JPH01172220A - 超電導材の製造方法 - Google Patents
超電導材の製造方法Info
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- JPH01172220A JPH01172220A JP62331102A JP33110287A JPH01172220A JP H01172220 A JPH01172220 A JP H01172220A JP 62331102 A JP62331102 A JP 62331102A JP 33110287 A JP33110287 A JP 33110287A JP H01172220 A JPH01172220 A JP H01172220A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
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- C04B35/45—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on copper oxide or solid solutions thereof with other oxides
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
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- C23C4/11—Oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N60/00—Superconducting devices
- H10N60/01—Manufacture or treatment
- H10N60/0268—Manufacture or treatment of devices comprising copper oxide
- H10N60/0296—Processes for depositing or forming copper oxide superconductor layers
- H10N60/0492—Processes for depositing or forming copper oxide superconductor layers by thermal spraying, e.g. plasma deposition
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、超電導材の製造方法に関するものである。
超電導物質は、既に高エネルギー粒子加速器、医療診断
用MHI−CT物性研究装置等において、超電導マグネ
ットの形で実用化されている。また。
用MHI−CT物性研究装置等において、超電導マグネ
ットの形で実用化されている。また。
発電機、エネルギーの貯蔵や変換、リニアモーターカー
、資源回収用磁気分離装置、核融合炉、送電ケーブル、
磁気シールド材等への応用、さらKは、ジョセフノン効
果を用いた超電導素子は、超高速コンピューター、赤外
線検出器、低雑音の増幅器等への応用が期待されており
、これらが本格的に実用化された場合の産業的、社会的
インパクトの大きさは、未だ測りがたい。
、資源回収用磁気分離装置、核融合炉、送電ケーブル、
磁気シールド材等への応用、さらKは、ジョセフノン効
果を用いた超電導素子は、超高速コンピューター、赤外
線検出器、低雑音の増幅器等への応用が期待されており
、これらが本格的に実用化された場合の産業的、社会的
インパクトの大きさは、未だ測りがたい。
これまでに開発された超電導物質の代表的なものとして
、Nb −Ti合金があり、これは、現在9Tまでの磁
界発生用線材として広く使用されている。
、Nb −Ti合金があり、これは、現在9Tまでの磁
界発生用線材として広く使用されている。
Nb −Ti合金のTO(超電導状態が存在する臨界温
度)は、9にである。また、Nb −Ti 合金より
も格段に高いTeを有する材料として化合物系超電導物
質が開発され、現在Nb、Sn (Tc +、 18
K )とV、G、z(Tc:15K )が線材化され実
用に供せられている。さらに、Nb3 Geでは23に
のTcが得られている。
度)は、9にである。また、Nb −Ti 合金より
も格段に高いTeを有する材料として化合物系超電導物
質が開発され、現在Nb、Sn (Tc +、 18
K )とV、G、z(Tc:15K )が線材化され実
用に供せられている。さらに、Nb3 Geでは23に
のTcが得られている。
このように長年に亘って高Tc超電導物質を得るだめの
努力がなされてきたが、従来の合金系および化合物系超
電導物質においては、Tc23Kが大きな壁になってい
る。Tcが23に以下の超電導物質の冷却には、高価な
液体ヘリウムが必要であり、このことが超電導物質の広
範な応用を阻害している。このTc の壁を打破する材
料として、1986年にIBMチューリッヒのMull
er氏等が、B、−L、、−Cu −0系の酸化物で超
電導の徴候が認められたと発表して以来、酸化物系超電
導物質の開発競争に拍車がかかった。1986年にはT
c 4 OKであったものが、1987年の初めには、
早くも77にの液体窒素温度を超えるY−B、−Cu
−0系超電導物質が開発され、Tcは約93Kに達した
。さらに、その後も精力的な開発が続けられており、今
のところ安全性等に問題はあるものの室温で超電導現象
を示す超電導物質の開発も報告されている。液体窒素温
度で使用可能な高温超電導物質の発見は、前述した応用
分野への期待度を増々高めるものであるが、超電導物質
からなる超電導皮膜を有する超電導材を容易に製造する
ことができる方法は、まだ提案されていない。
努力がなされてきたが、従来の合金系および化合物系超
電導物質においては、Tc23Kが大きな壁になってい
る。Tcが23に以下の超電導物質の冷却には、高価な
液体ヘリウムが必要であり、このことが超電導物質の広
範な応用を阻害している。このTc の壁を打破する材
料として、1986年にIBMチューリッヒのMull
er氏等が、B、−L、、−Cu −0系の酸化物で超
電導の徴候が認められたと発表して以来、酸化物系超電
導物質の開発競争に拍車がかかった。1986年にはT
c 4 OKであったものが、1987年の初めには、
早くも77にの液体窒素温度を超えるY−B、−Cu
−0系超電導物質が開発され、Tcは約93Kに達した
。さらに、その後も精力的な開発が続けられており、今
のところ安全性等に問題はあるものの室温で超電導現象
を示す超電導物質の開発も報告されている。液体窒素温
度で使用可能な高温超電導物質の発見は、前述した応用
分野への期待度を増々高めるものであるが、超電導物質
からなる超電導皮膜を有する超電導材を容易に製造する
ことができる方法は、まだ提案されていない。
従って、この発明の目的は、超電導物質からなる超電導
皮膜を有する超電導材を容易に製造することができる方
法を提供することにある。
皮膜を有する超電導材を容易に製造することができる方
法を提供することにある。
この発明は、基材の表面上に、CuxOy基を含む複合
酸化物超電導物質からなる粉末を溶射して、前記表面上
に超電導皮膜を形成するに際し、溶射雰囲気を、酸素を
少なくとも30%含有した不活性ガス雰囲気に維持し、
かくして、前記超電導皮膜の酸素欠損を軽減することに
特徴を有するものである。
酸化物超電導物質からなる粉末を溶射して、前記表面上
に超電導皮膜を形成するに際し、溶射雰囲気を、酸素を
少なくとも30%含有した不活性ガス雰囲気に維持し、
かくして、前記超電導皮膜の酸素欠損を軽減することに
特徴を有するものである。
次に、この発明の一実施態様の、超電導材の製造方法を
図面を参照しながら説明する。
図面を参照しながら説明する。
第1図は、この発明の一実施態様の、超電導材の製造方
法を示す断面図である。
法を示す断面図である。
この発明は、例えば、第1図に示すプラズマ溶射装置A
によって基材1の表面上に、CuxOy基を含む複合酸
化物超電導物質からなる超電導皮膜2を形成する際に、
溶射雰囲気を、少なくとも30チの0□を含有するAr
等の不活性ガス雰囲気に維持する。
によって基材1の表面上に、CuxOy基を含む複合酸
化物超電導物質からなる超電導皮膜2を形成する際に、
溶射雰囲気を、少なくとも30チの0□を含有するAr
等の不活性ガス雰囲気に維持する。
上記プラズマ溶射装置Aは、真空容器3と、真空容器3
内に設けられた溶射ノズル4と、溶射ノズル4の後方部
内に設けられた電極5と、溶射ノズル4と電極5との間
に接続された電源6とからなっている。
内に設けられた溶射ノズル4と、溶射ノズル4の後方部
内に設けられた電極5と、溶射ノズル4と電極5との間
に接続された電源6とからなっている。
真空容器3内に基材1を、溶射ノズル4と対向して取り
付け、真空容器3内を減圧し、溶射ノズル4の後端部内
にアルゴン、ヘリウム等の作動ガスを供給し、溶射ノズ
ル4の先端部内に、CuxOy基を含む複合酸化物超電
導物質からなる粉末を供給し、そして、電源6を作動さ
せて、溶射ノズル4と電極5との間にプラズマアークを
発生させる。
付け、真空容器3内を減圧し、溶射ノズル4の後端部内
にアルゴン、ヘリウム等の作動ガスを供給し、溶射ノズ
ル4の先端部内に、CuxOy基を含む複合酸化物超電
導物質からなる粉末を供給し、そして、電源6を作動さ
せて、溶射ノズル4と電極5との間にプラズマアークを
発生させる。
これによって、基材1の表面上に、CuxOY基を含む
複合酸化物超電導物質からなる超電導皮膜2が形成され
る。
複合酸化物超電導物質からなる超電導皮膜2が形成され
る。
この発明においては、真空容器3内の溶射雰囲気を、少
なくとも02を30チ含有するAr等の不活性ガス雰囲
気に維持する。これは、溶射時に超電導皮膜2に酸素欠
損が生じて、超電導現象が消失することを防止するため
である。この酸素欠損の問題は、超電導皮膜2に熱処理
を施す際にもある程度解決されるが、熱処理しても不充
分な場合がある。この場合に、との発明は特に有効であ
る。
なくとも02を30チ含有するAr等の不活性ガス雰囲
気に維持する。これは、溶射時に超電導皮膜2に酸素欠
損が生じて、超電導現象が消失することを防止するため
である。この酸素欠損の問題は、超電導皮膜2に熱処理
を施す際にもある程度解決されるが、熱処理しても不充
分な場合がある。この場合に、との発明は特に有効であ
る。
なお、超電導皮膜に熱処理を施すのは次の理由による。
超電導物質の溶融粒子が、溶射によって基材1の表面に
付着すると、溶融粒子は直ちに冷却される。従って、基
材1の表面上に形成される超電導皮膜2の大部分の結晶
構造は、高温度で安定な正方晶に近い斜方晶となる。ま
た、超電導皮膜2の酸素含有量も減少する。との結果、
超電導皮膜2に超電導現象が十分に現われない。そこで
、皮膜3を、例えば、950℃に30分間温度に加熱す
ると、もともと斜方晶になり易すい性質を有する超電導
皮膜2の結晶構造が、正方晶に近い斜方晶から斜方晶に
容易に変わる。これによって、超電導皮膜2には完全に
超電導現象が現われる。
付着すると、溶融粒子は直ちに冷却される。従って、基
材1の表面上に形成される超電導皮膜2の大部分の結晶
構造は、高温度で安定な正方晶に近い斜方晶となる。ま
た、超電導皮膜2の酸素含有量も減少する。との結果、
超電導皮膜2に超電導現象が十分に現われない。そこで
、皮膜3を、例えば、950℃に30分間温度に加熱す
ると、もともと斜方晶になり易すい性質を有する超電導
皮膜2の結晶構造が、正方晶に近い斜方晶から斜方晶に
容易に変わる。これによって、超電導皮膜2には完全に
超電導現象が現われる。
上述した熱処理を含酸素雰囲気中で行なえば、酸素があ
る程度、超電導皮膜2中に入り込むので、酸素欠損を軽
減できる。
る程度、超電導皮膜2中に入り込むので、酸素欠損を軽
減できる。
次に、この発明の実施例について説明する。
第1図に示すプラズマ溶射装置によって、Ni基合金か
らなる基材1(厚み1.0個、縦20mn、横30 t
an )の表面上に、Yo3Ba、7Cu103−Y
からなる厚み150μmの超電導皮膜2を形成した。
らなる基材1(厚み1.0個、縦20mn、横30 t
an )の表面上に、Yo3Ba、7Cu103−Y
からなる厚み150μmの超電導皮膜2を形成した。
即ち、第1図に示すプラズマ溶射装置の真空容器3内に
、Cu IJJの板状基板1を設置し、作動ガスとして
アルゴンと酸素との混合ガスを溶射ノズル4の後端部内
に連続的に供給し、プラズマ電源6から溶射ノズル4と
電極5との間に25 KWの電力を供給し、溶射ノズル
4の前端部内に、粒径lOから100μmのYo、3B
、0.7Cu103−yからなる超電導物質の粒子を供
給し、そして、真空容器3内の気圧を80ミリバールに
減圧して、基材lの表面上に厚み150μmの超電導皮
膜2を形成した。
、Cu IJJの板状基板1を設置し、作動ガスとして
アルゴンと酸素との混合ガスを溶射ノズル4の後端部内
に連続的に供給し、プラズマ電源6から溶射ノズル4と
電極5との間に25 KWの電力を供給し、溶射ノズル
4の前端部内に、粒径lOから100μmのYo、3B
、0.7Cu103−yからなる超電導物質の粒子を供
給し、そして、真空容器3内の気圧を80ミリバールに
減圧して、基材lの表面上に厚み150μmの超電導皮
膜2を形成した。
次に、このようにして得た超電導材を、酸素含有雰囲気
中において、930℃の温度に30分間加熱した。
中において、930℃の温度に30分間加熱した。
このようにして製造した超電導材のTcおよびJc
を、溶射雰囲気中の酸素濃度を種々かえて測定した。こ
の結果を第1表に示す。
を、溶射雰囲気中の酸素濃度を種々かえて測定した。こ
の結果を第1表に示す。
第 1 表
第1表から明らかなように、溶射雰囲気中の酸素含有量
を30%以上に維持すると、超電導皮膜の酸素欠損を軽
減できるので、Tc、Jcの値が共に増大することが分
かる。
を30%以上に維持すると、超電導皮膜の酸素欠損を軽
減できるので、Tc、Jcの値が共に増大することが分
かる。
以上説明したように、この発明によれば、超電導物質を
皮膜化した超電導皮膜を有する超電導材を容易に製造す
ることができ、しかも、超電導皮膜形成時の酸素欠損を
軽減することができるという有用な効果がもたらされる
。
皮膜化した超電導皮膜を有する超電導材を容易に製造す
ることができ、しかも、超電導皮膜形成時の酸素欠損を
軽減することができるという有用な効果がもたらされる
。
第1図は、この発明の一実捲態様の、超電導材の製造方
法を示す断面図である。 l・・・基材、 2・・・超電導皮膜、3・
・・真空容器、 4・・・溶射ノズル、5・・
・電極、 6・・・電源。
法を示す断面図である。 l・・・基材、 2・・・超電導皮膜、3・
・・真空容器、 4・・・溶射ノズル、5・・
・電極、 6・・・電源。
Claims (1)
- 基材の表面上に、Cu_xO_y基を含む複合酸化物超
電導物質からなる粉末を溶射して、前記表面上に超電導
皮膜を形成するに際し、溶射雰囲気を、酸素を少なくと
も30%含有した不活性ガス雰囲気に維持し、かくして
、前記超電導皮膜の酸素欠損を軽減することを特徴とす
る、超電導材の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62331102A JPH01172220A (ja) | 1987-12-26 | 1987-12-26 | 超電導材の製造方法 |
EP88120829A EP0324121A1 (en) | 1987-12-26 | 1988-12-13 | Method for metallizing superconducting material onto surface of substrate by use of plasma phenomenon |
CA000585873A CA1311659C (en) | 1987-12-26 | 1988-12-14 | Method for metallizing superconducting material onto surface of substrate by use of plasma phenomenon |
KR1019880017230A KR930001012B1 (ko) | 1987-12-26 | 1988-12-22 | 플라즈마 현상을 이용하여 초전도재를 모재의 표면상에 용사하기 위한 방법 |
CN88108946A CN1021164C (zh) | 1987-12-26 | 1988-12-23 | 用等离子喷涂制造复合氧化物超导薄膜的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62331102A JPH01172220A (ja) | 1987-12-26 | 1987-12-26 | 超電導材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01172220A true JPH01172220A (ja) | 1989-07-07 |
JPH0534292B2 JPH0534292B2 (ja) | 1993-05-21 |
Family
ID=18239882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62331102A Granted JPH01172220A (ja) | 1987-12-26 | 1987-12-26 | 超電導材の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0324121A1 (ja) |
JP (1) | JPH01172220A (ja) |
KR (1) | KR930001012B1 (ja) |
CN (1) | CN1021164C (ja) |
CA (1) | CA1311659C (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3853094T2 (de) * | 1987-04-28 | 1995-08-10 | Ibm | Schnelle grossflächige Beschichtung aus Supraleitern mit hoher Sprungtemperatur. |
CN1036286A (zh) * | 1988-02-24 | 1989-10-11 | 珀金·埃莱姆公司 | 超导陶瓷的次大气压等离子体喷涂 |
DE3927168A1 (de) * | 1989-08-17 | 1991-02-21 | Hoechst Ag | Verfahren zum thermischen spritzen von oxidkeramischen supraleitenden materialien |
DE4038564A1 (de) * | 1990-12-04 | 1992-06-11 | Hoechst Ag | Thermisch gespritzte bleihaltige dickschichten |
CN1050019C (zh) * | 1995-08-04 | 2000-03-01 | 北京市创智科技公司 | 一种交流电机节电控制方法 |
WO2000046043A1 (en) * | 1999-02-03 | 2000-08-10 | Contra Vision Ltd. | Partial imaging of a substrate with superimposed layers |
CN114806420A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-07-29 | 广州华德汽车弹簧有限公司 | 一种稳定杆衬套总成的加工方法 |
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DE2155217A1 (de) * | 1971-11-06 | 1973-05-10 | Philips Patentverwaltung | Verfahren zur herstellung dielektrischer und/oder photoleitfaehiger schichten fuer den elektrostatischen druck bzw. elektrophotographie |
EP0286135A3 (en) * | 1987-04-10 | 1990-12-19 | Sumitomo Electric Industries Limited | Method for producing ceramic oxide superconductor |
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