JPH0123403B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0123403B2 JPH0123403B2 JP57143600A JP14360082A JPH0123403B2 JP H0123403 B2 JPH0123403 B2 JP H0123403B2 JP 57143600 A JP57143600 A JP 57143600A JP 14360082 A JP14360082 A JP 14360082A JP H0123403 B2 JPH0123403 B2 JP H0123403B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rice husks
- silicon nitride
- rice
- acid
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/068—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with silicon
- C01B21/0685—Preparation by carboreductive nitridation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
- C01P2002/70—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data
- C01P2002/72—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data by d-values or two theta-values, e.g. as X-ray diagram
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
本発明は、籾殻から高純度のα型窒化珪素を得
る方法に関するものである。 現在、窒化珪素は、ガスタービン等の耐高温構
造用材料として各方面で検討がなされており、将
来広く使用されるセラミツク材料の一つとして有
望視されているものである。 従来から窒化珪素の合成法としては、種々のも
のが提案され、また検討されている。 これらには、たとえば (1) 金属珪素粉末を窒化する方法、 (2) 四塩化珪素とアンモニア、シランとアンモニ
アを原料として、気相反応させる方法、 (3) 二酸化珪素と炭素との混合物を窒素雰囲気中
で加熱し、珪素を還元・窒化する方法、等があ
る。 上記の中、特に上記(3)の方法は、資源的に豊富
な二酸化珪素を用いるため、工業的に有利であ
る。しかして、この方法の具体的なものの1ツ
に、二酸化珪素原料としてこのものを比較的多量
に含有する籾殻を用いる方法がある。この方法は
籾殻を炭化し、この炭化物を窒素雰囲気で加熱す
ることにより、該炭化物中の二酸化珪素を還元窒
化してα型窒化珪素とするものである。この方法
によると、二酸化珪素と炭素とを混合する工程を
省略できたり、窒化珪素の粒度を容易に調整でき
る等の利点がある。 しかしながら、籾殻中には、珪素以外にカルシ
ウム、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、マ
ンガン、アルミニウム等の元素が含まれている。
しかして、籾殻を原料として得られる窒化珪素
は、これらの元素が不純物として含まれ、該窒化
珪素で製作した成形品の高温強度を低下させる欠
点を有する。通常、これらの不純物元素は、酸化
物で在存し、特に酸化カルシウムが含まれている
場合には、強度の低下が顕著となる。 本発明者らは、籾殻を原料とした窒化珪素の、
上記欠点を克服することを目的に、鋭意研究を進
めた結果、本発明を為すに至つたのである。 本発明は、籾殻を酸性溶液に浸漬して不純物元
素を除去するための酸処理工程と、該酸処理した
籾殻を炭化物とする炭化工程と、該炭化した籾殻
中の珪素を還元、窒化する窒化工程とからなるこ
とを特徴とする窒化珪素の製造方法である。 本発明によれば、窒化珪素の原料である籾殻を
酸性溶液に、短時間浸漬するという極く簡単な操
作を行なうだけで、籾殻中の不純物元素を除去す
ることが可能である。それ故、本発明により得ら
れる窒化珪素は、カルシウム等の不純物元素含有
量が極く少量となり、これを焼結品とした場合に
は、優れた高温強度を保有する。 以下、本発明をより詳細に説明する。 本発明において用いる籾殻は、籾から、籾の中
身である玄米を取り除いた残部である。該籾殻は
水稲、陸稲、いずれの稲から収穫した籾から得た
ものでもよい。 該籾殻には、二酸化珪素が約20重量パーセント
含まれており、その他、ナトリウム、カリウム、
アルミニウム、マグネシウム、カルシウム等の金
属元素を含有している。 通常、上記籾殻には、泥等の汚れが付着してい
る。このため、本発明において使う籾殻を水洗し
ておくのが望ましい。 まず、本発明における第一工程として、上記籾
殻を酸性溶液に浸漬する。ここで用いる酸性溶液
は塩酸、硝酸、硫酸、リン酸等の無機酸、蟻酸、
酢酸、酒石酸等の有機酸の溶液状のものである。
これらの酸性溶液の酸濃度は0.01〜10規定の範囲
が、不純物除去、取り扱い上から望ましい。 籾殻を上記酸性溶液に浸漬すると、該籾殻に含
まれているナトリウム、カリウム、カルシウム、
マグネシウム、マンガン、アルミ、鉄等、珪素以
外の金属元素が金属塩となつて、該酸性溶液中へ
と溶出する。またこのとき、該籾殻に付着してい
る汚れ等も除去することができる。 なお、上記溶出、除去を促進させるために、撹
拌機を用いることも有効である。 上記浸漬時間としては、酸性溶液の濃度によつ
て異なるが、1〜20時間程度が望ましい。1時間
以内では、不純物元素を充分に除去することがで
きず、また、20時間以上浸漬しても不純物元素の
除去割合は増加しない。 以上のようにして、籾殻を所望の時間浸漬した
のち、該酸性溶液から取り出し、次工程である炭
化工程を施す。 なお、このとき、該籾殻に付着している余分の
酸性溶液を清浄水で洗い流してもよい。 本発明における炭化工程では、上記酸処理工程
を施した籾殻を、非酸化性の雰囲気中で加熱し、
該籾殻に含まれているタール状物質等を除去する
とともに、二酸化珪素用還元剤としての炭素を遊
離せしめる。 該炭化工程における加熱条件は、300〜600℃の
範囲の温度で3〜5時間保持するのがよい。該炭
化工程を施すことによつて、籾殻から有機物質が
揮散するために、該籾殻は約50%の重量減少が生
じる。 なお、上記酸処理工程と炭化工程とを、上記と
逆に、すなわち、炭化工程を施したのち酸処理工
程を施しても、不純物元素を十分に除去すること
ができる。 最後に、上記不純物元素を除去し、炭化した籾
殻に窒化工程を施す。該窒化工程において、炭化
した籾殻に含まれる二酸化珪素を、同じく該籾殻
に含まれる炭素によつて還元し、窒素と結合せし
めることによつて、窒化珪素が生成する。 該窒化工程における処理条件は、窒素雰囲気中
(窒含素有量99.99〜100容量パーセントの範囲が
望ましい。)で1300〜1400℃の範囲内の温度で、
5〜10時間加熱するのがよい。 本発明により得られる窒化珪素は、本発明にお
ける酸処理工程を施していない籾殻を原料として
得たものより、不純物元素含有量が頗る低い。特
に、ナトリウム、カリウム、カルシウム、マグネ
シウム、マンガン、リンの含有量低下が著しい。
さらに、本発明により得た上記窒化珪素に、焼結
助剤を添加して無加圧焼結して得た成形品は優れ
た高温強度を保有する。 なお、本発明における籾殻としては、稲以外の
稲科の植物たとえば麦、粟、稗等の穀も、使用す
ることができる。 以下、本発明の実施例を示す。 実施例 1 第1表の試験番号1〜19に示す酸性溶液を0.3
リツトルずつ用意し、これらの酸性溶液に、南知
多産の稲より収穫した籾殻を15gずつ浸漬し室温
で1時間放置した。 なお、このとき、該籾殻に付着している気泡を
除去するため、一時的に酸性溶液を撹拌した。 これらの酸性溶液は、上記籾殻を浸漬すると、
いずれも黄色ないし黄褐色に変色した。 その後、それぞれの酸性溶液から籾殻を取り出
し、篩に移して、水道水を振りかけ、余分の酸性
溶液を洗い流した。 次に、上記酸処理した籾殻を、温度100℃で15
時間乾燥したのち、蓋付磁性坩堝に入れ、電気炉
中で温度300℃、5時間加熱し、該籾殻を炭化せ
しめた。さらに、上記の炭化した籾殻1.0gを充
填した黒鉛ボート(内寸法70×15×10mm)を管状
シリコニツト炉中に入れた。 そして該管状シリコニツト炉中へ窒素ガスを毎
分2.0リツトル(標準状態換算)の割合で流しな
がら、上記黒鉛ボートを温度1400℃で、5時間加
熱することにより、炭素と窒化珪素の混合物を得
た。 該混合物を、さらに大気中で温度700℃、10時
間加熱して、残留炭素を除去し、灰白色の窒化珪
素(試料番号1〜19)を得た。 一方、比較例として、上記酸処理工程を行なわ
ない籾殻に、上記の炭化工程、窒化工程を施し、
比較用窒化珪素(試験番号C1)を得た。 上記窒化珪素中の不純物元素をプラズマ発光分
析により調べた。その結果を第1表に示す。 この結果から明らかなように、同表中の酸を使
つて酸処理工程を施した籾殻から製造した窒化珪
素は、酸処理工程を施していない籾殻から製造し
た窒化珪素よりも不純物元素含有量が極めて低く
なつている。
る方法に関するものである。 現在、窒化珪素は、ガスタービン等の耐高温構
造用材料として各方面で検討がなされており、将
来広く使用されるセラミツク材料の一つとして有
望視されているものである。 従来から窒化珪素の合成法としては、種々のも
のが提案され、また検討されている。 これらには、たとえば (1) 金属珪素粉末を窒化する方法、 (2) 四塩化珪素とアンモニア、シランとアンモニ
アを原料として、気相反応させる方法、 (3) 二酸化珪素と炭素との混合物を窒素雰囲気中
で加熱し、珪素を還元・窒化する方法、等があ
る。 上記の中、特に上記(3)の方法は、資源的に豊富
な二酸化珪素を用いるため、工業的に有利であ
る。しかして、この方法の具体的なものの1ツ
に、二酸化珪素原料としてこのものを比較的多量
に含有する籾殻を用いる方法がある。この方法は
籾殻を炭化し、この炭化物を窒素雰囲気で加熱す
ることにより、該炭化物中の二酸化珪素を還元窒
化してα型窒化珪素とするものである。この方法
によると、二酸化珪素と炭素とを混合する工程を
省略できたり、窒化珪素の粒度を容易に調整でき
る等の利点がある。 しかしながら、籾殻中には、珪素以外にカルシ
ウム、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、マ
ンガン、アルミニウム等の元素が含まれている。
しかして、籾殻を原料として得られる窒化珪素
は、これらの元素が不純物として含まれ、該窒化
珪素で製作した成形品の高温強度を低下させる欠
点を有する。通常、これらの不純物元素は、酸化
物で在存し、特に酸化カルシウムが含まれている
場合には、強度の低下が顕著となる。 本発明者らは、籾殻を原料とした窒化珪素の、
上記欠点を克服することを目的に、鋭意研究を進
めた結果、本発明を為すに至つたのである。 本発明は、籾殻を酸性溶液に浸漬して不純物元
素を除去するための酸処理工程と、該酸処理した
籾殻を炭化物とする炭化工程と、該炭化した籾殻
中の珪素を還元、窒化する窒化工程とからなるこ
とを特徴とする窒化珪素の製造方法である。 本発明によれば、窒化珪素の原料である籾殻を
酸性溶液に、短時間浸漬するという極く簡単な操
作を行なうだけで、籾殻中の不純物元素を除去す
ることが可能である。それ故、本発明により得ら
れる窒化珪素は、カルシウム等の不純物元素含有
量が極く少量となり、これを焼結品とした場合に
は、優れた高温強度を保有する。 以下、本発明をより詳細に説明する。 本発明において用いる籾殻は、籾から、籾の中
身である玄米を取り除いた残部である。該籾殻は
水稲、陸稲、いずれの稲から収穫した籾から得た
ものでもよい。 該籾殻には、二酸化珪素が約20重量パーセント
含まれており、その他、ナトリウム、カリウム、
アルミニウム、マグネシウム、カルシウム等の金
属元素を含有している。 通常、上記籾殻には、泥等の汚れが付着してい
る。このため、本発明において使う籾殻を水洗し
ておくのが望ましい。 まず、本発明における第一工程として、上記籾
殻を酸性溶液に浸漬する。ここで用いる酸性溶液
は塩酸、硝酸、硫酸、リン酸等の無機酸、蟻酸、
酢酸、酒石酸等の有機酸の溶液状のものである。
これらの酸性溶液の酸濃度は0.01〜10規定の範囲
が、不純物除去、取り扱い上から望ましい。 籾殻を上記酸性溶液に浸漬すると、該籾殻に含
まれているナトリウム、カリウム、カルシウム、
マグネシウム、マンガン、アルミ、鉄等、珪素以
外の金属元素が金属塩となつて、該酸性溶液中へ
と溶出する。またこのとき、該籾殻に付着してい
る汚れ等も除去することができる。 なお、上記溶出、除去を促進させるために、撹
拌機を用いることも有効である。 上記浸漬時間としては、酸性溶液の濃度によつ
て異なるが、1〜20時間程度が望ましい。1時間
以内では、不純物元素を充分に除去することがで
きず、また、20時間以上浸漬しても不純物元素の
除去割合は増加しない。 以上のようにして、籾殻を所望の時間浸漬した
のち、該酸性溶液から取り出し、次工程である炭
化工程を施す。 なお、このとき、該籾殻に付着している余分の
酸性溶液を清浄水で洗い流してもよい。 本発明における炭化工程では、上記酸処理工程
を施した籾殻を、非酸化性の雰囲気中で加熱し、
該籾殻に含まれているタール状物質等を除去する
とともに、二酸化珪素用還元剤としての炭素を遊
離せしめる。 該炭化工程における加熱条件は、300〜600℃の
範囲の温度で3〜5時間保持するのがよい。該炭
化工程を施すことによつて、籾殻から有機物質が
揮散するために、該籾殻は約50%の重量減少が生
じる。 なお、上記酸処理工程と炭化工程とを、上記と
逆に、すなわち、炭化工程を施したのち酸処理工
程を施しても、不純物元素を十分に除去すること
ができる。 最後に、上記不純物元素を除去し、炭化した籾
殻に窒化工程を施す。該窒化工程において、炭化
した籾殻に含まれる二酸化珪素を、同じく該籾殻
に含まれる炭素によつて還元し、窒素と結合せし
めることによつて、窒化珪素が生成する。 該窒化工程における処理条件は、窒素雰囲気中
(窒含素有量99.99〜100容量パーセントの範囲が
望ましい。)で1300〜1400℃の範囲内の温度で、
5〜10時間加熱するのがよい。 本発明により得られる窒化珪素は、本発明にお
ける酸処理工程を施していない籾殻を原料として
得たものより、不純物元素含有量が頗る低い。特
に、ナトリウム、カリウム、カルシウム、マグネ
シウム、マンガン、リンの含有量低下が著しい。
さらに、本発明により得た上記窒化珪素に、焼結
助剤を添加して無加圧焼結して得た成形品は優れ
た高温強度を保有する。 なお、本発明における籾殻としては、稲以外の
稲科の植物たとえば麦、粟、稗等の穀も、使用す
ることができる。 以下、本発明の実施例を示す。 実施例 1 第1表の試験番号1〜19に示す酸性溶液を0.3
リツトルずつ用意し、これらの酸性溶液に、南知
多産の稲より収穫した籾殻を15gずつ浸漬し室温
で1時間放置した。 なお、このとき、該籾殻に付着している気泡を
除去するため、一時的に酸性溶液を撹拌した。 これらの酸性溶液は、上記籾殻を浸漬すると、
いずれも黄色ないし黄褐色に変色した。 その後、それぞれの酸性溶液から籾殻を取り出
し、篩に移して、水道水を振りかけ、余分の酸性
溶液を洗い流した。 次に、上記酸処理した籾殻を、温度100℃で15
時間乾燥したのち、蓋付磁性坩堝に入れ、電気炉
中で温度300℃、5時間加熱し、該籾殻を炭化せ
しめた。さらに、上記の炭化した籾殻1.0gを充
填した黒鉛ボート(内寸法70×15×10mm)を管状
シリコニツト炉中に入れた。 そして該管状シリコニツト炉中へ窒素ガスを毎
分2.0リツトル(標準状態換算)の割合で流しな
がら、上記黒鉛ボートを温度1400℃で、5時間加
熱することにより、炭素と窒化珪素の混合物を得
た。 該混合物を、さらに大気中で温度700℃、10時
間加熱して、残留炭素を除去し、灰白色の窒化珪
素(試料番号1〜19)を得た。 一方、比較例として、上記酸処理工程を行なわ
ない籾殻に、上記の炭化工程、窒化工程を施し、
比較用窒化珪素(試験番号C1)を得た。 上記窒化珪素中の不純物元素をプラズマ発光分
析により調べた。その結果を第1表に示す。 この結果から明らかなように、同表中の酸を使
つて酸処理工程を施した籾殻から製造した窒化珪
素は、酸処理工程を施していない籾殻から製造し
た窒化珪素よりも不純物元素含有量が極めて低く
なつている。
【表】
この、上記本実施例の試験番号1により得た窒
化珪素の物質同定を、コバルトKα線を用いたX
線回折法により、実施した。 該X線回折法により得られたX線回折図を図に
示す。該物質同定試験の結果、上記窒化珪素は、
その95%以上がα型窒化珪素であることを確認し
た。 実施例 2 実施例1で用いたのと同じ籾殻150gを蓋付き
の磁性坩堝中に入れ、ニクロム抵抗炉中で、温度
300℃で5時間加熱し、該籾殻を炭化した。 一方、塩酸(HC:36wt%含有)を水道水で
希釈し、第2表の試験番号20〜26に示す7種類の
酸性溶液を得た。これらの酸性溶液に、上記炭化
処理した籾殻を7等分して浸漬し、2時間放置し
た。 次に、それぞれの籾殻を酸性溶液より取り出
し、水洗、乾燥の後、実施例1と同条件の窒化工
程を施し、余分の炭素を除去することにより、7
種類の窒化珪素を得た。 その後、これらの窒化珪素について、プラズマ
発光分析により不純物元素含有量を調査した。そ
の結果を第2表に示す。これらの結果より、炭化
工程を施してから、酸処理工程を施しても、得ら
れた窒化珪素中の不純物元素は極く少量になつて
いることがわかる。 また、実施例1と同じく、物質同定を行なつた
結果、95%以上がα型窒化珪素であることを確認
した。
化珪素の物質同定を、コバルトKα線を用いたX
線回折法により、実施した。 該X線回折法により得られたX線回折図を図に
示す。該物質同定試験の結果、上記窒化珪素は、
その95%以上がα型窒化珪素であることを確認し
た。 実施例 2 実施例1で用いたのと同じ籾殻150gを蓋付き
の磁性坩堝中に入れ、ニクロム抵抗炉中で、温度
300℃で5時間加熱し、該籾殻を炭化した。 一方、塩酸(HC:36wt%含有)を水道水で
希釈し、第2表の試験番号20〜26に示す7種類の
酸性溶液を得た。これらの酸性溶液に、上記炭化
処理した籾殻を7等分して浸漬し、2時間放置し
た。 次に、それぞれの籾殻を酸性溶液より取り出
し、水洗、乾燥の後、実施例1と同条件の窒化工
程を施し、余分の炭素を除去することにより、7
種類の窒化珪素を得た。 その後、これらの窒化珪素について、プラズマ
発光分析により不純物元素含有量を調査した。そ
の結果を第2表に示す。これらの結果より、炭化
工程を施してから、酸処理工程を施しても、得ら
れた窒化珪素中の不純物元素は極く少量になつて
いることがわかる。 また、実施例1と同じく、物質同定を行なつた
結果、95%以上がα型窒化珪素であることを確認
した。
図は、本発明の実施例によつて得た窒化珪素に
ついて測定したX線回折図である。
ついて測定したX線回折図である。
Claims (1)
- 1 籾殻を酸性溶液に浸漬して不純物元素を除去
する酸処理工程と、該酸処理した籾殻を加熱して
炭化物とする炭化工程と、該炭化した籾殻中の珪
素を還元、窒化する窒化工程とからなることを特
徴とする窒化珪素の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57143600A JPS5935009A (ja) | 1982-08-19 | 1982-08-19 | 窒化珪素の製造方法 |
US06/514,754 US4483839A (en) | 1982-08-19 | 1983-07-18 | Process for producing silicon nitride |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57143600A JPS5935009A (ja) | 1982-08-19 | 1982-08-19 | 窒化珪素の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5935009A JPS5935009A (ja) | 1984-02-25 |
JPH0123403B2 true JPH0123403B2 (ja) | 1989-05-02 |
Family
ID=15342489
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57143600A Granted JPS5935009A (ja) | 1982-08-19 | 1982-08-19 | 窒化珪素の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4483839A (ja) |
JP (1) | JPS5935009A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0385203A (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 薬剤包装機の薬剤投入装置 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6052120B2 (ja) * | 1982-06-04 | 1985-11-18 | タテホ化学工業株式会社 | 炭化珪素の製造方法 |
JPS6112915A (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-21 | Tokushu Muki Zairyo Kenkyusho | 実質的にSi,N及びOからなる連続無機繊維とその製造法 |
JPS61146797A (ja) * | 1984-12-14 | 1986-07-04 | Tateho Kagaku Kogyo Kk | 窒化珪素ならびに炭化珪素の連続的製造方法 |
WO1987005597A1 (en) * | 1986-03-14 | 1987-09-24 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Or | Method of forming a ceramic product |
JPS6428210A (en) * | 1987-03-11 | 1989-01-30 | Agency Ind Science Techn | Production of ceramics from rice hull ash |
JPH01249614A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 籾殻及び籾殻灰からなる固型組成物ならびにその製造方法 |
JP4729848B2 (ja) * | 2003-11-27 | 2011-07-20 | パナソニック株式会社 | 整合部材の製造方法および整合層を用いた超音波センサ並びに超音波センサを用いた流体の流れ測定装置 |
US7638108B2 (en) * | 2004-04-13 | 2009-12-29 | Si Options, Llc | High purity silicon-containing products |
US8470279B2 (en) * | 2004-04-13 | 2013-06-25 | Si Options, Llc | High purity silicon-containing products and method of manufacture |
US7588745B2 (en) * | 2004-04-13 | 2009-09-15 | Si Options, Llc | Silicon-containing products |
JP6509511B2 (ja) * | 2014-09-02 | 2019-05-08 | 株式会社クラレ | 植物由来炭素前駆体の精製方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3754076A (en) * | 1970-10-30 | 1973-08-21 | Univ Utah | Production of silicon carbide from rice hulls |
US3855395A (en) * | 1972-09-06 | 1974-12-17 | Univ Utah | Production of silicon nitride from rice hulls |
JPS52799A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-06 | Onoda Cement Co Ltd | Process for production of silicon nitride |
-
1982
- 1982-08-19 JP JP57143600A patent/JPS5935009A/ja active Granted
-
1983
- 1983-07-18 US US06/514,754 patent/US4483839A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0385203A (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 薬剤包装機の薬剤投入装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4483839A (en) | 1984-11-20 |
JPS5935009A (ja) | 1984-02-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4428916A (en) | Method of making α-silicon nitride powder | |
JPH0123403B2 (ja) | ||
US4117095A (en) | Method of making α type silicon nitride powder | |
JPS5850929B2 (ja) | 炭化ケイ素粉末の製造方法 | |
JPH0134925B2 (ja) | ||
GB2132182A (en) | Process for preparation of silicon nitride powder of good sintering property | |
JPS6112844B2 (ja) | ||
JPS6016811A (ja) | 炭化珪素の製造方法 | |
JPS6111886B2 (ja) | ||
JPS5839764B2 (ja) | 窒化アルミニウム質粉末の製造方法 | |
JP2872528B2 (ja) | 窒化珪素粉末 | |
JP2585506B2 (ja) | 炭化珪素焼結体およびその製法 | |
JPS5945915A (ja) | β型炭化珪素粉末の製造方法 | |
JPS6324952B2 (ja) | ||
JPS5823327B2 (ja) | β型炭化ケイ素粉末の製造方法 | |
KR970001524B1 (ko) | 탄화규소(SiC) 분말의 제조방법 | |
JP3585302B2 (ja) | 窒化アルミニウムの製造方法 | |
JPH0264100A (ja) | AlNウィスカーの製法 | |
JPS61102416A (ja) | 炭化ケイ素質繊維状物質の製造方法 | |
JP2635695B2 (ja) | α−窒化ケイ素粉末の製造方法 | |
JP2970400B2 (ja) | 高α型窒化ケイ素粉末の製造方法 | |
JPS6146403B2 (ja) | ||
JPH0345506A (ja) | 高酸素高β型窒化ケイ素微粉末及びその製造方法 | |
JPS5950006A (ja) | α型窒化珪素粉末の製造方法 | |
JPS61146706A (ja) | 炭化けい素の製造法 |