JPH02120635A - リークデテクタ - Google Patents
リークデテクタInfo
- Publication number
- JPH02120635A JPH02120635A JP27419088A JP27419088A JPH02120635A JP H02120635 A JPH02120635 A JP H02120635A JP 27419088 A JP27419088 A JP 27419088A JP 27419088 A JP27419088 A JP 27419088A JP H02120635 A JPH02120635 A JP H02120635A
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- Japan
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- amount
- leak
- detector
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ、産業上の利用分野
本発明は、プローブガスを用いて被試験体の漏れを試験
するリークデテクタに関する。
するリークデテクタに関する。
Ｂ、従来の技術
従来からヘリウムガスを用いたヘリウムリークデテクタ
が知られている。このリークデテクタは、被試験体を真
空引きして外部からプローブガンでヘリウムガスを吹き
付け、被試験体の内部に侵入するヘリウムガスのリーク
量を質量分析計などで測定し、リーク量表示器で表示す
るものである。
が知られている。このリークデテクタは、被試験体を真
空引きして外部からプローブガンでヘリウムガスを吹き
付け、被試験体の内部に侵入するヘリウムガスのリーク
量を質量分析計などで測定し、リーク量表示器で表示す
るものである。
すなわち、このリークデテクタでは、検出されたリーク
量を電気信号に変換してアナログ式の指針やデジタル表
示器を駆動し、リアルタイムでリーク量の瞬時値を表示
している。
量を電気信号に変換してアナログ式の指針やデジタル表
示器を駆動し、リアルタイムでリーク量の瞬時値を表示
している。
Ｃ０発明が解決しようとする課題
しかしながら、このリークデテクタでは、バックグラン
ドの変動があり、表示器の表示値を零に校正することが
事実上できないから１作業者は試験前にバックグランド
による表示値を記憶しておき、ヘリウムガスを吹き付け
た後の表示器の表示をヘリウムガス吹き付は前の値と比
較してリークの有無を判断している。そのため、リーク
の有無を正確に判断するのが難しい。
ドの変動があり、表示器の表示値を零に校正することが
事実上できないから１作業者は試験前にバックグランド
による表示値を記憶しておき、ヘリウムガスを吹き付け
た後の表示器の表示をヘリウムガス吹き付は前の値と比
較してリークの有無を判断している。そのため、リーク
の有無を正確に判断するのが難しい。
本発明の技術的課題は、リーク量のバックグランドレベ
ルと測定レベルとを比較し易く表示することにある。
ルと測定レベルとを比較し易く表示することにある。
００課題を解決するための手段
一実施例を示す第１図により説明すると、本発明は、吹
き付けられたプローブガスが被試験体から漏れるのを検
知しその漏れ量に応じた電気信号を出力する検出器２と
、この検出器２の検出出力に基づいて漏れ量を表示する
表示器１２とをグｕえたリークデテクタに適用される。
き付けられたプローブガスが被試験体から漏れるのを検
知しその漏れ量に応じた電気信号を出力する検出器２と
、この検出器２の検出出力に基づいて漏れ量を表示する
表示器１２とをグｕえたリークデテクタに適用される。
そしてト述した技術的課題は次のような構成で解決され
る。
る。
吹き付けられるプローブガスの流量を検出しその流量に
応じた電気信号を出力するガスフローメータ１３と、検
出器２およびガスフローメータ１３の検出出力を所定の
サンプリング周期で取り込み記憶する記憶器１０Ｍと、
漏九量とプローブガス流量の時間変化が表示器１２に表
示されるように記憶器ｔ ＯＭに記憶されたデータを表
示器１２に送出する制御回路１１とを具備する。
応じた電気信号を出力するガスフローメータ１３と、検
出器２およびガスフローメータ１３の検出出力を所定の
サンプリング周期で取り込み記憶する記憶器１０Ｍと、
漏九量とプローブガス流量の時間変化が表示器１２に表
示されるように記憶器ｔ ＯＭに記憶されたデータを表
示器１２に送出する制御回路１１とを具備する。
Ｅ０作用
記憶′ｒｉ１０ Ｍに記ｔＯされた漏れ量とプローブガ
ス流量の時間変化が表示器】２に画像表示される。
ス流量の時間変化が表示器】２に画像表示される。
作業者は、表示画面から、試験開始前のリーク量のバッ
クグランドレベルとプローブガス吹き付は後のリーク量
のレベルとを容易に比較できる。また、プローブガスの
吹き付は量とリーク量のレベルも比較でき、リークのイ
］無の判定が容易となる。
クグランドレベルとプローブガス吹き付は後のリーク量
のレベルとを容易に比較できる。また、プローブガスの
吹き付は量とリーク量のレベルも比較でき、リークのイ
］無の判定が容易となる。
なお、本発明の詳細な説明する上記り項およびＥ項では
、本発明を分かり易くするために実施例の図を用いたが
、これにより本発明が実施例に限定されるものではない
。
、本発明を分かり易くするために実施例の図を用いたが
、これにより本発明が実施例に限定されるものではない
。
Ｆ、実施例
第１図および第２図により一実施例を説明する。
第１図において、分析管１は、真空引きさｊした被試験
体内のヘリウムイオンをイオンコレクタ（検出器）２で
検出してそれに応した電気信号を出力する。直流増幅器
３はイオンコレクタ２がらの電気信号を増幅する。この
直流増幅器３はレンジ切換機構・１によってゲイン調整
を行ないレンジ切換えが可能である。Ａ／１つコンバー
タ５は直流増幅器３の出力をデジタル値に変換する。自
他レンジ切換指令機構６は、レンジ切換スイッチ７が自
動に切換えられていると、Ａ／Ｄコンバータ５の出力値
に基づいたレンジ設定信号をレンジ切換機１層４に送り
直流増幅器３のレンジを自動釣に切換える。レンジ切換
スイッチ７が手動側に切換えられている場合には、手動
のレンジ設定器８からの信号で直流増幅器３のレンジが
切換えられる。
体内のヘリウムイオンをイオンコレクタ（検出器）２で
検出してそれに応した電気信号を出力する。直流増幅器
３はイオンコレクタ２がらの電気信号を増幅する。この
直流増幅器３はレンジ切換機構・１によってゲイン調整
を行ないレンジ切換えが可能である。Ａ／１つコンバー
タ５は直流増幅器３の出力をデジタル値に変換する。自
他レンジ切換指令機構６は、レンジ切換スイッチ７が自
動に切換えられていると、Ａ／Ｄコンバータ５の出力値
に基づいたレンジ設定信号をレンジ切換機１層４に送り
直流増幅器３のレンジを自動釣に切換える。レンジ切換
スイッチ７が手動側に切換えられている場合には、手動
のレンジ設定器８からの信号で直流増幅器３のレンジが
切換えられる。
プローブガスフローメータ１３は、不図示のプローブガ
ンから被試験体に吹き付けるヘリウｔ５ガスの流量を検
出し、それに応じた信号を出力するものである。この検
出信号もＡ／Ｄコンバータ１４でデジタル値とされる。
ンから被試験体に吹き付けるヘリウｔ５ガスの流量を検
出し、それに応じた信号を出力するものである。この検
出信号もＡ／Ｄコンバータ１４でデジタル値とされる。
制御回路１０はメモリＩＯＭを有し、Ａ／Ｄコンバータ
５，１４の出力値を所定のサンプリング周期で取り込み
、各時点のデータをリーク量およびプローブガス流量の
瞬時値としてメモリＩＯＭに記憶する。メモリＩＯＭは
、後述するドツト表示器１２の１両面分のメモリ容量を
有し、上記サンプリング周期は掃引時間設定器９によっ
て可変さ九ろ。したがって、サンプリング時間を短くす
ればドツト表示器１２の１画面中の時間軸が短くなり、
サンプリング時間を長くすればその時間軸が長くなる。
５，１４の出力値を所定のサンプリング周期で取り込み
、各時点のデータをリーク量およびプローブガス流量の
瞬時値としてメモリＩＯＭに記憶する。メモリＩＯＭは
、後述するドツト表示器１２の１両面分のメモリ容量を
有し、上記サンプリング周期は掃引時間設定器９によっ
て可変さ九ろ。したがって、サンプリング時間を短くす
ればドツト表示器１２の１画面中の時間軸が短くなり、
サンプリング時間を長くすればその時間軸が長くなる。
応答性の、ｉ％い試験ではサンプリング周期を長く、応
答性の良い試験ではサンプリング周期を短くする。
答性の良い試験ではサンプリング周期を短くする。
表示駆動回路１１は、メモリＩＯＭから送られる表示デ
ータに基づいて表示駆動回路を作成して後続のドツト表
示器１２を駆動する。
ータに基づいて表示駆動回路を作成して後続のドツト表
示器１２を駆動する。
ドツト表示器１２は、周知の液晶式や発光ダイオード式
などのドツトマトリックス表示器であり。
などのドツトマトリックス表示器であり。
メモリＩＯＭから表示駆動回路１１に逐次送られる表示
データによって、−に記すンプリング周期ごとに両面表
示が時間軸に沿って移行するように構成されている。第
１図に示すドツト表示器１２は。
データによって、−に記すンプリング周期ごとに両面表
示が時間軸に沿って移行するように構成されている。第
１図に示すドツト表示器１２は。
両面の横軸が時間軸であり、縦軸がリーグ量、ガス吹き
付は量を示し、実線Ａがリーク量を、破線Ｂがガス吹き
付は量を示す。画面右上にはデジタル表示部１２Ｄがあ
り、リーク量の最新データがデジタル表示される。
付は量を示し、実線Ａがリーク量を、破線Ｂがガス吹き
付は量を示す。画面右上にはデジタル表示部１２Ｄがあ
り、リーク量の最新データがデジタル表示される。
今、時刻ＴＯでプローブガンからヘリウムガスを吹き付
けると第１図に示す装置が起動してリークテストが開始
し、ヘリウムガス流量がガスフローメータ１３で検出さ
れ、Ａ／Ｄコンバータ１４を介してメモリ１０ Ｍに所
定サンプリング周期で記憶される。またその時、イオン
コレクタ２により被試験体に侵入するヘリウムガスのリ
ーク量が検出され、Ａ、／Ｄコンバータ５を介して所定
サンプリング周期でメモリＩＯＭに記憶される。
けると第１図に示す装置が起動してリークテストが開始
し、ヘリウムガス流量がガスフローメータ１３で検出さ
れ、Ａ／Ｄコンバータ１４を介してメモリ１０ Ｍに所
定サンプリング周期で記憶される。またその時、イオン
コレクタ２により被試験体に侵入するヘリウムガスのリ
ーク量が検出され、Ａ、／Ｄコンバータ５を介して所定
サンプリング周期でメモリＩＯＭに記憶される。
時刻Ｔｏから時間ｔ工経過した後のドツト表示器１２の
画面は第２図（ａ）に示すようになる。
画面は第２図（ａ）に示すようになる。
つまり１時刻ＴＯでヘリウムガスを吹き付けると、ヘリ
ウムガスフローメータ１３の出力波形は破線Ｂのように
なり、時刻ＴＯからある時間ｔ２経過後に、被試験体に
リークしたヘリウムガスをイオンコレクタ２が検知した
ときの波形が実線Ａのようになる。したがって、ヘリウ
ムガスを吹き付けた時刻ＴＯにおけろバンクグランドレ
ベルに対して、時刻Ｔ１以降にイオンコレクタ２がヘリ
ウムガスを検知したときのリーク量のレベルとの差が画
面上で一目瞭然となり、被試験体のリークの有無が正確
にわかる。また、吹き付けられたヘリウムガス流量とリ
ーク量との対応関係も定量的に比較でき、被試験体の合
否判定がわかりやすい。
ウムガスフローメータ１３の出力波形は破線Ｂのように
なり、時刻ＴＯからある時間ｔ２経過後に、被試験体に
リークしたヘリウムガスをイオンコレクタ２が検知した
ときの波形が実線Ａのようになる。したがって、ヘリウ
ムガスを吹き付けた時刻ＴＯにおけろバンクグランドレ
ベルに対して、時刻Ｔ１以降にイオンコレクタ２がヘリ
ウムガスを検知したときのリーク量のレベルとの差が画
面上で一目瞭然となり、被試験体のリークの有無が正確
にわかる。また、吹き付けられたヘリウムガス流量とリ
ーク量との対応関係も定量的に比較でき、被試験体の合
否判定がわかりやすい。
なお、第２図（ｂ）は１時刻Ｔ１からさらに時間ｔ３が
経過した時の画面表示を示す。
経過した時の画面表示を示す。
また第３図に示すように、ヘリウムガスを吹き付けた時
刻ＴＯにおける実線Ａのバックグランドをイオンコレク
タ出力の零レベルとして記憶するとともに、そのレベル
をドツト表示器１２上に破線Ｃのように示してもよい。
刻ＴＯにおける実線Ａのバックグランドをイオンコレク
タ出力の零レベルとして記憶するとともに、そのレベル
をドツト表示器１２上に破線Ｃのように示してもよい。
また、表示部１２Ｄのリーク量表示値としてその零レベ
ルを基準とした値りを表示すれば、より精度の高いテス
ト結果が得られる。
ルを基準とした値りを表示すれば、より精度の高いテス
ト結果が得られる。
さらに、被試験体の合否判定基準となるレベルをキーイ
ン入力できるようにし、キーインされたレベルを第４図
に示すようにドラ１−表示器１２の両面に一点鎖線りと
して表示すれば、合否の判定も容易となる。この場合、
第３図で説明したように、ヘリウムガスを吹き付けた時
刻Ｔｏのバックグランドをイオンコレクタ出力の零レベ
ルとし、バックグランド分だけ合否判定レベルＤを補正
して一点鎖線Ｅのように表示すればさらに精度の高いテ
ストが可能となる。
ン入力できるようにし、キーインされたレベルを第４図
に示すようにドラ１−表示器１２の両面に一点鎖線りと
して表示すれば、合否の判定も容易となる。この場合、
第３図で説明したように、ヘリウムガスを吹き付けた時
刻Ｔｏのバックグランドをイオンコレクタ出力の零レベ
ルとし、バックグランド分だけ合否判定レベルＤを補正
して一点鎖線Ｅのように表示すればさらに精度の高いテ
ストが可能となる。
さらにまた、第５図に示すように、試験に先立って被試
験体ＴＰにバルブ２１を介して標準り−ク２２を接続し
、バルブ２１を開いて標準リーク２２からヘリウムガス
を被試験体ＴＰに強制的に流入させ、標亭リーク２２か
らのガス流量とそのときのイオンコレクタ２の応答波形
を検出する。
験体ＴＰにバルブ２１を介して標準り−ク２２を接続し
、バルブ２１を開いて標準リーク２２からヘリウムガス
を被試験体ＴＰに強制的に流入させ、標亭リーク２２か
らのガス流量とそのときのイオンコレクタ２の応答波形
を検出する。
そして、試験開始に応答させて第６図に示すようにガス
フローメータの波形Ｆとイオンコレクタ２の応答波形Ｇ
をドツト表示器１２に試験時のイオンコレクタ２の出力
波形Ａと共に重畳して表示する。このようにすれば、標
準的な応答波形Ｇの立が上り時間から想定される時間ｔ
、たけ試験を行なえばよく、リークの有無を正確に見極
めるためにむやみに試験時間を長くする必要がなく効率
のよい試験を行なうことができる。
フローメータの波形Ｆとイオンコレクタ２の応答波形Ｇ
をドツト表示器１２に試験時のイオンコレクタ２の出力
波形Ａと共に重畳して表示する。このようにすれば、標
準的な応答波形Ｇの立が上り時間から想定される時間ｔ
、たけ試験を行なえばよく、リークの有無を正確に見極
めるためにむやみに試験時間を長くする必要がなく効率
のよい試験を行なうことができる。
ヘリウムガス以外のその他の種類のプローブガスを用い
たリークデテクタにも本発明を適用できる。さらに表示
器やプローブガス検出器の方式は実施例に限定されない
。
たリークデテクタにも本発明を適用できる。さらに表示
器やプローブガス検出器の方式は実施例に限定されない
。
Ｇ０発明の効果
本発明によれば、プローブガスの吹き付は流量およびリ
ーク量の時間変化を表示器上に同時に表示するようにし
たので、リークの有無の判断が容易となり、被試験体の
合否判定が容易となる。
ーク量の時間変化を表示器上に同時に表示するようにし
たので、リークの有無の判断が容易となり、被試験体の
合否判定が容易となる。
第１図はリークデテクタの全体を示すブロック図、第２
図はその表示画面を示す図、第３図および第４図は表示
両面の他の例を示す図、第５図は標準リークによる応答
性を測定する場合の構成図、第６図はその表示両面を示
す図である。 １：分析管 ２：イオンコレクタ ３：直流増幅器 ５．１４：Ａ／Ｄコンバータ ９：掃引時間Ｊコ定器 １０Ｍ：メモリ １０：制御回路 １２：ドツト表示器 １３ニガスフローメータ 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人弁理士 永 井 冬 紀 Ｔ。
図はその表示画面を示す図、第３図および第４図は表示
両面の他の例を示す図、第５図は標準リークによる応答
性を測定する場合の構成図、第６図はその表示両面を示
す図である。 １：分析管 ２：イオンコレクタ ３：直流増幅器 ５．１４：Ａ／Ｄコンバータ ９：掃引時間Ｊコ定器 １０Ｍ：メモリ １０：制御回路 １２：ドツト表示器 １３ニガスフローメータ 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人弁理士 永 井 冬 紀 Ｔ。
Claims (1)
- 吹き付けられたプローブガスが被試験体から漏れるのを
検知しその漏れ量に応じた電気信号を出力する検出器と
、この検出器の検出出力に基づいて漏れ量を表示する表
示器とを備えたリークデテクタにおいて、前記吹き付け
られるプロープガスの流量を検出しその流量に応じた電
気信号を出力するガスフローメータと、前記検出器およ
びガスフローメータの検出出力を所定のサンプリング周
期で取り込み記憶する記憶器と、漏れ量とプローブガス
流量の時間変化が前記表示器に表示されるように前記記
憶器に記憶されたデータを前記表示器に送出する制御回
路とを具備することを特徴とするリークデテクタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27419088A JPH02120635A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | リークデテクタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27419088A JPH02120635A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | リークデテクタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02120635A true JPH02120635A (ja) | 1990-05-08 |
| JPH0587770B2 JPH0587770B2 (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=17538289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27419088A Granted JPH02120635A (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 | リークデテクタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02120635A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008517257A (ja) * | 2004-10-16 | 2008-05-22 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏洩検知の方法 |
| JP2008275360A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 真空系統の空気漏れ検出方法 |
| US20130317765A1 (en) * | 2010-07-30 | 2013-11-28 | Resmed Limited | Methods and devices with leak detection |
| CN105403365A (zh) * | 2014-09-10 | 2016-03-16 | 岛津Emit株式会社 | 氦气检漏仪 |
| DE102016205381A1 (de) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | Inficon Gmbh | Gaslecksuche mit einer Testgassprühvorrichtung |
| EP3405763B1 (fr) | 2016-01-21 | 2019-12-04 | Pfeiffer Vacuum | Dispositif d'aspersion et module de détection de fuites |
-
1988
- 1988-10-28 JP JP27419088A patent/JPH02120635A/ja active Granted
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008517257A (ja) * | 2004-10-16 | 2008-05-22 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏洩検知の方法 |
| JP2008275360A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 真空系統の空気漏れ検出方法 |
| US10328219B2 (en) * | 2010-07-30 | 2019-06-25 | RedMed Pty Ltd | Methods and devices with leak detection |
| US20130317765A1 (en) * | 2010-07-30 | 2013-11-28 | Resmed Limited | Methods and devices with leak detection |
| US12102756B2 (en) | 2010-07-30 | 2024-10-01 | ResMed Pty Ltd | Methods and devices with leak detection |
| US11213640B2 (en) | 2010-07-30 | 2022-01-04 | ResMed Pty Ltd | Methods and devices with leak detection |
| CN105403365A (zh) * | 2014-09-10 | 2016-03-16 | 岛津Emit株式会社 | 氦气检漏仪 |
| JP2016057202A (ja) * | 2014-09-10 | 2016-04-21 | 島津エミット株式会社 | ヘリウムリークディテクタ |
| EP3405763B1 (fr) | 2016-01-21 | 2019-12-04 | Pfeiffer Vacuum | Dispositif d'aspersion et module de détection de fuites |
| JP2019510228A (ja) * | 2016-03-31 | 2019-04-11 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | 試験ガス噴霧装置を用いたガス漏洩検査 |
| EP3436793A1 (de) * | 2016-03-31 | 2019-02-06 | Inficon GmbH | Gaslecksuche mit einer testgassprühvorrichtung |
| RU2728802C2 (ru) * | 2016-03-31 | 2020-07-31 | Инфикон Гмбх | Поиск течи газа с помощью распылительного устройства тестового газа |
| US10837857B2 (en) | 2016-03-31 | 2020-11-17 | Inficon Gmbh | Gas leak search using a test gas spray device |
| EP3742148A1 (de) * | 2016-03-31 | 2020-11-25 | Inficon GmbH | Gaslecksuche mit einer testgassprühvorrichtung |
| CN109073495A (zh) * | 2016-03-31 | 2018-12-21 | 英福康有限责任公司 | 使用测试气体喷射装置的气体泄漏搜索 |
| DE102016205381B4 (de) | 2016-03-31 | 2023-11-30 | Inficon Gmbh | Gaslecksuche mit einer Testgassprühvorrichtung |
| DE102016205381A1 (de) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | Inficon Gmbh | Gaslecksuche mit einer Testgassprühvorrichtung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0587770B2 (ja) | 1993-12-17 |
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