JPH01211939A - イオン注入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＩＣの製造に用いられるイオン注入装置に関す
る。

〔従来の技術〕

従来、この種のイオン注入装置においては、注入ターゲ
ットのステージは、回転軸に１枚固定され、水平から垂
直に９０”回転するように構成されており、ウェハーの
立て替えは次のように行なわれていた。

すなわち、ウェハーはキャリアから搬送ベルトにより水
平に置かれたステージ上に運ばれたのち、ステージ上に
設けられた搬送ベルトにより所定の位置に置かれ、次に
ウェハー押えにより押えられる。次にステージが垂直に
可動した後ウェハーにイオンが注入される。イオン注入
終了後は再びステージは水平となり、シリンダーにより
ウェハー押えが持ち上げられ、注入済みウェハーは搬送
ベルトにより収納ステージに収納される。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のイオン注入装置においては、回転軸には
１枚のステージしか固定されていない為、注入終了後、
注入済ウェハーと未注入ウェハーを立て替えなけ、れば
ならない。従ってイオン注入処理には多くの時間が必要
であるという欠点があった。

本発明の目的は、処理時間の短いイオン注入装置を提供
することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のイオン注入装置は、モータに連結された回転軸
と、該回転軸に一辺が固定された注入ターゲットのステ
ージと、該ステージに設けられた搬送ベルト７とウェハ
ー押えとを有するイオン注入装置であって、前記回転軸
には４枚のステージが固定され、かつ、各ステージの面
がほぼ直角に位置するように構成されているものである
。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の一実施例のステージの斜視図である。

第１図において、モータ２に連結された回転軸３には４
枚のステージＩＡ〜ＩＤが固定されており、各ステージ
の面がほぼ直角に位置するように構成されている。そし
て、４枚の各ステージＩＡ〜ＩＤには、従来のステージ
と同様に搬送ベルト４とウェハー押え５とが設けられて
いる。

このように構成されたステージを有するイオン注入装置
においては、ウェハーの立て替えは次のようにして行な
われる。

垂直に位置するステージＩＢ上のウェハーにイオン注入
が行なわれる。この時、イオン注入済みのウェハーは、
水平の位置に移動したステージＩＡ上にある。そして、
ステージＩＡ上のウェハー押え５がシリンダーにより突
き上げられ、注入済みのウェハーは搬送ベルト４等によ
り運ばれ、未注入ウェハーと入れ替えられる。

ステージＩＢ上のウェハーへのイオン注入と、ステージ
ＩＡ上のウェハーの立て替えが終了した時点で、モータ
２により回転軸３が９０°回転し、ステージＩＢはステ
ージＩＡの位置に、また未注入ウェハーを保持したステ
ージＩＣはステージＩＢの位置に移動し、再びイオン注
入とウェハーの立て替えが行なわれる。

このように本実施例によれば、イオン注入中にウェハー
の立て替えを行なうことができるため、イオン注入の処
理時間は大幅に短縮される。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、イオン注入装置の回転軸
に４枚の注入ターゲット用のステージを固定することに
より、ウェハーへのイオン注入と注入済みのウェハーの
立て替えを同時に行なう事ができるため、イオン注入の
処理時間を短くできる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のステージの斜視図である。 ■Ａ〜ＩＤ・・・ステージ、２・・・モータ、３・・・
回転軸、４・・・搬送ベルト、５・・・ウェハー押え。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　モータに連結された回転軸と、該回転軸に一辺が固定
   された注入ターゲットのステージと、該ステージに設け
   られた搬送ベルトとウェハー押えとを有するイオン注入
   装置において、前記回転軸には４枚のステージが固定さ
   れ、かつ、各ステージの面がほぼ直角に位置するように
   構成されていることを特徴とするイオン注入装置。