[go: up one dir, main page]

JPH01183605A - 受光デバイス - Google Patents

受光デバイス

Info

Publication number
JPH01183605A
JPH01183605A JP770788A JP770788A JPH01183605A JP H01183605 A JPH01183605 A JP H01183605A JP 770788 A JP770788 A JP 770788A JP 770788 A JP770788 A JP 770788A JP H01183605 A JPH01183605 A JP H01183605A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical fiber
light
face
core layer
optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP770788A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Nakamoto
洋 中元
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP770788A priority Critical patent/JPH01183605A/ja
Publication of JPH01183605A publication Critical patent/JPH01183605A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 光ファイバと受光素子とを光結合する受光デバイスに関
し、 光結合効率が高く、且つ小形の受光デバイスを提供する
ことを目的とし、 光信号を伝送する光ファイバと、該光ファイバの出射光
を受光すべく、受光面を上向きにして該光ファイバに並
行した回路基板上に実装する受光素子とを備えたデバイ
スにおいて、■ 一方の端面が該光ファイバの端面に密
着し光結合して、該受光素子の上方に配設され、下側面
に、出射光を該受光面方向に反射すべく他方の端面を斜
傾端面とした帯状のコア層を有する導波路体と、該斜傾
端面に対向する該コア層の下側面に貼着される集光レン
ズとを備えた構成とする。■ 一方の端面が該光ファイ
バの端面に密着し光結合して、該受光素子の上方に配設
され、下側面に該光信号を伝送する帯状のコア層を有す
る導波路体と、該コア層の所望の個所の下面に設けた、
集光グレーティングカプラとを、備えた構成とする。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光ファイバと受光素子とを光結合する受光デ
バイスに関する。
近年は受信回路等の電気回路と受光素子とを、同一の回
路基板を設けた受光デバイスが提供されている。
この際、光伝送路と電気信号路とが直交していると、デ
バイス全体が大形化する恐れがある。よって、電気信号
路を設けた回路基板と光伝送路とを並行に設置した、所
謂平面実装形の受光デバイスが望ましい。
一方、周波数特性改善のため、受光素子の電気容量をで
きるかぎり小さくしている。このことに伴い、受光素子
の受光面が小さくなり、光結合度が低下する。
したがって、光信号が効率良(受光素子に入射するよう
な、受光デバイスが要求されている。
〔従来の技術〕
第6図は光ファイバと受光素子とを平面実装形にした従
来例の側断面図である。第6図において、5は表面に所
望の電気回路と、フォトダイオード等の受光素子lとを
実装した、セラミ、クス等よりなる回路基板であって、
基台6の表面に密着するように固着しである。
受光素子lは、上面に受光面3を設けたチップ型の素子
であって、裏面の全面に電極を設け、その電極を回路基
板5の表面に設けたパターン4Bに密着して接続しであ
る。また、受光面3の周縁にリング形の他方の電極2A
を設け、電極2^を他の電気信号路であるパターン4A
に接続している。
即ち受光素子lは、受光面3が上向きで、回路基板5の
上面に並行した状態で、回路基板5に実装されている。
10は、シングルモードの光ファイバであって、受光素
子1に光信号を入射させる光伝送路である。
光ファイバ10の端面は、軸心に直交する平面ではなく
、軸心に対してほぼ45度傾斜した斜傾端面11に加工
しである。
7は、光ファイバ10を水平に支持するように、例えば
V形の溝を設けたファイバ保持台であって、光ファイバ
10の斜傾端面11を上側にして、光ファイバの端末近
傍を溝に挿入し、光ファイバの外周面と溝の内壁とを接
着剤等を用いて接着し、固着しである。
光ファイバ10の斜傾端面11が、受光素子lの受光面
3に対向するように、ファイバ保持台7を位置調整した
後に、ファイバ保持台7の底面を回路基板5の上面に密
着させ、ファイバ保持台7を回路基板5に固着しである
したがって、光ファイバ10を伝搬してきた光信号は、
斜傾端面11で軸心に対してほぼ直交するような下側方
向、即ち受光素子1方向に、はぼ全反射して、斜傾端面
11に対向するクラッド層の外周面から出射し受光面3
に入射する。
上述のように従来の受光デバイスは、光ファイバの端面
を斜傾端面にして、光ファイバの軸心を回路基板の上面
に近接して並行に実装したものであって、光ファイバの
軸心を回路基板の表面に垂直に実装した場合に比較して
、受光デバイスの小形化が推進されるという利点がある
〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、近年の受光素子は、容量を小さくして周
波数特性を向上させている。即ち、容量の小形化に伴い
、近年の受光素子の受光面は狭小になっている。
一方、上記従来例の受光デバイスは、光ファイバの端面
が斜傾端面であるので、斜傾端面で反射した出射ビーム
は、光ファイバの軸心方向に長径を有する、はぼ円錐体
状に拡開して、受光面3に投射されている。
したがって、従来の受光デバイスは、受光面の狭小化に
伴い、光結合効率が低(なるという問題点があった。
また、光結合効率を高くしようと光ファイバを調整する
際に、光ファイバを受光素子に近づけすぎて、受光素子
に衝突させ、受光素子を破壊する恐れがあった。
本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、光結
合効率が高く、且つ小形の受光デバイスを提供すること
を目的としている。
〔課題を解決するための手段〕
上記の目的を達成するために本発明は、光信号を伝送す
る光ファイバ10と、光ファイバ10に並行した回路基
板5上に、光ファイバ10の出射光を受光すべく受光面
3を上向きにして、実装する受光素子1とを備えた受光
デバイスにおいて、第1図に例示したように、光ファイ
バ10と受光素子1との間に、下側面に帯状゛のコア層
21を有する導波路体20を設ける。
導波路体20の一方の端面を平端面にして、光ファイバ
10の端面に密着させ光結合させる。また、導波路体2
0の端面を斜傾端面22−Aとして、コア層21の出射
光を受光面3方向に反射させるように構成する。支持台
2OAを用いて回路基板5の上方所定の位置に導波路体
20を保持する。
そして、斜傾端面22−Aに対向するコア層21の下側
面に凸レンズ、或いはフレネルレンズのような集光レン
ズ25を貼着した構成とする。
他の手段として、第2図に例示したように、光ファイバ
10と受光素子1との間に、下側面に帯状のコア層21
を有する導波路体20を設ける。
導波路体20の一方の端面を平端面にして、光ファイバ
10の端面に密着させ光結合させ、支持台20Aを用い
て回路基板5の上方所定の位置に、導波路体20を保持
する。
そして、コア層21の所望の個所の下面に、受光面3に
集光するように、集光グレーティングカプラ35を設け
る構成とする。
〔作用〕
上記第1項のよれば、光ファイバの出射側端面ば、光信
号を受光面3方向に反射するように、斜傾端面22−A
となっており、且つ斜傾端面22−Aに対向するコア層
21の下側面に集光レンズ25を貼着しである。
したがって、斜傾端面22−八で拡開するように反射し
た光ビームは、集光レンズ25により受光面3に集光す
る。よって、受光面3を狭小にした場合においても、光
結合度が高い。
上記第2項によれば、光信号が伝搬するコア層21の所
望の個所の下面に、はぼ半月状の集光グレーティングカ
プラ35を設けであるので、コア層21を進行した光は
、集光グレーティングカプラ35の領域で屈折して、コ
ア層21より受光素子1方向に飛び出し、受光面3上で
集光する。
よって、受光面3を狭小にした場合においても光結合度
が高い。また、集光機能を備えているので光結合が最適
となる位置で、受光素子と集光グレーティングカプラと
の間に、ある程度の間隔がある。よって調整時に受光素
子を損傷する恐れがない。
〔実施例〕
以下図を参照しながら、本発明を具体的に説明する。な
お、全図を通じて同一符号は同一対象物を示す。
第1図は第1項の実施例の断面図、 第2図は第2項の実施例の断面図、 第3図は第1項の他の実施例の斜視図、第4図は第2項
の他の実施例の、斜視図、第5図の(al、 (bl、
 (C1は、第2項の要部を示す図である。
第1図において、基台6の表面に密着するように装着し
た、セラミックス等よりなる回路基板5の表面に、受信
回路等の電気回路と、フォトダイオード等の受光素子1
とを実装しである。
光信号を受信する受光素子1は、電気容量が小さく、表
面側に狭小の受光面3を有するチップ型の素子であって
、裏面の全面に設けた電極(図示せず)をパターン4B
に密着して接続し、表面のり 。
フグ形の電極2Aを、回路基板5の表面に設けたパター
ン4Aの端末に、ワイヤーボンデングして接続しである
。即ち、受光面3が上向きになるように、受光素子lを
回路基板5に実装しである。
10は、例えばシングルモード光ファイバであって、受
光素子1に光信号を入力する光伝送路である。
20は、ニオブ酸リチウム等よりなる板状の導波路体で
あって、下側面の中心線に沿って、チタン等を拡散させ
屈折率を大きくして、帯状のコア層21を設けである。
コア層21の深さ、及び幅は、それぞれ光ファイバ10
のコアの直径にほぼ等しく、10μ閣程度である。
導波路体20の一方の端面を垂直面にし、他方の端面を
コア層21の下面側が鋭角、例えば45度の角度で傾斜
した斜傾端面22−Aとしである。
導波路体20の光ファイバ10を当接する側の下面に、
導波路体20と同材料よりなる、直方体状の支持台20
Aを接着しである。この支持台2OAは、支持台の側壁
と導波路体20の端面とが、同一平面になるように、固
着するものとする。
光ファイバ10の先端を、ルビー等の支持板15の中心
孔に嵌挿する。そして、光ファイバ10の端面をコア層
21の端面に当接した状態で、支持板15と導波路体2
0の端面とを、接着剤16を用いて接着して、光ファイ
バ10とコア層21とを光学的に接続している。
25は、はぼ半球状の凸レンズ、或いは円板形のフレネ
ルレンズのような集光レンズであって、その直径は、コ
ア層21の幅よりも所望に大きい。集光レンズ25の平
坦面を、斜傾端面22−八に対向するコア層21の下側
面に、光を透過する光学接着剤を用いて貼着しである。
なお、集光レンズ25は、斜傾端面22−Aで反射した
光が受光面3に集光するといった、所望の焦点距離を備
えたレンズとする。
上述のように、集光レンズ25と光ファイバ10とを装
着した導波路体20を、支持台20Aの集光レンズ25
例の側壁を回路基板5の側縁に当接した状態で、支持台
20Aの底面を、接着剤を用いて基台6に固着している
。なお、支持台20Aの高さは、受光素子lに集光レン
ズ25が衝突する恐れのないような所望の高さとする。
したがって、光ファイバ10を伝搬してきた光は、コア
層21を進行して斜傾端面22−Aに達し、斜傾端面j
2−aで受光素子1方向に反射する。その反射光は、集
光レンズ25により集束され受光面3に集光する。
即ち、受光面3を狭小にした場合でも、光結合効率が高
い。
なお、光ファイバ10及び導波路体20の軸心が、回路
基板5に近接して平行しているので、光ファイバの軸心
を回路基板の表面に垂直に実装した場合に比較して、実
装作業が容易であり、且つ、受光デバイスが小形となる
第2図に示す導波路体20は、両端面を垂直面としたこ
と以外は、第1′図に示した導波路体と全く同じであっ
て、一方の端面に光ファイバ10を接続し、また、コア
層21を下側にして、支持台20Aを介して回路基板5
の上方に装着することも、第1図に示したものと同じで
ある。
コア層21の所望の個所の下面に、受光面3に集光する
ように、集光グレーティングカブラ35を、イオンビー
ムエツチング手段により形成しである。
この集光グレーティングカプラ35は、詳細を第5図に
示すように設けである。
第5図(a)は、導波路体20を裏返しにした斜視図で
あって、導波路体20に設けたコア層21の一方の端面
に、光ファイバ10の端面を当接して、光ファイバ10
とコア層21とを光学的に接続しである。
そして、コア層21の所望の表面に光フアイバ10方向
に中心を有するほぼ半月状の格子凸部と格子溝とよりな
る回折格子を、多数条設けて、集光グレーティングカプ
ラ35としである。
したがって、光ファイバ10よりコア121に入射した
光は、シングルモードでコアJ!21を進行して、集光
グレーティングカプラ35に達する。そして、集光グレ
ーティングカブラ35を通過中に、つぎつぎに屈折して
、コア層21より受光素子方向(第5図では斜め上方)
に飛び出し、受光面(第5図の点P)に集光する。
この集光グレーティングカブラ35には、第5図(b)
に示すブレーズ状の回折格子のものと、第5図(C1に
示す矩形の凹凸の回折格子のものとがあり、いずれの形
状のものでも良いが、ブレーズ状の回折格子の方が集光
する光量がより多い。
第5図(b)において、導波路体20に設けたコア層2
1の表面に、格子凸部36−1と格子溝36−2とで鋸
刃状の断面を持つブレーズ状の回折格子を、はぼ半月状
に多数条設けである。
この格子凸部36−1のピンチとその頂点角度(ブレー
ズ角)は、光ファイバ(図示せず)から離れるにしたが
って、一定の法則に基づき変化させである。したがって
、光ファイバよりコア層21に入射した光は、シングル
モードでコア層21を進行する。そして、集光グレーテ
ィングカブラ35に達すると、次々に異なる角度で屈折
し、斜め上方1図示の点Pに集光する。
第5図(C1において、導波路体20に設けたコア層2
1の表面に、格子凸部37−1と格子溝36−2とで矩
形状の断面を備えた回折格子を、はぼ半月状に多数条設
けである。
この格子凸部37−1のピッチと幅は、光ファイバ(図
示せず)から離れるにしたがって、一定の法則に基づき
変化させである。したがって、光ファイバよりコア層2
1に入射した光は、シングルモードでコア層21を進行
する。そして、集光グレーティングカブラ35に達する
と、次々に異なる角度で屈折し、斜め上方3図示の点P
に集光する。
第3図、及び第4図は、光フアイバアレイと受光素子ア
レイとを光結合させた実施例である。
第3図において、基台6の表面に密着するよう装着した
回路基板5の表面には、複数個(図では3個)の受光素
子lを近接して、等ピッチで配設して、受光素子プレイ
としである。
それぞれの受光素子1は、電気容量が小さ(、表面側に
狭小の受光面を有するチップ型であって、裏面の全面に
設けた電極(図示せず)をパターン4Bに密着して接続
し、表面のリング形の電極(図示せず)を、回路基板5
上に並行に設けたパターン4Aの、それぞれの端末にワ
イヤーボンデングして接続しである。
導波路プレイの熱膨張係数に等しいか、それに近い、熱
膨張係数の材料(例えばニオブ酸リチウムそのもの)よ
りなる矩形板に、光ファイバ10の外径に等しい内径の
孔を等ピッチ(受光素子lの配列ピッチに等しいピッチ
)で配列し、それぞれの孔に光ファイバ10の端末を嵌
着して、光フアイバアレイ150としである。
導波路アレイ200は、ニオブ酸リチウム等よりなる板
状である。そして下側面に、光フアイバアレイ150の
光ファイバ10の配列ピッチに対応して、複数の帯状の
コア層21を設けである。
導波路アレイ200の一方の端面を垂直面に、他方の端
面をコア層21の下面側が鋭角、例えば45度の角度で
傾斜した斜傾端面220−Aとしである。
導波路アレイ200の光フアイバアレイ150を当接す
る側の下面に、導波路アレイ200と同材料よりなる、
直方体状の支持台20〇八を接着しである。
そして、光ファイバ10のそれぞれの端面を、導波路ア
レイ200の対応するコア層21の端面に当接した状態
で、光フアイバアレイ150を導波路アレイ200端面
に、接着剤を用いて接着し、それぞれの光ファイバ10
とそれぞれのコア層21とを、光学的に接続している。
斜傾端面220−Aに対向するコア層21のそれぞれの
下側面に、光を透過する光学接着剤を用いて集光レンズ
25を貼着しである。
上述のように、集光レンズ25と光フアイバアレイ15
0とを装着した導波路アレイ200は、支持台20〇へ
の底面を、接着剤を用いて基台6に固着するようになっ
ている。
上述の光フアイバアレイ150の光ファイバの配列ピツ
チ、及び導波路アレイ200のコア層の配列ピッチは、
リソグラフィー手段等により、高精度に配列することが
できる。
したがって、それぞれの光ファイバ10を伝搬してきた
光は、対応するコア層21を進行してそれぞれの斜傾端
面220−Aに達し、受光素子方向に反射し、集光レン
ズ25により集束され対応する受光素子の受光面3に集
光する。
第4図において、導波路アレイ200の下側面には、光
フアイバアレイ150の光ファイバの配列ピンチに対応
して、複数の帯状のコア層21を設けである。
導波路アレイ2000両端面は、コア層21に垂直な面
である。なお、導波路アレイ200の光フアイバアレイ
150例の下面に、導波路アレイ200と同材料よりな
る、直方体状の支持台(図示せず)を接着する。
そして、それぞれのコア層21の下面で、光フアイバア
レイ150側の端面より等距離の個所に、同形状のほぼ
半月状の集光グレーティングカブラ35を設けである。
このようなに集光グレーティングカブラ35を形成した
導波路アレイ200を用いることにより、光フアイバア
レイ150のそれぞれの光ファイバを伝搬して、コア層
21に入射した光は、集光グレーティングカブラ35で
受光素子lの受光面に集光する。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、導波路体、或いは導波路
アレイのコア層に、集光レンズを貼着するか、或いは半
月状の集光グレーティングカブラを設けたもので、狭小
な受光面の受光素子、及び受光素子アレイに適用して、
光ファイバと受光素子との光結合効率が高く、また実装
作業が容易で小形で、且つ組み立て時に受光素子を損傷
する恐れがない等、実用上で優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は第1項の実施例の断面図、 第2図は第2項の実施例の断面図、 第3図は第1項の他の実施例の斜視図、第4図は第2項
の他の実施例の斜視図、第5図の(a)、 (b)、 
(C)は、第2項の発明の要部を示す図、 第6図は従来例の断面図である。 図において、 lは受光素子、 3は受光面、 4A、 4Bはパターン、 5は回路基板、 10は光ファイバ、 11、22−A、 220−Aは斜傾端面、15は支持
板、 20は導波路体、 2OA 、 200Aは支持台、 21はコア層、 3°5は集光グレーティングカブラ、 150は光フアイバアレイ、 〕 チ1順の兜遍例へ牲力口 早 1 口 1安七千士 早2瑣の光た例の歌鎖2 P 2 ロ 率Iめ他■更七例σ舛祝記 第 3 ■ %θ 牟2功G脅ρ粘七′列の斜視Z 第 4− 撥 (CL) (′F)ン

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 光信号を伝送する光ファイバ(10)と、該光ファ
    イバ(10)の出射光を受光すべく、受光面(3)を上
    向きにして該光ファイバ(10)に並行した回路基板(
    5)上に実装する受光素子(1)、とを備えたデバイス
    において、 一方の端面が該光ファイバ(10)の端面に密着し光結
    合して、該受光素子(1)の上方に配設され、下側面に
    、出射光を該受光面(3)方向に反射すべく他方の端面
    を斜傾端面とした帯状のコア層(21)、を有する導波
    路体(20)と、 該斜傾端面に対向する該コア層(21)の下側面に貼着
    される集光レンズ(25)とを、備えたことを特徴とす
    る受光デバイス。 2 光信号を伝送する光ファイバ(10)と、該光ファ
    イバ(10)の出射光を受光すべく、受光面(3)を上
    向きにして該光ファイバ(10)に並行した回路基板(
    5)上に実装する受光素子(1)、とを備えたデバイス
    において、 一方の端面が該光ファイバ(10)の端面に密着し光結
    合して、該受光素子(1)の上方に配設され、下側面に
    該光信号を伝送する帯状のコア層(21)を有する導波
    路体(20)と、 該コア層(21)の所望の個所の下面に設けた、集光グ
    レーティングカプラ(35)とを、備えたことを特徴と
    する受光デバイス。
JP770788A 1988-01-18 1988-01-18 受光デバイス Pending JPH01183605A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP770788A JPH01183605A (ja) 1988-01-18 1988-01-18 受光デバイス

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP770788A JPH01183605A (ja) 1988-01-18 1988-01-18 受光デバイス

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01183605A true JPH01183605A (ja) 1989-07-21

Family

ID=11673215

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP770788A Pending JPH01183605A (ja) 1988-01-18 1988-01-18 受光デバイス

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01183605A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03180820A (ja) * 1989-11-30 1991-08-06 Alcatel Cit 2つの光結合を与える装置及び該装置の製造方法
JPH0926530A (ja) * 1995-07-11 1997-01-28 Nec Corp 光モジュール
US5771322A (en) * 1993-12-27 1998-06-23 Nec Corporation Light-receiving structure for wave-guide type optical devices
JP2000039530A (ja) * 1998-07-22 2000-02-08 Sony Corp 光信号伝送システムおよびその製造方法
US9323004B2 (en) 2013-06-28 2016-04-26 International Business Machines Corporation Optical device
CN114242811A (zh) * 2021-12-06 2022-03-25 中国电子科技集团公司第十三研究所 光电探测器芯片、光电探测器芯片电路及光电探测器

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03180820A (ja) * 1989-11-30 1991-08-06 Alcatel Cit 2つの光結合を与える装置及び該装置の製造方法
US5771322A (en) * 1993-12-27 1998-06-23 Nec Corporation Light-receiving structure for wave-guide type optical devices
JPH0926530A (ja) * 1995-07-11 1997-01-28 Nec Corp 光モジュール
JP2000039530A (ja) * 1998-07-22 2000-02-08 Sony Corp 光信号伝送システムおよびその製造方法
US9323004B2 (en) 2013-06-28 2016-04-26 International Business Machines Corporation Optical device
US9372312B2 (en) 2013-06-28 2016-06-21 International Business Machines Corporation Optical device
US9753227B2 (en) 2013-06-28 2017-09-05 International Business Machines Corporation Optical device
CN114242811A (zh) * 2021-12-06 2022-03-25 中国电子科技集团公司第十三研究所 光电探测器芯片、光电探测器芯片电路及光电探测器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5479540A (en) Passively aligned bi-directional optoelectronic transceiver module assembly
KR100198460B1 (ko) 브이홈에 정렬된 렌즈를 가진 광모듈 및 그 제작방법
JP6150809B2 (ja) その主面に複数の千鳥状の光方向転換機構を有する光学基材
JP4012785B2 (ja) 光接続装置
JP3134850B2 (ja) 光学部品、光学モジュール組立品、および光学ネットワーク
JPH0133801B2 (ja)
CN101846777B (zh) 光器件
JPH07104146A (ja) 光部品の製造方法
JP4008649B2 (ja) 光学装置
JPH04308804A (ja) 光モジュール
JPH01183605A (ja) 受光デバイス
US7111993B2 (en) Optical monitor module
JPH01261601A (ja) マイクロ非球面レンズおよびその作製方法,ならびにマイクロ非球面レンズを利用した光ファイバ結合装置,集光光学系,光学素子,半導体レーザ光源およびイメージ・ディバイス
JPH0990177A (ja) 光半導体装置
JPH01183606A (ja) 受光デバイス
JPH09281302A (ja) 反射面付き平板マイクロレンズアレイおよびその製造方法
JPH10170765A (ja) 光導波路
JPH05273444A (ja) 受光モジュール
JP2001021769A (ja) 光電的な構成部材を取り付けるための支持体ならびにこの支持体を製造する方法
JPH04288507A (ja) 光ファイバ二次元アレイモジュール
JPS626210A (ja) 光分波器
JPH02116809A (ja) 光結合器
JPH03263006A (ja) 受光デバイス
JP3798408B2 (ja) 光モニタ用モジュール
JPH02228069A (ja) 受光素子アレイ