JPH0114838Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0114838Y2 JPH0114838Y2 JP16582382U JP16582382U JPH0114838Y2 JP H0114838 Y2 JPH0114838 Y2 JP H0114838Y2 JP 16582382 U JP16582382 U JP 16582382U JP 16582382 U JP16582382 U JP 16582382U JP H0114838 Y2 JPH0114838 Y2 JP H0114838Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- filter
- clean air
- ceiling
- reinforcing material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 5
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、LSIや超LSIの製造に必要とされ
る清浄空気室（クリーンルーム）の天井構造に関
するものである。
る清浄空気室（クリーンルーム）の天井構造に関
するものである。
近年の電子産業とりわけ集積回路の高密度化は
目ざましいものがある。この集積回路がLSI、超
LSIと高密度化されるにしたがいこれらの生産工
場ではじんあいのない清浄空間を有する構造物が
要求される。従来の天井吹出し方式の清浄空気室
の天井構造は、第５図から第８図に示すようにフ
レームをＸ，Ｙの両方向に同じ高さに配設し、そ
の上にフイルター枠を載置する方法を採用してい
たが、この方法ではフレーム同士のＸ，Ｙ方向の
加工および施工精度を維持するのに多大な労力を
要し非常に高価になることと、フレームとフイル
ター枠との間のシールが重要なのだが、周囲を除
くＸ，Ｙ両方向のフレームに対し、フレームの両
側をシールしなければならないので、そのシール
面積が多くなり、また逆にフレームの幅が広いの
でフレームの上に載るフイルター枠も小さくなり
フイルター面積も狭くなるなどの欠点があつた。
目ざましいものがある。この集積回路がLSI、超
LSIと高密度化されるにしたがいこれらの生産工
場ではじんあいのない清浄空間を有する構造物が
要求される。従来の天井吹出し方式の清浄空気室
の天井構造は、第５図から第８図に示すようにフ
レームをＸ，Ｙの両方向に同じ高さに配設し、そ
の上にフイルター枠を載置する方法を採用してい
たが、この方法ではフレーム同士のＸ，Ｙ方向の
加工および施工精度を維持するのに多大な労力を
要し非常に高価になることと、フレームとフイル
ター枠との間のシールが重要なのだが、周囲を除
くＸ，Ｙ両方向のフレームに対し、フレームの両
側をシールしなければならないので、そのシール
面積が多くなり、また逆にフレームの幅が広いの
でフレームの上に載るフイルター枠も小さくなり
フイルター面積も狭くなるなどの欠点があつた。
この考案は、上記をかんがみ一つの清浄空気室
でフレームとフイルター枠との間のシール面積を
減し、且つフイルター面積を増加させることによ
り、さらにいつそう清浄な空気室を得ることにあ
り、またフレームの加工も容易に行える清浄空気
室の天井構造を提供することを目的とするもので
ある。
でフレームとフイルター枠との間のシール面積を
減し、且つフイルター面積を増加させることによ
り、さらにいつそう清浄な空気室を得ることにあ
り、またフレームの加工も容易に行える清浄空気
室の天井構造を提供することを目的とするもので
ある。
天井吹出し方式の清浄空気質の天井において、
清浄空気室の周囲および清浄空気室の一方向のみ
に適宜な間隔でフレーム１を、該フレーム１上部
に固着したフレーム吊金物３で天井から吊設し、
清浄空気室の他の一方向には前記フレーム吊金物
３の側面に補強材２を螺着し、該フレーム１と該
補強材２に囲まれた区画ごとにフイルター７を納
めたフイルター枠８をフレーム１の上部に載置
し、周囲のフレーム１と壁面の隙間、フレーム１
の上部とフイルター枠８の下部および補強材２の
方向はフレーム枠８の背面同士をシール材９でシ
ールすることを特徴とする清浄空気室の天井構造
である。
清浄空気室の周囲および清浄空気室の一方向のみ
に適宜な間隔でフレーム１を、該フレーム１上部
に固着したフレーム吊金物３で天井から吊設し、
清浄空気室の他の一方向には前記フレーム吊金物
３の側面に補強材２を螺着し、該フレーム１と該
補強材２に囲まれた区画ごとにフイルター７を納
めたフイルター枠８をフレーム１の上部に載置
し、周囲のフレーム１と壁面の隙間、フレーム１
の上部とフイルター枠８の下部および補強材２の
方向はフレーム枠８の背面同士をシール材９でシ
ールすることを特徴とする清浄空気室の天井構造
である。
以下に本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。第１図が清浄空気室の天井フレーム１および
補強材２を割付けた天井平面図で、壁面５周囲と
清浄空気室の長辺方向にフレーム１を配設し短辺
方向にはフレーム１より高い位置に補強材２を配
設してある。このフレーム１を建物躯体に固定す
る方法は第２図から第４図に示したように３がフ
レーム吊金物で下端をフレーム１に固着して上端
から吊ボルト４で上階の躯体構造物に吊る。また
フレーム１と交差する方向に設けた補強材２はフ
レーム吊金物３にボルトで止められフレーム１と
補強材２がフレーム吊金物３を介して一体的に配
設されている。このフレーム１の上部と補強材に
囲まれた中にフイルター７を納めたフイルター枠
８が載置され、フレーム１の上部とフイルター枠
８の下部の取合い、フレーム１と壁面５の隙間お
よび補強材２部分のフイルター枠８の背面同士の
シールを行う。
る。第１図が清浄空気室の天井フレーム１および
補強材２を割付けた天井平面図で、壁面５周囲と
清浄空気室の長辺方向にフレーム１を配設し短辺
方向にはフレーム１より高い位置に補強材２を配
設してある。このフレーム１を建物躯体に固定す
る方法は第２図から第４図に示したように３がフ
レーム吊金物で下端をフレーム１に固着して上端
から吊ボルト４で上階の躯体構造物に吊る。また
フレーム１と交差する方向に設けた補強材２はフ
レーム吊金物３にボルトで止められフレーム１と
補強材２がフレーム吊金物３を介して一体的に配
設されている。このフレーム１の上部と補強材に
囲まれた中にフイルター７を納めたフイルター枠
８が載置され、フレーム１の上部とフイルター枠
８の下部の取合い、フレーム１と壁面５の隙間お
よび補強材２部分のフイルター枠８の背面同士の
シールを行う。
このようにして構成された本考案の清浄空気室
の天井構造では、第２図の天井フレーム、補強材
およびフイルター枠の納まりの断面詳細図に示す
ように天井裏を通つてきた空気は隙間を全部シー
ルしてあるので必ずフイルターを通過し、ここで
清浄空気となり室内に吹出されるようになつてい
る。
の天井構造では、第２図の天井フレーム、補強材
およびフイルター枠の納まりの断面詳細図に示す
ように天井裏を通つてきた空気は隙間を全部シー
ルしてあるので必ずフイルターを通過し、ここで
清浄空気となり室内に吹出されるようになつてい
る。
従来の方式だと第５図から第８図に示すように
Ｘ，Ｙ方向ともフレームの上にフイルター枠が載
置される納まりとなるのであるが、本考案では第
２図のようなフレームとフイルター枠との納まり
は一方向のみであり、他の方向は第３図のように
薄い補強材をはさんだ状態にフイルター枠が納ま
るので補強材を用いた方向はフイルター枠を大き
くすることができるので、その分だけフイルター
面積が増加し、室内の清浄度を高めることが可能
になるとともに第３図のように補強材を用いた方
向はフイルター枠とフイルター枠の背面同士をシ
ールするので、第７図に示す従来技術のようにフ
レームとフイルター枠の間を二列にシールしなく
てよいので、その分だけシール面積が減りシール
材および施工手間が省けるとともにシール面積が
少ない分だけシール材の切断または気密性の低下
等による事故の発生を防ぐことが可能である。
Ｘ，Ｙ方向ともフレームの上にフイルター枠が載
置される納まりとなるのであるが、本考案では第
２図のようなフレームとフイルター枠との納まり
は一方向のみであり、他の方向は第３図のように
薄い補強材をはさんだ状態にフイルター枠が納ま
るので補強材を用いた方向はフイルター枠を大き
くすることができるので、その分だけフイルター
面積が増加し、室内の清浄度を高めることが可能
になるとともに第３図のように補強材を用いた方
向はフイルター枠とフイルター枠の背面同士をシ
ールするので、第７図に示す従来技術のようにフ
レームとフイルター枠の間を二列にシールしなく
てよいので、その分だけシール面積が減りシール
材および施工手間が省けるとともにシール面積が
少ない分だけシール材の切断または気密性の低下
等による事故の発生を防ぐことが可能である。
またフレームを一方向だけにすることによりそ
の加工の単純化、材料費の低減が可能であり補強
材はシールとは無関係な上部に行うので施工が容
易になり全体的に清浄空気室の清浄効率を増加さ
せることができる。
の加工の単純化、材料費の低減が可能であり補強
材はシールとは無関係な上部に行うので施工が容
易になり全体的に清浄空気室の清浄効率を増加さ
せることができる。
また補強材をシールとは無関係なフレーム上部
に配設したものを図面に示したが、同じくシール
とは無関係に補強材をシール部分の下部へ配設す
る方法でも同じ効果を得られる。
に配設したものを図面に示したが、同じくシール
とは無関係に補強材をシール部分の下部へ配設す
る方法でも同じ効果を得られる。
第１図から第４図までが本考案の一実施例を示
したもので第５図から第８図までが従来技術を示
したものである。第１図が清浄空気室の天井フレ
ームおよび補強材を割付けた天井平面図であり、
第２図が天井フレームにフイルター枠を納めたと
ころの部分断面詳細図、第３図が補強材の断面詳
細図であり、第４図がフレーム吊金物回りの平面
詳細図である。また従来技術の第５図から第８図
までは、本考案の第１図から第４図までに対応す
るところのものである。 １……フレーム、２……補強材、３……フレー
ム吊金物、４……吊ボルト、５……壁面、６……
照明器具、７……フイルター、８……フイルター
枠、９……シール材。
したもので第５図から第８図までが従来技術を示
したものである。第１図が清浄空気室の天井フレ
ームおよび補強材を割付けた天井平面図であり、
第２図が天井フレームにフイルター枠を納めたと
ころの部分断面詳細図、第３図が補強材の断面詳
細図であり、第４図がフレーム吊金物回りの平面
詳細図である。また従来技術の第５図から第８図
までは、本考案の第１図から第４図までに対応す
るところのものである。 １……フレーム、２……補強材、３……フレー
ム吊金物、４……吊ボルト、５……壁面、６……
照明器具、７……フイルター、８……フイルター
枠、９……シール材。
Claims (1)
- 天井吹出し方式の清浄空気室の天井において、
清浄空気室の周囲および清浄空気室の一方向のみ
に適宜な間隔でフレーム１を、該フレーム１上部
に固着したフレーム吊金物３で天井から吊設し、
清浄空気室の他の一方向には前記フレーム吊金物
３の側面に補強材２を螺着し、該フレーム１と該
補強材２とに囲まれた区画ごとにフイルター７を
納めたフイルター枠８をフレーム１の上部に載置
し、周囲のフレーム１と壁面の隙間、フレーム１
の上部とフイルター枠８の下部および補強材２の
方向はフレーム枠８の背面同士をシール材９でシ
ールすることを特徴とする清浄空気室の天井構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16582382U JPS5970141U (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 清浄空気室の天井構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16582382U JPS5970141U (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 清浄空気室の天井構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5970141U JPS5970141U (ja) | 1984-05-12 |
| JPH0114838Y2 true JPH0114838Y2 (ja) | 1989-04-28 |
Family
ID=30363190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16582382U Granted JPS5970141U (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 清浄空気室の天井構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5970141U (ja) |
-
1982
- 1982-11-02 JP JP16582382U patent/JPS5970141U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5970141U (ja) | 1984-05-12 |
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