JPH01112111A - 光学式ロータリーエンコーダ - Google Patents
光学式ロータリーエンコーダInfo
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- JPH01112111A JPH01112111A JP26991187A JP26991187A JPH01112111A JP H01112111 A JPH01112111 A JP H01112111A JP 26991187 A JP26991187 A JP 26991187A JP 26991187 A JP26991187 A JP 26991187A JP H01112111 A JPH01112111 A JP H01112111A
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Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ロータに光ビームを投射し、この光ビームの
反射光を検出してロータの回転速度、回転方向及び角度
位置を検出する光学式ロータリーエンコーダに関する。
反射光を検出してロータの回転速度、回転方向及び角度
位置を検出する光学式ロータリーエンコーダに関する。
本発明は、光学式ロータリーエンコーダにおいて、光学
ピックアップ装置を、ピンクアンプ支持部材に、このピ
ックアップ支持部材の熱膨脹及び収縮を補償する介在部
材を介して取付けることにより、環境温度が変化しても
、光学ピックアップ装置が移動しないようにして、広い
温度範囲に亘って正確なパルス信号の出力が保証された
光学式ロータリーエンコーダを提供するものである。
ピックアップ装置を、ピンクアンプ支持部材に、このピ
ックアップ支持部材の熱膨脹及び収縮を補償する介在部
材を介して取付けることにより、環境温度が変化しても
、光学ピックアップ装置が移動しないようにして、広い
温度範囲に亘って正確なパルス信号の出力が保証された
光学式ロータリーエンコーダを提供するものである。
従来、第9図に示すように、回転自在に支持されたディ
スク状のロータ101にパルス信号を記録し、このロー
タ101に対向して配設される光学ピンクアンプ装置1
02により、上記ロータ101に光ビームを投射し集光
させ、反射光を検出してパルス信号を得るようにした光
学式ロータリーエンコーダが提案されている。
スク状のロータ101にパルス信号を記録し、このロー
タ101に対向して配設される光学ピンクアンプ装置1
02により、上記ロータ101に光ビームを投射し集光
させ、反射光を検出してパルス信号を得るようにした光
学式ロータリーエンコーダが提案されている。
このような光学式ロータリーエンコーダにおいては、第
10図に示すように、上記ロータ101として信号記録
面を有する光ディスクが用いられる。この光ディスクの
信号記録面は、鏡面状に形成され、所定等角度間隔で放
射状にピット(凹凸部)が形成されている。すなわち、
上記ロータ】01の回転方向及び回転速度を検出するた
めのA相及びB相パルス信号が記録されるA−B相記録
領域10 ]、 ABには、上記ロータ101の全周に
亘って上記ピットが形成されている。また、上記ロータ
101の基準角度位置を検出するためのZ相パルス信号
が記録されるZ相記録領域101zには、上記ロータ1
01の所定角度位置の1箇所のみに、1つのパルス信号
が得られるように1つのピットが形成されている。そし
て、このロータ101は、第9図に示すように、外筺部
103に支軸104を介して回転自在に支持されている
。
10図に示すように、上記ロータ101として信号記録
面を有する光ディスクが用いられる。この光ディスクの
信号記録面は、鏡面状に形成され、所定等角度間隔で放
射状にピット(凹凸部)が形成されている。すなわち、
上記ロータ】01の回転方向及び回転速度を検出するた
めのA相及びB相パルス信号が記録されるA−B相記録
領域10 ]、 ABには、上記ロータ101の全周に
亘って上記ピットが形成されている。また、上記ロータ
101の基準角度位置を検出するためのZ相パルス信号
が記録されるZ相記録領域101zには、上記ロータ1
01の所定角度位置の1箇所のみに、1つのパルス信号
が得られるように1つのピットが形成されている。そし
て、このロータ101は、第9図に示すように、外筺部
103に支軸104を介して回転自在に支持されている
。
そして、上記ロータ101の信号記録面に光ビームを投
射する上記光学ピックアップ装置102は、半導体レー
ザ等の光源と、この光源より発する光ビームを3本に分
割する手段と、この光ビームを上記信号記録面上に投射
し集光させるための対物レンズと、」二記信号記録面に
より反射される反射光を検出する光検出器とを有してな
り、第9図に示すように、所定位置に上記外筺部103
に連続して設けられたピックアップ支持部材105によ
り支持されて上記ロータ101に対向して配設される。
射する上記光学ピックアップ装置102は、半導体レー
ザ等の光源と、この光源より発する光ビームを3本に分
割する手段と、この光ビームを上記信号記録面上に投射
し集光させるための対物レンズと、」二記信号記録面に
より反射される反射光を検出する光検出器とを有してな
り、第9図に示すように、所定位置に上記外筺部103
に連続して設けられたピックアップ支持部材105によ
り支持されて上記ロータ101に対向して配設される。
上記信号記録面上においては、上記光ビームが集光され
、第10図に示すように、上記A−B相記録61J”1
lO1^Bに2つのビームスポットSI+32が形成さ
れ、上記Z相記録領域101zに1つのビームスポット
S3が形成される。これらビームスポットの間隔は、例
えば、数10μm程度である。
、第10図に示すように、上記A−B相記録61J”1
lO1^Bに2つのビームスポットSI+32が形成さ
れ、上記Z相記録領域101zに1つのビームスポット
S3が形成される。これらビームスポットの間隔は、例
えば、数10μm程度である。
上記ロータ101は、上記支軸104を介して、回転状
態が検出される被検出部材に伴って回転される。すると
、上記信号記録面は、」1記3つのビームスポット”l
+”2及びs3に対し相対的に回転移動する。旧記3つ
のビームスボッI・S 1゜s2及びs3の反射光は、
上記信号記録面に記録されたパルス信号に従って強度が
変化する。」−記光学ビンクアソブ装置の光検出器は、
この反射光の強度の変化を検出し、A相パルス信号、B
相パルス信号及びZ相パルス信号を出力する。
態が検出される被検出部材に伴って回転される。すると
、上記信号記録面は、」1記3つのビームスポット”l
+”2及びs3に対し相対的に回転移動する。旧記3つ
のビームスボッI・S 1゜s2及びs3の反射光は、
上記信号記録面に記録されたパルス信号に従って強度が
変化する。」−記光学ビンクアソブ装置の光検出器は、
この反射光の強度の変化を検出し、A相パルス信号、B
相パルス信号及びZ相パルス信号を出力する。
−上記A相及びB相パルス信号は、−上記ロータ101
の回転に伴って連続的に発生ずるパルスであり、このパ
ルスの周期及びパルス数により上記ロータ101の回転
速度及び回転角度を検出することができる。また、上記
A相パルス信号と一上記B相パルス信号とは、互いに位
相が90°のずれを有しており、この位相のずれ方向か
ら、L記ロータ101の回転方向を検出することができ
る。そして、」二記Z相パルス信号は、上記ロータ】0
1が基準角度位置であるときに1つのパルスを発生する
ので、この基準位置に」:記A相及びB相パルス信号に
より求められる回転方向及び回転角度を加算すれば、上
記ロータ101の角度位置を検出することができる。
の回転に伴って連続的に発生ずるパルスであり、このパ
ルスの周期及びパルス数により上記ロータ101の回転
速度及び回転角度を検出することができる。また、上記
A相パルス信号と一上記B相パルス信号とは、互いに位
相が90°のずれを有しており、この位相のずれ方向か
ら、L記ロータ101の回転方向を検出することができ
る。そして、」二記Z相パルス信号は、上記ロータ】0
1が基準角度位置であるときに1つのパルスを発生する
ので、この基準位置に」:記A相及びB相パルス信号に
より求められる回転方向及び回転角度を加算すれば、上
記ロータ101の角度位置を検出することができる。
ところで、」−述のような光学式ロータリーエンコーダ
においては、−↓−記光学ビンクアソブ装置102が上
記外筺部103に連続して設けられるピックアップ支持
部材105に取付けられるごとにより支持され”ζいる
。このピックアップ支持部材105は、上記光学ピック
アップ装置102を堅牢に支持するため、例えば金属等
の材料により形成されている。
においては、−↓−記光学ビンクアソブ装置102が上
記外筺部103に連続して設けられるピックアップ支持
部材105に取付けられるごとにより支持され”ζいる
。このピックアップ支持部材105は、上記光学ピック
アップ装置102を堅牢に支持するため、例えば金属等
の材料により形成されている。
しかしながら、上記ピックアップ支持部材105をなす
、例えば金属等の材料は、環境温度の変化により膨張又
は収縮を起こす。そのため、環境温度が変化すると、上
記光学ピックアップ装置102が移動する。すると、第
10図において、上記3つのビームスボッ1−sl、s
2及びs3が上記信号記録面」−を移動する。上記3つ
のビームスポット31.S2及びS3が、特に」二記ロ
ータ101の径方向(ラジアル方向)に移動すると、上
記A−B相記録領域101A11上に形成されるべきビ
ームスポットS2が上記Z相記録領域1012に移動し
たり、あるいは、上記Z相記録領域101z上に形成さ
れるべきビームスポットs1が上記A−B相記録領域1
01ABに移動したりする場合がある。また、上記A相
パルス信号とB相パルス信号との間の位相のずれ量が所
定の量に維持されなくなる虞れがある。
、例えば金属等の材料は、環境温度の変化により膨張又
は収縮を起こす。そのため、環境温度が変化すると、上
記光学ピックアップ装置102が移動する。すると、第
10図において、上記3つのビームスボッ1−sl、s
2及びs3が上記信号記録面」−を移動する。上記3つ
のビームスポット31.S2及びS3が、特に」二記ロ
ータ101の径方向(ラジアル方向)に移動すると、上
記A−B相記録領域101A11上に形成されるべきビ
ームスポットS2が上記Z相記録領域1012に移動し
たり、あるいは、上記Z相記録領域101z上に形成さ
れるべきビームスポットs1が上記A−B相記録領域1
01ABに移動したりする場合がある。また、上記A相
パルス信号とB相パルス信号との間の位相のずれ量が所
定の量に維持されなくなる虞れがある。
このように、上記ロータの信号記録面上においてビーム
スポットが移動すると、正確な上記各相パルス信号が得
られない。
スポットが移動すると、正確な上記各相パルス信号が得
られない。
そこで、本発明は、上述の実情に鑑みて提案されるもの
であって、環境温度が変化しても、光学ピックアップ装
置が移動しないように支持されることにより、広い温度
範囲に亘って、正確なA相、B相及びZ相パルス信号が
得られる光学式ロータリーエンコーダを提供することを
目的とする。
であって、環境温度が変化しても、光学ピックアップ装
置が移動しないように支持されることにより、広い温度
範囲に亘って、正確なA相、B相及びZ相パルス信号が
得られる光学式ロータリーエンコーダを提供することを
目的とする。
上述の問題点を解決し上記目的を達成するため、本発明
に係る光学式ローリ−エンコーダにおいては、回転自在
に支持され、回転速度及び回転方向を検出するためのA
相及びB相パルス信号と基準角度位置を検出するための
Z相パルス信号が記録されたロータと、このロータに対
向し、このロータに光ビームを投射して上記A相、B相
及びZ相パルス信号を検出する光学ピックアップ装置と
を備え、この光学ピックアップ装置は、ピックアップ支
持部材に、このピックアップ支持部材の熱膨脹及び収縮
を補償する介在部材を介して取付けられてなることを特
徴とする。
に係る光学式ローリ−エンコーダにおいては、回転自在
に支持され、回転速度及び回転方向を検出するためのA
相及びB相パルス信号と基準角度位置を検出するための
Z相パルス信号が記録されたロータと、このロータに対
向し、このロータに光ビームを投射して上記A相、B相
及びZ相パルス信号を検出する光学ピックアップ装置と
を備え、この光学ピックアップ装置は、ピックアップ支
持部材に、このピックアップ支持部材の熱膨脹及び収縮
を補償する介在部材を介して取付けられてなることを特
徴とする。
本発明に係る光学式ロータリーエンコーダにおいては、
光学ピックアップ装置が、ピックアップ支持部材に、こ
のビックアンプ支持部材の熱膨脹及び収縮を補償する介
在部材を介して取付けられてなるので、環境温度が変化
しても、上記光学ピンクアンプ装置のロータに対する移
動がなく、常にロータの信号記録面上の所定位置にビー
ムスポットが形成されるので、広い温度範囲に亘って正
確なパルス信号の検出が行われる。
光学ピックアップ装置が、ピックアップ支持部材に、こ
のビックアンプ支持部材の熱膨脹及び収縮を補償する介
在部材を介して取付けられてなるので、環境温度が変化
しても、上記光学ピンクアンプ装置のロータに対する移
動がなく、常にロータの信号記録面上の所定位置にビー
ムスポットが形成されるので、広い温度範囲に亘って正
確なパルス信号の検出が行われる。
以下、本発明の具体的な実施例を図面を参照しながら説
明する。
明する。
本発明に係る光学式ロータリーエンコーダは、第1図に
示すように、回転自在に支持されるロータ1と、このロ
ータ1に対向して上記ロータに記録されたパルス信号を
検出する光学式ピックアップ装置2を有してなる。
示すように、回転自在に支持されるロータ1と、このロ
ータ1に対向して上記ロータに記録されたパルス信号を
検出する光学式ピックアップ装置2を有してなる。
」二記ロータ1は、−面が鏡面仕上げされた信号記録面
3となされた光ディスクであり、第1図に示すように、
軸受4により外筐5に対して回転自在に支持される支軸
6の所定位置に固定して取付けられ、この支軸6ととも
に回転自在となされている。上記ロータ1は、ガラスや
光硬化性樹脂等の材料により形成される。光硬化性樹脂
により形成される場合には、例えば、所定の情報信号が
凹凸により記録されたガラス基体(スタンバ)に光硬化
性樹脂を塗布し、この樹脂層を硬化させたのち上記ガラ
ス基体より離間させ、凹凸が形成された面にアルミニウ
ム等を蒸着し鏡面を形成する成形方法により作成される
。
3となされた光ディスクであり、第1図に示すように、
軸受4により外筐5に対して回転自在に支持される支軸
6の所定位置に固定して取付けられ、この支軸6ととも
に回転自在となされている。上記ロータ1は、ガラスや
光硬化性樹脂等の材料により形成される。光硬化性樹脂
により形成される場合には、例えば、所定の情報信号が
凹凸により記録されたガラス基体(スタンバ)に光硬化
性樹脂を塗布し、この樹脂層を硬化させたのち上記ガラ
ス基体より離間させ、凹凸が形成された面にアルミニウ
ム等を蒸着し鏡面を形成する成形方法により作成される
。
上記信号記録面3には、第2図に示すように、パルス信
号記録領域7が設けられ、所定のパルス信号が記録され
ている。このパルス信号記録領域7には、第3図に示す
ように、複数のA−B相パルス信号記録部7^8と、複
数のZ相パルス信号記録部7zが交互に同心円状に形成
されている。このA−B相パルス信号記録部7八B及び
Z相パルス信号記録部7zの、第3図中矢印りで示す幅
は、例えば数10μm程度である。上記A −B相パル
ス信号記録部7Allには、」二記ロータ1の全周に亘
って、例えば数μm程度の所定等角度間隔で、」二記ロ
ータ1の径方向(ラジアル方向)のA−B相ビットPA
Bが放射状に形成されている。このピントは、上記信号
記録面3上に、例えば数μm程度の所定の幅及び、例え
ば200人程鹿の所定の高さの凹凸として形成されてい
る。そして、上記Z相パルス信号記録部7zには、上記
ロータ1の全周中、所定角度位置の唯1箇所のみに1つ
のZ相ピットPzが形成されている。このZ相ピットP
2は、上記A−B相ビラビットRと同様の凹凸であって
、上記ロータ1の径方向に形成されている。
号記録領域7が設けられ、所定のパルス信号が記録され
ている。このパルス信号記録領域7には、第3図に示す
ように、複数のA−B相パルス信号記録部7^8と、複
数のZ相パルス信号記録部7zが交互に同心円状に形成
されている。このA−B相パルス信号記録部7八B及び
Z相パルス信号記録部7zの、第3図中矢印りで示す幅
は、例えば数10μm程度である。上記A −B相パル
ス信号記録部7Allには、」二記ロータ1の全周に亘
って、例えば数μm程度の所定等角度間隔で、」二記ロ
ータ1の径方向(ラジアル方向)のA−B相ビットPA
Bが放射状に形成されている。このピントは、上記信号
記録面3上に、例えば数μm程度の所定の幅及び、例え
ば200人程鹿の所定の高さの凹凸として形成されてい
る。そして、上記Z相パルス信号記録部7zには、上記
ロータ1の全周中、所定角度位置の唯1箇所のみに1つ
のZ相ピットPzが形成されている。このZ相ピットP
2は、上記A−B相ビラビットRと同様の凹凸であって
、上記ロータ1の径方向に形成されている。
そして、上記光学ピックアップ装置2は、第4図に示す
ように、光学系ブロック10を有して構成される。この
光学系ブロック10は、例えばアルミダイキャストやガ
ラス繊維を含んだ樹脂等の材料により所定の形状に形成
される。上記光学系ブロック10には、例えば800人
程鹿の波長の光を発する光源となる半導体レーザ11が
内蔵されている。この半導体レーザから発せられる光ビ
ームは、回折格子12により3本の光ビームに分割され
る。この光ビームは、ビームスプリンタ13を通過して
、コリメータレンズ14により平行光ビームとなされる
。そして、この平行光ビームは、上記光学系ブロック1
0の上記信号記録面3に対向する側に設けられるレンズ
駆動ユニット15に支持された対物レンズ16により上
記信号記録面3上に集光される。上記信号記録面3によ
り反射される光ビームは、上記対物レンズ16、上記コ
リメータレンズ14を介して上記ビームスプリッタ13
に戻る。ここで上記光ビームは反射され、検出レンズ1
7を介して光検出器18により検出される。
ように、光学系ブロック10を有して構成される。この
光学系ブロック10は、例えばアルミダイキャストやガ
ラス繊維を含んだ樹脂等の材料により所定の形状に形成
される。上記光学系ブロック10には、例えば800人
程鹿の波長の光を発する光源となる半導体レーザ11が
内蔵されている。この半導体レーザから発せられる光ビ
ームは、回折格子12により3本の光ビームに分割され
る。この光ビームは、ビームスプリンタ13を通過して
、コリメータレンズ14により平行光ビームとなされる
。そして、この平行光ビームは、上記光学系ブロック1
0の上記信号記録面3に対向する側に設けられるレンズ
駆動ユニット15に支持された対物レンズ16により上
記信号記録面3上に集光される。上記信号記録面3によ
り反射される光ビームは、上記対物レンズ16、上記コ
リメータレンズ14を介して上記ビームスプリッタ13
に戻る。ここで上記光ビームは反射され、検出レンズ1
7を介して光検出器18により検出される。
上記光学系ブロック10は、第1図、第4図乃至第6図
に示すように、上記外筺5内に上記ロータ1の信号記録
面3に対向する所定の位置に上記外筺5に連続して設け
られるピックアップ支持部材8に、介在部材9を介して
に取付けられている。
に示すように、上記外筺5内に上記ロータ1の信号記録
面3に対向する所定の位置に上記外筺5に連続して設け
られるピックアップ支持部材8に、介在部材9を介して
に取付けられている。
すなわち、上記介在部材9は、一対の止めネジ19が上
記介在部材9に穿設された一対の挿通孔20を挿通して
、上記ビックアンプ支持部材8の上記ロータ1の接線に
平行な線上の2点に設けられた一対のネジ孔21に螺入
することにより固定される。そして、上記光学系ブロッ
ク10は、上記光学系ブロック】0に穿設された一対の
取付孔22に一対の取付はネジ23が挿通して、上記介
在部材9の上記ロータ1の接線に平行な線上の2点に設
けられた一対のネジ孔24に螺入することにより、固定
される。上記取付孔22は、上記ロータ1の径方向が長
径である長孔となされている。
記介在部材9に穿設された一対の挿通孔20を挿通して
、上記ビックアンプ支持部材8の上記ロータ1の接線に
平行な線上の2点に設けられた一対のネジ孔21に螺入
することにより固定される。そして、上記光学系ブロッ
ク10は、上記光学系ブロック】0に穿設された一対の
取付孔22に一対の取付はネジ23が挿通して、上記介
在部材9の上記ロータ1の接線に平行な線上の2点に設
けられた一対のネジ孔24に螺入することにより、固定
される。上記取付孔22は、上記ロータ1の径方向が長
径である長孔となされている。
上記外筺5及び上記ピックアップ支持部材8は、寸法安
定性と剛性が必要なことから、ステンレス合金(SUS
)等の材料により形成される。上記介在部材9は、上記
ピックアップ支持部材8と熱膨張率の異なる、例えばア
ルミニウム等の材料により形成される。
定性と剛性が必要なことから、ステンレス合金(SUS
)等の材料により形成される。上記介在部材9は、上記
ピックアップ支持部材8と熱膨張率の異なる、例えばア
ルミニウム等の材料により形成される。
上記回折格子12は、第4図及び第6図に示すように、
回折格子取付板25に接着等の手段により取付けられて
、所定の位置に保持される。この回折格子取付板25は
、上記光学系ブロック10に、第1のビス26及び第2
のビス27により取付けられている。上記第1のビス2
6は、上記回折格子取付は板25に穿設された取付は孔
28を挿通して上記光学系ブロック9のネジ穴29に螺
入し、上記第2のビス27は、上記回折格子取付は板2
5に穿設された取付は長孔30を挿通して上記光学系ブ
ロック10のネジ穴31に螺入している。上記回折格子
取付板25は、上記取付は孔28を中心に、第6図中矢
印Gで示す、」二記ロータ1の径方向に揺動調整可能と
なされている。上記回折格子12は、上記回折格子取付
板25の揺動調整により、上記半導体レーザ11より発
せられる光ビームの光軸に垂直な面内において、格子の
方向が可変調整される。
回折格子取付板25に接着等の手段により取付けられて
、所定の位置に保持される。この回折格子取付板25は
、上記光学系ブロック10に、第1のビス26及び第2
のビス27により取付けられている。上記第1のビス2
6は、上記回折格子取付は板25に穿設された取付は孔
28を挿通して上記光学系ブロック9のネジ穴29に螺
入し、上記第2のビス27は、上記回折格子取付は板2
5に穿設された取付は長孔30を挿通して上記光学系ブ
ロック10のネジ穴31に螺入している。上記回折格子
取付板25は、上記取付は孔28を中心に、第6図中矢
印Gで示す、」二記ロータ1の径方向に揺動調整可能と
なされている。上記回折格子12は、上記回折格子取付
板25の揺動調整により、上記半導体レーザ11より発
せられる光ビームの光軸に垂直な面内において、格子の
方向が可変調整される。
上記レンズ駆動ユニット15は、第4図に示すように、
基台32を有して構成される。この基台32により、上
記対物レンズ16が取付けられるボビン33が、一対の
平行な電歪変換素子板34により、第4図中矢印Fで示
す、」二記対物レンズ16の光軸方向に可動自在に支持
されている。上記電歪変換素子板34に所定の駆動電圧
が印加されることにより、この電歪変換素子板34が上
記基台32側を固定端として歪曲し、上記ボビン33が
上記対物レンズ16とともに上記光軸方向に可動制御さ
れるようになっている。
基台32を有して構成される。この基台32により、上
記対物レンズ16が取付けられるボビン33が、一対の
平行な電歪変換素子板34により、第4図中矢印Fで示
す、」二記対物レンズ16の光軸方向に可動自在に支持
されている。上記電歪変換素子板34に所定の駆動電圧
が印加されることにより、この電歪変換素子板34が上
記基台32側を固定端として歪曲し、上記ボビン33が
上記対物レンズ16とともに上記光軸方向に可動制御さ
れるようになっている。
上記検出レンズ17は、−面が円筒面となされ、他面が
凹球面となされたレンズであり、上記ビームスプリッタ
13により反射された光ビームに非点収差を付与すると
ともに、上記光検出器18の受光部上に光ビームを集光
するようになっている。
凹球面となされたレンズであり、上記ビームスプリッタ
13により反射された光ビームに非点収差を付与すると
ともに、上記光検出器18の受光部上に光ビームを集光
するようになっている。
上記光検出器18の受光部は、第7図に示すように、3
つに別れ、−列に配設された第1乃至第3の受光素子1
8a、18z、18bからなる。
つに別れ、−列に配設された第1乃至第3の受光素子1
8a、18z、18bからなる。
上記第1及び第3の受光素子18a、18bは、3つの
受光素子のうち両側に配され、それぞれ2つに分割され
ている。上記第2の受光素子182は、上記第1及び第
3の受光素子18a、18bの中間に配され、放射状に
4つの部分に分割されて、受光する光ビームの上記検出
レンズ17により付与される非点収差の状態が検出でき
るようになっている。
受光素子のうち両側に配され、それぞれ2つに分割され
ている。上記第2の受光素子182は、上記第1及び第
3の受光素子18a、18bの中間に配され、放射状に
4つの部分に分割されて、受光する光ビームの上記検出
レンズ17により付与される非点収差の状態が検出でき
るようになっている。
上述のように構成された光学ピックアップ装置2により
、上記ロータ1の信号記録面3上には、第8図に示すよ
うに、−列に並んだ3つのビームスポットが形成される
。すなわち、上記回折格子12により0次光ビーム、+
1次光ビーム及び−1次光ビームに分割された光ビーム
のうち、中央の0次光ビームは、上記Z相パルス信号記
録部72上に集光されて中央のビームスポットSZを形
成し、上記0次光ビームの両側に投射される+1次及び
−1次光ビームは、上記0次光ビームが投射されるZ相
パルス信号記録部7zを挟んだ2つの上記A−B相パル
ス信号記録部TABに対応して投射され集光し、一端の
ビームスポットSa及び他端のビームスポットsbを形
成する。
、上記ロータ1の信号記録面3上には、第8図に示すよ
うに、−列に並んだ3つのビームスポットが形成される
。すなわち、上記回折格子12により0次光ビーム、+
1次光ビーム及び−1次光ビームに分割された光ビーム
のうち、中央の0次光ビームは、上記Z相パルス信号記
録部72上に集光されて中央のビームスポットSZを形
成し、上記0次光ビームの両側に投射される+1次及び
−1次光ビームは、上記0次光ビームが投射されるZ相
パルス信号記録部7zを挟んだ2つの上記A−B相パル
ス信号記録部TABに対応して投射され集光し、一端の
ビームスポットSa及び他端のビームスポットsbを形
成する。
そして、上記ロータ1が、上記支軸6を介して、例えば
モータ軸等の被検出部材とともに回転させられると、上
記3つのビームスポットSz及びSa、Sbに対して、
上記Z相ピッ)Pz及び上記A−B相ピッ)PABが、
第8図中矢印RR又は矢印RLで示ず、上記ロータ1の
周方向に移動する。
モータ軸等の被検出部材とともに回転させられると、上
記3つのビームスポットSz及びSa、Sbに対して、
上記Z相ピッ)Pz及び上記A−B相ピッ)PABが、
第8図中矢印RR又は矢印RLで示ず、上記ロータ1の
周方向に移動する。
上記3つのビームスポットSz及びSa、Sbの反射光
は、上記Z相ピッ)Pz及び上記/l−B相ピットPA
Bに応じて強度が変化する。この反射光の変化は、上記
光検出器18により検出される。
は、上記Z相ピッ)Pz及び上記/l−B相ピットPA
Bに応じて強度が変化する。この反射光の変化は、上記
光検出器18により検出される。
このとき、上記光検出器18の位置の調整により、上記
中央のビームスボッI−S zの反射光は上記第2の受
光素子182により受光され、上記一端のビームスボッ
1−3aの反射光は上記第1の受光素子18aにより受
光され、そして、上記他端のビームスポットSbの反射
光は上記第3の受光素子18bにより受光されるように
なされている。
中央のビームスボッI−S zの反射光は上記第2の受
光素子182により受光され、上記一端のビームスボッ
1−3aの反射光は上記第1の受光素子18aにより受
光され、そして、上記他端のビームスポットSbの反射
光は上記第3の受光素子18bにより受光されるように
なされている。
上記第1及び第3の受光素子]、8a、18bの出力信
号は、上記A−B相ピットPABの移動に応じて変化し
、A相パルス信号及びB相パルス信号となる。また、上
記第2の受光素子18zの出力信号は、上記Z和ビツト
Pzが上記ビームスポットSzと重なったときにのみパ
ルスが表れるZ相パルス信号となる。上記Z相ピッ)P
zは、上述のように、上記ロータ1の全周中の1箇所に
のみ形成されているので、上記Z相パルス信号は、上記
ロータ1の略全周に亘って一定強度の信号となる。
号は、上記A−B相ピットPABの移動に応じて変化し
、A相パルス信号及びB相パルス信号となる。また、上
記第2の受光素子18zの出力信号は、上記Z和ビツト
Pzが上記ビームスポットSzと重なったときにのみパ
ルスが表れるZ相パルス信号となる。上記Z相ピッ)P
zは、上述のように、上記ロータ1の全周中の1箇所に
のみ形成されているので、上記Z相パルス信号は、上記
ロータ1の略全周に亘って一定強度の信号となる。
上記A相パルス信号及びB相パルス信号からは、上記ロ
ータ1の回転速度、回転角度及び回転方向を得ることが
できる。また、上記Z相パルス信号からは、上記ロータ
1の基準角度位置を求めることができる。
ータ1の回転速度、回転角度及び回転方向を得ることが
できる。また、上記Z相パルス信号からは、上記ロータ
1の基準角度位置を求めることができる。
上記A相パルス信号と上記B相パルス信号により、上記
ロータ1の回転方向を検出するためには、上記A相パル
ス信号と上記B相パルス信号とが互いに90°の位相差
を有しているようにする必要がある。この位相差を調整
するには、上記回折格子取付は板25を揺動調整するこ
とにより、上記回折格子12を上記光ビームの光軸に垂
直な面内において格子の方向を可変調整し、第8図に示
す3つのビームスポットSz及びSa、Sbを、上記中
央のビームスボッ1−3zを中心に上記信号記録面3上
で回転調整して行う。
ロータ1の回転方向を検出するためには、上記A相パル
ス信号と上記B相パルス信号とが互いに90°の位相差
を有しているようにする必要がある。この位相差を調整
するには、上記回折格子取付は板25を揺動調整するこ
とにより、上記回折格子12を上記光ビームの光軸に垂
直な面内において格子の方向を可変調整し、第8図に示
す3つのビームスポットSz及びSa、Sbを、上記中
央のビームスボッ1−3zを中心に上記信号記録面3上
で回転調整して行う。
また、上記Z相パルス信号記録部7zに投射される光ビ
ームの反射光により、フォーカスエラー信号が検出され
る。すなわち、上記第2の受光素子18zが分割された
4つの部分の受光面の出力信号を演算することにより、
上記検出レンズ17により光ビームに付与された非点収
差の状態、すなわちフォーカスエラー信号が求められる
。このフォーカスエラー信号に基づいたフォーカス駆動
電圧が上記レンズ駆動ユニット15の電歪変換素子板3
4に印加されることにより、上記対物レンズ16が光軸
方向に駆動制御され、上記3つのビームスボッ)Sz及
びSa、Sbが常に上記信号記録面3上に形成されるよ
うに、フォーカスサーボが行われる。上記フォーカスエ
ラー信号は、上述したように上記Z相パルス信号記録部
7zの大部分が信号の記録されていない鏡面であるため
に、極めて安定した信号となっている。そのため、上記
フォーカスサーボは、極めて安定した状態で行われる。
ームの反射光により、フォーカスエラー信号が検出され
る。すなわち、上記第2の受光素子18zが分割された
4つの部分の受光面の出力信号を演算することにより、
上記検出レンズ17により光ビームに付与された非点収
差の状態、すなわちフォーカスエラー信号が求められる
。このフォーカスエラー信号に基づいたフォーカス駆動
電圧が上記レンズ駆動ユニット15の電歪変換素子板3
4に印加されることにより、上記対物レンズ16が光軸
方向に駆動制御され、上記3つのビームスボッ)Sz及
びSa、Sbが常に上記信号記録面3上に形成されるよ
うに、フォーカスサーボが行われる。上記フォーカスエ
ラー信号は、上述したように上記Z相パルス信号記録部
7zの大部分が信号の記録されていない鏡面であるため
に、極めて安定した信号となっている。そのため、上記
フォーカスサーボは、極めて安定した状態で行われる。
上述のように構成された本発明に係る光学式ロータリー
エンコーダにおいては、環境温度が変化して上記ロータ
1及び上記ピンクアンプ支持部材8がそれぞれ熱膨脹又
は収縮して相対的に移動した場合に、上記ピックアップ
支持部材8と上記介在部材9との熱膨脹又は収縮の差が
、上記ロータ1と上記ピンクアンプ支持部材8との相対
的な移動を補償するようになっている。すなわち、第5
図に示すように、上記ロータ1の中心すなわち王妃支軸
6の中心から上記取付はネジ23の中心までの距離を距
離Laとし、上記取付はネジ23の中心から上記止めネ
ジ19の中心までの距離を距離LAとする。そして、上
記ロータ1をなす材料の熱膨張係数をρGとし、上記ピ
ックアップ支持部材8をなす材料の熱膨張係数をρ、と
し、」二記介在部材9をなす材料の熱膨張係数をρ八と
する。
エンコーダにおいては、環境温度が変化して上記ロータ
1及び上記ピンクアンプ支持部材8がそれぞれ熱膨脹又
は収縮して相対的に移動した場合に、上記ピックアップ
支持部材8と上記介在部材9との熱膨脹又は収縮の差が
、上記ロータ1と上記ピンクアンプ支持部材8との相対
的な移動を補償するようになっている。すなわち、第5
図に示すように、上記ロータ1の中心すなわち王妃支軸
6の中心から上記取付はネジ23の中心までの距離を距
離Laとし、上記取付はネジ23の中心から上記止めネ
ジ19の中心までの距離を距離LAとする。そして、上
記ロータ1をなす材料の熱膨張係数をρGとし、上記ピ
ックアップ支持部材8をなす材料の熱膨張係数をρ、と
し、」二記介在部材9をなす材料の熱膨張係数をρ八と
する。
上記距離り。がN、であり、上記距離LAがβ^である
とき、 la (ρF−ρa)−AA (ρ6−ρF)・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・(第1式)%式%
) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(第2式)
となるようになされている。
とき、 la (ρF−ρa)−AA (ρ6−ρF)・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・(第1式)%式%
) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(第2式)
となるようになされている。
環境温度が変化したとき、上記ロータ1の上記取付はネ
ジ23の位置における、第5図中矢印Tで示す方向の移
動量は、 11aρG ・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・(第3式)であり、この位置における上記ビックア
ンプ支持部材8の移動量は、 n、ρF ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・(第4式)である。そして、上記止めネジ19は、(
j!、−1−A’^)ρF ・・・・・・・・・・・・
(第5式)だけ移動する。上記止めネジ19と上記取付
はネジ23との間の上記介在部材9は、 l^ρ^ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・(第6式)だけ膨張する。したがって、上記取付はネ
ジ23は、 (β。+lA)ρF pAρ。
ジ23の位置における、第5図中矢印Tで示す方向の移
動量は、 11aρG ・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・(第3式)であり、この位置における上記ビックア
ンプ支持部材8の移動量は、 n、ρF ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・(第4式)である。そして、上記止めネジ19は、(
j!、−1−A’^)ρF ・・・・・・・・・・・・
(第5式)だけ移動する。上記止めネジ19と上記取付
はネジ23との間の上記介在部材9は、 l^ρ^ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・(第6式)だけ膨張する。したがって、上記取付はネ
ジ23は、 (β。+lA)ρF pAρ。
−4゜ρ、−1j!A ρF−7!、ρ6=12 a
ρpNA (ρ4−ρF)・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・(第7式)だけ移動する。この(第7式
)に上記(第2式)を代入すると、上記取付はネジ23
の移動量は、12aρ、−X。(ρ、−ρ。) =1.ρG ・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・(第8式)となり、これは、上記(第3式)で示し
た上記ロータ1の移動量に一致している。すなわち、上
記ロータ1と上記取付はネジ23により位置決めされる
上記光学ピックアップ装置2との間に環境温度変化によ
る移動がないようになされている。そのため、常に上記
ロータ1の信号記録面上の所定位置にビームスポットが
形成され、広い温度範囲に亘って正確なパルス信号の出
力が保証されている。
ρpNA (ρ4−ρF)・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・(第7式)だけ移動する。この(第7式
)に上記(第2式)を代入すると、上記取付はネジ23
の移動量は、12aρ、−X。(ρ、−ρ。) =1.ρG ・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・(第8式)となり、これは、上記(第3式)で示し
た上記ロータ1の移動量に一致している。すなわち、上
記ロータ1と上記取付はネジ23により位置決めされる
上記光学ピックアップ装置2との間に環境温度変化によ
る移動がないようになされている。そのため、常に上記
ロータ1の信号記録面上の所定位置にビームスポットが
形成され、広い温度範囲に亘って正確なパルス信号の出
力が保証されている。
また、上記取付はネジ23に対して、上記光学ピックア
ップ装置2を上記取付孔22の長径の範囲内で移動調整
することにより、上記中央のビームスボッ)Szが、上
記Z相パルス信号記録部72の幅方向に対して中央とな
るように調整することができる。このように調整するこ
とにより、環境温度の変化による上記光学ピックアップ
装置2の移動に対する許容量が拡大され、より広い温度
範囲に亘る正確なパルス信号の出力が保証される。
ップ装置2を上記取付孔22の長径の範囲内で移動調整
することにより、上記中央のビームスボッ)Szが、上
記Z相パルス信号記録部72の幅方向に対して中央とな
るように調整することができる。このように調整するこ
とにより、環境温度の変化による上記光学ピックアップ
装置2の移動に対する許容量が拡大され、より広い温度
範囲に亘る正確なパルス信号の出力が保証される。
なお、本発明に係る光学式ロータリーエンコーダを構成
する光学ピックアップ装置は、上述の実施例に限定され
ない。
する光学ピックアップ装置は、上述の実施例に限定され
ない。
例えば、上記レンズ駆動ユニット15は、上述の実施例
に示されているように、電歪変換素子板30を用いて上
記対物レンズ16を駆動してなるものに限定されず、電
磁的駆動手段を有してなるものとしてもよい。すなわち
、上記ボビン33を板バネにより可動自在に支持し、上
記ボビン33にフォーカス駆動コイルを巻回し、上記基
台32にマグネットを取付けて磁気ヨークを介して上記
フォーカス駆動コイルに対向させる。そして、」二記フ
ォーカス駆動コイルに所定の駆動電流を供給することに
より、上記ボビン33を上記対物レンズ16とともに可
動制御するようにすればよい。
に示されているように、電歪変換素子板30を用いて上
記対物レンズ16を駆動してなるものに限定されず、電
磁的駆動手段を有してなるものとしてもよい。すなわち
、上記ボビン33を板バネにより可動自在に支持し、上
記ボビン33にフォーカス駆動コイルを巻回し、上記基
台32にマグネットを取付けて磁気ヨークを介して上記
フォーカス駆動コイルに対向させる。そして、」二記フ
ォーカス駆動コイルに所定の駆動電流を供給することに
より、上記ボビン33を上記対物レンズ16とともに可
動制御するようにすればよい。
また、上記フォーカスエラー信号を検出する手段は、上
述の所謂非点収差法に限定されず、その他の、例えば所
謂ナイフェツジ法や臨界角法等を用いてもよい。この場
合には、上述の実施例中の検出レンズ17に換えて、ナ
イフェツジや臨界角゛プリズム等を適宜使用すればよい
。
述の所謂非点収差法に限定されず、その他の、例えば所
謂ナイフェツジ法や臨界角法等を用いてもよい。この場
合には、上述の実施例中の検出レンズ17に換えて、ナ
イフェツジや臨界角゛プリズム等を適宜使用すればよい
。
さらに、上述の実施例においては、中央のビームスポッ
トをZ相パルス記録部上に形成し、このビームスポット
の反射光によりフォーカスエラー信号を検出するように
しているが、一端又は他端のビームスポットをZ相パル
ス信号記録部上に形成して、このビームスポットの反射
光によりフォーカスエラー信号を検出するようにしても
よい。
トをZ相パルス記録部上に形成し、このビームスポット
の反射光によりフォーカスエラー信号を検出するように
しているが、一端又は他端のビームスポットをZ相パル
ス信号記録部上に形成して、このビームスポットの反射
光によりフォーカスエラー信号を検出するようにしても
よい。
また、上記ロータ1は、上述の実施例に示されるような
、ディスク状に形成されてなるものに限定されず、例え
ば、円筒状に形成されてなり、この円筒の外周部あるい
は内周部に複数の上記Z相及びA−B相パルス信号記録
部72.7ABが形成されてなるものとしてもよい。
、ディスク状に形成されてなるものに限定されず、例え
ば、円筒状に形成されてなり、この円筒の外周部あるい
は内周部に複数の上記Z相及びA−B相パルス信号記録
部72.7ABが形成されてなるものとしてもよい。
このように、上記光学ピックアップ装置の構成や上記ロ
ータの形状を変更した場合にも、本発明に係る光学式ロ
ータリーエンコーダにおいては、上述の実施例と同様の
効果が得られ、広い温度範囲に亘って正確な上記各相パ
ルス信号が検出され、上記ロータの回転速度、回転角度
、回転方向及び基準角度位置についての正確な検出が行
われる。
ータの形状を変更した場合にも、本発明に係る光学式ロ
ータリーエンコーダにおいては、上述の実施例と同様の
効果が得られ、広い温度範囲に亘って正確な上記各相パ
ルス信号が検出され、上記ロータの回転速度、回転角度
、回転方向及び基準角度位置についての正確な検出が行
われる。
上述のように、本発明に係る光学式ロータリーエンコー
ダにおいては、光学ピックアップ装置が、ピックアップ
支持部材に、このピックアップ支持部材の熱膨張及び収
縮を補償する介在部材を介して取付けられてなるので、
環境温度が変化しても、上記光学ピックアップ装置のロ
ータに対する移動がない。
ダにおいては、光学ピックアップ装置が、ピックアップ
支持部材に、このピックアップ支持部材の熱膨張及び収
縮を補償する介在部材を介して取付けられてなるので、
環境温度が変化しても、上記光学ピックアップ装置のロ
ータに対する移動がない。
そのため、常にロータの信号記録面上の所定位置にビー
ムスポットが形成されるので、広い温度範囲に亘って正
確なパルス信号の検出が行われる。
ムスポットが形成されるので、広い温度範囲に亘って正
確なパルス信号の検出が行われる。
すなわち、本発明は、環境温度による光学ピックアップ
装置の移動を補償することにより、広い温度範囲に亘っ
て正確なパルス信号が検出され、ロータの回転速度、回
転角度、回転方向及び基準角度位置についての正確な検
出が行える光学式ロータリーエンコーダを提供するもの
である。
装置の移動を補償することにより、広い温度範囲に亘っ
て正確なパルス信号が検出され、ロータの回転速度、回
転角度、回転方向及び基準角度位置についての正確な検
出が行える光学式ロータリーエンコーダを提供するもの
である。
第1図は本発明に係る光学式ロータリーエンコーダの構
成を示す縦断面図であり、第2図は上記光学式ロータリ
ーエンコーダに用いられるロータの信号記録面の構成を
示す平面図であり、第3図は上記ロータの信号記録面の
要部の構成を拡大して示す模式図であり、第4図は上記
光学式ロータリーエンコーダに用いられる光学ピンクア
ンプ装置の構成を示す縦断面図であり、第5図は上記光
学ピンクアンプ装置の取付は構造の要部を示す断面図で
あり、第6図は上記光学ピックアンプ装置の要部の構成
を説明する模式的平面図であり、第7図は上記光学ピッ
クアップ装置の光検出器の受光部の構成を示す模式図で
あり、第8図は上記ロータの信号記録面上に上記光学ピ
ックアップ装置により形成されるビームスポットの状態
を説明する模式図である。 第9図は従来の光学式ロータリーエンコーダの構成を示
す縦断面図であり、第10図は従来の光学式ロータリー
エンコーダに用いられるロータの構成とこのロータ上に
形成されるビームスポットの状態を模式的に示す平面図
である。 1・・・・・・・・ロータ 2・・・・・・・・光学ピックアップ装置3・・・・・
・・・信号記録面 7・・・・・・・・パルス信号記録領域7z・・・・・
・Z相パルス信号記録部7^B・・・・・・A−B相パ
ルス信号記録部8・・・・・・・・ピックアップ支持部
材9・・・・・・・・介在部材 10・・・・・・・・光学系ブロック 11・・・・・・・・半導体レーザ 12・・・・・・・・回折格子 15・・・・・・・・レンズ駆動ユニット16・・・・
・・・・対物レンズ 18・・・・・・・・光検出器
成を示す縦断面図であり、第2図は上記光学式ロータリ
ーエンコーダに用いられるロータの信号記録面の構成を
示す平面図であり、第3図は上記ロータの信号記録面の
要部の構成を拡大して示す模式図であり、第4図は上記
光学式ロータリーエンコーダに用いられる光学ピンクア
ンプ装置の構成を示す縦断面図であり、第5図は上記光
学ピンクアンプ装置の取付は構造の要部を示す断面図で
あり、第6図は上記光学ピックアンプ装置の要部の構成
を説明する模式的平面図であり、第7図は上記光学ピッ
クアップ装置の光検出器の受光部の構成を示す模式図で
あり、第8図は上記ロータの信号記録面上に上記光学ピ
ックアップ装置により形成されるビームスポットの状態
を説明する模式図である。 第9図は従来の光学式ロータリーエンコーダの構成を示
す縦断面図であり、第10図は従来の光学式ロータリー
エンコーダに用いられるロータの構成とこのロータ上に
形成されるビームスポットの状態を模式的に示す平面図
である。 1・・・・・・・・ロータ 2・・・・・・・・光学ピックアップ装置3・・・・・
・・・信号記録面 7・・・・・・・・パルス信号記録領域7z・・・・・
・Z相パルス信号記録部7^B・・・・・・A−B相パ
ルス信号記録部8・・・・・・・・ピックアップ支持部
材9・・・・・・・・介在部材 10・・・・・・・・光学系ブロック 11・・・・・・・・半導体レーザ 12・・・・・・・・回折格子 15・・・・・・・・レンズ駆動ユニット16・・・・
・・・・対物レンズ 18・・・・・・・・光検出器
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 回転自在に支持され、回転速度及び回転方向を検出する
ためのA相及びB相パルス信号と基準角度位置を検出す
るためのZ相パルス信号が記録されたロータと、 上記ロータに対向し、上記ロータに光ビームを投射して
上記A相、B相及びZ相パルス信号を検出する光学ピッ
クアップ装置とを備え、 上記光学ピックアップ装置は、ピックアップ支持部材に
、このピックアップ支持部材の熱膨脹及び収縮を補償す
る介在部材を介して取付けられてなる光学式ロータリー
エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26991187A JPH01112111A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | 光学式ロータリーエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26991187A JPH01112111A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | 光学式ロータリーエンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01112111A true JPH01112111A (ja) | 1989-04-28 |
Family
ID=17478938
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26991187A Pending JPH01112111A (ja) | 1987-10-26 | 1987-10-26 | 光学式ロータリーエンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01112111A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0469766U (ja) * | 1990-10-25 | 1992-06-19 | ||
JP2004509347A (ja) * | 2000-09-20 | 2004-03-25 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置 |
JP2011058955A (ja) * | 2009-09-10 | 2011-03-24 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ |
JP2013257314A (ja) * | 2012-05-18 | 2013-12-26 | Optnics Precision Co Ltd | 反射型エンコーダ |
-
1987
- 1987-10-26 JP JP26991187A patent/JPH01112111A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0469766U (ja) * | 1990-10-25 | 1992-06-19 | ||
JP2004509347A (ja) * | 2000-09-20 | 2004-03-25 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置 |
JP4677170B2 (ja) * | 2000-09-20 | 2011-04-27 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置 |
JP2011058955A (ja) * | 2009-09-10 | 2011-03-24 | Mitsutoyo Corp | 光学式エンコーダ |
JP2013257314A (ja) * | 2012-05-18 | 2013-12-26 | Optnics Precision Co Ltd | 反射型エンコーダ |
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