolac type epoxy resin in an inert organic solvent such as methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, or cyclohexanone, and adding l-diethylamino, Tertiary amines such as tri-n-butylamine and diethylcyclohexylamine, benzyltrimethylammonium chloride,
Quaternary ammonium salts such as benzyltriethylammonium chloride, and hydroquinone as a polymerization inhibitor.
It is obtained by stirring and reacting p-methoxyphenol or the like with the unsaturated carbonic acid at 70 to 110° C. in the equivalent ratio range described above.

本発明になる感光性樹脂組成物は、活性光により遊離ラ
ジカルを生成する増感剤および(または)増感剤系を必
須成分(C)として含有する。
The photosensitive resin composition of the present invention contains as an essential component (C) a sensitizer and/or a sensitizer system that generates free radicals by actinic light.

増感剤としては、置換または非置換の多核キノン類、例
えば、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアン
トラキノン、オクタメチルアントラキノン、1.2−ベ
ンズアントラキノン、2゜3−ジフェニルアントラキノ
ン等、ジアセチルベンジル等のケトアルドニル化合物、
ベンゾイン、ビバロン等のα−ケタルドニルアルコール
類およびエーテル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイ
ン類、例えばα−フェニル−ベンゾイン、α、α−ジェ
トキシアセトフェノン等、ベンゾフェノン、4.4′−
ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン
類、2−メチルチオキサントン、2.4−ジエチルチオ
キサントン、2−タロルチオキサントン、2−イソプロ
ピルチオキサントン、2−エチルチオキサントン等のチ
オキサントン類、2−メチル−1−[4−(メチルチオ
)フェニル」−2−モルホリノ−プロパノン−1等が用
いられ、こイ1らは単独でも組み合わせて使用しても良
い。
Examples of sensitizers include substituted or unsubstituted polynuclear quinones, such as 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2゜3-diphenylanthraquinone, diacetylbenzyl, etc. Ketoaldonyl compounds such as
α-ketaldonyl alcohols and ethers such as benzoin and Vivalon, α-hydrocarbon-substituted aromatic acyloins such as α-phenyl-benzoin, α,α-jethoxyacetophenone, etc., benzophenone, 4.4'-
Aromatic ketones such as bisdialkylaminobenzophenone, thioxanthone such as 2-methylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-thalolthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-methyl-1-[ 4-(methylthio)phenyl'-2-morpholino-propanone-1 and the like are used, and they may be used alone or in combination.

増感剤系としては、例えは2,4.5−トリアノルイミ
ダゾールニ量体と2−メルカプトベンゾキナゾール、ロ
イコクリスタルバイオレッ]・、トリス(4−ジエチル
アミノ−2−メチルフェニル)メタン等との組合せが用
いられる。
Examples of the sensitizer system include 2,4.5-trianolimidazole dimer, 2-mercaptobenzoquinazole, leuco crystal violet], tris(4-diethylamino-2-methylphenyl)methane, etc. A combination of these is used.

また、それ自体で光開始性はないが、上記物質と組合せ
て用いることにより全体として光開始性能のより良好な
増感剤系(例えば、ベンゾフェノンに組合せて使用する
トリエタノールアミン等の3級アミン、チオキサントン
類に組合せて使用するジメチルアミノ安息香酸イソアミ
ル、N−メチルエチルケトンまたはビスエチルアミノベ
ンゾフェノン等)となるような添加剤を用いることもて
きる。
In addition, sensitizer systems that do not have photoinitiation properties by themselves but have better photoinitiation performance as a whole when used in combination with the above substances (e.g., tertiary amines such as triethanolamine used in combination with benzophenone) , isoamyl dimethylaminobenzoate, N-methylethylketone, or bisethylaminobenzophenone used in combination with thioxanthone.

本発明になる感光製樹脂組成物では、不飽和化合物(A
)100重量部に対して、不飽和化合物(B)を1〜2
00重量部、また不飽和化合物(A)と不飽和化合物(
B)の混合物100重量部に対して、増感材および(ま
たは)増感剤系(C)をIJ、1〜30市量部の範囲で
用いることか、解像度、ハンタ耐熱性および可撓性に優
れたソルダマスクを形成する上で好ましい。
In the photosensitive resin composition of the present invention, an unsaturated compound (A
) 1 to 2 parts of unsaturated compound (B) per 100 parts by weight
00 parts by weight, and unsaturated compound (A) and unsaturated compound (
The sensitizer and/or sensitizer system (C) may be used in an IJ range of 1 to 30 parts by weight based on 100 parts by weight of the mixture of B), resolution, heat resistance and flexibility. This is preferable for forming a solder mask with excellent properties.

さらに、本発明になる感光性樹脂組成物は、他の成分と
して光重合性の化合物を含有しても良い。
Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention may contain a photopolymerizable compound as another component.

そのような光重合性の化合物としては、例えば、トリメ
チロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリアクリレ−I・、メリメチルへキサメチレンジ
イソシアナート/2−ヒドロキンエチルアクリレ−) 
(1/2モル比)反応物イソシアナートエチルメタクリ
レート/水(2/1モル比)反応物等が挙げられる。ま
た特開昭53−56018号公報に示される光重合性化
合物を用いることもできる。これらは、本発明の効果を
害しない範囲で使用できるが、不飽和化合物(A)10
0重量部に対して30重量部以下とすることが好ましい
Examples of such photopolymerizable compounds include trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate-I, melimethylhexamethylene diisocyanate/2-hydrokine ethyl acrylate).
(1/2 molar ratio) reactant isocyanatoethyl methacrylate/water (2/1 molar ratio) reactant, and the like. Furthermore, photopolymerizable compounds disclosed in JP-A-53-56018 can also be used. These can be used within a range that does not impair the effects of the present invention, but unsaturated compounds (A) 10
The amount is preferably 30 parts by weight or less relative to 0 parts by weight.

さらに、本発明になる感光性樹脂組成物は、微粒状充填
剤を含有しても良い。
Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention may contain a particulate filler.

微粒状充填剤としては、例えばタルク、シリカ、酸化チ
タン、クレイ、炭酸カルシウム、念水月酸、水酸化アル
ミニウム、アルミナ、硫酸バリウム、三酸化アンチモン
、炭酸マグネシウム、マイカ粉、珪酸アルミニウム、珪
酸マグネシウム等が用いられる。
Examples of fine particulate fillers include talc, silica, titanium oxide, clay, calcium carbonate, anhydrous acid, aluminum hydroxide, alumina, barium sulfate, antimony trioxide, magnesium carbonate, mica powder, aluminum silicate, magnesium silicate, etc. is used.

微粒状充填剤の粒径は、解像度、硬化被膜の密着性等の
低下防止の点から、好ましくは0.01〜10μm、よ
り好ましくは0.01〜1.5μmである。
The particle size of the particulate filler is preferably 0.01 to 10 μm, more preferably 0.01 to 1.5 μm, from the viewpoint of preventing deterioration of resolution, adhesion of the cured film, and the like.

微粒状充填剤は、感光性樹脂組成物中に均一に分散され
ていることが好ましい。
It is preferable that the particulate filler is uniformly dispersed in the photosensitive resin composition.

充填剤と上記光重合性不飽和化合物との間の接着力を増
すために、充填剤の表面を、水酸基、アミノ基、エポキ
シ基、ビニル基等の官能基を有するシランカップリング
剤で処理することもてきる。
In order to increase the adhesive force between the filler and the photopolymerizable unsaturated compound, the surface of the filler is treated with a silane coupling agent having a functional group such as a hydroxyl group, an amino group, an epoxy group, or a vinyl group. It can also happen.

シランカップリング剤としては、例えばγ−アミノプロ
ピルトリエトキシンラン、β−アミノエチル−γ−アミ
ノプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドオキシプ
ロピノ則・リメトキンシラン、γ−メタアクリロキシプ
ロピルトリメトキシシラン等ρ哨(げられる。
Examples of the silane coupling agent include γ-aminopropyltriethoxysilane, β-aminoethyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropino-rimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, etc. ρshu (gerareru)

さらに、本発明になる感光性樹脂組成物は、他の副次的
成分を含有しても良い。
Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention may contain other subsidiary components.

副次的成分としては、高分子結合剤、熱重合防止剤、染
料、顔料、塗工性向上剤、消泡剤、難燃剤、密着性向上
剤、エポキシ樹脂の潜在性硬化剤等が挙げられる。
Secondary components include polymeric binders, thermal polymerization inhibitors, dyes, pigments, coatability improvers, antifoaming agents, flame retardants, adhesion improvers, latent hardeners for epoxy resins, etc. .

耐熱性の点からエポキシ樹脂の潜在性硬化剤を含有させ
ることが好ましい。
From the viewpoint of heat resistance, it is preferable to include a latent curing agent for epoxy resin.

本発明になる感光性樹脂組成物は、デイツプコート法、
フローコート法、スクリーン印刷法等の常法により、加
工保護すべき基板上に直接塗工し、厚さ10〜150μ
mの感光層を容易に形成することができる。
The photosensitive resin composition of the present invention can be prepared by a dip coating method,
Coat directly onto the substrate to be processed and protected using conventional methods such as flow coating and screen printing to a thickness of 10 to 150 μm.
m photosensitive layers can be easily formed.

塗工にあたり、必要ならば組成物を溶剤に溶解させて行
うこともてきる。
When coating, if necessary, the composition can be dissolved in a solvent.

溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、メチルセ
ロソルブアセテ−1・、エチルセロソルブアセテ−1・
、ンクロヘキサノン、メチルセロソルブ、プロピレング
リコールモノメチルエーテルアセテ−1−等を挙けるこ
とができる。
Examples of the solvent include methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate-1, and ethyl cellosolve acetate-1.
, nclohexanone, methyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether acetate-1-, and the like.

また、この78 mを、例えはポリエチレンテレフタレ
ートフィルム、ポリイミドフィルム等のフィルム上に、
ナイフコート法、ロールコート法等により塗布し、乾燥
して得られる感光性エレメントを、熱ロールを用いて基
板上に加熱加圧積層して、感光層を形成することもでき
る。この際、基板が導体配線ラインの形成された印刷配
線板等の10μm以上の凹凸を有する場合には、空気の
巻込みを防ぐため、200 mm1g以下の真空下で積
層することが好ましい。このための装置としては、例え
ば特公昭55−13341号公報に記載される積層装置
が用いられる。なお、活性光に不透明な支持体フィルム
を用いる場合には、露光時に支持体フィルムを剥離する
必要がある。
In addition, this 78 m can be placed on a film such as polyethylene terephthalate film or polyimide film, for example.
A photosensitive layer can also be formed by applying a photosensitive element by a knife coating method, a roll coating method, or the like, and then drying and laminating the photosensitive element on a substrate under heat and pressure using a hot roll. At this time, if the substrate has irregularities of 10 μm or more, such as a printed wiring board on which conductive wiring lines are formed, it is preferable to laminate the layers under a vacuum of 200 mm/g or less in order to prevent air entrainment. As an apparatus for this purpose, for example, a laminating apparatus described in Japanese Patent Publication No. 13341/1980 is used. In addition, when using a support film that is opaque to actinic light, it is necessary to peel off the support film at the time of exposure.

こうして形成された感光層の露光および現像は、常法に
より行われる。すなわち、光源として超高圧水銀灯、高
圧水銀灯等を用い、感光性樹脂組成物の層上に直接また
はポリエチレンテレフタレートフィルム等の透明フィル
ムを介して、ネガマスクを通しで像的に露光する。
Exposure and development of the photosensitive layer thus formed are carried out by conventional methods. That is, using an ultra-high-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, or the like as a light source, the layer of the photosensitive resin composition is exposed imagewise through a negative mask either directly or through a transparent film such as a polyethylene terephthalate film.

露光後、透明フィルムが残っている場合には、これを剥
離した後現像する。
If a transparent film remains after exposure, it is peeled off and developed.

現像処理に用いられる現像液は、露光部にダメージを与
えず、未露光部を選択的に溶出するものであればその種
類については特に制限はない。
The type of developer used in the development process is not particularly limited as long as it does not damage the exposed areas and selectively elutes the unexposed areas.

現像液としては、1. 1. 1−トリクロルエタンを
主成分とする難燃性の洗浄剤、例えばスリーワンEX(
東亜合成化学(株)製)を使用することができる。
As a developer, 1. 1. Flame-retardant cleaning agents containing 1-trichloroethane as a main component, such as 3-One EX (
(manufactured by Toagosei Kagaku Co., Ltd.) can be used.

上記の如き方法で得られた像的な保護被膜は、通常のエ
ツチング、めっき等のための耐蝕膜としての特性を持っ
ているが、現像後に活性光の露光および80〜200°
Cでの加熱処理を行うことにより、密着性、耐熱性、耐
溶剤等の特性を向上でき、ソルダマスクとしての特性を
高定する永久的な保護膜が得られる。これらの活性光の
露光および加熱処理の順序はどちらが先でも良い。
The image-like protective film obtained by the above method has properties as a corrosion-resistant film for ordinary etching, plating, etc., but after development, it can be exposed to active light and heated at 80 to 200°.
By performing the heat treatment with C, properties such as adhesion, heat resistance, and solvent resistance can be improved, and a permanent protective film that improves the properties as a solder mask can be obtained. The order of exposure to active light and heat treatment may be either first.

本発明になる感光性樹脂組成物を用いて得られる保護被
膜は、トリクレン、メチルエチルケトン、イソプロヒル
アルコール、トルエン等のh t?i溶斉りに十分耐え
、酸性水/8液またはアルカリ水溶液にも耐える。
The protective film obtained using the photosensitive resin composition of the present invention can be prepared using ht? It is sufficiently resistant to melting, and also resistant to acidic water/8 liquids or alkaline aqueous solutions.

さらに、耐熱性9機械的特性にも優れているので、エツ
チング、めっき等のための耐蝕膜、ソルダマスク等の永
久的な保護膜として使用することができる。
Furthermore, since it has excellent heat resistance and mechanical properties, it can be used as a corrosion-resistant film for etching, plating, etc., and as a permanent protective film for solder masks, etc.

さらに、本発明になる感光性樹脂組成物を用いて形成さ
れる被膜は優れた化学的、物理的特性を有し、このため
多層印刷配線板の層間絶縁層、感光性接着剤、塗料、プ
ラスチックレリーフ、印刷板材料、金属精密加工材料等
にも用いることができる。
Furthermore, the film formed using the photosensitive resin composition of the present invention has excellent chemical and physical properties, and is therefore useful for use in interlayer insulation layers of multilayer printed wiring boards, photosensitive adhesives, paints, and plastics. It can also be used for reliefs, printing plate materials, metal precision processing materials, etc.

また、本発明になる感光性樹脂組成物を用いることによ
り、1,1.1−トリクロルエタンを主成分とする難燃
性現像液により現像でき、解像度。
Furthermore, by using the photosensitive resin composition of the present invention, development can be achieved with a flame-retardant developer containing 1,1,1-trichloroethane as a main component, and resolution can be improved.

耐熱性および可撓性に優れたソルダマスクを形成するこ
とができるとともに、写真法により厚膜のソルダマスク
を形成することできる。
A solder mask with excellent heat resistance and flexibility can be formed, and a thick film solder mask can be formed by a photographic method.

(実施例) 次に、本フコ明の実施例を説明する。(Example) Next, an example of the present invention will be described.

なお、以下において「部」とあるのは、1重量部」を意
味するものとする。
In addition, in the following, "part" shall mean 1 part by weight.

実施例1 (a)不飽和化合物(A)の製造 ビスフェノールA型エポキシ樹脂として、油化シェルエ
ポキシ社製エピコート1009(軟化点144℃、分子
量的3750)75部をジエチレングリコールモノエチ
ルエーテルアセテート75部に加熱溶解した後、イソシ
アナートエチルメタクリレート10部(エビコー)10
09のヒドロキシル基1当量に対してイソシアナート基
0,25当量)、ジブチルチンジラウレート0.2部を
加え、60°Cて5時間反応させて不飽和化合物(A)
を得た。
Example 1 (a) Production of unsaturated compound (A) As a bisphenol A epoxy resin, 75 parts of Epicote 1009 (softening point 144°C, molecular weight 3750) manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd. was mixed with 75 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate. After heating and dissolving, add 10 parts of isocyanatoethyl methacrylate (Ebicor) 10
0.25 equivalents of isocyanate group per 1 equivalent of hydroxyl group of No.
I got it.

この不飽和化合物(A)は、赤外分析の結果、遊離のイ
ソシアナ−1・基が消失していることか確認された。
As a result of infrared analysis, it was confirmed that free isocyanate-1 groups in this unsaturated compound (A) had disappeared.

(b)不飽和化合物(B)の製造 オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂として、[
1本化りiこン土製EOCN −1i−+4 (エホキ
/当量230)92部をジエチレンクリコールモノエチ
ルエーテルアセテート60部に加熱溶解した後、アクリ
ル酸4.3部(酸当量/エポキシ当量=0.15)、塩
化ベンジルトリメチルアンモニウム0.03部およびp
−メトキシフェノール0゜03部の混合物を反応温度を
60°Cに保ちながら約1時間かけて滴下し、さらに8
0℃に昇温した後約15時間撹拌を続け、酸価1以下の
不飽和化合物(B)を得た。
(b) Production of unsaturated compound (B) As an orthocresol novolac type epoxy resin, [
After heating and dissolving 92 parts of monolithic clay EOCN-1i-+4 (Ehoki/equivalent 230) in 60 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate, 4.3 parts of acrylic acid (acid equivalent/epoxy equivalent = 0.15), 0.03 part of benzyltrimethylammonium chloride and p
- Add a mixture of 0.03 parts of methoxyphenol dropwise over about 1 hour while maintaining the reaction temperature at 60°C, and then
After raising the temperature to 0°C, stirring was continued for about 15 hours to obtain an unsaturated compound (B) with an acid value of 1 or less.

(C)感光性樹脂組成物の調製 (a)で得られた不飽和化合物(A)190部と、(b
)で得られた不飽和化合物(B)60部との混合物25
0部に、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニ
ルコー2−モルホリノープロペン−110部、4.4”
−ビスジエチルアミノベンゾフェノン1部、フタロシア
ニングリーン0.1部、1−シアノエチル−2−エチル
−4−メチルイミダゾール3部およびモダフロー〇。
(C) Preparation of photosensitive resin composition 190 parts of the unsaturated compound (A) obtained in (a) and (b)
25 of a mixture with 60 parts of the unsaturated compound (B) obtained in )
0 parts, 110 parts of 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl-2-morpholinopropene, 4.4"
- 1 part of bisdiethylaminobenzophenone, 0.1 part of phthalocyanine green, 3 parts of 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole and Modaflow.

2部を配合し、ロールミルで混合分散させて、感光性樹
脂組成物の后71kを調製した。
Two parts were blended and mixed and dispersed using a roll mill to prepare a photosensitive resin composition (Later 71k).

(d)硬化被膜の形成 (C)で得られた感光性樹脂組成物の溶液を、銅張り積
層板上に塗布し、室温で20分、80°Cで20分間乾
燥し、厚さ40μmの感光層を形成した。
(d) Formation of a cured film The solution of the photosensitive resin composition obtained in (C) was applied onto a copper-clad laminate, dried at room temperature for 20 minutes and at 80°C for 20 minutes, and dried to a thickness of 40 μm. A photosensitive layer was formed.

次いで、ネガマスクを通してオーク製作所(株)製、フ
ェニックス3000型露光機を用い、600mJ/cm
 2て露光した。露光後、80°Cで5分間加熱し、常
温で30分放置した後、スリーワンEX−DB (東亜
化成化学社製1. 1. 1−4リクロロエタンを75
重量%含む)を用いて20℃で60秒間スプレー現像し
た。
Next, through a negative mask, 600 mJ/cm was applied using a Phoenix 3000 type exposure machine manufactured by Oak Seisakusho Co., Ltd.
2 and exposed. After exposure, heat at 80°C for 5 minutes, leave at room temperature for 30 minutes, and heat with 75% of Three-One EX-DB (manufactured by Toa Kasei Kagaku Co., Ltd.).
% by weight) for 60 seconds at 20°C.

次いで、東芝電材(株)製、東芝紫外線照射装置(定格
電圧200v、定格消費型カフ、  2KW、適合ラン
プH5600L/2、ランプ本数1本)を使用し、I 
J/cm2で照射した後、150°Cて30分間加熱処
理して、ネガマスクに相応する寸法精度の優れたソルダ
マスクを得た。
Next, I
After irradiating with J/cm2, heat treatment was performed at 150°C for 30 minutes to obtain a solder mask with excellent dimensional accuracy corresponding to a negative mask.

このソルダマスクは、耐冷熱衝撃性に優れ、口ツノ系7
ラノクスA−226(タムラ科研(昧)製)を用いて2
60℃で10秒間ハンダイλjけ処理し、さらにトリク
レンで25℃、10分間清浄化処理した後、MI L−
3TD−202E107D条件B(−65℃30分間、
常温5分以内、125°C30分間)、50サイクルの
冷熱衝撃試験および打抜き試験を行ったところ、クラッ
クの発生および被膜の剥がれは認められず、信頼性が非
常に優れていることが判った。
This solder mask has excellent cold and thermal shock resistance and has a mouth-shaped 7
2 using Lanox A-226 (manufactured by Tamura Scientific Research)
After applying heat treatment at 60°C for 10 seconds and cleaning with trichloride at 25°C for 10 minutes, MI L-
3TD-202E107D Condition B (-65℃ 30 minutes,
When a thermal shock test and a punching test were performed for 50 cycles at room temperature (for 5 minutes or less, 125°C for 30 minutes), no cracking or peeling of the coating was observed, and it was found that the product had excellent reliability.

実施例2 (a)不飽和化合物(A)の製造 ビスフェノール12エポキシ樹脂として、油化シェルエ
ポキシ社製エピコート1010 (分子量的5500)
75部をジエチレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート75部に加熱溶解した後、イソシアナー!・エチ
ルメタクリレート1o部(エピコート1009のヒドロ
キシル基1当量に対してイソシアナート基0.25当貰
)、ジブチルチンジラウレート0.2部を加工、60’
Cで5時間反応させて不飽和化合物(A)を得た。
Example 2 (a) Production of unsaturated compound (A) As bisphenol 12 epoxy resin, Epicoat 1010 manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd. (molecular weight 5500)
After heating and dissolving 75 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate, isocyaner!・Processing 10 parts of ethyl methacrylate (0.25 equivalents of isocyanate group per 1 equivalent of hydroxyl group of Epicote 1009) and 0.2 parts of dibutyltin dilaurate, 60'
The mixture was reacted at C for 5 hours to obtain an unsaturated compound (A).

二のイ・「1a和化a物(、A)は赤外分1iの結東、
遊離のイソシアナート基を消失していることが確認され
た。
2.I. ``1a sum compound (, A) is the result of infrared component 1i,
It was confirmed that free isocyanate groups had disappeared.

(b)不飽和化合物(B)の製造 オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂として、日
本化薬社製EOCN−102(エポキシ当量230)9
2部をジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテ
ート60部に加熱溶解した後、アクリル酸1.4部(酸
当量/エポキシ当量=0.05)、塩化ベンジルトリメ
チルアンモニウム0.01部およびp−メトキシフェノ
ール0゜01部の混合物を反応温度を60℃に保ちなが
ら約1時間かけて滴下し、さらに80°Cに昇温した後
約15時間撹拌を続け、酸価1以下の不飽和化合物(B
)を得た。
(b) Production of unsaturated compound (B) As an orthocresol novolac type epoxy resin, EOCN-102 (epoxy equivalent weight 230) 9 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
After heating and dissolving 2 parts in 60 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate, 1.4 parts of acrylic acid (acid equivalent/epoxy equivalent = 0.05), 0.01 part of benzyltrimethylammonium chloride and 0.01 part of p-methoxyphenol were added. While maintaining the reaction temperature at 60°C, the mixture was added dropwise over about 1 hour, and after the temperature was further raised to 80°C, stirring was continued for about 15 hours.
) was obtained.

(′C)感光性樹脂組成物の調製 (a)で得られた不飽和化合物(A)190部と、(b
)で得られた不飽和化合物(B)70部との混合物26
0部に、三酸化アンチモン(平均粒径0.15μm)6
部、ベンゾフェノン10部、ミヒラーケト70.5部、
1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾー
ル3部およびビクトリアピュアブルー0.04部を配合
し、3本ロールミルで混合分散して本発明になる感光性
樹脂組成物の溶液を調製した。
('C) Preparation of photosensitive resin composition 190 parts of the unsaturated compound (A) obtained in (a), and (b)
) Mixture 26 with 70 parts of unsaturated compound (B) obtained in
0 parts, antimony trioxide (average particle size 0.15 μm) 6
parts, 10 parts of benzophenone, 70.5 parts of Michler's keto,
3 parts of 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole and 0.04 part of Victoria Pure Blue were mixed and dispersed in a three-roll mill to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention.

以下、上記実施例1(d)と同様にして、耐熱性および
打抜き加工性に優れた硬化被膜を得た。
Thereafter, a cured film having excellent heat resistance and punching workability was obtained in the same manner as in Example 1(d) above.

また、上記感光性樹脂組成物を厚さ0.8mm、UL9
4V−0のガラスエポキシ難燃基材(日立化成工業(株
)製MCL−E−67)の両面に適用し、厚さ75μm
の硬化被膜を形成させた場合には、UL94V−1の難
燃性を保持することが判った。
In addition, the above photosensitive resin composition was coated with a thickness of 0.8 mm and a UL9
Applied to both sides of a 4V-0 glass epoxy flame retardant base material (MCL-E-67 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) with a thickness of 75 μm.
It was found that when a cured film was formed, flame retardancy of UL94V-1 was maintained.

実施例3 上記実施例2(a)で得た不飽和化合物(A)190部
と、実施例1(b)で得た不飽和化合物(B)60部と
の混合物250部に、ミクロエースP−4(日本タルク
製タルク、平均粒径1.5μm)2.5部、2,4−ジ
エチルチオキサントン4部、ジメチルアミノ安息香酸エ
チル6部、ビクトリアピュアフルー0.04部、2.4
−、’アミノ−6−[2−−ウンデンルーイミタゾリル
(1)i−エチル−5−)リアジン2部およびメチルセ
ロソルブ5部を配合し、3本ロールミルで混合分散させ
て、本発明になる感光性樹脂組成物の溶液を調製した。
Example 3 Micro Ace P was added to 250 parts of a mixture of 190 parts of the unsaturated compound (A) obtained in Example 2 (a) above and 60 parts of the unsaturated compound (B) obtained in Example 1 (b). -4 (talc manufactured by Nippon Talc, average particle size 1.5 μm) 2.5 parts, 2,4-diethylthioxanthone 4 parts, ethyl dimethylaminobenzoate 6 parts, Victoria Pure Flu 0.04 part, 2.4
The present invention A solution of the photosensitive resin composition was prepared.

以下、上記実施例1(d)と同様にして耐熱性。Hereinafter, heat resistance was determined in the same manner as in Example 1(d) above.

打抜き加工性に優れた硬化被膜を得た。A cured film with excellent punching workability was obtained.

(発明の効果) 本発明になる感光性樹脂組成物は、写真法による厚膜の
画像形成が可能であり、また1、  1. 1−トリク
ロルエタン等の難燃性溶剤を主成分とする現像液を用い
て解像度、耐熱性および打抜き加工性に優れた高信頼性
のソルダマスクを形成することができる等の効果を有す
る。
(Effects of the Invention) The photosensitive resin composition of the present invention is capable of forming a thick film image by a photographic method, and also has the following characteristics: 1. It has the advantage that a highly reliable solder mask with excellent resolution, heat resistance, and punching workability can be formed using a developer containing a flame-retardant solvent such as 1-trichloroethane as a main component.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、ビスフェノールA型エポキシ樹脂のヒドロキシル基
1当量に対して0.01〜0.5当量のイソシアナート
エチルメタクリレートを反応させて得られる不飽和化合
物(A)、 ノボラック型エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸とを酸当
量/エポキシ当量比が0.01〜0.7の範囲で反応さ
せて得られる不飽和化合物(B)ならびに活性光により
遊離ラジカルを生成する増感剤および(または)増感剤
系(C)を含有してなる感光性樹脂組成物。 2、請求項1記載の感光性樹脂組成物をフィルム上に塗
布、乾燥して得られる感光性エレメント。
[Claims] 1. An unsaturated compound (A) obtained by reacting 0.01 to 0.5 equivalents of isocyanate ethyl methacrylate to 1 equivalent of hydroxyl group of bisphenol A epoxy resin, novolac type epoxy An unsaturated compound (B) obtained by reacting a resin and an unsaturated carboxylic acid with an acid equivalent/epoxy equivalent ratio in the range of 0.01 to 0.7, a sensitizer that generates free radicals by actinic light, and ( or) a photosensitive resin composition containing a sensitizer system (C). 2. A photosensitive element obtained by applying the photosensitive resin composition according to claim 1 onto a film and drying it.
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