JPH01190990A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）産業上の利用分野 この発明は、気体を圧縮排気し高真空を得るのに好適な
真空ポンプに関する。

（２）従来の技術 従来の真空ポンプにおいては、動翼と静翼とを有するタ
ーボ分子ポンプの場合は、動翼と静翼とを交互に僅少の
隙間を有して積層するため、各静翼間にはリング状のデ
ィスタンスピースを多段に設けて静翼が構成されている
。又ねじ溝を有するねじ構分子ポンプの場合は、回転、
するロータと僅−少の隙間を有して設けられたステータ
は、円筒状に一体に形成されている。

（３）発明が解決しようとする問題点 従ってターボ分子ポンプを組立てる場合は、多段になれ
ばなる程多数の動翼と静！及びディスタンスピースを準
備し、静翼、ディスタンスピース、動翼、静翼、ディス
タンスピース、動翼・・・の如く交互に積層しなければ
ならない。

従って部品の点数が多くなり、コストが上昇すると共に
組立工数を要する。

又ねじ溝真空ポンプの場合においてもステータを多段に
積重ねた形式のものでは部品の数量が多くなり組立時間
を要している。

更に、ねじ溝と動翼及び静翼を有する複合真空ポンプの
場合は、ステータとロータ間の間隙を極小にしてあり、
ステータ内径が動翼の外径より小さくなり１分解する場
合には動翼を回転軸から取外さなければならない。

従って分解時には、特殊な治工具を必要とし、且つ分解
組立に多くの時間を要する。

本発明は、上記の如き問題点を解消し、分解１組立、清
掃を容易ならしめると共に、部品点数を少くして、コス
トダウンを図った真空ポンプを提供することを目的とす
る。

（４）問題点を解決するための手段 本発明は、上記の目的を達成するため、ステータを、複
数のステータ分割体をそれぞれの両側端において互に結
着して形成しだことを特徴とする。

（５）作用 複数のステータ分割体をそれぞれの両側端において結着
或いは離脱することによりステータの組立て或いは分解
が容易にできる。

（６）実施例 本発明の１実施例を図面に基き説明する。

第５図は複合真空ポンプの構成を示す一部截断斜視図で
あり、（１）はモータで該モータ（１）の回転軸（ｌａ
）の下部にはねじ溝を有するロータ（２）が固定されて
おり、その上部に傾斜角を有する多数の放射状翼からな
る動翼（３）が軸止されている。一方、前記ロータ（２
）の外周に対し僅少の間隙を有する円筒状のステータ（
４）が僚体（５）に固定されている。又該ステータ（４
）の上方には、前記動翼（３）の傾斜角と反対の傾斜角
を有し放射状翼からなる静翼（７）が保持固定されるタ
ーボ分子部のステータ（６）が、前記位体（５）により
同心的に固定されている。

そして該ターボ分子部のステータ（６）は第１図、第２
図に示すように、半リング状のディスタンスピース分割
体（６Ｃ）・・・（６Ｃ）を積層一体化した１対のステ
ータ分割体（６ａ）（６ｂ）からなり、これら分割体（
６ａ）（６ｂ）の両側端部にはピン孔（６ｅ）　　（６
ｆ）がそれぞれさく孔され、ピンにより両者を結合する
ようになっている。

従って、ステータ分割体（６ａ）（６ｂ）の各半リング
状のディスタンスピース分割体（６Ｃ）の溝部に静翼（
７）を嵌め込んだ後分割体（６ａ）　　（６ｂ）を左右
から動翼（３）を有するロータ（４）の上方部に装着し
組立てを行うことができる。従って従来の如くディスタ
ンスピースを一段一段組立てる必要がなくなる。

次に、第３図、第４図に示すように、ねじ溝ポンプ部の
ステータ（４）は半円筒状のステータ分割体（４ａ）　
　（４ｂ）からなり、これら分割体（４ａ）　　（４ｂ
）の両端面に、これら分割体（４ａ）　　（４ｂ）を結
合するため、ピン孔（４ｃ）、（４ｄ）がさく孔されて
いる。

従って、ステータ（４）を取外す場合には回転軸（ｌａ
）の上部に固定された動翼（３）関係を取外すことなく
１分割体（４ａ）、（４ｂ）を左右から取外すことがで
きる。

なお本発明は上記実施例以外に静翼（７）と半リング状
のディスタンスピース分割体（６Ｃ）を一体化し、更に
これらディスタンスピース分割体（６Ｃ）を端層一体化
してステータ分割体に形成すれば、ポンプの組立て等に
静翼の嵌め込みが不必要となる。又、ターボ分子ポンプ
部のステータ（６）のみ又はねじ溝分子ポンプ部のステ
ータ（４）のみ２分割したステータ分割体により構成し
てもよい、更に必要に応じてステータを３分割以上して
もよい。

（７）発明の効果 上記の如く、本発明によれば、ステータを複数のステー
タ分割体に分割可能に形成したので、分解１組立を容易
にし、簡単・に保守、点検が可能となり、コストを低減
することができる優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のターボ分子ポンプ部のステータの一部
截断平面図、第２図は第１図のＩＩ　−１１面からみた
側面図、第３図はねじ溝ポンプ部のステータの一部截断
平面図、第４図は第３図のＩＶ−ｒＶ面からみた側面図
、第５図は複合真空ポンプの一部截断斜視図である。 （４）（６）・・・ステータ （６Ｃ）・・・ディスタンスピース分割体（７）・・・
静置 特許出願人　　　株式会社大阪真空機器製作所第２図　
　　第１図 第４図　　　第３図 図面の浄書（内容に変更なし） 手続補正書（方式） ％式％ １、専件の表示 昭和６３年特許願第０１３５８１号 ？１発明の名称 シン　７〜 真空ポンプ ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住所　大阪府大阪市東区北浜３丁目６番地名称　株式会
社大阪真空機器製作所 ４、代理人　　〒１０３ 住所　東京都中央区日本橋小伝馬町１６１に８号５、補
正命令の口付 昭和６３年４月２６日 ３、補正の対象 図面。 ７．補正の内容 願書の最初に添付した図面の第５図。 別紙のとおり（内容に変更なし）。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）ステータを、複数のステータ分割体をそれぞれの
   両側端において互に結着して形成したことを特徴とする
   真空ポンプ。
2. （２）前記ステータがターボ分子ポンプのステータであ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項の真空ポンプ
   。
3. （３）前記ステータ分割体を、リング状のディスタンス
   ピースの分割体を積層一体に形成したことを特徴とする
   特許請求の範囲第２項記載の真空ポンプ。
4. （４）前記ディスタンスピースに静翼を一体成形したこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の真空ポンプ
   。
5. （５）前記ステータがねじ溝ポンプのステータであるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の真空ポンプ
   。
6. （６）前記ステータが複合分子ポンプのステータである
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の真空ポン
   プ。