JPH01246884A - ダイオードレーザ励起レーザ発振装置 - Google Patents
ダイオードレーザ励起レーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH01246884A JPH01246884A JP7532388A JP7532388A JPH01246884A JP H01246884 A JPH01246884 A JP H01246884A JP 7532388 A JP7532388 A JP 7532388A JP 7532388 A JP7532388 A JP 7532388A JP H01246884 A JPH01246884 A JP H01246884A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- diode
- wavelength
- light
- medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
- H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
- H01S3/09415—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode the pumping beam being parallel to the lasing mode of the pumped medium, e.g. end-pumping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
- H01S5/06837—Stabilising otherwise than by an applied electric field or current, e.g. by controlling the temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
- H01S5/0687—Stabilising the frequency of the laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、ダイオードレーザ光を励起光として使用する
ダイオードレーザ励起レーザ発振装置に関する。
ダイオードレーザ励起レーザ発振装置に関する。
（従来の技術）
第７図はかかるダイオードレーザ励起レーザ発振装置の
構成図である。同図において１はレーザダイオードにあ
って、このレーザダイオード１から出力されたダイオー
ドレーザ光２は集光レンズ３で集光されてＹＡＧロッド
等のレーザ媒質４に照射されている。なお、このレーザ
媒質４の長手方向の両側には高反射ミラー５及び出力ミ
ラー６が配置されて光共振器を構成している。ところで
、レーザダイオード１には冷却器７が設けられ、かつそ
の漏れダイオードレーザ光８がホトディテクタ９に照射
されるようになっている。そして、冷却器７はオート温
度コントローラ（ＡＴＣ）１０によって冷却温度が制御
され、又ホトディテクタ９から出力される受光光量に応
じた電気信号はオートパワーコントローラ゛（ＡＰＣ）
１１に送られてレーザダイオード１のパワーが制御され
るようになっている。なお、レーザダイオード１のパワ
ーはレーデダイオード１に供給される電流量によって制
御される。
構成図である。同図において１はレーザダイオードにあ
って、このレーザダイオード１から出力されたダイオー
ドレーザ光２は集光レンズ３で集光されてＹＡＧロッド
等のレーザ媒質４に照射されている。なお、このレーザ
媒質４の長手方向の両側には高反射ミラー５及び出力ミ
ラー６が配置されて光共振器を構成している。ところで
、レーザダイオード１には冷却器７が設けられ、かつそ
の漏れダイオードレーザ光８がホトディテクタ９に照射
されるようになっている。そして、冷却器７はオート温
度コントローラ（ＡＴＣ）１０によって冷却温度が制御
され、又ホトディテクタ９から出力される受光光量に応
じた電気信号はオートパワーコントローラ゛（ＡＰＣ）
１１に送られてレーザダイオード１のパワーが制御され
るようになっている。なお、レーザダイオード１のパワ
ーはレーデダイオード１に供給される電流量によって制
御される。
しかして、オートパワーコントローラ１１によってレー
ザダイオード１に電流が供給されると、レーザダイオー
ド１からダイオードレーザ光２が出力される。このとき
、レーザダイオード１は自身の温度が上昇する。ところ
で、レーザダイオード１から出力されるダイオードレー
ザ光２の波長はレーザ媒質４の最大吸収波長に調整され
る。つまり、レーザ媒質４にこの最大吸収波長のダイオ
ードレーザ光２が照射されることによって、例えばＹＡ
Ｇレーザ発振装置のパワーは最大となる。
ザダイオード１に電流が供給されると、レーザダイオー
ド１からダイオードレーザ光２が出力される。このとき
、レーザダイオード１は自身の温度が上昇する。ところ
で、レーザダイオード１から出力されるダイオードレー
ザ光２の波長はレーザ媒質４の最大吸収波長に調整され
る。つまり、レーザ媒質４にこの最大吸収波長のダイオ
ードレーザ光２が照射されることによって、例えばＹＡ
Ｇレーザ発振装置のパワーは最大となる。
ところが、レーザダイオード１の波長は温度変化に応じ
てその変動が激しい。例えば、ダイオードレーザ光の波
長が８０５ｎｍにあるときに温度が１℃変化すると、波
長は約０．５ｎｍ変化する。このため、オート温度コン
トローラ１０によって冷却器７の冷却温度が制御されて
レーザダイオード１から出力されるダイオードレーザ光
１の波長がレーザ媒質４の最大吸収波長となるように調
整される。
てその変動が激しい。例えば、ダイオードレーザ光の波
長が８０５ｎｍにあるときに温度が１℃変化すると、波
長は約０．５ｎｍ変化する。このため、オート温度コン
トローラ１０によって冷却器７の冷却温度が制御されて
レーザダイオード１から出力されるダイオードレーザ光
１の波長がレーザ媒質４の最大吸収波長となるように調
整される。
しかして、このようにして出力されたダイオードレーザ
光２はレーザ媒質４に照射されてレーザ媒質４を励起す
る。この結果、高反射ミラー５と出力ミラー６との間で
光共振が生じて出力ミラー６からレーザ光１２が出力さ
れる。
光２はレーザ媒質４に照射されてレーザ媒質４を励起す
る。この結果、高反射ミラー５と出力ミラー６との間で
光共振が生じて出力ミラー６からレーザ光１２が出力さ
れる。
ところが、以上のような構成ではレーザダイオード１の
温度制御を行っているものの精度高い制御はできず、ダ
イオードレーザ光の波長がレーザ媒質４の最大吸収波長
からずれることがある。このように波長がずれると、レ
ーザ媒質４での吸収量が食化してレーザ光１２のパワー
が低下する。
温度制御を行っているものの精度高い制御はできず、ダ
イオードレーザ光の波長がレーザ媒質４の最大吸収波長
からずれることがある。このように波長がずれると、レ
ーザ媒質４での吸収量が食化してレーザ光１２のパワー
が低下する。
特にＹＡＧレーザやＮｄレーザでの各レーザ媒質では波
長がわずかにずれただけでも吸収量が激しく減少するた
めに、レーザ光１２のパワーの減少が激しくなる。
長がわずかにずれただけでも吸収量が激しく減少するた
めに、レーザ光１２のパワーの減少が激しくなる。
（発明が解決しようとする課題）
以上のようにダイオードレーザ光の波長をレーザ媒質の
最大吸収量に合わせることが難しく、パワーを最大にし
て安定したレーザ光を出力することが困難であった。
最大吸収量に合わせることが難しく、パワーを最大にし
て安定したレーザ光を出力することが困難であった。
そこで本発明は、温度変化に係わらずダイオードレーザ
光の波長をレーザ媒質の最大吸収波長に合わせることが
でき、もってパワーを最大にして安定したレーザ光を出
力できるダイオードレーザ励起レーザ発振装置を提供す
ることを目的とする。
光の波長をレーザ媒質の最大吸収波長に合わせることが
でき、もってパワーを最大にして安定したレーザ光を出
力できるダイオードレーザ励起レーザ発振装置を提供す
ることを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、レーザダイオードから出力されるダイオード
レーザ光をレーザ媒質の最大吸収波長に合わせてこのレ
ーザ媒質に照射してレーザ光を発振するダイオードレー
ザ励起レーザ発振装置において、ダイオードレーザ光の
光量を検出しこの光量に応じてレーザダイオードのパワ
ーを制御するパワー制御手段と、レーザダイオードを冷
却する冷却手段と、レーザ媒質と同一種類の波長検出用
媒質と、この波長検出用媒質を透過したダイオードレー
ザ光の光量を検出してこの光量が最小となるように冷却
手段の冷却温度を制御する波長制御手段とを備えて上記
目的を達成しようとするダイオードレーザ励起レーザ発
振装置である。
レーザ光をレーザ媒質の最大吸収波長に合わせてこのレ
ーザ媒質に照射してレーザ光を発振するダイオードレー
ザ励起レーザ発振装置において、ダイオードレーザ光の
光量を検出しこの光量に応じてレーザダイオードのパワ
ーを制御するパワー制御手段と、レーザダイオードを冷
却する冷却手段と、レーザ媒質と同一種類の波長検出用
媒質と、この波長検出用媒質を透過したダイオードレー
ザ光の光量を検出してこの光量が最小となるように冷却
手段の冷却温度を制御する波長制御手段とを備えて上記
目的を達成しようとするダイオードレーザ励起レーザ発
振装置である。
（作用）
このような手段を備えたことにより、ダイオードレーザ
光の光量がパワー制御手段によって検出されてレーザダ
イオードのパワーが制御され、同時に波長制御手段によ
って波長検出用媒質を透過したダイオードレーザ光の光
量を検出してこの光量が最小となるように冷却手段の冷
却温度が制御される。
光の光量がパワー制御手段によって検出されてレーザダ
イオードのパワーが制御され、同時に波長制御手段によ
って波長検出用媒質を透過したダイオードレーザ光の光
量を検出してこの光量が最小となるように冷却手段の冷
却温度が制御される。
（実施例）
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。なお、第７図と同一部分には同一符号を付してその
詳しい説明は省略する。
る。なお、第７図と同一部分には同一符号を付してその
詳しい説明は省略する。
第１図はダイオードレーザ励起レーザ発振装置の構成図
である。レーザダイオード１と集光レンズ３との間にお
けるダイオードレーザ光２の光路上にはビームスプリッ
タ２０が配置されている。
である。レーザダイオード１と集光レンズ３との間にお
けるダイオードレーザ光２の光路上にはビームスプリッ
タ２０が配置されている。
このビームスプリッタ２０はダイオードレーザ光２の一
部、例えば１％を分岐して波長検出用媒質２１へ送るも
のである。この波長検出用媒質２１はレーザ媒質４と同
一種類の組成となっている。
部、例えば１％を分岐して波長検出用媒質２１へ送るも
のである。この波長検出用媒質２１はレーザ媒質４と同
一種類の組成となっている。
さらに、２２は波長制御手段であって、この波長制御手
段２２は波長検出用媒ｉ２１を透過したダイオードレー
ザ光２゛の光量を検出してこの光量が最小となるように
冷却器２３の冷却温度を制御する機能を持ったものであ
る。具体的には波長検出用媒質２１を透過してきたダイ
オードレーザ光２′を受光してその受光量に応じた電気
信号を出力するホトディテクタ２４と、このホトディテ
クタ２４からの電気信号を受けてホトディテクタ２４で
の受光光量を最小にするための冷却制御信号をオート温
度コントローラ２３に送出するオー！・波長コントロー
ラ（ＡＷＣ）２５とから構成されている。
段２２は波長検出用媒ｉ２１を透過したダイオードレー
ザ光２゛の光量を検出してこの光量が最小となるように
冷却器２３の冷却温度を制御する機能を持ったものであ
る。具体的には波長検出用媒質２１を透過してきたダイ
オードレーザ光２′を受光してその受光量に応じた電気
信号を出力するホトディテクタ２４と、このホトディテ
クタ２４からの電気信号を受けてホトディテクタ２４で
の受光光量を最小にするための冷却制御信号をオート温
度コントローラ２３に送出するオー！・波長コントロー
ラ（ＡＷＣ）２５とから構成されている。
次に上記の如く構成された装置の作用について説明する
。ところで、レーザ媒質４のダイオードレーザ光の吸収
量は第２図に示すようにレーザダイオード１の温度がＴ
ｓのときの波長で最大を示すとする。以下、レーザダイ
オード１の冷却温度を温度Ｔｓに制御する作用について
説明する。先す、オート波長コントローラ２５に冷却温
度Ｔ。
。ところで、レーザ媒質４のダイオードレーザ光の吸収
量は第２図に示すようにレーザダイオード１の温度がＴ
ｓのときの波長で最大を示すとする。以下、レーザダイ
オード１の冷却温度を温度Ｔｓに制御する作用について
説明する。先す、オート波長コントローラ２５に冷却温
度Ｔ。
が設定される。なお、この冷却温度Ｔ１は任意に設定さ
れるもので温度Ｔｓと一致するとは限らない。そこで、
この冷却温度ＴＩが第３図に示すように温度Ｔｓよりも
低いとする。この場合、オート波長コントローラ２５は
この冷却温度ＴＩに応じた冷却制御信号を冷却器２３に
送出する。これにより、冷却器７はオート温度コントロ
ーラ２３の温度制御によってレーザダイオード１を冷却
温度Ｔ１に冷却する。しかして、レーザダイオード１は
冷却温度Ｔ１に応じた波長のダイオードレーザ光２を出
力する。このダイオードレーザ光２のうち一部はビーム
スプリッタ２０で分岐されて波長検出用媒質２１に照射
される。この波長検出用媒質２１を透過したダイオード
レーザ光２′はホトディテクタ２４に照射される。従っ
て、このホトディテクタ２４は受光したダイオードレ」
ｉザ光２″の受光Ｈｖ ｌに応じた電気信号を出力し、
′オート波長コントローラ２５はこの電気信号を受けて
受光量νｌを一時記憶する。次にオート波長コントロー
ラ２５は前記冷却温度Ｔ、よりも例えば高い冷却温度Ｔ
２の冷却制御信号をオート温度コントローラ２３に送出
する。これにより、冷却器７はレーザダイオード１を冷
却温度Ｔ１に冷却する。
れるもので温度Ｔｓと一致するとは限らない。そこで、
この冷却温度ＴＩが第３図に示すように温度Ｔｓよりも
低いとする。この場合、オート波長コントローラ２５は
この冷却温度ＴＩに応じた冷却制御信号を冷却器２３に
送出する。これにより、冷却器７はオート温度コントロ
ーラ２３の温度制御によってレーザダイオード１を冷却
温度Ｔ１に冷却する。しかして、レーザダイオード１は
冷却温度Ｔ１に応じた波長のダイオードレーザ光２を出
力する。このダイオードレーザ光２のうち一部はビーム
スプリッタ２０で分岐されて波長検出用媒質２１に照射
される。この波長検出用媒質２１を透過したダイオード
レーザ光２′はホトディテクタ２４に照射される。従っ
て、このホトディテクタ２４は受光したダイオードレ」
ｉザ光２″の受光Ｈｖ ｌに応じた電気信号を出力し、
′オート波長コントローラ２５はこの電気信号を受けて
受光量νｌを一時記憶する。次にオート波長コントロー
ラ２５は前記冷却温度Ｔ、よりも例えば高い冷却温度Ｔ
２の冷却制御信号をオート温度コントローラ２３に送出
する。これにより、冷却器７はレーザダイオード１を冷
却温度Ｔ１に冷却する。
しかして、レーザダイオード１は冷却温度Ｔ１に応じた
波長のダイオードレーザ光２を出力する。
波長のダイオードレーザ光２を出力する。
このダイオードレーザ光２のうち一部はビームスプリッ
タ２０で分岐されて波長検出用媒質２１に照射され、こ
の波長検出用媒質２１を透過したダイオードレーザ光２
′がホトディテクタ２４に照射される。従って、このホ
トディテクタ２４は受光したダイオードレーザ光２′の
受光、Ｑｗ２に応じた電気信号を出力し、オート波長コ
ントローラ２５はこの電気信号を受けて受光ｆｆ１ｗ２
を一時記憶′する。ここで、オート波長コントローラ２
５は前に記憶した冷却温度Ｔ、の受光ｍ ｗ ｌと今記
憶した冷却温度Ｔ２の受光ｆｆ１ｖ２とを比較する。こ
の比較の結果、受光Ｑ Ｔ ２の方が受光Ｑ ｗ １よ
りも小さいので、受光量νｌを消して受光量ｖ２のとき
の冷却温度Ｔ２を続けて記憶する。次にオート波長コン
トローラ２５は冷却温度Ｔ２よりもさらに高い冷却温度
Ｔｓの冷却制御信号をオート温度コントローラ２３に送
出する。これにより、レーザダイオード１は冷却温度Ｔ
ｓに応じた波長のダイオードレーザ光２を出力し、ホト
ディテクタ２４はこのとき波長検出用媒質２１を透過し
た受光したダイオードレーザ光２′の受光ｆｆ１ｗ３に
応じた電気信号を出力する。しかして、オート波長コン
トローラ２５は受光ｍｗ３を記憶し、この受光量ｖ３と
受光量ｖ２とを比較する。この比較の結果、受光量ｖ３
の方が受光Ｑｖ２よりも小さいので、受光Ｑｖ２を消し
て受光ｕｗ３のときの冷却温度Ｔｓを続けて記憶する。
タ２０で分岐されて波長検出用媒質２１に照射され、こ
の波長検出用媒質２１を透過したダイオードレーザ光２
′がホトディテクタ２４に照射される。従って、このホ
トディテクタ２４は受光したダイオードレーザ光２′の
受光、Ｑｗ２に応じた電気信号を出力し、オート波長コ
ントローラ２５はこの電気信号を受けて受光ｆｆ１ｗ２
を一時記憶′する。ここで、オート波長コントローラ２
５は前に記憶した冷却温度Ｔ、の受光ｍ ｗ ｌと今記
憶した冷却温度Ｔ２の受光ｆｆ１ｖ２とを比較する。こ
の比較の結果、受光Ｑ Ｔ ２の方が受光Ｑ ｗ １よ
りも小さいので、受光量νｌを消して受光量ｖ２のとき
の冷却温度Ｔ２を続けて記憶する。次にオート波長コン
トローラ２５は冷却温度Ｔ２よりもさらに高い冷却温度
Ｔｓの冷却制御信号をオート温度コントローラ２３に送
出する。これにより、レーザダイオード１は冷却温度Ｔ
ｓに応じた波長のダイオードレーザ光２を出力し、ホト
ディテクタ２４はこのとき波長検出用媒質２１を透過し
た受光したダイオードレーザ光２′の受光ｆｆ１ｗ３に
応じた電気信号を出力する。しかして、オート波長コン
トローラ２５は受光ｍｗ３を記憶し、この受光量ｖ３と
受光量ｖ２とを比較する。この比較の結果、受光量ｖ３
の方が受光Ｑｖ２よりも小さいので、受光Ｑｖ２を消し
て受光ｕｗ３のときの冷却温度Ｔｓを続けて記憶する。
さらに、オート波長コントローラ２５は冷却温度Ｔｓよ
りも高い冷却温度Ｔ３の冷却制御信号を送出してレーザ
ダイオード１を冷却温度Ｔ３に冷却する。そして、上記
同様にこのときの受光量ν４を記憶し、この受光量ｖ４
と受光量ｖ３とを比較する。
りも高い冷却温度Ｔ３の冷却制御信号を送出してレーザ
ダイオード１を冷却温度Ｔ３に冷却する。そして、上記
同様にこのときの受光量ν４を記憶し、この受光量ｖ４
と受光量ｖ３とを比較する。
この比較の結果、受光Ｗｗ３の方が受光１ｕｗ４により
も小さいので、オート波長コントローラ２５は冷却温度
Ｔｓの冷却制御信号をオート温度コントロ−ラ２３に送
出する。かくして、レーザダイオード１は冷却温度Ｔｓ
に冷却されてレーザ媒質４の最大吸収波長と同一の波長
のダイオードレーザ光２を出力する。
も小さいので、オート波長コントローラ２５は冷却温度
Ｔｓの冷却制御信号をオート温度コントロ−ラ２３に送
出する。かくして、レーザダイオード１は冷却温度Ｔｓ
に冷却されてレーザ媒質４の最大吸収波長と同一の波長
のダイオードレーザ光２を出力する。
次にオート波長コントローラ２５に設定される冷却温度
Ｔ、が第４図に示すように温度Ｔｓよりも高い場合につ
いて説明する。この場合、オート波長コントローフ２５
はこの冷却温度ｔ１に応じた冷却制御信号を冷却器２３
に送出してレーザダイオード１を冷却温度Ｔ１に冷却す
る。そして、この冷却温度Ｔ１のときレーザダイオード
１から出力されたダイオードレーザ２のうち波長検出用
媒質２１を透過してホトディテクタ２４に受光されたと
きのその受光ｍａｔを記憶する。次にオート波長コント
ローラ２５は冷却温度Ｔ１よりも低い冷却温度ｔ２の冷
却制御信号を送出してレーザダイオード１を冷却温度ｔ
２に冷却し、このときの受光量ａ２−を一時記憶する。
Ｔ、が第４図に示すように温度Ｔｓよりも高い場合につ
いて説明する。この場合、オート波長コントローフ２５
はこの冷却温度ｔ１に応じた冷却制御信号を冷却器２３
に送出してレーザダイオード１を冷却温度Ｔ１に冷却す
る。そして、この冷却温度Ｔ１のときレーザダイオード
１から出力されたダイオードレーザ２のうち波長検出用
媒質２１を透過してホトディテクタ２４に受光されたと
きのその受光ｍａｔを記憶する。次にオート波長コント
ローラ２５は冷却温度Ｔ１よりも低い冷却温度ｔ２の冷
却制御信号を送出してレーザダイオード１を冷却温度ｔ
２に冷却し、このときの受光量ａ２−を一時記憶する。
ここで、オート波長コントローラ２５は冷却温度Ｔ１の
受光１ｉ１ａｌと冷却温度ｔ２の受光ｍａ２とを比較す
る。この比較の結果、受光Ｗａ２の方が小さいので、受
光ｍａｌを消して受光量ａ２のときの冷却温度【２を続
けて記憶する。次にオート波長コントローラ２５は冷却
温度Ｌ２よりも低い冷却温度Ｔｓの冷却制御信号を送出
して、このときの受光Ｗａ３を記憶する。そして、この
受光量ａ３と受光Ｒａ２とを比較し、受光Ｈａ３の方が
小さいので、受光ｍａ３のときの冷却温度Ｔｓを続けて
記憶する。さらに、オート波長コントローラ２５は冷却
温度Ｔｓよりも低い冷却温度ｔ４の冷却制御信号を送出
してこのときの受光ｍａ４を記憶し、この受光ｕａ４と
受光Ｑａ３とを比較する。この比較の結果、受光ｍａ３
の方が小さいので、オート波長コントローラ２５は冷却
温度Ｔｓの冷却制御信号をオート温度コントローラ２３
に送出する。かくして、レーザダイオード１は冷却温度
Ｔｓに冷却されてレーザ媒質４の最大吸収波長と同一の
波長のダイオードレーザ光２を出力する。
受光１ｉ１ａｌと冷却温度ｔ２の受光ｍａ２とを比較す
る。この比較の結果、受光Ｗａ２の方が小さいので、受
光ｍａｌを消して受光量ａ２のときの冷却温度【２を続
けて記憶する。次にオート波長コントローラ２５は冷却
温度Ｌ２よりも低い冷却温度Ｔｓの冷却制御信号を送出
して、このときの受光Ｗａ３を記憶する。そして、この
受光量ａ３と受光Ｒａ２とを比較し、受光Ｈａ３の方が
小さいので、受光ｍａ３のときの冷却温度Ｔｓを続けて
記憶する。さらに、オート波長コントローラ２５は冷却
温度Ｔｓよりも低い冷却温度ｔ４の冷却制御信号を送出
してこのときの受光ｍａ４を記憶し、この受光ｕａ４と
受光Ｑａ３とを比較する。この比較の結果、受光ｍａ３
の方が小さいので、オート波長コントローラ２５は冷却
温度Ｔｓの冷却制御信号をオート温度コントローラ２３
に送出する。かくして、レーザダイオード１は冷却温度
Ｔｓに冷却されてレーザ媒質４の最大吸収波長と同一の
波長のダイオードレーザ光２を出力する。
ところで、レーザダイオード１は劣化等により■カパワ
ーが減少する。次にこのようにパワーが減少したときの
作用について説明する。レーザダイオード１のパワーか
減少するとオートパワーコントローラ１１はホトディテ
クタ９からの電気信号を受けてレーザダイオード１への
電流を増加する。この電流の増加によってレーザダイオ
ード１のパワーは大きくなるものの温度は上昇する。従
って、冷却器７の冷却温度がＴｓのままであるとダイオ
ードレーザ２の波長は長くなる。これにより、波長検出
用媒質２１を透過してきたダイオードレーザ光２′の受
光量は第５図に示すように増加してｖ３−となる。従っ
て、この場合、オート波長コントローラ２５は第３図及
び第４図を参照して説明した如くホトディテクタ２４で
の受光量が最小となるような冷却温度に制御して、ダイ
オードレーザ２の波長がレーザ媒質４の最大吸収波長と
同一の波長となるように調整される。
ーが減少する。次にこのようにパワーが減少したときの
作用について説明する。レーザダイオード１のパワーか
減少するとオートパワーコントローラ１１はホトディテ
クタ９からの電気信号を受けてレーザダイオード１への
電流を増加する。この電流の増加によってレーザダイオ
ード１のパワーは大きくなるものの温度は上昇する。従
って、冷却器７の冷却温度がＴｓのままであるとダイオ
ードレーザ２の波長は長くなる。これにより、波長検出
用媒質２１を透過してきたダイオードレーザ光２′の受
光量は第５図に示すように増加してｖ３−となる。従っ
て、この場合、オート波長コントローラ２５は第３図及
び第４図を参照して説明した如くホトディテクタ２４で
の受光量が最小となるような冷却温度に制御して、ダイ
オードレーザ２の波長がレーザ媒質４の最大吸収波長と
同一の波長となるように調整される。
このように上記一実施例においては、ダイオードレーザ
光の光量が検出されてレーザダイオード１のパワーが制
御されるとともに波長検出用媒質２１を透過したダイオ
ードレーザ光２′の光量を検出してこの光量が最小とな
るようにレーザダイオード１の冷却温度を制御する構成
としたので、レーザダイオード１の冷却温度をレーザ媒
質４の最大吸収波長と同一の波長を出力するように制御
できて常にレーザ媒質４に対して最大吸収波長と同一波
長のダイオードレーザ光２を照射できる。
光の光量が検出されてレーザダイオード１のパワーが制
御されるとともに波長検出用媒質２１を透過したダイオ
ードレーザ光２′の光量を検出してこの光量が最小とな
るようにレーザダイオード１の冷却温度を制御する構成
としたので、レーザダイオード１の冷却温度をレーザ媒
質４の最大吸収波長と同一の波長を出力するように制御
できて常にレーザ媒質４に対して最大吸収波長と同一波
長のダイオードレーザ光２を照射できる。
又、これとともにダイオードレーザ光２のパワーが低下
してダイオードレーザ光２の波長がずれたとしても−速
くレーザ媒質４の最大吸収波長に合わすことができる。
してダイオードレーザ光２の波長がずれたとしても−速
くレーザ媒質４の最大吸収波長に合わすことができる。
従って、常に最大パワーで安定したレーザ光１２を出力
できる。
できる。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものでなくそ
の主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば、第
６図に示すようにレーザダイオード１の漏れダイオード
レーザ光を波長検出用媒質２１に透過されてホトディテ
クタ２４に送るようにしてもよい。又、レーザ発振装置
としてＹＡＧレーザと限らすアレキサンドライト、ＬＮ
Ａ。
の主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば、第
６図に示すようにレーザダイオード１の漏れダイオード
レーザ光を波長検出用媒質２１に透過されてホトディテ
クタ２４に送るようにしてもよい。又、レーザ発振装置
としてＹＡＧレーザと限らすアレキサンドライト、ＬＮ
Ａ。
ｙ ｖ ｏ 、、等でもよく、その波長もレーザ媒質の
種類によって変更するようにしてもよい。
種類によって変更するようにしてもよい。
［発明の効果］
以上詳記したように本発明によれば、温度変化に係わら
ずダイオードレーザ光の波長をレーザ媒質の最大吸収波
長に合わせることがてき、もってパワーを最大にして安
定したレーザ光を出力できるダイオードレーザ励起レー
ザ発振装置を提供できる。
ずダイオードレーザ光の波長をレーザ媒質の最大吸収波
長に合わせることがてき、もってパワーを最大にして安
定したレーザ光を出力できるダイオードレーザ励起レー
ザ発振装置を提供できる。
第１図乃至第５図は本発明に係わるダイオードレーザ励
起レーザ発振装置の一実施例を説明するための図であっ
て、第１図は構成図、第２図はレーザ媒質の吸収波長を
示す図、第３図乃至第５図は波長制御を説明するための
図、第６図は変形例の構成図、第７図は従来装置の構成
図である。 １・・・レーザダイオード、３・・・集光レンズ、４・
・・レーザ媒質、５・・・高反射ミラー、６・・・出力
ミラー、７・・・冷却器、９・・・ホトディテクタ、１
１・・・オートパワーコントローラ、２０・・・ビーム
スプリッタ、２１・・・波長検出用媒質、２２・・・波
長制御手段、２３・・・オート温度コントローラ、２４
・・・ホトディテクタ、２５・・・オート波長コントロ
ーラ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図
起レーザ発振装置の一実施例を説明するための図であっ
て、第１図は構成図、第２図はレーザ媒質の吸収波長を
示す図、第３図乃至第５図は波長制御を説明するための
図、第６図は変形例の構成図、第７図は従来装置の構成
図である。 １・・・レーザダイオード、３・・・集光レンズ、４・
・・レーザ媒質、５・・・高反射ミラー、６・・・出力
ミラー、７・・・冷却器、９・・・ホトディテクタ、１
１・・・オートパワーコントローラ、２０・・・ビーム
スプリッタ、２１・・・波長検出用媒質、２２・・・波
長制御手段、２３・・・オート温度コントローラ、２４
・・・ホトディテクタ、２５・・・オート波長コントロ
ーラ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- レーザダイオードから出力されるダイオードレーザ光を
レーザ媒質の最大吸収波長に合わせてこのレーザ媒質に
照射してレーザ光を発振するダイオードレーザ励起レー
ザ発振装置において、前記ダイオードレーザ光の光量を
検出しこの光量に応じて前記レーザダイオードのパワー
を制御するパワー制御手段と、前記レーザダイオードを
冷却する冷却手段と、前記レーザ媒質と同一種類の波長
検出用媒質と、この波長検出用媒質を透過したダイオー
ドレーザ光の光量を検出してこの光量が最小となるよう
に前記冷却手段の冷却温度を制御する波長制御手段とを
具備したことを特徴とするダイオードレーザ励起レーザ
発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7532388A JPH01246884A (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | ダイオードレーザ励起レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7532388A JPH01246884A (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | ダイオードレーザ励起レーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01246884A true JPH01246884A (ja) | 1989-10-02 |
Family
ID=13572943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7532388A Pending JPH01246884A (ja) | 1988-03-29 | 1988-03-29 | ダイオードレーザ励起レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01246884A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02254777A (ja) * | 1989-03-28 | 1990-10-15 | Sharp Corp | 半導体レーザ励起型固体レーザ装置 |
| EP0477021A2 (en) * | 1990-09-18 | 1992-03-25 | Litton Systems, Inc. | Superfluorescent source stabilization |
| FR2674071A1 (fr) * | 1991-03-15 | 1992-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | Amplificateur pour fibre optique et procede d'amplification. |
| US5363385A (en) * | 1992-03-19 | 1994-11-08 | Alcatel N.V. | Fiber-optic amplifier with control of the pump light wavelength |
| JPH0774423A (ja) * | 1993-09-03 | 1995-03-17 | Nec Corp | 半導体レーザ装置 |
| JP2004048020A (ja) * | 1996-04-25 | 2004-02-12 | Imra America Inc | ストレッチされた超短パルスの増幅装置、光学増幅装置およびその運転方法 |
| WO2020153217A1 (ja) | 2019-01-24 | 2020-07-30 | 信越化学工業株式会社 | 高熱伝導性シリコーン組成物及びその製造方法 |
-
1988
- 1988-03-29 JP JP7532388A patent/JPH01246884A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02254777A (ja) * | 1989-03-28 | 1990-10-15 | Sharp Corp | 半導体レーザ励起型固体レーザ装置 |
| EP0477021A2 (en) * | 1990-09-18 | 1992-03-25 | Litton Systems, Inc. | Superfluorescent source stabilization |
| FR2674071A1 (fr) * | 1991-03-15 | 1992-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | Amplificateur pour fibre optique et procede d'amplification. |
| US5363385A (en) * | 1992-03-19 | 1994-11-08 | Alcatel N.V. | Fiber-optic amplifier with control of the pump light wavelength |
| JPH0774423A (ja) * | 1993-09-03 | 1995-03-17 | Nec Corp | 半導体レーザ装置 |
| JP2004048020A (ja) * | 1996-04-25 | 2004-02-12 | Imra America Inc | ストレッチされた超短パルスの増幅装置、光学増幅装置およびその運転方法 |
| WO2020153217A1 (ja) | 2019-01-24 | 2020-07-30 | 信越化学工業株式会社 | 高熱伝導性シリコーン組成物及びその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20090232172A1 (en) | Laser frequency stabilizing device, method and program | |
| EP2058907B1 (en) | Frequency-stabilized laser device, laser frequency stabilizing method, and laser frequency stabilizing program | |
| US20030231665A1 (en) | Laser control circuit and laser module | |
| ATE378713T1 (de) | Leistungskontrolliertes wellenlängestabilisationssystem | |
| JPH01246884A (ja) | ダイオードレーザ励起レーザ発振装置 | |
| JP6261472B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| EP1947506B1 (en) | Method for having laser light source in standby status | |
| CN105829961B (zh) | 光源装置和波长转换方法 | |
| JPH02254777A (ja) | 半導体レーザ励起型固体レーザ装置 | |
| JPS63280483A (ja) | レーザ光の波長検出方法 | |
| US5974062A (en) | Laser drive method, laser drive system, and radiation image read-out apparatus | |
| JP3968868B2 (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JPH05110179A (ja) | 短波長短パルス光源 | |
| US6891875B2 (en) | Optical disc device | |
| JP2007049051A (ja) | 半導体レーザ光源 | |
| RU2824023C1 (ru) | Система стабилизации мощности лазерного излучения и способ ее применения | |
| JP2009253024A (ja) | レーザダイオード用電源およびレーザ装置 | |
| KR100415751B1 (ko) | 반도체레이저 여기고체레이저 | |
| JP2009252910A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JPS5835441A (ja) | 半導体レ−ザの駆動方式 | |
| JP3196276B2 (ja) | 半導体レーザの制御装置とその制御方法 | |
| JP2005019428A (ja) | レーザ装置 | |
| US6441940B1 (en) | Wavelength stabilization of light emitting components | |
| JP2002319736A (ja) | レーザ光の波長調整装置 | |
| JPH08181374A (ja) | レーザーダイオード励起固体レーザー |